JPS6129133A

JPS6129133A - レジンモ−ルド装置

Info

Publication number: JPS6129133A
Application number: JP14954684A
Authority: JP
Inventors: Norinaga Arai; 荒井　徳長; Shiro Oba; 大場　四郎
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1984-07-20
Filing date: 1984-07-20
Publication date: 1986-02-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明はレジンモールド装置、ＩＶｆにレジンをモール
ド型に注入するプランジャー構造に関する。

〔背景技術〕

レジンモールド型の半導体装置の製造における封止（パ
ッケージ）にあっては、たとえば、工業調査会発行、「
電子材料４１９８２年、別冊号。

１７５〜１７９頁における小原による１パツケージング
装置°゛と題する文献において記載されているように１
一般にトランス７アレジンモールド装置（以下、単にレ
ジンモールド装置と称する。）が用いられている。

ところで、このレジンモールド装置にあっては、レジン
を七−ルド型内に圧入するプランジャーは、プレス天盤
に取付けられたモールド型のスリーブ内を往復動する構
造となっているため、スリーブおキびプランジャーの加
工精度か悪るかりたり、あるいはプレス天盤に対するそ
−ル、ド型の取付は精度が悪るかりたりすると、適性な
レジン注入が行い難くなり、歩留り低下、稼働率低下を
来してしまう虞がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は安定なモールドが行えるレジンモールド
装置を提供することにある。

本発明の他の目的は構成部品の長寿命化が達成できるレ
ジンモールド装置を提供することにある。

本発明の他の目的はモールド製の取付は作業が行い易い
レジンモールド装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は１
本明細書の記述とよび添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明のレジンモールド製電にあっては、ト
ランスファシリンダーにおけるトランスファロッドの先
端に取付けられ、かつモールド型に設けられたスリーブ
内に嵌合されるプランジャーは、トランスファロッドに
対して球面座を介して接触するように接続されているこ
とから、プランジャーとスリーブとの芯出し精度が悪く
ても。

プランジャーはスリーブの内面に沿って首振り運動しな
がら往復動するため、モールド型の取付は作業が簡単に
なるとともに、プランジャーおよびスリーブの摩耗が少
なくなり、構成部品の長寿命化が達成できることから、
構成部品の交換サイクルも従来に比較して長くなり、レ
ジンモールド装置の稼働率の向上も達成できる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例によるプランジャーの支持構
造を示す一部を断面とした正面図、第２図は同じくレジ
ンモールド装置の要部を示す模式この実施例におけるプ
ランジャー１は第１図に示されるような構造となってい
て、第２図で示されるレジンモールド装置のプレス天盤
２に設けられたガイドメタル３に案内されるトランスフ
ァシリンダー（図示せず）のロッド４の先端（下端）に
支持部材であるシャンク５を介して取付けられ又いる。

ここで、レジンモールド装置の概要について第２図を参
照しながら簡単に説明する。

レジンモールド装置のプレス天盤２の下面には上型ユニ
ット６が取付けられるとともに、プレス天盤２の下方に
配置されかつ上下動する浮動盤“７の上面には下型ユニ
ット８が取付けられる。下型ユニット８はここでは単に
下型９のみ５を示す。上型ユニット６は上型１０と、前
記プレス天盤２に固定されるトッププレート１１と、こ
のトッププレート１１と上型１０とを連結するスペーサ
ブロック１２とからなっている。

前記下型９はその主面にカル１３．このカル１３に繋が
るランナ１４．被モールド物をモールドするためのキャ
ビティ１５．このキャビティ１５に繋がるランナ１４の
各分岐端部分であるくびれたゲート１６が設けられてい
る。前記カル１３は下型９の中央に設けられている。ま
た、前記カル１３゜ランナ１４．キャビティ１５．ゲー
ト１６は、溶けたレジンが流れるように窪み（溝）で形
成されている。

前記上型１０の主面（下面）には前記キャビティ１５に
対応してキャビティ１７が設けられるとともに、中央に
は貫通状態で筒状のスリーブ１８が取付けられている。

このスリーブ１８の内径は前記カル１３の外径と略一致
している。

一方、プレス天盤２のガイドメタル３の中央を貫通する
ロッド４の下端に取付けられたプランジャー１は、前記
スリーブ１８内に嵌合し、かつロッド４の昇降運動によ
って上下運動するようになっている。

ここで、プランジャーｌおよびこのプランジャー１をロ
ッド４に固定するシャンク５について、第１図を用いて
説明する。シャンク５は上部に外周に雄ネジを有するネ
ジ部１９を有している。このネジ部１９は前記ロッド４
の下端に設けられた雌ネジを有する嵌合部分に螺合され
ている。また、シャンク５はシャンク５が締め付けに便
利なようにその外周には四面の平坦面２０が設けられて
いる。また、シャンク５の下端面には孔２１が設けられ
、この孔２１には下部に大径部２２を有する細径の揺動
棒２３の上部が挿入されている。この揺動棒２３はシャ
ンク５に固定されたピン２４によって固定されている。

また、揺動棒２３をシャンク５に取付けるに先立って、
揺動棒２３には袋状のナツト２５およびドーナツ状の皿
バネ２６が挿入される。また、揺動棒２３の下部の大径
部２２の下面は半球状となっている。そして、この半球
部にはプランジャー１の上部に設けられた半球窪みを有
する受は部２７が接触状態で取付けられる。

