JP6346981B2 - 結束線状部材、ボール振込ヘッド、ボール搭載装置およびボール搭載方法 - Google Patents

結束線状部材、ボール振込ヘッド、ボール搭載装置およびボール搭載方法 Download PDF

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Description

本発明は、結束線状部材、ボール振込ヘッド、ボール搭載装置およびボール搭載方法に関する。
特許文献1、特許文献2には、振込マスク上に供給された半田ボールを線状部材を用いて移動させ、半田ボールを基板に形成された電極に搭載する技術が開示されている。
しかしながら、振込マスク上に供給された半田ボールをより確実に移動させて基板に搭載することが望まれている。
特開2009−267290号公報 特開2005−101502号公報
そこで、本発明は、振込マスク上に供給された導電性ボールをより確実に移動することができる結束線状部材、ボール振込ヘッド、ボール搭載装置およびボール搭載方法を提供することを目的とする。
本発明は、基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスクに沿わせて移動させることで振込マスク上に供給された複数の導電性ボールを複数の開口に振り込む結束線状部材において、複数本の線状部材が撚られて形成した撚線が複数束その両端で束ねられ、その両端が固定リングにより弾性のある樹脂を介してカシメ固定され、線状部材の線径を3μm以上30μm以下とし、撚線として撚られる線状部材の本数を3本以上100本以下とすることとする。
また、他の発明は、上述の結束線状部材において、撚線として撚られる線状部材の本数は、撚線の直径が導電性ボールの半径以上かつ直径の2倍以下となる本数とすることとする。
また、他の発明は、上述の結束線状部材において、線状部材の線径を3μm以上30μm以下とし、撚線として撚られる線状部材の本数を3本以上100本以下とすることとする。
また、他の発明は、上述の結束線状部材において、結束線状部材として束ねられる撚線の束数は、10束以上30000束以下であることとする。
また、他の発明は、上述の結束線状部材において、線状部材は、金属線であることとする。
本発明は、基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスク上に供給された複数の導電性ボールを複数本の線状部材により複数の開口に振り込むボール振込ヘッドにおいて、複数本の線状部材を撚って形成した撚線が複数束その両端で束ねられ、かつ、その両端は固定リングにより弾性のある樹脂を介してカシメ固定された結束線状部材を有し、線状部材の線径を3μm以上30μm以下とし、撚線として撚られる線状部材の本数を3本以上100本以下とし、結束線状部材は、一端から他端に亘って捩じられた状態とされ、結束線状部材を振込マスクに沿わせて移動させることで導電性ボールを前記複数の開口に振り込むこととする。
また、他の発明は、上述のボール振込ヘッドにおいて、撚線として撚られる線状部材の本数を、撚線の直径が導電性ボールの半径以上かつ直径の2倍以下となる本数とすることとする。
また、他の発明は、上述のボール振込ヘッドにおいて、結束線状部材として束ねられる撚線の束数は、10束以上30000束以下であることとする。
また、他の発明は、上述のボール振込ヘッドにおいて、線状部材を金属線とする。
基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスクと、基板を載置して、複数の電極のそれぞれを対応する開口に位置合せするステージと、複数の電極にバンプを形成する複数の導電性ボールを振込マスク上に供給するボール供給装置と、振込マスク上に供給された複数の導電性ボールを複数の開口に振り込むボール振込ヘッドとを有するボール搭載装置において、ボール振込ヘッドに上述の各ボール振込ヘッドを用いることとする。
本発明は、上述のボール搭載装置を用いて、基板に形成された複数の電極に複数の導電性ボールを搭載することとする。
本発明のボール振込ヘッド、ボール搭載装置およびボール搭載方法によれば、振込マスク上に供給された導電性ボールをより確実に移動することができる。
本発明の実施の形態に係るボール搭載装置を上方から見た平面図である。 図1に示すボール搭載装置に備えられるボール振込装置を上方から見た平面図である。 基板の一例としてのシリコンウエハを示す図である。 図1に示すボール搭載装置に備えられるボール振込ヘッドユニットを前方から見た正面図である。 ボールが結束線状部材に押されて移動し、振込マスクの開口から落下し、基板に設けられた電極上に振り込まれる状態を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係るボール振込ヘッドの構成を示す図である。 図6に示す結束線状部材のボール振込ヘッドへの取り付けの構造を示す図である。 図6に示す取付部材に取り付ける前の結束線状部材の構成を示す図である。 結束線状部材の線状部の構成を示す図である。 捩じった結束線状部材の中央部付近を拡大して示す概略図を示す。 中央部が膨らんだ結束線状部材が捩じられた状態を示す図である。 結束線状部材を湾曲させ、かつ、捩じった状態を示す図である。
図1は、本発明の実施の形態に係るボール搭載装置1を上方から見た平面図である。なお、ボール搭載方法については、ボール搭載装置1の説明に併せて説明する。ボール搭載装置1には、基板ストッカ2、基板搬送ロボット3と、プレアライナ4と、ステージ移動装置5と、基板矯正装置6と、印刷装置7と、クリーニング装置8と、ボール振込装置9と、検査装置10と、X軸テーブル11と、Y軸テーブル12と、基板載置台13と、ボール振込ヘッドユニット14とが備えられている。
