JP2018014414A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 金属膜がスライドし難い半導体装置を提供する。【解決手段】 本明細書が開示する半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板の表面を覆う第1金属膜と、前記第1金属膜の表面の外周部を覆う保護膜と、前記第1金属膜の表面の中央部から前記保護膜の表面に跨る範囲を覆う第2金属膜を有する。保護膜の表面に、凹部が設けられている。第2金属膜の一部が、前記凹部内に配置されている。第2金属膜の凹部内に配置された部分によって、第2金属膜が保護膜に係止される。したがって、第2金属膜と第1金属膜がスライドし難い。【選択図】図2
Description
本明細書に開示の技術は、半導体装置に関する。
特許文献1の半導体装置は、半導体基板と、半導体基板の表面を覆う第1金属膜(エミッタ電極膜)と、第1金属膜の表面の外周部を覆う保護膜(パッシベーション膜)と、第1金属膜の表面の中央部から保護膜の表面に跨る範囲を覆う第2金属膜(付加電極)を有している。
特許文献1の半導体装置では、第1金属膜上に第2金属膜と保護膜の境界が存在している。半導体装置が発熱すると、第1金属膜と第2金属膜と保護膜のそれぞれが熱膨張する。第2金属膜と保護膜の線膨張係数が異なるので、第2金属膜の下部の第1金属膜の膨張率と保護膜の下部の第1金属膜の膨張率が異なる。このため、第2金属膜と保護膜の境界において、その境界の下部の第1金属膜に高い応力が加わり、この位置の第1金属膜にクラックが生じやすい。
一方で、一般に、半導体基板上の金属膜には、金属膜の中央側に向かって応力が加わっている。したがって、特許文献1においても、第1金属膜と第2金属膜に、各金属膜の中央側に向かって応力が加わっている。すなわち、第1金属膜と第2金属膜には、これらを保護膜から引き離す方向に応力が加わっている。上記のように第1金属膜にクラックが生じると、第1金属膜と第2金属膜を保護膜から引き離す方向に作用する力が第2金属膜と保護膜の界面に集中する。これによって、第2金属膜が保護膜から剥離し、第1金属膜と第2金属膜が中央側にスライドする場合がある。その結果、半導体装置の電気的特性に異常が生じる。
したがって、本明細書では、第1金属膜と第2金属膜がスライドし難い半導体装置を開示する。
本明細書に開示する半導体装置は、半導体基板と、半導体基板の表面を覆う第1金属膜と、第1金属膜の表面の外周部を覆う保護膜と、第1金属膜の表面の中央部から保護膜の表面に跨る範囲を覆う第2金属膜と、を有する。この半導体装置は、保護膜の表面に凹部が設けられており、第2金属膜の一部が、前記凹部の内面に接していることを特徴とする。
上記の半導体装置では、第2金属膜の一部が保護膜の表面に形成された凹部内に配置されている。このような構成によれば、第2金属膜に対して保護膜から引き離す方向に力が作用したとしても、第2金属膜の凹部内に配置された部分によって、第2金属膜が保護膜に係止される。したがって、第2金属膜が保護膜から剥離し難い。このため、第2金属膜と、その第2金属膜に接している第1金属膜がスライドし難い。
図1に示すように、実施形態に係る半導体装置10は、半導体素子20と、ヒートシンクブロック80と、表面側放熱板81と、裏面側放熱板82と、封止樹脂83を備えている。半導体素子20は、半導体基板と、表面電極と、裏面電極を有している。なお、図1では、表面電極と裏面電極の図示が省略されている。ヒートシンクブロック80は、はんだ層91を介して半導体素子20の表面電極に固定されている。表面側放熱板81は、はんだ層92を介してヒートシンクブロック80の表面に固定されている。裏面側放熱板82は、はんだ層93を介して半導体素子20の裏面電極に固定されている。封止樹脂83は、表面側放熱板81の下面、ヒートシンクブロック80、半導体素子20及び裏面側放熱板82の上面を覆っている。
半導体素子20としては、例えば、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)、またはダイオード等を用いることができる。半導体素子20は、動作中に発熱する。図2に示すように、半導体素子20は、半導体基板24と、表面電極23と、保護膜26と、裏面電極28を有している。
半導体基板24は、板状であり、例えばシリコン(Si)や炭化ケイ素(SiC)等により構成されている。半導体基板24の線膨張係数は、3〜5ppmである。
表面電極23と保護膜26は、半導体基板24上に設けられている。表面電極23は、第1金属膜21と第2金属膜22を有している。
