JP2017134389A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明の一側面としての光学装置は、光学素子の反射面を変形させる光学装置であって、反射面の反対側の面に取り付けられた磁石と、磁石に対向する位置に配置されるコイルとを含むアクチュエータと、コイルを保持するベースプレートと、一端がコイルに接続され、他端は自由端である伝熱部と、を備え、伝熱部は、コイルで発生した熱を一端を介して他端に向かって伝達する。

Claims (18)

1. 光学素子の反射面を変形させる光学装置であって、
   前記反射面の反対側の面に取り付けられた磁石と、前記磁石に対向する位置に配置されるコイルとを含むアクチュエータと、
   前記コイルを保持するベースプレートと、
   一端が前記コイルに接続され、他端は自由端である伝熱部と、を備え、
   前記伝熱部は、前記コイルで発生した熱を前記一端を介して前記他端に向かって伝達する、
   ことを特徴とする光学装置。
2. 前記伝熱部からの熱を回収する冷却部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
3. 前記伝熱部と前記冷却部とは、互いに離間して配置されている、
   ことを特徴とする請求項２に記載の光学装置。
4. 前記冷却部は、前記伝熱部から離間して配置されるプレートの内部に備えられる流路を含む、
   ことを特徴とする請求項２または３に記載の光学装置。
5. 前記冷却部は、前記ベースプレートの内部に備えられる流路を含む、
   ことを特徴とする請求項２または３に記載の光学装置。
6. 前記伝熱部と前記冷却部とを熱伝導する弾性体をさらに含む、
   ことを特徴とする請求項２ないし５のいずれか１項に記載の光学装置。
7. 前記弾性体は、ヤング率が１０ＧＰａ以下である、
   ことを特徴とする請求項６に記載の光学装置。
8. 前記弾性体は、樹脂である、
   ことを特徴とする請求項６または７に記載の光学装置。
9. 前記弾性体は、ゴムである、
   ことを特徴とする請求項６または７に記載の光学装置。
10. 前記冷却部は、並列に配置された複数の流路を含む、
    ことを特徴とする請求項４または５に記載の光学装置。
11. 光学素子の反射面を変形させる光学装置であって、
    前記反射面の反対側の面に取り付けられた磁石と、前記磁石に対向する位置に配置されるコイルとを含む複数のアクチュエータと、
    前記コイルを保持するベースプレートと、
    前記ベースプレートに配置され、前記ベースプレートと前記反射面の反対側の面との距離を計測する複数の計測器と、
    を備え、
    前記計測器の数は前記アクチュエータの数よりも少ないことを特徴とする光学装置。
12. 前記コイルからの熱を回収する冷却部をさらに備えることを特徴とする請求項１１に記載の光学装置。
13. 前記冷却部と前記コイルとの間に、前記コイルからの熱を前記冷却部に伝える伝熱部を備える、
    ことを特徴とする請求項１２に記載の光学装置。
14. 前記冷却部は、前記ベースプレートの内部であって前記コイルと近接した位置に配置される、
    ことを特徴とする請求項１２または１３に記載の光学装置。
15. 前記冷却部は、前記ベースプレートの内部に備えられる流路を含む、
    ことを特徴とする請求項１４に記載の光学装置。
16. 請求項１から１５のいずれか１項に記載の光学装置を含むことを特徴とする投影光学系。
17. マスクを照明する照明光学系と、
    前記マスクのパターンを基板に投影する請求項１６に記載の投影光学系とを有する、
    ことを特徴とする露光装置。
18. 請求項１７に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
    前記露光された前記基板を現像する工程と、を含む、
    ことを特徴とする物品の製造方法。