基板ストッカ2は、ロードポート2Aとアンロードポート2Bとを有する。基板搬送ロボット3は、ロードポート2Aから基板Pを取り出して、プレアライナ4に搬送する。基板Pがウエハの場合には、プレアライナ4は、基板Pの中心位置と基板Pの外周に形成されたノッチ方向との双方について補正を行い、補正の行われた基板Pをステージ移動装置5のステージ5Aに取り付けられる基板載置台13上に載置する。その後、基板搬送ロボット3は、待機位置に戻る。ステージ移動装置5はステージ5Aを有し、ステージ5Aには基板載置台13が取り付けられている。基板載置台13に載置された基板Pは、基板載置台13に対して減圧吸着されるとともに、基板矯正装置6により押圧されることにより反りが矯正される。
基板矯正装置6は、8個の押圧部材で基板Pの外周部を押圧して基板Pの反りを矯正するものである。この基板矯正装置6は、反りが比較的大きい基板に特に有効である。これらの押圧部材は、空気シリンダのシリンダロッドの下部に治具を介して取付けられており、基板搬送ロボット3で基板Pを基板載置台13に載置するときと、基板Pが載置された基板載置台13を移動するときと、基板搬送ロボット3で基板Pを基板載置台13から取り外すときに、上方向に逃げることができるようになっている。基板矯正装置6に対応する基板載置台13の位置が、基板Pを基板載置台13に載置したり取り外したりする位置である。
ステージ移動装置5には、ステージ5Aを介して基板載置台13が取り付けられている。ステージ移動装置5には、ステージ5Aを移動させる機構としてX軸テーブル11と、Y軸テーブル12と、Zテーブル(図示略)と、θテーブル(図示略)とが備えられている。ステージ移動装置5は、印刷装置7およびボール振込装置9の下方へステージ5Aおよび基板載置台13を搬送することができるようになっている。ステージ移動装置5は、X軸テーブル11により、ステージ5Aを基板矯正装置6と印刷装置7とボール振込装置9との間を往復させることができる。なお、基板Pが回転困難なテープ状の長尺の場合等では、θテーブルをボール振込ヘッドユニット14に配置することが好ましい。
基板Pを載置された基板載置台13が、X軸テーブル11により印刷装置7の下方へ移動させた後、フラックスFX(図5参照)を基板Pに印刷する。なお、フラックスFXが、予め他所または他工程で基板Pに印刷されている場合は、この印刷工程をスキップする。クリーニング装置8は、溶剤を含ませたシートまたはロールを用いて、印刷マスク15の下面に付着したフラックスを除去する装置である。
フラックスFXが印刷された基板Pは、基板載置台13に載置された状態で、ボール振込装置9の下方へX軸テーブル11により移動させられる。ステージ移動装置5は、基板Pに形成された電極T(図5参照)と振込マスク16に形成された開口17(図5参照)とを位置合せする。その後、振込マスク16上に、ボール供給装置18(図4参照)から導電性ボールとしての半田ボールB(図4参照)が供給される。供給された半田ボール(以下、単に、ボールと記載する)Bは、ボール振込ヘッドユニット14により振込マスク16上で移動させられて、開口17に振り込まれ、基板Pの電極T上に搭載される。
ボールBを搭載した基板Pは、ステージ移動装置5により基板Pの載置・取外し位置に戻される。そして、基板Pは、基板載置台13への吸着と基板矯正装置6による押圧が解除され、基板搬送ロボット3により検査装置10へ搬送される。ボールBの搭載ミスや余剰ボール等の検査が終了した後、基板Pは、基板搬送ロボット3により基板ストッカ2のアンロードポート2Bに収納される。ボール搭載ミスが継続的に少ない場合、検査を省略し、ボールBが搭載された基板Pをリフロー装置(図示略)に送る場合もある。
他方、検査装置10は、搭載不良を修正するリペア装置と一体の構成にして、ボール搭載装置1の外に設置しても良い。基板ストッカ2に収納された基板Pは、リフロー装置(図示略)に送られバンプを形成される。バンプを形成された基板Pは、次工程で処理が続くか、切断機で個別チップに切断される。
図2は、ボール振込装置9を上方から見た平面図である。
ボール振込装置9には、マスク枠19と、ボールBの振込マスク16と、開口17の形成領域20と、ボール振込ヘッド用Y軸駆動ユニット21と、ボール振込ヘッド用X軸駆動ユニット22と、ボール振込ヘッドユニット14と、ヘッド用スライダ23と、カメラ24A,24Bと、残留ボール除去ユニット25と、残留ボール除去用結束線状部材26とが備えられる。
形成領域20は点線で示され、形成領域20には、ボールBが振り込まれる開口17(図5参照)が形成されている。この領域内の開口17の配置を開口パターンとも呼ぶ。
振込マスク16に形成された開口17の直径は、振り込まれるボールBの直径より大きく、かつ、1個のボールBが通過できる大きさで、同時に2個のボールBが通過できない大きさである。なお、印刷マスク15(図1参照)に形成された開口の直径は、振り込まれるボールBの直径より小さい。フラックスFXが通過する印刷マスク15の開口と、ボールBが通過する振込マスク16の開口17とは異なる寸法であるが、開口パターンは同じである。
ボール振込装置9は、1台のカメラ24Aと、互いに離間して配置される2台のカメラ24Bとにより撮影される画像に基づき、電極Tと開口17との位置合わせを行う。2台のカメラ24Bは、移動してきた基板Pの位置マーク(図示略)が視野に入る位置に配設されている。これらのカメラ24Bは、ボール振込装置9の架台9Aに取付けられたペアのカメラで、基板Pの位置マーク(図示略)を画像認識して、基板Pの位置と角度を算出するために用いられる。カメラ24Bの視野は、例えば、2mm角に設定される。プレアライナ4は、カメラ24Bの撮影範囲から基板Pの位置マークが外れないようにする役目を有する。
