JP2017152669A - 撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】撮像装置は、半導体基板60と、複数の単位画素セル10を有する。単位画素セルの各々は、半導体基板の第1エリアにおいて半導体基板の表面に露出する、P型の第1領域66Pと、第1領域に直接隣接し、第1エリアで周囲を囲まれる第2エリアにおいて半導体基板の表面に露出する、n型の第2領域67nと、半導体基板の上方に位置する光電変換部12と、第1エリア内の第1部分を覆う第1電極26eと、半導体基板と第1電極との間の第1絶縁層26gとを含み、第2領域をソース及びドレインの一方とするリセットトランジスタ26と、第1エリア内の第1部分とは異なる第2部分を覆う第2電極27eと、半導体基板と第2電極との間の第2絶縁層27gと、半導体基板と光電変換部との間、かつ、第1電極と第2電極との間に位置している第2領域に接続されるコンタクトプラグ86と、を備える。
【選択図】図2
Description
半導体基板と、
複数の単位画素セルを有し、
前記複数の単位画素セルの各々は、
前記半導体基板内に位置し、前記半導体基板の表面の第1エリアにおいて前記半導体基板の前記表面に露出する、第1導電型の第1領域と、
前記半導体基板内において前記第1領域に直接隣接し、前記第1エリアによって周囲を囲まれる第2エリアにおいて前記半導体基板の前記表面に露出する、前記第1導電型とは異なる第2導電型の第2領域と、
前記半導体基板の前記表面の上方に位置する光電変換部と、
前記半導体基板の前記表面と前記光電変換部との間に位置し、前記第2領域に接続されるコンタクトプラグと、
前記第1エリア内の第1部分を覆う第1電極と、前記半導体基板と前記第1電極との間の第1絶縁層とを含み、前記第2領域をソース及びドレインの一方とする第1トランジスタと、
前記第1エリア内の前記第1部分とは異なる第2部分を覆う第2電極と、
前記半導体基板と前記第2電極との間の第2絶縁層と、
を備え、
前記半導体基板の前記表面に垂直な方向から見たとき、前記第2領域と前記コンタクトプラグとの接続部は、前記第1電極と前記第2電極との間に位置している、撮像装置。
前記単位画素セルの各々は、前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続する配線をさらに備える、項目1に記載の撮像装置。
前記光電変換部の電荷を初期化するリセット電圧が印加される電圧線をさらに備え、
前記電圧線は、前記第1トランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方に接続されている、項目1または2に記載の撮像装置。
前記第1絶縁層と前記第2絶縁層とは同層である、項目1から3のいずれか1項に記載の撮像装置。
前記第1電極と前記第2電極とは同層である、項目1から4のいずれか1項に記載の撮像装置。
前記第2領域は、第1濃度領域と、前記第1濃度領域よりも不純物濃度が高い第2濃度領域とを含み、
前記コンタクトプラグは、前記第2濃度領域に接続されている、項目1から5のいずれか1項に記載の撮像装置。
前記コンタクトプラグは、前記光電変換部に電気的に接続されている、項目1から6のいずれか1項に記載の撮像装置。
前記第2電極と前記第2絶縁層とを含み、前記第2領域をソース又はドレインの一方とする第2トランジスタをさらに備える、項目1から7のいずれか1項に記載の撮像装置。
前記第1電極及び前記第2電極は、開口を有する単一の第3電極を構成し、
前記半導体基板の前記表面に垂直な方向から見たとき、前記第2領域と前記コンタクトプラグとの接続部は、前記第3電極の前記開口内に位置している、項目1から8のいずれか1項に記載の撮像装置。
前記第3電極はC字形状である、項目9に記載の撮像装置。
前記半導体基板の前記表面に垂直な方向から見たとき、前記第2電極の一部は前記第2エリアと重なっている、項目1から10のいずれか1項に記載の撮像装置。
前記第2領域の不純物濃度は1×1018/cm3以上である、項目1から11のいずれか1項に記載の撮像装置。
複数の単位画素セルを有する撮像装置であって、
複数の単位画素セルの各々は、
第1導電型を有する第1領域、および、第1領域に形成された、第2導電型を有する不純物領域を含む半導体基板と、
半導体基板の上方に配置された光電変換部と、
半導体基板および光電変換部の間に配置された配線構造であって、不純物領域に接続されたコンタクトプラグを含む配線構造と、
半導体基板上の第1絶縁層および第1絶縁層上の第1制御電極を含む第1トランジスタと、
第1絶縁層と同層の第2絶縁層上に配置された第2制御電極と、
を備え、
第1トランジスタは、不純物領域をソースおよびドレインのうちの一方として含み、
不純物領域の少なくとも一部は、半導体基板の表面に位置し、
半導体基板に垂直な方向から見たとき、不純物領域のうちコンタクトプラグに接する部分は、第1制御電極および第2制御電極の間に位置している、撮像装置。
第1制御電極および第2制御電極は、同層であり、
第2制御電極は、不純物領域のうちコンタクトプラグに接する部分に関して第1制御電極と対称な配置を有する、項目13に記載の撮像装置。
不純物領域は、相対的に不純物濃度の低い低濃度領域、および、低濃度領域内に配置された高濃度領域を含み、
