JP2014154703A - コンデンサ及びコンデンサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るコンデンサは、誘電体層と、第1の外部電極層と、第2の外部電極層と、第1の内部電極と、第2の内部電極とを具備する。誘電体層は、結晶構造を有する金属酸化物からなり、第1の面と、第1の面と反対側の第2の面と、第1の面と第2の面に連通する複数の貫通孔とを備える。第1の外部電極層は、第1の面に配設されている。第2の外部電極層は、第2の面に配設されている。第1の内部電極は、複数の貫通孔に形成され、第1の外部電極層に接続されている。第2の内部電極は、複数の貫通孔に形成され、第2の外部電極層に接続されている。
【選択図】図2
Description
上記誘電体層は、結晶構造を有する金属酸化物からなり、第1の面と、上記第1の面と反対側の第2の面と、上記第1の面と上記第2の面に連通する複数の貫通孔とを備える。
上記第1の外部電極層は、上記第1の面に配設されている。
上記第2の外部電極層は、上記第2の面に配設されている。
上記第1の内部電極は、上記複数の貫通孔に形成され、上記第1の外部電極層に接続されている。
上記第2の内部電極は、上記複数の貫通孔に形成され、上記第2の外部電極層に接続されている。
上記誘電体層は、結晶構造を有する金属酸化物からなり、第1の面と、上記第1の面と反対側の第2の面と、上記第1の面と上記第2の面に連通する複数の貫通孔とを備える。
上記第1の外部電極層は、上記第1の面に配設されている。
上記第2の外部電極層は、上記第2の面に配設されている。
上記第1の内部電極は、上記複数の貫通孔に形成され、上記第1の外部電極層に接続されている。
上記第2の内部電極は、上記複数の貫通孔に形成され、上記第2の外部電極層に接続されている。
上記金属酸化物を加熱して、上記金属酸化物を結晶化させる。
上記複数の貫通孔に第1の内部電極及び第2の内部電極を形成する。
上記第1の内部電極に接続する第1の外部電極層と、上記第2の内部電極に接続する第2の外部電極層とを上記金属酸化物上に配設する。
図1は本発明の一実施形態に係るコンデンサ100の斜視図であり、図2はコンデンサ100の断面図である。これらの図に示すように、コンデンサ100は、誘電体層101、第1外部電極層102、第2外部電極層103、第1内部電極104及び第2内部電極105を有する。
上述のように、コンデンサ100の誘電体層101は、結晶構造を有する金属酸化物からなる。金属酸化物が結晶構造を有するか否は、XRD(X‐ray diffraction:X線回折)等の結晶構造解析によって確認することが可能である。
以上のような構成を有するコンデンサ100は次のような効果を有する。図2に示すように、第1内部電極104と第2内部電極105は誘電体層101を介して対向する。このため、第1内部電極104と第2内部電極105の間に電圧が印加されると、これらの間に位置する誘電体層101の耐電圧特性が問題となる。
本実施形態に係るコンデンサ100の製造方法について説明する。なお、以下に示す製造方法は一例であり、コンデンサ100は、以下に示す製造方法とは異なる製造方法によって製造することも可能である。図7乃至図12は、コンデンサ100の製造プロセスを示す模式図である。
以上の説明では、誘電体層101に形成される貫通孔101a(図4参照)は、誘電体層101の厚み方向に沿って形成され、規則的に配列しているものとして説明した。しかし、貫通孔101aは次のように、規則的に配列しないようにすることも可能である。図13乃至図19は、コンデンサ100の模式的な断面図である。
101…誘電体層
101a…貫通孔
102…第1外部電極層
103…第2外部電極層
104…第1内部電極
105…第2内部電極
Claims (6)
- 結晶構造を有する金属酸化物からなり、第1の面と、前記第1の面と反対側の第2の面と、前記第1の面と前記第2の面に連通する複数の貫通孔とを備える誘電体層と、
前記第1の面に配設された第1の外部電極層と、
前記第2の面に配設された第2の外部電極層と、
前記複数の貫通孔に形成され、前記第1の外部電極層に接続された第1の内部電極と、
前記複数の貫通孔に形成され、前記第2の外部電極層に接続された第2の内部電極と
を具備するコンデンサ。 - 請求項1に記載のコンデンサであって、
前記誘電体層は、陽極酸化作用によって貫通孔を生じる材料からなる
コンデンサ。 - 請求項1に記載のコンデンサであって、
前記誘電体層は、酸化アルミニウムからなる
コンデンサ。 - 請求項1に記載のコンデンサであって、
前記誘電体層は、α相、θ相、δ相及びγ相のうちいずかの結晶相を有する酸化アルミニウムからなる
コンデンサ。 - 金属を酸化させることによって、複数の貫通孔を有する金属酸化物を形成し、
前記金属酸化物を加熱して、前記金属酸化物を結晶化させ、
前記複数の貫通孔に第1の内部電極及び第2の内部電極を形成し、
前記第1の内部電極に接続する第1の外部電極層と、前記第2の内部電極に接続する第2の外部電極層とを前記金属酸化物上に配設する
コンデンサの製造方法。 - 請求項5に記載のコンデンサの製造方法であって、
前記金属酸化物は、酸化アルミニウムであり、
前記金属酸化物を結晶化させる工程では、前記酸化アルミニウムを800℃以上に加熱する
コンデンサの製造方法。
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