JP2017025346A - 電着塗装システム、及び、電着塗装方法 - Google Patents
電着塗装システム、及び、電着塗装方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017025346A JP2017025346A JP2015141511A JP2015141511A JP2017025346A JP 2017025346 A JP2017025346 A JP 2017025346A JP 2015141511 A JP2015141511 A JP 2015141511A JP 2015141511 A JP2015141511 A JP 2015141511A JP 2017025346 A JP2017025346 A JP 2017025346A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- washing
- coated
- electrodeposition
- treatment zone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 title claims abstract description 162
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 115
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 108
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 325
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 148
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims abstract description 130
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims abstract description 46
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 claims description 83
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 64
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 51
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 45
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 45
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 6
- 238000010422 painting Methods 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 23
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract description 23
- 238000007665 sagging Methods 0.000 abstract description 14
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 40
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 37
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 12
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 11
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 3
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000008237 rinsing water Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000004922 lacquer Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D13/00—Electrophoretic coating characterised by the process
- C25D13/22—Servicing or operating apparatus or multistep processes
- C25D13/24—Regeneration of process liquids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/08—Rinsing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D13/00—Electrophoretic coating characterised by the process
- C25D13/12—Electrophoretic coating characterised by the process characterised by the article coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D13/00—Electrophoretic coating characterised by the process
- C25D13/22—Servicing or operating apparatus or multistep processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/02—Heating or cooling
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】電着塗装システム(1)は、被塗物(W)を電着塗料溶液(S1)に浸漬させて被塗物(W)の表面に塗膜を形成する電着処理ゾーン(10)と、表面に塗膜を形成した被塗物(W)を洗浄する複数の水洗処理工程部を備える水洗処理ゾーン(20)と、洗浄した被塗物(W)を加熱して被塗物(W)の塗膜を硬化乾燥させる焼付乾燥処理ゾーン(30)と、を備える。水洗処理ゾーン(20)は、少なくとも、水洗処理工程部として、被塗物(W)を温水(S4)に浸漬させて洗浄する温水浸漬槽(23)と、温水浸漬槽(23)の次の水洗処理工程部として設けた、被塗物(W)における鋼板合わせ面部に温水(S4)を吹き付ける温水吹付部(24)と、を備える。
【選択図】図1
Description
