JP2005005532A - 細線チップの製造方法および製造装置 - Google Patents

細線チップの製造方法および製造装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005005532A
JP2005005532A JP2003168175A JP2003168175A JP2005005532A JP 2005005532 A JP2005005532 A JP 2005005532A JP 2003168175 A JP2003168175 A JP 2003168175A JP 2003168175 A JP2003168175 A JP 2003168175A JP 2005005532 A JP2005005532 A JP 2005005532A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
fine
wires
stranded
cutting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003168175A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4168389B2 (ja
Inventor
Yuichi Nishi
雄一 西
Tsukasa Mikamoto
司 三家本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP2003168175A priority Critical patent/JP4168389B2/ja
Publication of JP2005005532A publication Critical patent/JP2005005532A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4168389B2 publication Critical patent/JP4168389B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L24/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/43Manufacturing methods
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00011Not relevant to the scope of the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01015Phosphorus [P]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01047Silver [Ag]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Wire Processing (AREA)

Abstract

【課題】品質が高く低コストで微小金属球を製造できる細線チップ用の素材を提供する。
【解決手段】少なくとも2本の細線が撚り合わされた撚り線をその長手方向に所定長さに切断することにより上記課題は解決される。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、細線チップを製造する技術に係るものであり、詳しくは、細線チップを溶融し、球状化させて微小な金属球を得る溶融法において用いられる細線チップを得るに好適な製造装置および製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、真球度が高く、直径の揃った微小金属球が様々な分野で要求されている。例えば電子機器の分野では、FC(Flip Chip)、BGA(BallGrid Array)、或いはCSP(Chip Size Package)などエリアアレイ型の接続端子を有するパッケージが広く用いられるようになっている。エリアアレイ型パッケージは、並設された入出力用の接続端子をその裏面に有し、例えば表面に半田が被覆された銅ボールや半田ボールなど微小金属球がその接続端子に配列され、実装基板上に搭載され、一括リフローされることにより、実装基板と接続される。
【0003】
電子機器の高性能化および小型、薄型化に伴い、パッケージは多端子化するとともに接続端子の配列ピッチは狭小化する傾向にある。そのようなパッケージにパッケージングされる電子部品を実装基板に実装する場合や、そのようなパッケージを実装基板に実装する場合には、平面方向において高精度に位置合わせをする必要がある。さらに一部の電子機器では、耐衝撃性や放熱性の改善のため、高さ方向、つまり電子部品或いはパッケージと実装基板との間の空隙を高精度に保持する必要がある。すなわち、このような電子機器において、電子部品或いはパッケージと実装基板とを接続する微小金属球は、互いを電気的に導通させるのみならず、空隙を保持するためのスペーサとしても機能するものである。その空隙の間隔は数百μm以下であり、さらにその間隔を一様に保持する必要がある。したがって、スペーサとして機能する微小金属球としては、その直径が数百μm以下と径小で、直径のバラツキが小さく、さらに真球度が高いものが採用される。