一方、カメラ24Aは、ボール振込ヘッドユニット14と一緒に移動するカメラである。カメラ24Aは、開口17と電極Tとの位置ずれや振込マスク16の上面の位置マークを振込マスク16の上方から画像認識するために用いられる。なお、フラックスFXを印刷する場合も同様に位置合せをすることができる。
振込ヘッド用Y軸駆動ユニット21は、架台9A上に固定されている。一方、マスク枠19は、架台9Aに取付治具(図示略)を介して脱着可能に取付けられている。
ボール振込ヘッドユニット14は、ヘッド用スライダ23を介してボール振込ヘッド用X軸駆動ユニット22に移動可能に連結し、更にボール振込ヘッド用X軸駆動ユニット22は、ボール振込ヘッド用Y軸駆動ユニット21に対して移動可能に連結している。また、ヘッド用スライダ23には、Z軸駆動ユニット(図示略)が配設されている。このような駆動機構により、ボール振込ヘッドユニット14は、振込マスク16上を水平移動と上下移動ができるようになっている。ボールBが開口17に振り込まれて基板Pに搭載された後、基板載置台13を下方へ移動させて、ボールBを開口17(振込マスク16)から離間する。
図2において、ボール振込ヘッドユニット14を2台横方向に並べた例を記載したが、縦方向に並べること、ボール振込ヘッド27(図4参照)の形状を大きくしてボール振込ヘッドユニット14を1台としたり、逆に、1台のボール振込ヘッドユニット14に3個以上のボール振込ヘッド27を、一列または複数列に並べる構成としてもよい。
Y軸テーブル12は、振込マスク16等の下に隠れて上からは見えない。また、振込マスク16の下面にフラックスが付着するエラーが多発する場合、図示していないが、印刷装置7と同様に振込マスク16のクリーニング装置を設けることが好ましい。
ボール振込ヘッド27は、ボール供給装置18(図4参照)から基板P上に供給されたボールBを逸散させないように工夫されている。しかし、ボール振込ヘッド27に逸散したボールBが、振込マスク16上に残留する場合が生じる。この残留したボールBを振込マスク16から除去する装置が、残留ボール除去ユニット25である。残留ボール除去ユニット25は、残留ボール除去ユニット用スライダ28に取付けられ、Y軸方向に移動できるようになっている。
そして、残留ボール除去ユニット25には、残留ボール除去用結束線状部材26が取り付けられている。この残留ボール除去用結束線状部材26で振込マスク16上の残留ボールを押して、振込マスク16を清掃できるようになっている。残留ボール除去用結束線状部材26は、ボール振込ヘッド27に取り付けられる後述の結束線状部材33(図4,5,6等参照)と同様に捩じられて取り付けられても良く、あるいは、それに替えてゴムや金属のブレイド、空気を吹き出すエアナイフ、真空吸引でボールを吸引排除する機構等を用いることもできる。図2において、2組の残留ボール除去用結束線状部材26の間を空けて図示しているが、この間の部分についても、図示外の残留ボール除去用結束線状部材26が備えられ、振込マスク16上の残留ボールを全て清掃できるようになっている。
図3は、基板Pの一例としてのシリコンウエハを示し、図3の上段(A)はシリコンウエハの平面図、図3の下段(B)は図3(A)に示す点線円A内を拡大した図である。図3において、基板Pには、電極Tと、半導体集積回路SCと、スクライブラインSとが設けられる。電極Tは、形成領域(半導体集積回路の形成領域)SE内に設けられている。半導体集積回路SCは、スクライブラインSで4辺を囲まれ、スクライブラインSを切断することにより、個別の半導体集積回路チップとなる。この切断は、通常、ボールBを搭載した基板Pをリフロー炉でリフローした後や、実装工程の最後に行なわれる。
基板Pは、接続に必要な電極部分を除く領域を保護膜G(図5参照)により覆われ保護される構造となっている。基板Pに形成された半導体集積回路SCには、その外周部に外部接続端子(電極)が形成されているが、電極の面積が小さく、かつ、電極間の間隔が狭いので、そのピッチを拡大するために半導体集積回路の全面に再配線層が形成されている。電極Tは再配線された電極である。再配線の電極Tのピッチは、大略50〜400μmである。図3は、基板Pに形成された電極Tと、電極Tが形成されている電極Tの形成領域SEと、電極Tの配置とを説明するために判りやすく描いたものであり、電極Tの大きさや分布、および形成領域SEの形状は、実物とは異なり、更に相似していない。
基板Pは、直径が300mmや200mm等である。点線で囲われた多角形の形成領域SEに形成された電極Tの配置のパターンを電極パターンという。振込マスク16に形成されている開口17の開口パターンは、基板Pに形成された電極Tの電極パターンと一致したパターンである。
図4は、ボール振込ヘッドユニット14を前方から見た正面図である。ボール振込ヘッドユニット14には、ボール供給装置18と、ボール振込ヘッド27と、ボール供給管29と、回転モータ30と、ボール振込ヘッド用取付板31とが備えられている。ボールBは、30〜300μm程度と小さいので拡大して図示されている。図4に示される各構成部分の縮尺は一定ではない。
ボール供給装置18は、たとえば、特願2010−277086(特開2011−151374)に開示されている構成のものを用いることができる。ボール供給装置18との一例として開示される特願2010−277086(特開2011−151374)の構成は、ボール供給装置18に圧縮ガスを注入することによりボールを計量し供給する構成となっている。
なお、ボール供給装置18には、他の構成のものを用いることもできる。ボール供給装置18は、ボール振込ヘッド27一つに対して1台が配設されている。図4に図示されるボールBは、ボール振込ヘッドユニット14を移動させない状態で、ボール供給装置18から振込マスク16上に供給された状態を示されている。実際は、このようにボールBが1ヵ所に堆積しないで、飛散する。結束線状部材33は、ボール供給装置18から振込マスク16上に落下してきたボールBの飛散を防止する役目も果たす。
