JP2017057490A5 - - Google Patents
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Claims (2)
- ａｔ．％で、Ｂを１０〜５０％含有しており、残部がＣｏ及びＦｅの少なくとも１種と不可避的不純物であり、水素含有量が２０ｐｐｍ以下であり、
粒度が５μｍ以下である微粉の量が１０％以下であり、粒度が３０μｍ以下である微粉の量が４０％以下であるスパッタリングターゲット材用粉末。 - ａｔ．％で、Ｂを１０〜５０％含有しており、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ｍｎ，Ｒｅ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｃｕ及びＡｇから選ばれる１種類以上の元素を２０％以下含有しており、残部がＣｏ及びＦｅの少なくとも１種と不可避的不純物であり、水素含有量が２０ｐｐｍ以下であり、
粒度が５μｍ以下である微粉の量が１０％以下であり、粒度が３０μｍ以下である微粉末の量が４０％以下であるスパッタリングターゲット材用粉末。
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