JP2017201730A - 結束線状部材、ボール振込ヘッド、ボール搭載装置およびボール搭載方法 - Google Patents
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Abstract
基板Pに形成された電極Tの配置パターンに開口17の配置パターンを一致させた振込マスク16上に供給されたボールBを線状部材34により開口17に振り込むボール振込ヘッド27において、複数本の線状部材34を撚って形成した撚線35が複数本その両端で束ねられた結束線状部材33を有し、結束線状部材33は、一端から他端に亘って捩じられた状態とされ、結束線状部材33を振込マスク16に沿わせて移動させることでボールBを開口17に振り込むこと。
【選択図】図9
Description
ボール振込装置9には、マスク枠19と、ボールBの振込マスク16と、開口17の形成領域20と、ボール振込ヘッド用Y軸駆動ユニット21と、ボール振込ヘッド用X軸駆動ユニット22と、ボール振込ヘッドユニット14と、ヘッド用スライダ23と、カメラ24A,24Bと、残留ボール除去ユニット25と、残留ボール除去用結束線状部材26とが備えられる。
っても良い。
りボールBを押す効率が下がる。しかし、捩じった結束線状部材33の場合は、捩じりの効果により、捩じらない結束線状部材33のように撚線35が高さ方向で重ならないほどに扁平してしまうことはない。したがって、結束線状部材33を捩じることにより、結束線状部材33を構成する撚線35の本数を少なくしても、撚線35を高さ方向で重ねた状態でボールBを送ることができ、結束線状部材33のボールBを押す効率の低下を防ぐことができる。
上述したように、ボール振込ヘッド27に備えられる結束線状部材33は、複数の撚線35が束ねられて構成されている。そして、撚線35は、複数本の線状部材34を撚って形成されている。複数本の線状部材34を撚ることで、隣接する線状部材34の合わせ目(撚り目)が凹凸35Aとして形成される。また、撚線35が束ねられた結束線状部材33は捩じられた状態でボール振込ヘッド27に取り付けられている。
5A … ステージ
16 … 振込マスク
17 … 開口
18 … ボール供給装置
27 … ボール振込ヘッド
33 … 結束線状部材
34 … 線状部材
35 … 撚線
B … ボール(導電性ボール)
P … 基板
T … 電極
Claims (7)
- 基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスクに沿わせて移動させることで前記振込マスク上に供給された複数の導電性ボー
ルを前記複数の開口に振り込む結束線状部材において、
複数本の線状部材が撚られて形成した撚線が複数束その両端で束ねられ、その両端が固定リングにより弾性のある樹脂を介してカシメ固定され、
前記線状部材の線径を3μm以上30μm以下とし、前記撚線として撚られる前記線状部材の本数を3本以上100本以下とする、
ことを特徴とする結束線状部材。 - 請求項1に記載の結束線状部材において、
前記撚線として撚られる前記線状部材の本数は、前記撚線の直径が前記導電性ボールの半径以上かつ直径の2倍以下となる本数とする、
ことを特徴とする結束線状部材。 - 請求項1または2記載の結束線状部材において、
前記結束線状部材として束ねられる前記撚線の束数は、10束以上30000束以下である、
ことを特徴とする結束線状部材。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の結束線状部材において、
前記線状部材は、金属線である、
ことを特徴とする結束線状部材。 - 基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスク上に供給された複数の導電性ボールを複数本の線状部材により前記複数の開口に振り込むボール振込ヘッドにおいて、
前記複数本の線状部材を撚って形成した撚線が複数束その両端で束ねられ、かつ、その両端が固定リングにより弾性のある樹脂を介してカシメ固定された結束線状部材を有し、
前記線状部材の線径を3μm以上30μm以下とし、前記撚線として撚られる前記線状部材の本数を3本以上100本以下とし、
前記結束線状部材は、一端から他端に亘って捩じられた状態とされ、
前記結束線状部材を前記振込マスクに沿わせて移動させることで前記複数の導電性ボールを前記複数の開口に振り込む、
ことを特徴とするボール振込ヘッド。 - 基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスクと、
前記基板を載置して、前記複数の電極のそれぞれを対応する前記開口に位置合せするステージと、
前記複数の電極にバンプを形成する複数の導電性ボールを前記振込マスク上に供給するボール供給装置と、
前記振込マスク上に供給された前記複数の導電性ボールを前記複数の開口に振り込むボール振込ヘッドと、
を有するボール搭載装置において、
前記ボール振込ヘッドは、請求項5に記載のボール振込ヘッドである、
ことを特徴とするボール搭載装置。 - 請求項6に記載したボール搭載装置を用いて、基板に形成された複数の電極に複数の導電性ボールを搭載する、
ことを特徴とするボール搭載方法。
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