ボール振込ヘッド用取付板31をヘッド用スライダ23(図2参照)に取付けることにより、ボール振込ヘッド27は、ボール振込ヘッド用X軸駆動ユニット22、ボール振込ヘッド用Y軸駆動ユニット21およびZ軸駆動ユニット(図示略)と連結し、ボールBを振込マスク16上で移動させることができる。ボール振込ヘッドユニット14が移動するとボールBは中心部からボール振込ヘッド27の移動方向と反対方向へ偏る。ボール振込ヘッド27は、回転モータ30により自転し、ボールBを所定領域に囲い込むことができるようになっている。また、回転モータ30でボール振込ヘッド27を回転する必要がない場合は、回転モータ30を回転させないか、または設けないようにする。
図5は、ボールBが結束線状部材33に押されて移動し、振込マスク16の開口17から落下し、基板Pに設けられた電極T上に振り込まれる状態を示す断面図である。振込マスク16と基板Pとの間には、振込マスク16と基板Pとの間隔を所定の間隔に設定するスペーサ32が配置されている。図5は、図を判り易くするため、各部品の断面の斜線(ハッチング)を省略している。
振込マスク16には、ボールBが1個通る開口17が形成されている。開口17の直径は、ボールBの直径より5%以上30%以下の範囲で大きいことが好ましい。スペーサ32は、スクライブラインS(図3参照)や、開口17と開口17の間に配置されている。保護膜Gは、基板P(ウエハ)の能動面を保護するもので、電極Tの外周部を覆うように形成される。フラックスFXは、保護膜Gが被覆していない電極Tの上面に印刷され、保護膜Gの孔の中で、中央が少し盛り上がるように印刷されることが好ましい。
振込マスク16の厚みは、ボールBが開口17に安定して保持されるように、ボールBの頂点が振込マスク16の上面より下になるようになっている。ボールBの頂点が振込マスク16上面から下がる距離は、ボールBの直径の3%以上20%以下の範囲とすることが好ましい。このようにボールBが振込マスク16上面より沈むことにより、振り込まれた後のボールBと結束線状部材33とが接触し難くなる。振り込まれた後のボールBと結束線状部材33とが接触すると、移動する結束線状部材33によりボールBが回転させられ、ボールBに付着したフラックスが結束線状部材33に付着してしまう虞がある。結束線状部材33にフラックスが付着してしまうと振込マスク16にもフラックスが付着してしまう虞があり好ましくない。
結束線状部材33が、図5で左から右へ移動するとボールBは押されて次々と開口17へ振り込まれる。結束線状部材33は、図5〜図12に示すように、複数本の線状部材34が撚られた撚線35の両端を結束した(束ねた)構成となっている。結束線状部材33として束ねられた撚線35が、開口17上を通過する際に、開口17に亘る部分が僅かに下方へ向かって湾曲し、開口17の中へ僅かに入り込むことができる撓み性を有するように、線状部材34の太さ、材質、線状部材34の撚り数等が設定されている。このように撚線35が僅かに撓むことで、開口17内に振り込まれたボールBは、撚線35(結束線状部材33)により、電極T上に印刷されたフラックスFXの中に押し込まれ、基板Pに大きな衝撃を与えなければ、移動しない程度に保持される。振り込まれたボールBがフラックスFX中に押し込まれることで、後工程(基板搬送、検査、リフロー等)においてボールBが所定位置から離脱し難くすることができる。撚線の撓みは、開口17に振り込まれたボールBを上から僅かに押圧する程度であることが好ましい。
たとえば、線状部材34の太さ(直径)を3μm以上30μm以下とし、撚線35として撚られる線状部材34の本数を3本以上100本以下とすることで、結束線状部材33に上記の撓み性を付与できる。なお、これらの例示は、線状部材34の材質により適宜変更することが好ましい。
図6は、ボール振込ヘッド27を示す図である。図6の上段(A)は、ボール振込ヘッド27を前方からみた正面図であり、図6の下段(B)は、ボール振込ヘッド27を下方から見た底面図である。ボール振込ヘッド27には、結束線状部材33が取り付けられる取付部材36と、押え板37とが備えられる。取付部材36の上下方向に沿う断面の形状は、逆T字型をしている。
取付部材36の中心には、上下方向に沿って貫通孔38が形成されている。貫通孔38はボール供給管29に連通し、ボール供給装置18から振込マスク16上へボールBを通す通路となっている。ボール振込ヘッド27は、回転モータ30により矢印Rの方向に回転する。
図7は、結束線状部材33のボール振込ヘッド27への取り付けの構造を示す図である。図7に示すように、本発明の実施の形態に係るボール振込ヘッド27においては、結束線状部材33は、取付部材36の下面36Aの下側に配置されるように、取付部材36に取り付けられている。
下面36Aは、振込マスク16の上面に対向する面である。押え板37は、結束線状部材33の取付部材36への固定部分(取り付けを行う部分)にボールBを付着させない目的等で備えられている。図7に示す矢印Rは、ボール振込ヘッド27によりボールBを開口17に振り込む際のボール振込ヘッド27の回転方向を示す。なお、ボール振込ヘッド27は、ボール振込ヘッド用Y軸駆動ユニット21およびボール振込ヘッド用X軸駆動ユニット22により振込マスク16上を移動される。
結束線状部材33の取付部材36への取り付け位置は、下面36Aとされているが、取付位置は、取付部材36の側面でも良い。側面に取り付けることにより、結束線状部材33の水平部分の長さを長くとることができる。結束線状部材33は、取付部材36に取り付けられたときに、下面36Aとの間に間隔を有することが好ましい。取付部材36に取り付けられた結束線状部材33と下面36Aとの間に間隔が形成されることで、結束線状部材33は上下に撓むことができ、ボールBを開口17内に押し込む弾性を発生させることができる。
