JP2017139317A - 処理液気化装置と基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
同時に稼働する処理ユニットの数は変動する。例えば、複数の処理ユニットが同時に処理を実行している場合や、1つの処理ユニットのみが処理を実行し、その他の処理ユニットが休止している場合がある。処理ユニットの稼働状況に応じて、流体供給系が処理ユニットに供給する処理流体の供給量は変動する。
すなわち、本発明に係る処理液気化装置は、処理液を貯留するタンクと、前記タンクに連通接続され、処理液を気化させる第1気化容器と、前記第1気化容器と並列にタンクに連通接続され、処理液を気化させる第2気化容器と、前記タンクと前記第1気化容器との間の処理液の流路を開閉する第1処理液用弁と、前記タンクと前記第2気化容器との間の処理液の流路を開閉する第2処理液用弁と、を備えている処理液気化装置である。
図1は、実施例1に係る基板処理装置の構成を示す図である。
実施例1に係る基板処理装置は、基板(例えば、半導体ウエハ)Wに処理を行う装置である。
制御部45は、液面センサ21の検出結果を取得する。制御部45は、開閉弁17、27、33、39、43の作動を制御する。
図1を参照する。制御部45が、液面センサ21の検出結果に基づいて、開閉弁17を開閉する。
開閉弁17が開いているとき、処理液供給源11からバッファタンク13に処理液が供給される。
制御部45は、処理レシピに基づいて、開閉弁27a、33a、39a、43aを制御する。
気化容器23bに関する動作は、気化容器23aに関する動作と略同じである。よって、以下では気化容器23bに関する動作を簡略に説明する。
モードM1、M2では、開閉弁17は次のように作動する。
・モードM1における開閉弁17:開
・モードM2における開閉弁17:閉
・モードM3における開閉弁27a、33a、39a、43a:閉、閉、開、開
・モードM4における開閉弁27a、33a、39a、43a:開、開、閉、閉
モードM5、M6では、開閉弁27b、33b、39b、43bは次のように作動する。
・モードM5における開閉弁27b、33b、39b、43b:閉、閉、開、開
・モードM6における開閉弁27b、33b、39b、43b:開、開、閉、閉
図6は、実施例2に係る基板処理装置の構成を示す図である。なお、実施例1と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
流量調整弁57a、57bは、本発明の第1処理ガス用弁、第2処理ガス用弁の例である。レギュレータ59は、本発明の圧力調整部の例である。
図6を参照する。制御部45が、液面センサ21の検出結果に基づいて、開閉弁17、51とレギュレータ59を制御する。
制御部45は、処理レシピに基づいて、開閉弁27a、33a、43a、51と流量調整弁57aとレギュレータ59とを制御する。
気化容器23bに関する動作は、気化容器23aに関する動作と略同じである。よって、以下では気化容器23bに関する動作を簡略に説明する。
図8は、実施例3に係る基板処理装置の構成を示す図である。なお、実施例1、2と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
図8を参照する。制御部45は、液面センサ21および液体検知センサ65の各検出結果に基づいて、開閉弁17を制御する。
制御部45は、液体検知センサ65の検出結果と処理レシピに基づいて、開閉弁27a、33a、43aと流量調整弁57a、73aとを制御する。
気化容器23bに関する動作は、気化容器23aに関する動作と略同じである。よって、以下では気化容器23bに関する動作を簡略に説明する。
バッファタンク13から処理液が溢れている場合には、バッファタンク13から気化容器23bに処理液を補給しない。
3 … 処理液気化装置
5a、5b … 処理ユニット(第1処理ユニット、第2処理ユニット)
11 … 処理液供給源
13 … バッファタンク(タンク)
17 … 開閉弁(タンク処理液用弁)
21a、21b … 液面センサ(液位検出センサ)
23a、23b、23c、23 …気化容器(第1気化容器、第2気化容器)
25a、25b、25 … 配管(第1補給管、第2補給管)
27a、27b、27 … 開閉弁(第1処理液用弁、第2処理液用弁)
33a、33b … 開閉弁(第1ベント弁、第2ベント弁)
35 … ガス供給源
39a、39b … 開閉弁(第1不活性ガス用弁、第2不活性ガス用弁)
43a、43b … 開閉弁(第1処理ガス用弁、第2処理ガス用弁)
45 … 制御部
51 … 開閉弁
57a、57b … 流量調整弁(第1処理ガス用弁、第2処理ガス用弁)
59 … レギュレータ(圧力調整部)
65 … 液体検知センサ(オーバーフローセンサ)
73a、73b … 流量調整弁(第1希釈用弁、第1希釈用弁)
81a、81b … 逆止弁(第1処理液用弁、第2処理液用弁)
85a、85b、85c … 分岐管(第1補給管、第2補給管)
87a、87b、87c … 開閉弁(第1処理液用弁、第2処理液用弁)