【0004】
通常、電気的導通のみを目的とした微小金属球としては、融点の低いSn基のはんだ合金を主体としたものが使用される。しかしながら、スペーサとしての機能が要求される用途では、リフロー時の変形を避けるために、融点の高いCu等を主体とした微小金属球にはんだ合金を被覆したものが採用される。
【0005】
なお上記説明以外でも、例えば機械装置の分野において、小型ベアリング用のボールとしてステンレスを主体とした真球度が高く直径の揃った微小金属球が望まれている。
【0006】
前記微小金属球は、例えば、その体積と同一の体積を有する細線を切断した同材質の細線チップを準備し、細線チップを、その融点より高温の油中に投入し、溶融した細線チップの表面張力で球状化させ、微小金属球を得る油中溶融法、或いは細線チップの融点より高温の雰囲気に加熱された炉芯管に投入し、自由落下させながら球状化させる気中溶融法など、溶融法により製造される。
【0007】
溶融法で用いる前記細線チップの製造方法の一例が下記特許文献1に開示されている。特許文献1には、「複数本の金属細線を束ねて塩化ビニール等の樹脂で被覆し、これを一定長さに切断した後に被覆をはがして、一定長さの金属線を取り出」し、或いは「複数本の金属線をテープの間に平行に並べて挟み込み、このテープを一定幅に切断してから金属線を取り出」し、微小金属球の材質と同一の金属からなる細線を長手方向に定寸切断して細線チップを得る製造方法が提案されている。
【0008】
特許文献1で例示される細線を定寸切断し細線チップを得る方法によれば、長手方向に一定の直径を有する細線を定寸切断することにより、体積のバラツキ範囲の少ない細線チップを容易に得ることができ、従って、前記溶融法において、直径のバラツキが小さな微小金属球を製造することができる。
【0009】
さらに、特許文献1の方法によれば、樹脂やテープなど結束剤で束ねられた複数本の細線を定寸切断するので細線チップを効率的に製造できるとともに、金属細線の直径が径小になった場合でも、径小化による金属細線の剛性低下に起因する切断精度の低下、切断不良または金属細線自体の破断などの現象の発生を抑制することが可能となり、さらに体積のバラツキの少ない細線チップを得ることができるという利点がある。
【0010】
しかしながら、特許文献1の製造方法によれば、複数本の金属細線を結束剤(樹脂、テープ)で束ねる必要があり、金属細線を切断した後に結束剤を細線チップから除去する工程が別途必要になるためコスト高になるという経済的な問題があった。さらに、樹脂やテープの除去が不完全な場合にはその残渣が微小金属球に混入するという品質上の問題があった。
【0011】
【特許文献1】
特開平3−180401号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述した問題を解決するため本発明者らが鋭意検討しなされたものであり、品質が高く低コストな微小金属球を製造可能な細線チップの製造装置および製造方法を提供することを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、少なくとも2本の細線が撚り合わされた撚り線をその長手方向に所定長さに切断する本発明により達成される。すなわち、本発明の製造方法によれば、細線が寄り合わされた、つまり所定のピッチで互いに巻回されてなる撚り線は、単一の細線に比べて剛性が高いので細線チップの体積バラツキを小さくすることができ直径の揃った微小金属球が製造されるとともに、細線を束ねる際に結束剤を用いる必要がないので、結束剤の除去工程が不要となり経済的に微小金属球が製造され、また、結束剤の残渣が混入することがない高品質な微小金属球が製造される。なお、細線の断面形状は、略円形状または略矩形状、略三角形状など種々の形状を選択することができる。
【0014】
さらに、前記細線を撚り合わせて撚り線を形成する工程で撚り線を形成しつつ、その撚り線をその長手方向に所定の長さに切断すれば、予め撚り線を準備する必要がなく、したがって、所望の撚り線を任意に形成することができ生産の自由度が高いので好ましい。
【0015】
さらに、上記発明において、撚り線の切断部位に流体(例えば空気や窒素など気体、或いは水や油など液体)を吹付ければ、切断された撚り線は流体により即座に解かれて個々に分離され、効率的に細線チップを得ることができるので好ましい。
【0016】
上記発明は、少なくとも2本の細線を撚り合わせて撚り線を形成する撚り線形成部と、撚り線をその長手方向に所定の長さ切断する切断部とを有する本発明の製造装置により実施される。さらに、撚り線が切断される位置に流体を吹付ける流体供給手段を設けることで、切断された撚り線を個々に分離する上記発明が実施される。
【0017】
なお、細線のうち少なくとも一本を芯線とし、残余の細線を該芯線に巻回して撚り線を形成すれば、撚り線の屈曲が抑制され、搬送時や切断時の撓みが少ないためにより切断不良が低減され好ましい。さらに、前記芯線を1本とし、その芯線に6本の細線を巻回したものとすれば、その切断端部の解け方を一様にでき、もって細線チップの体積バラツキを小さくできるので好ましい。
【0018】
細線の直径は特に限定されるものではないが、剛性が低下し切断不良の生じやすい直径100μm以下の細線を切断して細線チップを製造する場合において本発明は好適である。