ここで、図8、9を参照しながら、結束線状部材33の構成について詳しく説明する。図8は、取付部材36に取り付ける前の結束線状部材33を示す図であり、結束線状部材33の全体的な構成を示す図である。図9は、結束線状部材33の線状部の構成を示す図である。
図8に示すように、結束線状部材33は、複数の撚線35の両端を固定リング39で結束した(束ねた)ものである。固定リング39は、カシメ部39Aにて複数の撚線35を押圧し束ねている。つまり、複数の撚線35の両端が固定リング39のカシメ部39Aによりかしめられ束ねられることにより結束線状部材33が構成されている。
固定リング39は、全体として円筒型をしているが、結束線状部材33をかしめるカシメ部39Aは、多角形(6〜8角形)に変形され、結束線状部材33をかしめている。上述したように、結束線状部材33の両端は固定リング39のカシメ部39Aによりかしめられている。
結束線状部材33は、カシメ端部33A(カシメ部39Aと接触する部分)にカシメの応力に加えて、移動に伴う結束線状部材33の変形による応力もかかる。そのため、結束線状部材33はカシメ端部33Aの近傍で破断しやすい。その破断を防止するために、カシメ端33Aの近傍と固定リング39とを弾性のある樹脂で接着することにより、カシメ端33Aに作用する応力の集中を緩和できる。なお、結束線状部材33を捩じった状態で取付部材36に取り付けたとき、カシメ端部33Aの近傍を弾性のある樹脂で固定することにより、カシメ端部33Aの近傍部分の寿命を長くすることができる。
図9を参照しながら、結束線状部材33の線状部の構成について説明する。図9の左欄(A)は、取付部材36に捩じられた状態で取り付けられた結束線状部材33の一部分を拡大して示す図である。図9の右欄(B)は、結束線状部材33として撚られる一本の撚線35を拡大して示す図である。図9(A)(B)は、ボール振込ヘッド27を上方から見てボール振込ヘッド27の回転中心から外周に向かう方向を矢印Pで示す方向として描かれている。また、矢印Rは、ボール振込ヘッド27の回転による結束線状部材33の移動方向を示す。
図9(B)に示すように撚線35は、複数の線状部材34を撚って形成されている。複数の線状部材34が撚られることで、撚線35には撚り合される線状部材34の撚り目が凹凸35Aとして形成される。図9(B)では、3本の線状部材34を撚って撚線35として形成した例を示しているが、4本以上の線状部材34を撚って撚線35として形成してもよい。
撚線35の直径は、線状部材34の材質やボールBの直径等を考慮して設定されるが、9μm以上1200μm以下が好ましい。結束線状部材33がボールBを押してボールBを移動させること等を考慮すると、ボールBの直径に応じて撚線35の直径を設定することが好ましい。つまり、ボールBの直径が小さいほど撚線35の直径を細くする方が好ましく、逆に、ボールBの直径が大きくなるほど撚線35の直径を大きくすることが好ましい。
また、結束線状部材33として結束される撚線35の束数(以下では「本数」と呼ぶ。)は、10束以上30000束(以下では「本」と呼ぶ。)以下であることが好ましい。結束される撚線35の本数は、撚線35の直径にも依存するが、結束される本数が少ないとボールBが結束線状部材33を乗り越え易くなり好ましくない。逆に、結束される本数が多すぎると結束線状部材33が太くなり過ぎ、ボール振込ヘッド27が大型化し易く好ましくない。また、撚線35の本数が多すぎると、撚線35が開口17の上を通過する回数が多くなり過ぎ、振り込まれた後のボールBと結束線状部材33とが接触する可能が高まる。ボールBと結束線状部材33とが接触するとボールBに付着したフラックスが結束線状部材33に付着してしまう虞がある。結束線状部材33にフラックスが付着してしまうと振込マスク16にもフラックスが付着してしまう虞があり好ましくない。
撚線35が結束された結束線状部材33の断面は、全体として円形となる。結束線状部材33は、振込マスク16に押し付けられると、振込マスク16と接触する部分は押し潰され平になり、結束線状部材33の断面は、結束線状部材33の振込マスク16への押し付け方向につぶれた扁平した円形となる。結束線状部材33は、扁平させられることで振込マスク16との接触面積が増やされる。これにより、ボールBの移動をより確実に行うことができる。
図7に示すように、取付部材36の下面36Aには、結束線状部材33を取り付けるための穴40が形成されている。穴40は、取付部材36の外周側と内周側に形成されている。穴40が外周側と内周側との各側に、ボール振込ヘッド27に取り付けられる結束線状部材33の本数分形成されている。外周側に形成される穴40と内周側に形成される穴40との2つの穴40が一対となって一本の結束線状部材33をボール振込ヘッド27に取り付ける。
結束線状部材33の両端を束ねる固定リング39の一方が外周側の穴40に挿入され、他方が内周側の外周側の穴40に挿入されることで、結束線状部材33が取付部材36に取り付けられる。固定リング39は、穴40へ挿入され、押え板37により固定が補強されている。穴40は、深さ方向を下方から上方に向かって、結束線状部材33の移動方向(矢印R ボール振込ヘッド27の回転方向)に傾斜するように形成されている。言い換えれば、穴40から下方に出る結束線状部材33は、結束線状部材33の移動方向Rに対して後方に向けて傾斜している。本実施の形態においては、鉛直に対して下方から上方に向かって、結束線状部材33の移動方向Rに向かって40度傾斜している。
穴40は、結束線状部材33の傾き等の取付仕様に対応して加工される。取付角度は、20度以上90度未満とすることが好ましい。更に、穴40の位置は、取付部材36の下面36Aに限定されず、取付部材36の側面でも良い。結束線状部材33の固定位置は、両端が取付部材36の側面、一方の固定端が取付部材36の側面で他方が下面36Aであ
っても良い。