LL … 低液位
HL … 高液位
Ss … バッファタンク内の処理液
Sa、Sb … 気化容器23a、23b内の処理液
W …基板
Claims (16)
- 処理液を貯留するタンクと、
前記タンクに連通接続され、処理液を気化させる第1気化容器と、
前記第1気化容器と並列にタンクに連通接続され、処理液を気化させる第2気化容器と、
前記タンクと前記第1気化容器との間の処理液の流路を開閉する第1処理液用弁と、
前記タンクと前記第2気化容器との間の処理液の流路を開閉する第2処理液用弁と、
を備えている処理液気化装置。 - 請求項1に記載の処理液気化装置において、
前記第1気化容器で生成された処理ガスは1つの第1処理ユニットのみに送られ、
前記第2気化容器で生成された処理ガスは1つの第2処理ユニットのみに送られる処理液気化装置。 - 請求項1に記載の処理液気化装置において、
前記タンクの内部は前記タンクの外部に開放されており、
前記処理液気化装置は、
前記第1気化容器の内部を前記第1気化容器の外部に対して開閉する第1ベント弁と、
前記第2気化容器の内部を前記第2気化容器の外部に対して開閉する第2ベント弁と、
を備えている処理液気化装置。 - 請求項3に記載の処理液気化装置において、
前記第1気化容器と前記第2気化容器とはそれぞれ、前記タンクの側方に設けられている処理液気化装置。 - 請求項3または4に記載の処理液気化装置において、
前記第1処理液用弁および前記第1ベント弁がそれぞれ開くことによって、前記タンクと前記第1気化容器の間を処理液が自ずと移動し、前記タンク内の処理液の液位と前記第1気化容器内の処理液の液位が等しくなり、
前記第2処理液用弁および前記第2ベント弁がそれぞれ開くことによって、前記タンクと前記第2気化容器の間を処理液が自ずと移動し、前記タンク内の処理液の液位と前記第2気化容器内の処理液の液位が等しくなる処理液気化装置。 - 請求項1または2に記載の処理液気化装置において、
前記タンク内の圧力を調整する圧力調整部を備えている処理液気化装置。 - 請求項6に記載の処理液気化装置において、
前記第1気化容器は、前記タンクよりも高い位置に設けられており、
前記第2気化容器は、前記タンクよりも高い位置に設けられている処理液気化装置。 - 請求項6または7に記載の処理液気化装置において、
前記第1処理液用弁が開き、かつ、圧力調整部が前記タンク内の圧力を調整することによって、前記タンクと前記第1気化容器の間において処理液を強制的に移動させ、
前記第2処理液用弁が開き、かつ、圧力調整部が前記タンク内の圧力を調整することによって、前記タンクと前記第2気化容器の間において処理液を強制的に移動させる処理液気化装置。 - 請求項1から8のいずれかに記載の処理液気化装置において、
前記タンクの上端は、前記第1気化容器の上端および前記第2気化容器の上端のいずれよりも低い処理液気化装置。 - 請求項1から9のいずれかに記載の処理液気化装置において、
前記第1気化容器に送られる不活性ガスの流路を開閉する第1不活性ガス用弁と、
前記第2気化容器に送られる不活性ガスの流路を開閉する第2不活性ガス用弁と、
を備える処理液気化装置。 - 請求項10に記載の処理液気化装置において、
前記第1処理液用弁が開いているとき、前記第1不活性ガス用弁は閉じており、
前記第2処理液用弁が開いているとき、前記第2不活性ガス用弁は閉じている処理液気化装置。 - 請求項1から11のいずれかに記載の処理液気化装置において、
前記第1気化容器から出される処理ガスの流路を開閉する第1処理ガス用弁と、
前記第2気化容器から出される処理ガスの流路を開閉する第2処理ガス用弁と、
を備える処理液気化装置。 - 請求項12に記載の処理液気化装置において、
前記第1処理液用弁が開いているとき、前記第1処理ガス用弁は閉じており、
前記第2処理液用弁が開いているとき、前記第2処理ガス用弁は閉じている処理液気化装置。 - 請求項1から13のいずれかに記載の処理液気化装置において、
処理液供給源から前記タンクに供給される処理液の流路を開閉するタンク処理液用弁を備える処理液気化装置。 - 請求項14に記載の処理液気化装置において、
前記処理液気化装置は、前記タンク内の処理液の液位を検出する液位検出センサを備え、
前記液位検出センサの検出結果に基づいて、前記タンク処理液用弁が開閉する処理液気化装置。 - 処理液を貯留するタンクと、
前記タンクに連通接続され、処理液を気化させる第1気化容器と、
前記第1気化容器と並列に前記タンクに連通接続され、処理液を気化させる第2気化容器と、
前記タンクと前記第1気化容器との間の処理液の流路を開閉する第1処理液用弁と、
前記タンクと前記第2気化容器との間の処理液の流路を開閉する第2処理液用弁と、
前記第1気化容器で生成された処理ガスを用いて基板に処理を行う1つの第1処理ユニットと、
前記第2気化容器で生成された処理ガスを用いて基板に処理を行う1つの第2処理ユニットと、
を備えている基板処理装置。
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