JP2017506834A - 被覆されたレーザファセットを有するレーザダイオードチップ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 被覆(10)を有する少なくとも1つのレーザファセット(9)を有するレーザダイオードチップ(1)であって、ここで被覆(10)が少なくとも1つの無機層(14、15、16、17、18)及び少なくとも1つの有機層(20、21、22)を有する前記レーザダイオードチップ(1)。
- 請求項1に記載のレーザダイオードチップであって、ここで少なくとも1つの有機層が拡散障壁層(21)を含む前記レーザダイオードチップ。
- 請求項1又は2に記載のレーザダイオードチップであって、ここで少なくとも1つの有機層(21)がアルカン、アルケン、アルキン、シクロアルカン、シクロアルケン、ポリアミド、又はアルミニウムアルコラートを有する前記レーザダイオードチップ。
- 請求項1から3までのいずれか一項に記載のレーザダイオードチップであって、ここで少なくとも1つの有機層が有機カバー層(20、22)を含む前記レーザダイオードチップ。
- 請求項4に記載のレーザダイオードチップであって、ここで有機カバー層(20、22)が疎水性層(20)及び/又は付着防止層(22)である前記レーザダイオードチップ。
- 請求項5に記載のレーザダイオードチップであって、ここで有機カバー層(20、22)が水について90°超の接触角を有する前記レーザダイオードチップ。
- 請求項4から6までのいずれか一項に記載のレーザダイオードチップであって、ここで有機カバー層(20、22)がカーボンナノチューブ、有機フッ素化合物若しくは有機硫黄化合物、チオール、シラン、クロロシラン、アミン、アルコール、カルボン酸、シロキサン又はジメチルアミノシランを含有する前記レーザダイオードチップ。
- 請求項1から7までのいずれか一項に記載のレーザダイオードチップであって、ここで少なくとも1つの無機層が熱伝導層(17)を含む前記レーザダイオードチップ。
- 請求項8に記載のレーザダイオードチップであって、ここで熱伝導層(17)が第一有機拡散障壁層(21a)と第二有機拡散障壁層(21b)の間に配置されている前記レーザダイオードチップ。
- 請求項8又は9に記載のレーザダイオードチップであって、ここで熱伝導層(17)が透明な伝導性酸化物、ITO、ZnO、GaN、AlN、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)、SiC、又はグラフェンを有する前記レーザダイオードチップ。
- 請求項1から10までのいずれか一項に記載のレーザダイオードチップであって、ここで少なくとも1つの無機層が、レーザファセット(9)に直接隣接する絶縁性保護層(18)を含む前記レーザダイオードチップ。
- 請求項11に記載のレーザダイオードチップであって、ここで絶縁性保護層(18)が原子層堆積層である前記レーザダイオードチップ。
- 請求項1から12までのいずれか一項に記載のレーザダイオードチップであって、ここで少なくとも1つの無機層が、反射を増加又は減少させる層を含む前記レーザダイオードチップ。
- 請求項1から13までのいずれか一項に記載のレーザダイオードチップであって、ここで被覆(10)が、反射を増加又は減少させる一連の層(11、12)中で少なくとも部分的に配置されている複数の無機層(14、15、16)を有する前記レーザダイオードチップ。
- 請求項14に記載のレーザダイオードチップであって、ここで反射を増加又は減少させる一連の層(12)が無機層(14)と同様に有機層(13)も含む前記レーザダイオードチップ。
- 請求項2、8及び14に記載のレーザダイオードチップであって、ここで熱伝導層(17)が、反射を増加又は減少させる一連の層(11、12)と有機拡散障壁層(21)の間に配置されている前記レーザダイオードチップ。
- 請求項1から16までのいずれか一項に記載のレーザダイオードチップであって、ここで少なくとも1つの無機層(14、15、16、17、18)が原料SiO2、Al2O3、TiO2、Ta2O5、Si3N4、ZrO2、HfO2、Nb2O5、Y2O3、Ho2O3、CeO3、Lu2O3、V2O5、HfZrO、MgO、TaC、ZnO、CuO、In2O3、Yb2O3、Sm2O3、Nd2O3、Sc2O3、B2O3、Er2O3、Dy2O3、Tm2O3、SrTiO3、BaTiO3、PbTiO3、PbZrO3、Ga2O3、HfAlO、又はHfTaOのうち少なくとも1種を有する前記レーザダイオードチップ。
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