コンタクトプラグは、高濃度領域に接続されている、項目13または14に記載の撮像装置。
光電変換部の電荷を初期化するリセット電圧が印加される電圧線を有し、
電圧線は、第1トランジスタのソースおよびドレインのうちの他方に接続されている、項目13から15のいずれか1項に記載の撮像装置。
コンタクトプラグは、半導体基板および光電変換部を電気的に接続する接続部の少なくとも一部である、項目13から16のいずれか1項に記載の撮像装置。
配線構造は、第1制御電極および第2制御電極を接続する配線を含む、項目17に記載の撮像装置。
第2制御電極をゲート電極として含み、かつ、不純物領域をソースおよびドレインのうちの一方として含む第2トランジスタをさらに備える、項目13から18のいずれか1項に記載の撮像装置。
第2制御電極をゲート電極として含み、かつ、不純物領域をソースおよびドレインのうちの一方として含む第2トランジスタをさらに備え、
第1トランジスタのソースおよびドレインのうちの他方は、光電変換部に電気的に接続されている、項目13から16のいずれか1項に記載の撮像装置。
複数の単位画素セルを有する撮像装置であって、
複数の単位画素セルの各々は、
第1導電型を有する第1領域、および、第1領域に形成された、第2導電型を有する不純物領域を含む半導体基板と、
半導体基板の上方に配置された光電変換部と、
半導体基板および光電変換部の間に配置された配線構造であって、不純物領域に接続されたコンタクトプラグを含む配線構造と、
中央に開口を有する第1ゲート電極を含む第1トランジスタと、
を備え、
第1トランジスタは、不純物領域をソースおよびドレインのうちの一方として含み、
不純物領域の少なくとも一部は、半導体基板の表面に位置し、
コンタクトプラグは、第1ゲート電極の開口の内側において不純物領域に接続されている、撮像装置。
不純物領域は、相対的に不純物濃度の低い低濃度領域、および、低濃度領域内に配置された高濃度領域を含み、
コンタクトプラグは、高濃度領域に接続されている、項目21に記載の撮像装置。
光電変換部の電荷を初期化するリセット電圧が印加される電圧線を有し、
電圧線は、第1トランジスタのソースおよびドレインのうちの他方に接続されている、項目21または22に記載の撮像装置。
コンタクトプラグは、半導体基板および光電変換部を電気的に接続する接続部の少なくとも一部である、項目21から23のいずれか1項に記載の撮像装置。
ソースおよびドレインの一方が光電変換部に電気的に接続された第2トランジスタをさらに備え、
コンタクトプラグは、第2トランジスタのソースおよびドレインの他方に電気的に接続されている、項目21から23のいずれか1項に記載の撮像装置。
図1は、本開示の第1の実施形態による撮像装置の例示的な回路構成を示す。図1に示す撮像装置100は、複数の単位画素セル10を含む画素アレイPAと、負荷回路42、カラム信号処理回路44、垂直走査回路46および水平信号読み出し回路48などを含む周辺回路とを有する。図1に例示する構成において、画素アレイPAは、マトリクス状に配置された複数の単位画素セル10を含む。複数の単位画素セル10は、1次元または2次元に配列されることにより、撮像領域(感光領域)を形成する。図1では、図面が複雑となることを避けるために、マトリクス状に配置された複数の単位画素セル10のうち、2行2列に配列された4つの単位画素セル10が示されている。言うまでもないが、画素アレイPAにおける単位画素セル10の数および配置は、この例に限定されない。例えば単位画素セル10は、1次元に配列していてもよい。この場合、撮像装置100をラインセンサとして利用することができる。
図2は、単位画素セル10のデバイス構造の典型例を模式的に示す。図2に示すように、単位画素セル10は、半導体基板60と、半導体基板60の上方に配置された光電変換部12と、光電変換部12および半導体基板60の間に配置された配線構造80とを含む。後に詳しく説明するように、半導体基板60は、電荷蓄積領域の一部として機能するn型不純物領域67nを含む。
図6は、第1の実施形態の変形例による単位画素セル10Aを示す。図7は、リセットトランジスタ26の近傍における、単位画素セル10Aの断面を拡大して模式的に示す。図3に示す単位画素セル10では、ゲート電極26eおよび制御電極27eに共通の電圧が印加されている。それに対して、図6に示す単位画素セル10Aでは、ゲート電極26eと制御電極27eとに独立して異なる電圧を印加することができる。
図10は、本開示の第2の実施形態による単位画素セル20における各素子のレイアウトの一例を示す。第1の実施形態と第2の実施形態との間の主な相違点は、第2の実施形態では、リセットトランジスタのゲート電極が、コンタクトプラグ86を取り囲むような形状を有する点である。
図16は、本開示の第3の実施形態による撮像装置における単位画素セルの例示的な回路構成を示す。図16に示す単位画素セル30と、図1に示す単位画素セル10との間の主な相違点は、単位画素セル30における信号検出回路15が、第1容量素子51、第2容量素子52およびフィードバックトランジスタ56をさらに有する点である。
