JP2017177678A - 離型積層フィルム - Google Patents
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Abstract
Description
1. 2つのポリエステルフィルムが接着層を介して貼合されている厚さ10〜50μmの積層フィルムの少なくとも一方の面上に離型層を有することを特徴とする離型積層フィルム。
2. 電子部品製造工程で使用されることを特徴とする上記第1に記載の離型積層フィルム。
3. 電子部品製造工程が、セラミックグリーンシート製造工程であることを特徴とする上記第2に記載の離型積層フィルム。
4. セラミックグリーンシート製造工程が、膜厚が2μm以下のセラミックグリーンシート製造工程であることを特徴とする上記第3に記載の離型積層フィルム。
5. 接着層の測定周波数1Hzでの貯蔵弾性率が、0.001〜10MPaであることを特徴とする上記第1〜第4のいずれかに記載の離型積層フィルム。
6. 離型層の表面粗さSaが10nm以下であることを特徴とする上記第1〜5のいずれかに記載の離型積層フィルム。
非接触表面形状計測システム(VertScan R550H−M100)を用いて、
下記の条件で測定した値である。領域表面平均粗さ(Sa)は、5回測定の平均値を採用
し、最大突起高さ(P)は5回測定の最大値を採用した。
(測定条件)
・測定モード:WAVEモード
・対物レンズ:50倍
・0.5×Tubeレンズ
・測定面積 187×139μm
接着層の単層シートを複数枚積層し、厚さ0.6mmの測定用積層シートを作成した。得られた積層体から、直径8mmの円柱体(高さ0.6mm)を打ち抜き、これをサンプルとした。次いで、JIS K7244−6に準拠し、粘弾性測定装置(Physica社製,MCR300)を用いてねじりせん断法により、以下の条件で貯蔵弾性率(MPa)を測定した。
測定周波数:1Hz
測定温度:23℃
ミクロトームを用いてフィルムを切削し、フィルム表面に垂直な断面を得た。光学顕微鏡(ニコン社製、ECLIPSE LV100、倍率50倍)を用いて断面を観察し、厚みを算出した。
(4)セラミックグリーンシート圧着性
(a)評価用セラミックグリーンシートの作製
チタン酸バリウム系誘電体セラミック粉末100質量部に対し、バインダー樹脂としてポリビニルブチラール5質量部と、可塑剤としてのジオクチルフタレート30質量部とを配合し、さらに容量比でトルエン及びエタノールを1:1で含む溶剤を添加し、10〜20時間湿式混合してセラミックスラリーを作製した。得られたセラミックスラリーを用い、セラミックグリーンシート製造用離型積層フィルムの離型層(A)側にドクターブレード法により、乾燥後の厚みが2μmとなるようにセラミックスラリーを塗布し、120℃で乾燥し評価用セラミックグリーンシートを作製した。
(b)擬似被着体の作製
導電性ペースト剤(東洋紡社製、DW-114L-1)を、ガラス板上に、スクリーン印刷で乾燥後の膜厚が1μmになるようにパターン塗布、80℃で1分乾燥し、擬似被着体を作製した。
(c)評価
熱ラミネーターを用い、温度80℃、面圧100MPaで、擬似被着体上に、評価用セラミックグリーンシートを圧着し、評価用サンプルを作製した。作製したサンプルをガラス面から顕微鏡観察し、擬似被着体の段差部分の気泡有無を確認した。
気泡が発生 : ×
気泡発生無し : ○
カチオン重合性紫外線硬化型シリコーン樹脂(荒川化学工業社製、シリコリース UV POLY215、固形分100%)100質量部に、光開始剤(荒川化学工業社製、シリコリース UV CATA211、固形分18%)10質量部を添加して調製したカチオン重合性紫外線硬化型シリコーン組成物を、酢酸エチル/イソプロピルアルコール(IPA)=50/50(質量部)の有機溶剤で固形分5%になるように希釈し離型層形成用塗布液1を得た。
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(固形分100%)94質量部と、ポリエーテル変性アクリロイル基を有するポリジメチルシロキサン(ビッグケミー・ジャパン社製、BYK−3500、固形分100%)1質量部と、α−アミノアルキルフェノン系光重合開始剤[BASF社製、IRGACURE907、固形分100%]5質量部を、イソプロピルアルコール/メチルエチルケトン混合溶剤(質量比3/1)で希釈して、固形分20質量%の離型層形成用塗布液2を調製した。
ブチルアクリレート(BA)、アクリル酸(AA)からなるアクリル系共重合体(BA/AA)質量比=90:10、重量平均分子量60万)100質量部に、エポキシ系架橋剤(三菱ガス化学株式会社製、製品名「TETRAD−C」、濃度100%)0.025質量部を混合し、メチルエチルケトンで希釈して固形分濃度40質量%の接着層形成用塗布液3を調製した。接着層形成用塗布液3は、粘着剤用塗布液と呼ばれるものと言える。
(メタ)アクリル酸エステル系重合体を主成分とする粘着剤(綜研化学社製,SKダイン1502C,固形分40質量%)100質量部と、イソシアネート系架橋剤(東洋インキ製造社製,BHS8515,固形分37.5質量%)1質量部と、溶剤としてのメチルエチルケトン35質量部とを混合し、接着層形成用塗布液4を調製した。接着層形成用塗布液4は、粘着剤用塗布液と呼ばれるものと言える。
エステル化反応装置として、攪拌装置、分縮器、原料仕込口および生成物取り出し口を有する3段の完全混合槽よりなる連続エステル化反応装置を用い、TPAを2トン/hrとし、EGをTPA1モルに対して2モルとし、三酸化アンチモンを生成PETに対してSb原子が160ppmとなる量とし、これらのスラリーをエステル化反応装置の第1エステル化反応缶に連続供給し、常圧にて平均滞留時間4時間で、255℃で反応させた。次いで、上記第1エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第2エステル化反応缶に供給し、第2エステル化反応缶内に第1エステル化反応缶から留去されるEGを生成ポリマー(生成PET)に対し8質量%供給し、さらに、生成PETに対してMg原子が65ppmとなる量の酢酸マグネシウムを含むEG溶液と、生成PETに対してP原子が20ppmのとなる量のTMPAを含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間1.5時間で、260℃で反応させた。次いで、上記第2エステル化反応缶内の反応生成物を連続的に系外に取り出して第3エステル化反応缶に供給し、さらに生成PETに対してP原子が20ppmのとなる量のTMPAを含むEG溶液を添加し、常圧にて平均滞留時間0.5時間で、260℃で反応させた。上記第3エステル化反応缶内で生成したエステル化反応生成物を3段の連続重縮合反応装置に連続的に供給して重縮合を行い、さらに、ステンレス焼結体の濾材(公称濾過精度5μm粒子90%カット)で濾過し、極限粘度0.630dl/gのポリエステルペレット(a)を得た。
平均粒子径が2.5μmのシリカ粒子(富士シリシア社製)をエチレングリコール中に仕込み、さらに95%カット径が30μmのビスコースレーヨン製フィルターで濾過処理を行ない、シリカ粒子のエチレングリコールスラリーを得た。シリカ粒子含有ポリエチレンテレフタレート(b)を次の方法で得た。エステル化反応缶を昇温し、200℃に到達した時点で、テレフタル酸を86.4質量部およびエチレングリコールを64.4質量部からなるスラリーを仕込み、攪拌しながら触媒として三酸化アンチモンを0.03質量部および酢酸マグネシウム4水和物を0.088質量部、トリエチルアミンを0.16質量部添加した。次いで、加圧昇温を行いゲージ圧3.5kgf/cm2、240℃の条件で、加圧エステル化反応を行った。その後、エステル化反応缶内を常圧に戻し、リン酸トリメチル0.040質量部を添加した。さらに、260℃に昇温し、リン酸トリメチルを添加した15分後に、上記シリカ粒子のエチレングリコールスラリーを、生成ポリエステルに対して、10000ppmとなるよう添加した。15分後、得られたエステル化反応生成物を重縮合反応缶に移送し、280℃の減圧下で重縮合反応を行った。重縮合反応終了後、95%カット径が28μmのナスロンフィルター(日本精線(株)製)で濾過処理を行い、固有粘度が0.63dl/gのシリカ粒子含有ポリエチレンテレフタレートマスターペレット(b)を得た。
ポリエチレンテレフタレートペレット(a)と同様の方法にて極限粘度を0.580dl/gに調整し、ポリエチレンテレフタレートペレット(c)を得た。
ポリエチレンテレフタレートフィルム5のシリカ粒子含有層(X層)表面に、ナイフコーターを用いて、乾燥後の膜厚が4μmになるように接着層形成用塗布液4を塗布した。次いで90℃で1分間乾燥し、接着層を形成した。その後、接着層面にポリエチレンテレフタレートフィルム5の平滑面を貼合し積層フィルムを得た。
次いで、積層フィルムの平滑面にマイヤーバーを用いて、離型層形成用塗布液1を乾燥後の膜厚が0.02μmになるように塗布、90℃で30秒間乾燥させた後、紫外線を照射し(積算光量100mJ/cm2)、離型積層フィルムを得た。
実施例1と同様の方法にて、表2中の条件で離型積層フィルムを作成した。
Claims (6)
- 2つのポリエステルフィルムが接着層を介して貼合されている厚さ10〜50μmの積層フィルムの少なくとも一方の面上に離型層を有することを特徴とする離型積層フィルム。
- 電子部品製造工程で使用されることを特徴とする請求項1に記載の離型積層フィルム。
- 電子部品製造工程が、セラミックグリーンシート製造工程であることを特徴とする請求項2に記載の離型積層フィルム。
- セラミックグリーンシート製造工程が、膜厚が2μm以下のセラミックグリーンシート製造工程であることを特徴とする請求項3に記載の離型積層フィルム。
- 接着層の測定周波数1Hzでの貯蔵弾性率が、0.001〜10MPaであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の離型積層フィルム。
- 離型層の表面粗さSaが10nm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の離型積層フィルム。
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