【0019】
なお、細線を巻回するピッチを小さくすれば撚り線の剛性を高くすることができるが、細線が斜めに切断されるため得られる細線チップの体積のバラツキが大きくなり、さらに、端部が解けにくく切断不良が生じやすい。また、細線の巻回ピッチを大きくすれば、切断端部は解けやすく得られる細線チップの体積バラツキも少ないが、素材の剛性が低下するため切断不良が生じやすい。もって、細線の巻回ピッチは、細線チップの長手方向の長さより大きく、撚り線の剛性を維持できるピッチを選択する必要がある。
【0020】
さらに、細線の素材は特に限定されることはなく、例えばNiまたはW、Mo、Snを主体としたものでもよいが、前記パッケージに採用する微小金属球を製造するためには、CuまたはAu、Agを主体とした細線であることが望ましい。
【0021】
【発明の実施の形態】
本発明の製造方法および製造装置ついて図面を参照し説明する。
[実施態様1]
図1、2は、細線を撚り合わせてなる撚り線の断面図と平面図であり、本発明の第1態様を説明する図である。図3は、図1の撚り線を切断し、細線チップを製造する製造装置の概略構成図である。
【0022】
本発明で細線チップを製造するために用いられる撚り線1は、図1に示すように、少なくとも2本(本態様では6本)の細線11を有し、それぞれの細線11が互いに所定のピッチPで巻回され、撚り合わされてなるものである。このように複数本の細線11を互いに巻回することにより細線11同士が撚られた状態となり、接着剤などを用いることなく機械的に結束された細線11により剛性の高い素材1が形成される。
【0023】
さらに、図2に示すように、基本的には前記撚り線1と同様であるが、複数本の細線21のうち少なくとも1本を芯線211とし、残余(本態様では6本)の細線212は芯線211に所定のピッチPで巻回された撚り線2とすれば、撚り線1と同様に細線21同士は機械的に結束される一方で、撚り線2の中心部に位置する芯線211により撚り線2自体の屈曲が抑制されるので好ましい。
【0024】
予め準備された上記撚り線1,2は、図3に一例を示すように、その長手方向に所定の長さに切断する切断部31を具備した製造装置3により、その長手方向に所定の長さに切断され、細線チップとなる。
【0025】
この製造装置3の構成について詳しく説明する。上記切断部31は、供給された撚り線1,2を所定の長さ毎に下方(一方)へ間欠的に送り出す送りユニット32と、所定の長さ毎に送り出された撚り線1,2を切断する切断ユニット33とを有している。なお、撚り線1,2は、例えば図示するようにボビン34に予め巻き取っておき、ガイドローラなどで支持されながら送りユニット32へ供給される。
【0026】
送りユニット32は、図示するように、ボビン34から供給された撚り線1,2を挟持する一対のローラ321を有し、一方のローラは、その回転を制御する制御装置(図示せず。)によって所定の回転角度毎に間欠的に回転可能になされている。従って、ローラ321に挟持された撚り線1,2は、所定の長さ毎に下方に送り出されることとなる。
【0027】
切断ユニット33は、上記送線ユニット32から送り出された撚り線1,2が挿通可能な孔部351が形成されたダイ35と、撚り線1,2の長手方向に対し略直交する方向に横動可能でダイ33の下方に配設された撚り線1,2を切断するカッター36とを有している。カッター36は、前記制御装置の制御により前記一方のローラ321の回転動作に同期して間欠的に作動され、したがって、送り出された撚り線1,2は所定の長さ毎に切断される。
孔部351の直径は、孔部351の中での撚り線1,2のふらつきを防止して切断精度の低下や切断不良を抑制するために、撚り線1,2の直径に対し5倍以下とすることが望ましい。さらに、孔部351の直径が小さい場合には、孔部351の内壁に撚り線1,2が接触し易く、撚り線1,2の断線や引掛りによる送り不良が生じやすいので、撚り線1,2の直径に対し2倍以上とすることが望ましい。さらに加えて、3倍以上〜4倍以下とすれば好適である。
【0028】
上記により切断された撚り線1,2は機械的に撚り合わされているので、その殆どは自然に解けて個々に分離するが、例えば切断後の撚り線1,2に超音波振動や空気の吹付けなど所定の外力を作用させれば、より確実に細線チップを分離することができる。
【0029】
なお、撚り線1,2を切断し細線チップを製造する装置の構成は、上記説明に限定されることなく、例えば、撚り線1,2を連続的に送り出しながら、カッターを間欠的に作動させて、所定の長さ毎に撚り線1,2を切断する構成としてもよい。さらに、複数毎の刃が等ピッチで並列された鋸刃状のカッターで連続的に送り出される撚り線を切断する構成としてもよい。
【0030】
[実施態様2]
本発明の第2態様について図4を参照し説明する。図4は、第2態様の製造装置の概略構成図であり、図1〜3と同一の構成については同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
【0031】
図4に示す製造装置4は、上記と同様な切断部31と、少なくとも2本以上の細線11,21を撚り合わせて撚り線1,2を形成する撚り線形成部41とを有している。なお、細線11、21は、例えば図示するようにボビン44に予め巻き取っておき撚り線形成部41へ供給され、撚り線形成部41で形成された撚り線1,2は、ガイドローラなどで支持されながら切断部31へ供給される。
