JP2009049076A - 導電性ボールを充填するための装置およびマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】充填装置10は、マスク110を基板100上に保持するためのホルダ130と、X方向に沿って設けられた複数のヘッド141と、複数のヘッド141をY方向に移動させるための移動装置150とを有する。ホルダ130に保持されるマスク110は、複数の開口の配列である複数のマスクパターンを含む。複数のマスクパターンは、基板の複数の電極パターンに対応している。ホルダ130に保持されるマスク110は、さらに、その上面110aに平行にY方向に延びた溝状の複数の第1の凹部121を含む。各凹部121に、いくつかのマスクパターンが配置されている。各凹部121は、導電性ボールの半径に少なくとも相当する深さを備えている。
【選択図】図1
Description
(a)複数のヘッドの各ヘッドを、保持手段に保持させたマスクの複数の第1の凹部の各凹部内に入り込ませることにより、各ヘッドの一対のスウィープ部材と各凹部の両側部とによってマスクの表面の一部に導電性ボールの集団が保持される動区域を形成すること(形成する工程)。
(b)移動手段によってベースを第1の方向に移動させることにより、第2の方向に並列に形成された複数の動区域を、複数の第1の凹部のそれぞれに沿って、第1の方向に移動させ、導電性ボールを、各凹部に設けられたいくつかのマスクパターンに含まれる複数の開口に充填すること(充填する工程)。
100 プリント配線板(基板)、 101 電極
110 マスク、 110a マスクの上面、 110b マスクの下面
111 開口、 121 第1の凹部
122 第2の凹部、 123 第3の凹部
130 マスクホルダ(保持手段)
141 ヘッド、 142 ベース
143a、143b スウィープ部材
150 移動装置(移動手段)
Claims (8)
- 複数の電極を備える基板の前記複数の電極の上に導電性ボールを配置するための複数の開口を備えたマスクと、前記基板とをセットした状態で、前記複数の開口に導電性ボールを充填するための装置であって、
前記基板は、前記複数の電極の配列である複数の電極パターンを含み、
前記マスクは、前記複数の開口の配列である複数のマスクパターンを含み、前記複数のマスクパターンは、前記基板の前記複数の電極パターンに対応しており、さらに、前記マスクは、その上面に平行に第1の方向に延びた溝状の複数の第1の凹部を含み、前記複数の第1の凹部の各凹部に、いくつかのマスクパターンが配置され、前記各凹部は、導電性ボールの半径に少なくとも相当する深さを備えており、
当該装置は、
前記マスクを、前記基板上に保持するための保持手段と、
前記マスクを前記保持手段に保持させたときの前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って設けられた複数のヘッドと、
前記複数のヘッドを前記第1の方向に移動させるための移動手段とを有し、
前記マスクを前記保持手段により保持させ、前記複数のヘッドの各ヘッドを、前記複数の第1の凹部の各凹部内に入り込ませた状態で、前記移動手段によって前記第1の方向に移動させることにより、前記各凹部内の導電性ボールを、前記各凹部に沿って前記第1の方向に移動させ、導電性ボールを、前記各凹部に設けられた前記いくつかのマスクパターンに含まれる複数の開口に充填させる、装置。 - 請求項1において、前記複数のヘッドは、共通のベースに支持されており、前記移動手段は、前記ベースを前記第1の方向に移動させる、装置。
- 請求項1または2において、前記各ヘッドは、前記第1の方向に対向した一対のスウィープ部材を備えており、
前記各ヘッドを前記各凹部内に入り込ませることにより、前記各ヘッドの一対のスウィープ部材と前記各凹部の両側部とによって前記マスクの表面の一部に導電性ボールの集団が保持される動区域が形成され、
前記移動手段によって前記複数のヘッドを前記第1の方向に移動させることにより、前記第2の方向に並列に形成された複数の前記動区域が前記複数の第1の凹部のそれぞれに沿って前記第1の方向に移動する、装置。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、前記マスクをさらに有し、
前記マスクは、さらに、前記複数のマスクパターンとそれぞれ対応するように、当該マスクの下面に設けられた、複数の第2の凹部を有する、装置。 - 複数の電極を備える基板の前記複数の電極の上に導電性ボールを配置するための複数の開口を備えたマスクであって、
前記基板は、前記複数の電極の配列である複数の電極パターンを含み、
当該マスクは、前記複数の開口の配列である複数のマスクパターンを含み、前記複数のマスクパターンは、前記基板の前記複数の電極パターンに対応しており、
当該マスクは、さらに、その上面に平行に第1の方向に延びた溝状の複数の第1の凹部を含み、
前記複数の第1の凹部の各凹部に、いくつかのマスクパターンが配置され、前記各凹部は、導電性ボールの半径に少なくとも相当する深さを備えている、マスク。 - 請求項5において、さらに、前記複数のマスクパターンとそれぞれ対応するように、当該マスクの下面に設けられた、複数の第2の凹部を有する、マスク。
- 請求項5または6において、さらに、前記複数のマスクパターンの全てを囲むように、当該マスクの下面に設けられた、枠状の第3の凹部を有する、マスク。
- 複数の電極を備える基板の前記複数の電極の上に導電性ボールを配置するための複数の開口を備えたマスクを用い、前記複数の開口に導電性ボールを充填するための装置により、前記基板の前記複数の電極の上に導電性ボールを配置する方法であって、
前記基板は、前記複数の電極の配列である複数の電極パターンを含み、
前記マスクは、前記複数の開口の配列である複数のマスクパターンを含み、前記複数のマスクパターンは、前記基板の前記複数の電極パターンに対応しており、さらに、前記マスクは、その上面に平行に第1の方向に延びた溝状の複数の第1の凹部を含み、前記複数の第1の凹部の各凹部に、いくつかのマスクパターンが配置され、前記各凹部は、導電性ボールの半径に少なくとも相当する深さを備えており、
前記装置は、
前記マスクを、前記基板上に保持するための保持手段と、
前記マスクを前記保持手段に保持させたときの前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って設けられた複数のヘッドと、
前記複数のヘッドを支持するベースと、
前記ベースを前記第1の方向に移動させるための移動手段とを有し、
前記複数のヘッドの各ヘッドは、前記第1の方向に対向した一対のスウィープ部材を備えており、
当該方法は、
前記各ヘッドを、前記保持手段に保持させた前記マスクの前記複数の第1の凹部の各凹部内に入り込ませることにより、前記各ヘッドの一対のスウィープ部材と前記各凹部の両側部とによって前記マスクの表面の一部に導電性ボールの集団が保持される動区域を形成することと、
前記移動手段によって前記ベースを前記第1の方向に移動させることにより、前記第2の方向に並列に形成された複数の前記動区域を、前記複数の第1の凹部のそれぞれに沿って、前記第1の方向に移動させ、導電性ボールを、前記各凹部に設けられた前記いくつかのマスクパターンに含まれる複数の開口に充填することとを含む、方法。
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