図3は半導体素子20の上面図である。但し、図3では、第2金属膜22の図示を省略している。また、図3では、保護膜26に覆われている範囲をハッチングにより示している。図3に示すように、半導体基板24の表面に、2つの第1金属膜21が設けられている。各第1金属膜21は、半導体基板24の表面を部分的に覆っている。第1金属膜21は、導電性を有しており、例えばアルミニウム合金(AlSi)により構成されている。第1金属膜21の線膨張係数は、約23ppmである。
保護膜26は、樹脂により構成されており、絶縁性を有している。保護膜26は、例えばポリイミドにより構成されている。保護膜26の線膨張係数は、約35ppmである。図2、3に示すように、保護膜26は、第1金属膜21に覆われていない範囲の半導体基板24の表面と、第1金属膜21の表面の外周部を覆っている。保護膜26は、各第1金属膜21の上部に開口部52を有している。開口部52内に、第1金属膜21の表面の中央部が配置されている。したがって、第1金属膜21の表面の中央部は、保護膜26に覆われていない。保護膜26の表面には、凹部51が形成されている。凹部51は、2つの開口部52(すなわち、各第1金属膜21の中央部)を囲むように環状に伸びている。
図2に示すように、第2金属膜22は、各第1金属膜21の表面の中央部から保護膜26の表面に跨る範囲を覆っている。したがって、第2金属膜22は、保護膜26の開口部52の側面を覆っている。このため、第1金属膜21上に、第2金属膜22と保護膜26の境界54が存在している。第2金属膜22は、導電性を有しており、例えばニッケル(Ni)により構成されている。第2金属膜22の線膨張係数は、約13ppmである。第2金属膜22は、凹部51が設けられている範囲の保護膜26の表面全域を覆っている。第2金属膜22の一部は、凹部51内に配置されている。凹部51が環状に伸びる方向の全域において、凹部51内に第1金属膜21が充填されている。凹部51内の第2金属膜22は、凹部51の内面(すなわち、底面と側面)に接している。第2金属膜22の表面全体がはんだ層91に覆われている。
半導体装置10が発熱すると、第1金属膜21と第2金属膜22と保護膜26のそれぞれが熱膨張する。保護膜26の線膨張係数は、第2金属膜22の線膨張係数よりも大きい。そのため、保護膜26の下部の第1金属膜21の膨張率は、第2金属膜22の下部の第1金属膜の膨張率よりも大きい。このため、第2金属膜22と保護膜26の境界54の下部で第1金属膜21に高い応力が加わり、この位置の第1金属膜21にクラックが生じやすい。
一方で、第1金属膜21と第2金属膜22には、常時、各金属膜の中央側に向かって応力が加わっている。第1金属膜21と第2金属膜22は、スパッタリングや蒸着などにより300℃前後の高温状態で半導体基板24上に成膜される。成膜時においては、第1金属膜21と第2金属膜22にはほとんど応力が加わっていない。成膜後の冷却時に、第1金属膜21、第2金属膜22及び半導体基板24が収縮する。このとき、半導体基板24の線膨張係数が第1金属膜21と第2金属膜22の線膨張係数よりも小さいので、第1金属膜21と第2金属膜22が十分に収縮せず、各金属膜の中央側に向かって応力が生じる。半導体装置10の使用温度は、上記成膜温度以下であるため、第1金属膜21と第2金属膜22には、常時、各金属膜の中央側に向かって応力が加わっている。すなわち、第1金属膜21と第2金属膜22には、これらを保護膜26から引き離す方向に応力が加わっている。第1金属膜21と第2金属膜22に加わる応力は、半導体装置10の温度が高いほど小さくなり、半導体装置10の温度が低いほど大きくなる。半導体装置10の使用環境や通電状態により、半導体装置10の温度が変化し、第1金属膜21にクラックの原因となる金属疲労が蓄積する。
さらに、第2金属膜22の表面全体は、はんだ層91に覆われている。はんだ層91は、高温の溶融状態で第2金属膜22の表面に形成され、その後、冷えて固化する際に収縮する。したがって、はんだ層91によっても、第2金属膜22と第1金属膜21に対して、各金属層の中央側に向かう応力(すなわち、これらを保護膜26から引き離す方向に作用する応力)が生じる。
上記のように境界54の下部の第1金属膜21にクラックが生じると、第1金属膜21と第2金属膜22を保護膜26から引き離す方向に作用する力が第2金属膜22と保護膜26の界面に集中する。しかしながら、本実施形態に係る半導体装置10では、第2金属膜22の一部が保護膜26の表面に形成された凹部内に配置されている。このような構成によれば、第2金属膜22に対して保護膜26から引き離す方向に力が作用したとしても、第2金属膜22の凹部51内に配置された部分によって、第2金属膜22が保護膜26に係止される。したがって、第2金属膜22が保護膜26から剥離し難く、第2金属膜22がスライドし難い。これによって、第1金属膜21と第2金属膜22のスライドを抑制することができ、半導体装置10の高い信頼性を実現することができる。