【0032】
撚り線形成部41は、例えばワイヤロープや電線、化学繊維を製造する際に用いられる線材を撚り合わせる周知の構成、例えば特開平10−193018号公報に例示されるような細線を撚り合わせる構成を有しており、図1に示すように所定のピッチPで細線11を互いに巻回し、或いは図2に示すように所定のピッチPで細線21を芯線211の周囲に巻回し、撚り線1,2を形成する。
【0033】
かかる構成の製造装置4によれば、少なくとも2本以上の細線11、21を撚り線形成部41で撚り合わせて撚り線1,2を形成する工程で撚り線1,2を形成しつつ、その撚り線1,2をその長手方向に所定の長さに切断部31で切断することにより、細線チップが形成される。この第2態様の切断装置4によれば、予め撚り線1,2を準備することなく、所望の直径の細線11,21により任意の撚り線1,2を形成することができる。
【0034】
なお、図3,4に示すように、撚り線1,2が切断される部位に流体371を吹付ける流体供給手段37を設ければ、流体371の圧力により切断された撚り線1,2はその位置で解かれて個々の細線チップに分離される。したがって、細線チップの分離の信頼性をより向上できるとともに、効率的に細線チップが製造される。
なお、前記流体371としては、空気が最も低コストであるが、細線チップの切断面の酸化を抑制したい場合には不活性ガス(窒素、アルゴンなど)を採用すればよい。また、流体371の圧力を高めたい場合には、水や油などを主体とした液体を採用すればよい。この流体371の流量が過剰になると撚り線1,2が振動し、安定した切断が困難となるので、撚り線1,2の強度および製造条件により適切な流量を設定する必要がある。例えば、Cuを主体としたφ50μmの細線が図2に示すように7本撚り合わせてなる撚り線2を、流体371として空気を採用した図3の製造装置3で切断した場合の空気の流量の最適な範囲は、0.02〜0.03(MPa)であった。
【0035】
次に、上記第1および第2態様の製造装置3,4を用いて細線チップを作成し、その細線チップを用いて微小金属球を溶融法により作成した実施例について図面を参照し説明する。図5は、第1態様の製造装置3で作成された細線チップ(実施例1)により製造された微小金属球の直径の分布を示したものである。図6は、第2態様の製造装置4で作成された細線チップ(実施例2)により製造された微小金属球の直径の分布を示したものである。図7は、従来の切断装置で単線を切断し、作成された細線チップ(比較例)により製造された微小金属球の直径の分布を示したものである。図8は、実施例1および2と比較例の作業時間とその内容を説明する図である。なお、図8の作業時間は、細線を単線で切断した時間を基準とし相対的に表示されている。
【0036】
【実施例1】
図1に示すように、Cuを主体とした直径が50μmの細線11が、巻回ピッチP=1mm(公差50μm)で6本互いに巻回された撚り線1を準備した。図3の製造装置3でその撚り線1を処理して、1000個の細線チップを作成した。その細線チップを気中溶融法で球状化し、目標直径が50μmの微小金属球を得た。
【0037】
【実施例2】
Cuを主体とした直径が50μmの細線21を6本準備し、図4に示す製造装置4にその細線21を装着して、上記と同様な撚り線1を撚り合わせて、撚り線1を切断し、1000個の細線チップを作成した。その細線チップを気中溶融法で球状化し、目標直径が50μmの微小金属球を得た。
【0038】
【比較例】
Cuを主体とした直径が50μmの細線を単線を準備した。その単線を切断し、1000個の細線チップを作成し、目標直径が50μmの微小金属球を得た。
【0039】
実施例1および2ともに微小金属球の直径分布は細線を単線で切断した場合と同等であった。さらに、細線を単線で切断した場合には細線の剛性不足に起因した切断不良や送り不良により作業時間の約20%の割合で切断中に停止したが、実施例1および2では装置が停止することは皆無であった。
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、少なくとも2本以上の細線が撚り合わされてなる撚り線を切断して細線チップを製造するので、細線を束ねるために樹脂やテープを用いる必要がなく、樹脂やテープの除去工程が不要となり経済的に微小金属球を製造することができ、また樹脂やテープの残渣が混入することがない高品質な微小金属球を製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明で用いる撚り線の一例を示す図である。
【図2】本発明で用いる撚り線の一例を示す図である。
【図3】本発明の第1態様に係る製造装置の概略構成図である。
【図4】本発明の第2態様に係る製造装置の概略構成図である。
【図5】本発明の実施例1で製造された微小金属球の直径の分布を示した図である。
【図6】本発明の実施例2で製造された微小金属球の直径の分布を示した図である。
【図7】従来の製造方法で製造された微小金属球の直径の分布を示したものである。
【図8】実施例1、2と比較例の作業時間と作業の内容を説明する図である。
【符号の説明】
1(2):撚り線、11(21):細線
3:製造装置、31:切段部、32:送りユニット、33:切断ユニット
4:製造装置、41:撚り線形成部