上述の各実施形態では、コンタクトプラグ(コンタクトプラグ86または89)を少なくとも2方向から囲むように1以上の電極を配置し、それらの電極に印加する電圧を制御することにより、それらの電極の下方のキャリア濃度を制御している。上述の各実施形態では、それらの電極の下方に正のキャリア(正孔)を蓄積させることにより、半導体基板(半導体基板60または70)に形成された空乏層のうち、コンタクトプラグの周囲において半導体基板の表面に現れた部分の面積を縮小している。つまり、上述の各実施形態では、半導体基板の表面のうち、ゲート電極または制御電極によって覆われていない部分の表面近傍の空乏層を縮小することによって、リーク電流抑制の効果を得ている。これに対し、以下に説明する変形例では、半導体基板に形成された空乏層のうち、半導体基板の表面に現れる部分を、ゲート電極および/または制御電極の下方に引き込むことが可能な構成を用いる。
20、30、30A、30B、40 単位画素セル
12 光電変換部
14、15 信号検出回路
22 増幅トランジスタ
24 アドレストランジスタ
26、26D、26F リセットトランジスタ
26e、26De、26Df、26Dh リセットトランジスタのゲート電極
27e 制御電極
28 第2のリセットトランジスタ
28e 第2のリセットトランジスタのゲート電極
32 電源配線
34 アドレス信号線
35 垂直信号線
36 リセット信号線
37 空乏層制御線
39 蓄積制御線
50 反転増幅器
53 フィードバック線
54 感度調整線
56、56D フィードバックトランジスタ
56e、56De フィードバックトランジスタのゲート電極
58 フィードバック制御線
60、70、71 半導体基板
66p、76p p型不純物領域
67n、72n、77n、69n n型不純物領域
80 配線構造
80a〜80d 配線層
81 配線
86、89、91 コンタクトプラグ
88 接続部
100 撮像装置
AP1、AP2、AP3 開口
Claims (12)
- 半導体基板と、
複数の単位画素セルを有し、
前記複数の単位画素セルの各々は、
前記半導体基板内に位置し、前記半導体基板の表面の第1エリアにおいて前記半導体基板の前記表面に露出する、第1導電型の第1領域と、
前記半導体基板内において前記第1領域に直接隣接し、前記第1エリアによって周囲を囲まれる第2エリアにおいて前記半導体基板の前記表面に露出する、前記第1導電型とは異なる第2導電型の第2領域と、
前記半導体基板の前記表面の上方に位置する光電変換部と、
前記半導体基板の前記表面と前記光電変換部との間に位置し、前記第2領域に接続されるコンタクトプラグと、
前記第1エリア内の第1部分を覆う第1電極と、前記半導体基板と前記第1電極との間の第1絶縁層とを含み、前記第2領域をソース及びドレインの一方とする第1トランジスタと、
前記第1エリア内の前記第1部分とは異なる第2部分を覆う第2電極と、
前記半導体基板と前記第2電極との間の第2絶縁層と、
を備え、
前記半導体基板の前記表面に垂直な方向から見たとき、前記第2領域と前記コンタクトプラグとの接続部は、前記第1電極と前記第2電極との間に位置している、撮像装置。 - 前記単位画素セルの各々は、前記第1電極と前記第2電極とを電気的に接続する配線をさらに備える、請求項1に記載の撮像装置。
- 前記光電変換部の電荷を初期化するリセット電圧が印加される電圧線をさらに備え、
前記電圧線は、前記第1トランジスタの前記ソース及び前記ドレインの他方に接続されている、請求項1または2に記載の撮像装置。 - 前記第1絶縁層と前記第2絶縁層とは同層である、請求項1から3のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記第1電極と前記第2電極とは同層である、請求項1から4のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記第2領域は、第1濃度領域と、前記第1濃度領域よりも不純物濃度が高い第2濃度領域とを含み、
前記コンタクトプラグは、前記第2濃度領域に接続されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記コンタクトプラグは、前記光電変換部に電気的に接続されている、請求項1から6のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記第2電極と前記第2絶縁層とを含み、前記第2領域をソース又はドレインの一方とする第2トランジスタをさらに備える、請求項1から7のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記第1電極及び前記第2電極は、開口を有する単一の第3電極を構成し、
前記半導体基板の前記表面に垂直な方向から見たとき、前記第2領域と前記コンタクトプラグとの接続部は、前記第3電極の前記開口内に位置している、請求項1から8のいずれか1項に記載の撮像装置。 - 前記第3電極はC字形状である、請求項9に記載の撮像装置。
- 前記半導体基板の前記表面に垂直な方向から見たとき、前記第2電極の一部は前記第2エリアと重なっている、請求項1から10のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記第2領域の不純物濃度は1×1018/cm3以上である、請求項1から11のいずれか1項に記載の撮像装置。
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