半導体装置10の製造方法の一例を説明する。なお、この製造方法は凹部51の形成に特徴を有するので、凹部51の形成に関連する工程について以下に説明し、その他の工程については説明を省略する。
まず、図4に示すように、半導体基板24上に第1金属膜21と保護膜26を成膜する。保護膜26は、第1金属膜21に覆われていない範囲の半導体基板24の表面と第1金属膜21を覆うように成膜する。次に、図5に示すように、レジスト100を形成する。保護膜26の凹部51を形成すべき範囲の上部においてレジスト100に開口部101を設け、保護膜26の開口部52を形成すべき範囲の上部においてレジスト100に開口部102を設ける。開口部102の幅は開口部101の幅よりも広い。開口部102は略四角形であり、開口部101は開口部102を囲むように環状に伸びている。次に、図6に示すように、開口部101、102内の保護膜26を等方性エッチングにより除去する。開口部102内では、第1金属膜21を露出させる。開口部101の幅が開口部102の幅よりも狭いので、開口部101内では開口部102内よりもエッチングレートが低い。ここでは、開口部101内で第1金属膜21が露出しない段階でエッチングを停止する。したがって、開口部101内に凹部51が形成される。その後、レジスト100を除去する。次に、図7に示すように、凹部51を覆うように第2金属膜22を成膜する。これによって、凹部51内に第2金属膜22の一部が配置されている構造が得られる。
なお、上述した実施形態において、第2金属膜22がニッケルにより構成されていた。しかしながら、第2金属膜22が、はんだ接合可能な他の金属によって構成されていてもよい。例えば、第2金属膜22が、金、銀、銅、錫等により構成されていてもよい。また、第2金属膜22をはんだ接合以外の方法により外部に接続する場合には、第2金属膜22がはんだ接合不可能な金属により構成されていてもよい。
本明細書が開示する技術要素について、以下に列記する。なお、以下の各技術要素は、それぞれ独立して有用なものである。
本明細書が開示する一例の構成では、凹部が第1金属膜の中央部を囲むように環状に伸びている。
このような構成によれば、外周部の全域で第2金属膜が保護膜から剥離することを抑止できる。
本明細書が開示する一例の構成では、第2金属膜の表面を覆うはんだ層をさらに有する。
このような構成によれば、はんだ層によって第2金属層に対してさらに高い応力が加わる。したがって、保護膜の表面に凹部を設けることで、第2金属膜の剥離をより効果的に抑制できる。
以上、実施形態について詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独あるいは各種の組み合わせによって技術有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの1つの目的を達成すること自体で技術有用性を持つものである。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独あるいは各種の組み合わせによって技術有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの1つの目的を達成すること自体で技術有用性を持つものである。
10 :半導体装置
20 :半導体素子
21 :第1金属膜
22 :第2金属膜
23 :表面電極
24 :半導体基板
26 :保護膜
28 :裏面電極
51 :凹部
52 :開口部
54 :境界
80 :ヒートシンクブロック
81 :表面側放熱板
82 :裏面側放熱板
83 :封止樹脂
20 :半導体素子
21 :第1金属膜
22 :第2金属膜
23 :表面電極
24 :半導体基板
26 :保護膜
28 :裏面電極
51 :凹部
52 :開口部
54 :境界
80 :ヒートシンクブロック
81 :表面側放熱板
82 :裏面側放熱板
83 :封止樹脂
Claims (3)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面を覆う第1金属膜と、
前記第1金属膜の表面の外周部を覆う保護膜と、
前記第1金属膜の表面の中央部から前記保護膜の表面に跨る範囲を覆う第2金属膜と、
を有する半導体装置であって、
前記保護膜の表面に、凹部が設けられており、
前記第2金属膜の一部が、前記凹部の内面に接している半導体装置。 - 前記凹部が、前記第1金属膜の前記中央部を囲むように環状に伸びている請求項1の半導体装置。
- 前記第2金属膜の表面を覆うはんだ層をさらに有する請求項1または2の半導体装置。
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