Claims (5)

  1. 少なくとも2本の細線が撚り合わされた撚り線をその長手方向に所定長さに切断する細線チップの製造方法。
  2. 請求項1に記載の製造方法において、前記細線を撚り合わせて前記撚り線を形成する工程を有することを特徴とする細線チップの製造方法。
  3. 請求項1または2に記載の製造方法において、前記撚り線の切断部位に流体を吹付けることを特徴とする細線チップの製造方法。
  4. 少なくとも2本の細線を撚り合わせて撚り線を形成する撚り線形成部と、前記撚り線をその長手方向に所定の長さに切断する切断部とを有する細線チップの製造装置。
  5. 請求項4に記載の製造装置において、前記撚り線の切断部位に流体を吹付ける流体供給手段を有することを特徴とする細線チップの製造装置。
JP2003168175A 2003-06-12 2003-06-12 細線チップの製造方法および製造装置 Expired - Fee Related JP4168389B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003168175A JP4168389B2 (ja) 2003-06-12 2003-06-12 細線チップの製造方法および製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003168175A JP4168389B2 (ja) 2003-06-12 2003-06-12 細線チップの製造方法および製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005005532A true JP2005005532A (ja) 2005-01-06
JP4168389B2 JP4168389B2 (ja) 2008-10-22