前記受は部２７はプランジャー１のスリーブ１８に嵌合
する部分の外径よりは小さくなっているとともに、その
外周には雄ネジが設けられている。

前記ナツト２５の内周には雌ネジが設けられていること
から、ナツト２５を受は部２７の雄ネジに螺合すること
によって、プランジャー１は揺動棒２３に取付けられる
。この際、プランジャー１はシャンク５、すなわち、ロ
ッド４の中心軸に対してたとえば、θの角度だけ首振り
可能に取付けられるようになっている。なお、前記プラ
ンジャー１は外力が作用しない限り皿バネ２６によって
垂直度が保持される。また、プランジャー１は、外力が
加わると揺動棒２３と受は部２７との球面接触によって
摺動し外力が解消する方向に首を振るようになっている
。また、プランジャー１の首振り角度は揺動棒２３の大
径部２２とナツト２５とのクリアランス等の調整により
て自由に設定できる。

このようなレジンモールド装置において、レジンパッケ
ージ型の半導体装置を段進する場合は、浮動盤７が下死
点にある状態で下型９に被モールド物であるリードフレ
ーム２８が載置される。その後、浮動盤７が上昇して型
締めが行われる。つぎに、予備過熱されたレジンタブレ
ット２９がスリーブ１８内に投入され、プランジャー１
が降下する。下型９のカル１３に載ったレジンタプレッ
）　２９１．ｔ、、モールド製内に設置された図示しな
いヒータの加熱によって溶は始めるとともに、プランジ
ャー１によって加圧される。この結果、溶けたレジンは
ランナ１４を流れ、ゲート１６からキャビティ１５内に
流入し、モールドが行われる。

レジン注入が終了すると浮動盤７は下降して、モールド
品が取り出される。

このようなレジンモールド装置は、スリーブ１８に対す
るプランジャー県の位置精度が高精度でなく、低くても
、あるい！チクリーブ１８の真直度が余り良くなくとも
、プランジャー１はロッド４に対して首振り運動するこ
とができるため、摩擦抵　　　　　　　１抗を少なくす
るように首振り運動をしながら移動でき、スリーブ１８
内を円滑に上下（往復）運動することができる。したが
って、安定なレジン注入が行える。

〔効果〕

１、本発明のレジンモールド装置は、プランジャー１は
摩擦抵抗を少なくするように首振り運動をしながら移動
できることから、プランジャー１の下降速度は常に一定
となり、レジン注入が安定し、モールド型の各部には位
相ずれを起こすことなくレジンが送られる結果、モール
ド内部に気泡（ボイド）が発生したり、あるいは遅れ【
注入される粘度の高いレジンの注入が無いことによるワ
イヤの流れによるショート不良が発生したりすることが
防止でき、電子部品の特性向上およびモールド品の品質
向上ならびに歩留りの向上が達成できるという効果が得
られる。

２、上記１から本発明のレジンモールド装置は、プラン
ジャー１とスリーブ１８とは常に摩擦抵抗が小さくなる
ように動作することから、構成部品であるプランジャー
１およびスリーブ１８の長寿命化が達成できるという効
果が得られる。特に、最近は、耐湿性向上のためにレジ
ン内にはより多くのフィラー（石英等でできている。）
が含まれているため、プランジャーとスリーブとの間の
クリアランスが必要以上に小さくなると、プランジャー
およびスリーブの摩耗が早くなるが、本発明の場合には
、プランジャーが首振り運動して常に必要なりリアラン
スが維持できるため、構成部品の寿命向上が達成できる
。

３、上記１から、本発明のレジンモールド装置は、モー
ルド型の取付は作業において、モールド型の取付は精度
はそれ程高くなくとも充分に安定したモールドが行える
ことから、モールド型の取付は作業（芯出し作業）が容
易かつ単時間で行えると□　いう効果が得られる。

４、上記３から、本発明のレジンモールド装置は、モー
ルド型の取付は作業時間の短縮が可能となることから、
レジンモールド装置の稼働率の向上が達成できるという
効果が得られる。

５、本発明のレジンモールド装置は、プランジャー１が
小型となっていることから、プランジャ−の製作コスト
の低減が達成できるという効果が得られる。

６、上記１〜５により、本発明によればモールドコスト
の軽減が達成できるという相乗効果が得られる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもな（１゜〔利用分野〕以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるトランス７アモール
ド技術に適用した場合について説明したが、それに限定
されるものではなく、たとえば、レジンタブレット成型
機、パンチ部などに適用できる。

本発明は少なくともスリーブ内を摺動するプランジャー
を有する構造の成型技術には適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるプランジャーの支持構
造を示す一部を断面とした正面図、第２図は同じくレジ
ンそ−ルド装置の要部を示す模式図である。１・・・プランジャー、２・・・プレス天盤、３・・・
ガイドメタル、４・・・ロッド、５・・・シャンク、６
・・・上Ｗユニット、７・・・浮動盤、８・・・下型ユ
ニット、９・・・下型、１０・・・上型、１１・・・ト
ッププレート、１２・・・スペーサブロック、１３・・
・カル、１４・・ランナ、１５・・・キャビティ、１６
・・・ゲート、１７・・・キャビティ、１８・・・スリ
ーブ、１９・・・ネジ部、２０・・・平坦面、２１・・
・孔、２２・・・大径部、２３・・・揺動棒、２４・・
・ビン、２５・・・ナツト、２６・・・皿バネ、２７・
・・受は部、２８・・・リードフレーム、２９・・・レ
ジンタブレット。（５、′

Claims

【特許請求の範囲】

１、スリーブと、このスリーブ内を往復動するプランジ
ャーと、を有するレジンモールド装置であって、前記プ
ランジャーはスリーブの半径方向に首振り可能となって
いることを特徴とするレジンモールド装置。