結束線状部材33は、図6(B)に示すように、ボール振込ヘッド27の外周側の一端側を内周側の他端側よりもボール振込ヘッド27の回転方向(矢印R)の前方に配置させるように、ボール振込ヘッド27に対して取り付けられている。ボール振込ヘッド27が回転すると、結束線状部材33に押されるボールBもボール振込ヘッド27と共に回転する。したがって、ボールBには、遠心力によりボール振込ヘッド27の外周側に移動させようとする力が作用する。しかしながら、上述のように、結束線状部材33はボール振込ヘッド27の内周側から外周側に向かってボール振込ヘッド27の回転方向前方に向かって傾斜している。そのため、ボールBがボール振込ヘッド27の外周側に移動し難い。すなわち、ボールBがボール振込ヘッド27の外側に出難い。
図6(B)に示すように、結束線状部材33は、一端から他端側に向かって捩じられた状態で取付部材36に取り付けられている。たとえば、結束線状部材33の長さが50mm、固定リング39の内径の直径が2mm、線状部材34がナイロンで撚線35の直径が9μmの場合、捩じり角度を、5度以上720度以下とすることが好ましく、より好ましい捩じり角度は、45度以上360度以下である。
捩じり角度が小さ過ぎると、撚線35同士の捩じりによる押圧力が小さく、結束線状部材33がばらけ易い。逆に、捩じり角度が大き過ぎると、撚線35と撚線35同士とが撚られてしまい、結束線状部材33にうねりが発生していまい、振込マスク16と結束線状部材33とが当接しない個所が生じてしまう虞が生じる。撚線35の太さ(直径)および長さや、束ねられる撚線35の本数等により、捩じり角度による撚線35同士の押圧力の程度は異なる。撚線35同士がほど良く押圧されるように、撚線35の直径および本数と、撚線35に撚られる線状部材34の材質、線径および撚られる本数と、結束線状部材33の長さと、固定リング39の内径等を設定する。
図10は、捩じった結束線状部材33の中央部付近の概略の拡大図であり、ボール振込ヘッド27を上方から見てボール振込ヘッド27の回転中心から外周に向かう方向を矢印Pで示している。矢印Rは、ボール振込ヘッド27の回転による結束線状部材33の移動方向を示す。図10の上段(A)は、結束線状部材33をボール振込ヘッド27の内周側から外周側に向かって中心線Xを中心として左方向に捩じった状態を示す図である。図10の下段(B)は、結束線状部材33をボール振込ヘッド27の内周側から外周側に向かって中心線Xを中心として右方向に捩じった状態を示す図である。
ボール振込ヘッド27が回転するとボールBはボール振込ヘッド27の回転方向に移動しながら回転の遠心力で結束線状部材33に沿って外周方向にも移動する。ボールBの結束線状部材33に沿った外周方向への移動に対して、結束線状部材33の捩じりの向きがボールBを結束線状部材33の下側(振込マスク16側)に入り込ませる向きとなっていると、結束線状部材33と振込マスク16との間に挟まれたボールBが結束線状部材33の撚線35と撚線35との間に入り込み易くなり好ましくない。ボールBが、結束線状部材33の撚線35と撚線35との間に入り込むと、次の基板Pに対してボール搭載を行う際、前回のボール搭載におけるボールが酸化した状態で混ざり込んでしまう虞がある。また、フラックスも入り込んで酸化してしまう虞がある。
ボールBの結束線状部材33に沿った外周方向への移動に対して、結束線状部材33の捩じりの向きがボールBを結束線状部材33の上側に移動させる向きとなっていると、ボールBが結束線状部材33と振込マスク16との間に入り込み難くなる。
つまり、図10(A)に示すように、結束線状部材33をボール振込ヘッド27の内周側から外周側に向かって中心線Xを中心として左方向に捩じっている場合は、ボールBは、撚線35と撚線35との合わせ目に沿って上方に移動する。そのため、ボールBが、結束線状部材33の撚線35と撚線35との間に入り込み難い。これに対し、図10(B)に示すように、結束線状部材33をボール振込ヘッド27の内周側から外周側に向かって中心線Xを中心として右方向に捩じっている場合は、ボールBは、撚線35と撚線35との合わせ目に沿って下方に移動する。そのため、ボールBが、結束線状部材33の撚線35と撚線35との間に入り込み易くなる。
撚線35についても、図9(B)に示すように、結束線状部材33の捩じり方向と同一方向の撚り方向とし、ボール振込ヘッド27の内周側から外周側に向かって左方向に捩じることが好ましい。撚線35についても、結束線状部材33の移動によりボールBを上方に向かわせる方向に撚ることで、結束線状部材33の撚線35と撚線35との間にボールBを入り込み難くすることができる。
なお、結束線状部材33の捩じり方向、あるいは撚線35の撚り方向の少なくとも一方が、上述の右方向であってもよい。右方向の場合には、上述したように、結束線状部材33の移動(ボール振込ヘッド27の回転)に際して、ボールBが結束線状部材33と振込マスク16との間に入り込み易くなる。しかしながら、結束線状部材33を撚線35により構成することで、ボールBが撚線35の凹凸35Aに引っ掛かり移動し易くなる。そのため、結束線状部材33を撚りの無い線状部材により構成する場合に比べて、ボールBを移動し易く、これによりボールBを開口17内に振り込み易くなる。
なお、ボール振込ヘッド27の回転方向が矢印Rと反対方向になる場合には、結束線状部材33の捩じり方向および撚線35の撚り方向を右方向とすることで、ボールBを撚線35と撚線35との合わせ目に沿わせて上方に移動させ易くなる。
図11は、中央部が膨らんだ結束線状部材33が捩じられた状態を示している。線状部材34がナイロン、ポリエステル等の場合は、結束線状部材33の中央部は膨らむ。これに対して、線状部材34が金属線の場合には、中央部に膨らみは殆ど生じない。これは、撚線35をその両端でカシメ固定するとき、剛性の小さいプラスチック線が不規則に移動し、結合リング間の一本一本の線状部材34の長さが変化することが原因の1つである。