Family

ID=34093763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003168175A Expired - Fee Related JP4168389B2 (ja) 2003-06-12 2003-06-12 細線チップの製造方法および製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4168389B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017201730A (ja) * 2015-04-27 2017-11-09 アスリートFa株式会社 結束線状部材、ボール振込ヘッド、ボール搭載装置およびボール搭載方法
JP2018083198A (ja) * 2016-11-11 2018-05-31 有限会社北陸ベンディング 螺旋形波状線材の製造方法
CN113198950A (zh) * 2021-04-25 2021-08-03 太仓博宏机械有限公司 一种高效金属丝自动裁切压制机及其工作方法
JP2021520452A (ja) * 2018-04-04 2021-08-19 メタル パウダー ワークス, エルエルシーMetal Powder Works, Llc 延性材料から粉末を製造するためのシステムおよび方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101934444A (zh) * 2010-09-13 2011-01-05 徐州华星焊材有限公司 高速焊丝绞合机

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017201730A (ja) * 2015-04-27 2017-11-09 アスリートFa株式会社 結束線状部材、ボール振込ヘッド、ボール搭載装置およびボール搭載方法
JP2018083198A (ja) * 2016-11-11 2018-05-31 有限会社北陸ベンディング 螺旋形波状線材の製造方法
JP2021520452A (ja) * 2018-04-04 2021-08-19 メタル パウダー ワークス, エルエルシーMetal Powder Works, Llc 延性材料から粉末を製造するためのシステムおよび方法
JP2021520453A (ja) * 2018-04-04 2021-08-19 メタル パウダー ワークス, エルエルシーMetal Powder Works, Llc 粉末製造のためのシステムおよび方法
JP7335320B2 (ja) 2018-04-04 2023-08-29 メタル パウダー ワークス, エルエルシー 延性材料から粉末を製造するためのシステムおよび方法
JP7335321B2 (ja) 2018-04-04 2023-08-29 メタル パウダー ワークス, エルエルシー 粉末製造のためのシステムおよび方法
CN113198950A (zh) * 2021-04-25 2021-08-03 太仓博宏机械有限公司 一种高效金属丝自动裁切压制机及其工作方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4168389B2 (ja) 2008-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6455785B1 (en) Bump connection with stacked metal balls
US10147693B2 (en) Methods for stud bump formation
CN210006699U (zh) 焊线设备
JP4168389B2 (ja) 細線チップの製造方法および製造装置
WO2015004956A1 (ja) 半導体装置及びその製造方法
CN103717340A (zh) 具有电极熔蚀防止层的部件及其制造方法
JP2005036301A (ja) 微小金属球及びその製造方法
US20060186172A1 (en) Lead free desoldering braid
CN102361026A (zh) 一种具有防氧化功能的铜基键合丝
US10625376B2 (en) Bonding member, method for manufacturing bonding member, and bonding method
JP3815089B2 (ja) フューズフリー回路遮断器用リード線及びその製造法とフューズフリー回路遮断器
CN114682900A (zh) 劈刀结构、焊接设备和打线方法
WO2012117636A1 (ja) ボンディングワイヤ及びその製造方法
JP2004363189A (ja) 細線チップ用素材
CN217493040U (zh) 劈刀结构和焊接设备
JPH087677A (ja) 結線用複合導体の製造法
CN219234334U (zh) 劈刀和焊接机台
JP2005342559A (ja) 定量切断チップの製造方法及びこれを用いた金属球の製造方法
JP2003023029A (ja) 半導体素子接続用金線及びその製造方法
JP4318533B2 (ja) ボールバンプ形成用リボン
JP2001212693A (ja) 線状はんだ及びその製造方法
JP4232731B2 (ja) ボンディングワイヤ
JPH087678A (ja) 結線用複合導体及びその製造法
JPH10340919A (ja) 樹脂パッケージ型半導体装置
JP2011238663A (ja) 半導体装置の製造方法、ワイヤーボンディング装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060515

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080514

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080711

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080724

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees