JP5376827B2 - ボール搭載装置およびボール搭載方法 - Google Patents
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Description
上を水平移動と垂直移動ができるようになっている。ボール34が開口36に振り込まれて基板2aに搭載された後、基板載置台13を下方へ移動させて、ボール34を開口36から離間する。
Claims (4)
- 基板に形成された電極に対応する開口を有する振込マスクと、上記基板を載置して、上記電極を上記開口に位置合せするステージと、上記電極にバンプを形成するボールを上記振込マスク上に供給するボール供給装置と、複数本の線状部材の両端部を固定した結束線状部材が配設された振込ヘッドと、上記線状部材を上記振込マスク上で水平に動かし上記ボールを上記開口に振り込む振込ヘッド駆動装置と、を含むボール搭載装置において、
上記結束線状部材を捩じった状態で上記振込ヘッドに固定したことを特徴とするボール搭載装置。 - 基板に形成されたバンプとなる電極に対応する開口を有する振込マスクと、上記電極が形成された上記基板を載置して、上記電極を上記開口に位置合せするステージと、上記電極にバンプを形成するボールを上記振込マスク上に供給するボール供給装置と、複数本の線状部材の両端部を固定した結束線状部材を捩じった状態で取付けられた振込ヘッドと、上記線状部材を上記振込マスク上で水平に動かし上記ボールを上記開口に振り込む振込ヘッド駆動装置を含むボール搭載装置を用いて、上記線状部材を上記振込マスクに押圧しながら上記ボールを上記振込マスク上で移動させて上記開口に上記ボールを振り込んだ後、上記振込マスクと上記基板を離間させて上記ボールを上記開口から離脱させることを特徴とするボール搭載方法。
- 基板をステージの基板載置台に載置する工程と、
上記ステージを移動して上記基板に形成された電極と振込マスクに形成された開口を位置合せする工程と、
上記振込マスク上に供給したボールを振込ヘッドに両端部を固定され取付けられた複数本の線状部材からなる捩じられた状態の結束線状部材で移動させて上記ボールを上記開口に振り込む工程と、
上記ステージを移動して上記ボールが搭載された上記基板が載置された基板載置台を下方に移動し上記ボールを上記開口から離間する工程と、
を有するボール搭載方法。 - 前記基板を前記振込マスクから離間させた後、前記ボールをリフローして、前記電極に
バンプを形成することを特徴とする請求項2または3記載のボール搭載方法。
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