図12は、結束線状部材33を湾曲させ、かつ、捩じった状態を示す。結束線状部材33は、全体が直線状ではなく、下方へ曲がるように取付部材36に取り付けられる。結束線状部材33は曲げられることにより、中央部Cが両端と比較して扁平した楕円形状になる。結束線状部材33は、中央部Cの近傍で振込マスク16に押し付けられると、楕円形は更に扁平した形状になる。なお、結束線状部材33を捩じらずに下方に曲げて振込マスク16に当接させると、中央部C近傍が極めて薄く扁平し、さらに曲げると中央部C近傍の結束線状部材33の高さ方向で重なる撚線35の本数は数本となり、最後には1本となる。
撚線35の高さ方向での重なりの本数が少なくなると、結束線状部材33がボールBを押したときに、ボールBが結束線状部材33を乗り越え易くなり、結束線状部材33によ
りボールBを押す効率が下がる。しかし、捩じった結束線状部材33の場合は、捩じりの効果により、捩じらない結束線状部材33のように撚線35が高さ方向で重ならないほどに扁平してしまうことはない。したがって、結束線状部材33を捩じることにより、結束線状部材33を構成する撚線35の本数を少なくしても、撚線35を高さ方向で重ねた状態でボールBを送ることができ、結束線状部材33のボールBを押す効率の低下を防ぐことができる。
(本実施の形態の主な効果)
上述したように、ボール振込ヘッド27に備えられる結束線状部材33は、複数の撚線35が束ねられて構成されている。そして、撚線35は、複数本の線状部材34を撚って形成されている。複数本の線状部材34を撚ることで、隣接する線状部材34の合わせ目(撚り目)が凹凸35Aとして形成される。また、撚線35が束ねられた結束線状部材33は捩じられた状態でボール振込ヘッド27に取り付けられている。
撚線35に凹凸35Aが形成されることで、結束線状部材33によりボールBを押す際に、ボールBが凹凸35Aに引っ掛かり移動し易くなる。そのため、線状部材が撚られることなく束ねられた構成の結束線状部材に比べて、撚線35を束ねた結束線状部材33の方がボールBを移動し易く、これによりボールBを開口17内に振り込み易くなる。
線状部材34を単に束ねた構成に比べて、線状部材34を撚った構成の方が結束線状部材33の強度を高くできる。一方、単線での線状部材の太さを撚られた撚線35の太さと同じにした場合、強度は高くなるものの、線状部材の柔軟性が低く(剛性が高く)なり、これに伴って結束線状部材33の柔軟性も低くなる。結束線状部材33の柔軟性が低いとボール振込ヘッド27の上面への追従性が低下し易く、ボールBが結束線状部材33の下を通過し易くボールBの移動を効率的に行えない虞が生じる。これに対し、細く柔軟性の高い(剛性が低い)線状部材34を撚ることで、柔軟性の低下を抑えつつ強度の高い結束線状部材33を構成することができる。これにより、ボールBの移動を効率的に行うことができる。
結束線状部材33は、複数の撚線35が束ねられた構成である。撚線35に柔軟性を持たせることで、撚線35が開口17から下方へ向かって僅かに湾曲し、開口17の中へ僅かに入り込むことができる撓み性を持たせることができる。撚線35が僅かな撓み性を有することで、開口17内に振り込まれたボールBは、撚線35(結束線状部材33)により、電極T上に印刷されたフラックスFXの中に押し込まれ、基板Pに大きな衝撃を与えなければ、移動しない程度に保持される。
また、単線での線状部材の太さを、撚線35の太さと同じにし、線状部材を撚ることなく結束線状部材を構成した場合には、線状部材の剛性が高すぎ、ボールBを損傷させてしまう虞がある。特に、線状部材を金属材とした場合には、線状部材の剛性が高くなり易い。これに対し、本実施の形態のように、線状部材34を金属材で形成すると共に細く形成し、これを撚り撚線35とすることで、耐久性と柔軟性を有する結束線状部材33を構成することができる。
撚線35として撚られる線状部材34の本数は、撚線35の直径(太さ)がボールBの半径以上、かつ、直径の2倍以下となる本数とすることが好ましい。
撚線35の直径が、ボールBの半径未満となると、撚線35がボールBを押す際に撚線35がボールBの下側に入り込み易くなり、ボールBの移動を行い難くなる。また、撚線35の直径がボールBの直径の2倍を超えると、ボールBが撚線35の下側に入り込み易くなり、ボールBの移動を行い難くなる。
撚線35の直径がボールBの直径の±20%以内になるように、線状部材34の本数を設定することで、ボールBの移動を行い易くなる。
なお、具体的には、撚線35の直径をボールBの直径に対して上述の関係を保持しながら、線状部材34の線径を3μm以上30μm以下とし、撚線35として撚られる線状部材34の本数を3本以上100本以下とすることが好ましい。線状部材34の線径を3μm以上30μm以下とし、撚線35として撚られる線状部材34の本数を3本以上100本以下とすることで、撚線35の柔軟性の低下を抑えつつ強度を確保することができる。
結束線状部材33として束ねられる撚線35の本数は、10本以上30000本以下であることが好ましい。
結束線状部材33として束ねられる撚線35の本数が、10本未満となるとボールBが結束線状部材33を乗り越え易くなりボールBを移動し難くなる。一方、結束線状部材33として束ねられる撚線35の本数が、30000本を超えると、撚線35が開口17の上を通過する回数が多くなり過ぎ、一旦振り込まれたボールBが掻き出されてしまう虞が高くなる。結束線状部材33として束ねられる撚線35の本数は、200本以上10000本以下とすることで、ボールBの結束線状部材33の乗り越えを効果的に抑えつつ、かつ、一旦振り込まれたボールBが掻き出されてしまう虞を効果的に低くすることができる。
線状部材34は、ナイロン繊維、ポリエステル繊維、ポリイミド繊維、液晶ポリマー繊維や導電性高強度繊維等のプラスチック線であってもよいが、金属材であることが好ましい。線状部材34を金属材とすることで、耐摩耗性および耐薬品等の耐久性が向上する。耐摩耗性が向上することで、擦れによる塵埃の発生を抑えることができ信頼性の高いボール搭載を行うことが可能になる。金属材としては、ステンレス、タングステン、アモルファス金属の他、鉄、パーマロイ、銅等を用いることができる。線状部材34をステンレスにより形成する場合は、細線化が行い易く、また、一般に、タングステンやアモルファス金属に比べて安価な材料である。また、線状部材34をタングステンにより形成する場合は、細線化が行い易く、ステンレスに比べて強度を高くすることでき耐摩耗性を向上させることができる。また、線状部材34をアモルファス金属により形成する場合は、細線化が行い易く、タングステンに比べて強度を高くすることでき耐摩耗性を向上させることができる。
ボール搭載装置1は、基板Pに形成された電極Tの配置パターンに開口17の配置パターンを一致させた振込マスク16と、基板Pを載置して、電極Tを開口17に位置合せするステージ5Aと、電極Tにバンプを形成するボールBを振込マスク16上に供給するボール供給装置18と、振込マスク16上に供給されたボールBを開口17に振り込むボール振込ヘッド27とを有する。
ボール振込ヘッド27が、上述の構成を有するため、ボール搭載装置1は、振込マスク16上に供給されたボールBをより確実に移動することができる。
上述の実施の形態の説明おいて、ボールBは、半田ボールの他、金属ボール、導電性プラスチックボール、導電性セラミックボール等の導電性を有するものであればよい。ボールBの形状は、球状以外に、多角形や表面に凹凸がある粒状であってもよい。線状部材34は、ナイロン繊維、ポリエステル繊維、ポリイミド繊維、液晶ポリマー繊維等のプラスチック線や、カーボン繊維や、導電性高強度繊維等であってもよく、形状として扁平形状にした線や、断面が矩形のリボンや、鎖状のものであってもよい。
基板Pは、プリント配線板の場合もある。プリント配線板は、電子部品を固定して配線するための板状またはフィルム状のものであってもよい。フラックスFXは、半田等の濡れ性を増すためのもので、ボールBが例えば金ボールの場合、ペースト半田となる。また、フラックスFXは、ロジン系と水溶性系の何れでも良いが、振り込まれたボールBが移動しないように、粘着力が大きい組成を選択することが好ましい。
1 … ボール搭載装置
5A … ステージ
16 … 振込マスク
17 … 開口
18 … ボール供給装置
27 … ボール振込ヘッド
33 … 結束線状部材
34 … 線状部材
35 … 撚線
B … ボール(導電性ボール)
P … 基板
T … 電極

Claims (7)

  1. 基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスクに沿わせて移動させることで前記振込マスク上に供給された複数の導電性ボー
    ルを前記複数の開口に振り込む結束線状部材において、
    複数本の線状部材が撚られて形成した撚線が複数束その両端で束ねられ、その両端が固定リングにより弾性のある樹脂を介してカシメ固定され、
    前記線状部材の線径を3μm以上30μm以下とし、前記撚線として撚られる前記線状部材の本数を3本以上100本以下とする、
    ことを特徴とする結束線状部材。
  2. 請求項1に記載の結束線状部材において、
    前記撚線として撚られる前記線状部材の本数は、前記撚線の直径が前記導電性ボールの半径以上かつ直径の2倍以下となる本数とする、
    ことを特徴とする結束線状部材。
  3. 請求項1または2記載の結束線状部材において、
    前記結束線状部材として束ねられる前記撚線の束数は、10束以上30000束以下である、
    ことを特徴とする結束線状部材。
  4. 請求項1から3のいずれか1項に記載の結束線状部材において、
    前記線状部材は、金属線である、
    ことを特徴とする結束線状部材。
  5. 基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスク上に供給された複数の導電性ボールを複数本の線状部材により前記複数の開口に振り込むボール振込ヘッドにおいて、
    前記複数本の線状部材を撚って形成した撚線が複数束その両端で束ねられ、かつ、その両端が固定リングにより弾性のある樹脂を介してカシメ固定された結束線状部材を有し、
    前記線状部材の線径を3μm以上30μm以下とし、前記撚線として撚られる前記線状部材の本数を3本以上100本以下とし、
    前記結束線状部材は、一端から他端に亘って捩じられた状態とされ、
    前記結束線状部材を前記振込マスクに沿わせて移動させることで前記複数の導電性ボールを前記複数の開口に振り込む、
    ことを特徴とするボール振込ヘッド。
  6. 基板に形成された複数の電極の配置パターンに複数の開口の配置パターンを一致させた振込マスクと、
    前記基板を載置して、前記複数の電極のそれぞれを対応する前記開口に位置合せするステージと、
    前記複数の電極にバンプを形成する複数の導電性ボールを前記振込マスク上に供給するボール供給装置と、
    前記振込マスク上に供給された前記複数の導電性ボールを前記複数の開口に振り込むボール振込ヘッドと、
    を有するボール搭載装置において、
    前記ボール振込ヘッドは、請求項5に記載のボール振込ヘッドである、
    ことを特徴とするボール搭載装置。
  7. 請求項6に記載したボール搭載装置を用いて、基板に形成された複数の電極に複数の導電性ボールを搭載する、
    ことを特徴とするボール搭載方法。
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