被塗物を電着塗料溶液に浸漬させて前記被塗物の表面に塗膜を形成する電着処理ゾーンと、前記電着処理ゾーンで表面に塗膜を形成した前記被塗物を洗浄する複数の水洗処理工程部を備える水洗処理ゾーンと、前記水洗処理ゾーンで洗浄した前記被塗物を加熱して前記被塗物の塗膜を硬化乾燥させる焼付乾燥処理ゾーンと、を備える電着塗装システムであって、
前記水洗処理ゾーンは、少なくとも、前記水洗処理工程部として、前記被塗物を温水に浸漬させて洗浄する温水浸漬槽と、前記温水浸漬槽の次の前記水洗処理工程部として設けた、前記被塗物における鋼板合わせ面部に温水を吹き付ける温水吹付部と、を備える点にある。
前記水洗処理ゾーンは、電着塗料溶液を限外濾過して得たUF水を含有する洗浄水で水洗を行うUF水洗処理ゾーンと、前記UF水洗処理ゾーンの下流側であって、前記温水浸漬槽と前記温水吹付部とから構成される純水で水洗を行う純水洗処理ゾーンと、を備え、
前記純水洗処理ゾーンは、さらに、前記温水浸漬槽の上流側に、前記被塗物を常温の純水に浸漬させて洗浄する純水浸漬槽を備える点にある。
前記UF水洗処理ゾーンにおける最終の前記水洗処理工程部と前記純水浸漬槽との間、及び/又は、前記純水浸漬槽と前記温水浸漬槽との間に、前記被塗物から洗浄水を所定時間滴下させる滴下エリアを備える点にある。
前記水洗処理ゾーンは、電着塗料溶液を限外濾過して得たUF水を含有する洗浄水で水洗を行うUF水洗処理ゾーンと、前記UF水洗処理ゾーンの下流側であって、前記温水浸漬槽と前記温水吹付部とから構成される純水で水洗を行う純水洗処理ゾーンと、を備え、
前記UF水洗処理ゾーンにおける最終の前記水洗処理工程部と前記温水浸漬槽との間に、前記被塗物から洗浄水を所定時間滴下させる滴下エリアを備える点にある。
前記温水吹付部は、温水を噴出させる吹付口が前記鋼板合わせ面部に向いた複数の吹付部を、被塗物の進行方向に並べて成る点にある。
前記温水浸漬槽中の温水を振動させる振動発生手段を備える点にある。
被塗物を電着塗料溶液に浸漬させて前記被塗物の表面に塗膜を形成する電着処理工程と、前記電着処理工程で表面に塗膜を形成した前記被塗物を複数の工程で段階的に洗浄する水洗処理工程と、前記水洗処理工程で洗浄した前記被塗物を加熱して前記被塗物の塗膜を硬化乾燥させる焼付乾燥処理工程と、を実行する電着塗装方法であって、
前記水洗処理工程では、少なくとも、前記被塗物を温水に浸漬させて洗浄する温水浸漬工程と、前記温水浸漬工程の次の工程として、吹付ノズルにより前記被塗物における鋼板合わせ面部に温水を吹き付ける温水吹付工程とを実行する点にある。
本発明に係る電着塗装システム及び電着塗装方法の第1の実施形態について、図面を参照して説明する。図1は本実施形態に係る電着塗装システム1の概略構成図であり、電着処理ゾーン10と水洗処理ゾーン20と焼付乾燥処理ゾーン30とから構成される。電着塗装システム1では、適当な治具(ハンガー受具など)により被塗物(本実施形態では自動車ボディ)Wを保持してコンベアなどを用いて搬送する搬送手段Cにより、電着処理ゾーン10から焼付乾燥処理ゾーン30に向かって被塗物Wを搬送させる。そして、被塗物Wを搬送させながら、被塗物Wが各処理ゾーン10,20,30を通過する間に被塗物Wに種々の処理を行う。以下、上流側・下流側というときは被塗物の進行方向Pにおける上流側・下流側を意味する。また、図1はあくまでも概略図であり、各部の長さ(浸漬槽の長さ等)は実際の寸法で表現されておらず、これに限定されるものではない。
本発明に係る電着塗装システム及び電着塗装方法の第2の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、純水洗処理ゾーン20Bの構成が第1の実施形態とは異なっている。以下、本実施形態に係る電着塗装システム1について、主に第1の実施形態との相違点について説明する。なお、特に明記しない点に関しては、第1の実施形態と同様であり、同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
最後に、本発明に係る電着塗装システム及び電着塗装方法のその他の実施形態について説明する。なお、以下のそれぞれの実施形態で開示される構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示される構成と組み合わせて適用することも可能である。
10 電着処理ゾーン
20 水洗処理ゾーン
20A UF水洗処理ゾーン
20B 純水洗処理ゾーン
21 UF水浸漬槽(水洗処理工程部)
22 純水浸漬槽(水洗処理工程部)
23 温水浸漬槽(水洗処理工程部)
24 温水吹付部(水洗処理工程部)
27 エアーアジテーション装置(振動発生手段)
30 焼付乾燥処理ゾーン
41 配管(吹付部)
42,43a,52a 吹付口
43 吹付ノズル(吹付部)
52 分岐配管(吹付部)
A 滴下エリア
W 被塗物
Wa 鋼板合わせ面部
S1 電着塗料溶液
S2 UF水
S3 常温の純水
S4 温水
P 被塗物の進行方向
Claims (7)
- 被塗物を電着塗料溶液に浸漬させて前記被塗物の表面に塗膜を形成する電着処理ゾーンと、前記電着処理ゾーンで表面に塗膜を形成した前記被塗物を洗浄する複数の水洗処理工程部を備える水洗処理ゾーンと、前記水洗処理ゾーンで洗浄した前記被塗物を加熱して前記被塗物の塗膜を硬化乾燥させる焼付乾燥処理ゾーンと、を備える電着塗装システムであって、
前記水洗処理ゾーンは、少なくとも、前記水洗処理工程部として、前記被塗物を温水に浸漬させて洗浄する温水浸漬槽と、前記温水浸漬槽の次の前記水洗処理工程部として設けた、前記被塗物における鋼板合わせ面部に温水を吹き付ける温水吹付部と、を備える電着塗装システム。 - 前記水洗処理ゾーンは、電着塗料溶液を限外濾過して得たUF水を含有する洗浄水で水洗を行うUF水洗処理ゾーンと、前記UF水洗処理ゾーンの下流側であって、前記温水浸漬槽と前記温水吹付部とから構成される純水で水洗を行う純水洗処理ゾーンと、を備え、
前記純水洗処理ゾーンは、さらに、前記温水浸漬槽の上流側に、前記被塗物を常温の純水に浸漬させて洗浄する純水浸漬槽を備える請求項1に記載の電着塗装システム。 - 前記UF水洗処理ゾーンにおける最終の前記水洗処理工程部と前記純水浸漬槽との間、及び/又は、前記純水浸漬槽と前記温水浸漬槽との間に、前記被塗物から洗浄水を所定時間滴下させる滴下エリアを備える請求項2に記載の電着塗装システム。
- 前記水洗処理ゾーンは、電着塗料溶液を限外濾過して得たUF水を含有する洗浄水で水洗を行うUF水洗処理ゾーンと、前記UF水洗処理ゾーンの下流側であって、前記温水浸漬槽と前記温水吹付部とから構成される純水で水洗を行う純水洗処理ゾーンと、を備え、
前記UF水洗処理ゾーンにおける最終の前記水洗処理工程部と前記温水浸漬槽との間に、前記被塗物から洗浄水を所定時間滴下させる滴下エリアを備える請求項1に記載の電着塗装システム。 - 前記温水吹付部は、温水を噴出させる吹付口が前記鋼板合わせ面部に向いた複数の吹付部を、被塗物の進行方向に並べて成る請求項1〜4のいずれか1項に記載の電着塗装システム。
- 前記温水浸漬槽中の温水を振動させる振動発生手段を備える請求項1〜5のいずれか1項に記載の電着塗装システム。
- 被塗物を電着塗料溶液に浸漬させて前記被塗物の表面に塗膜を形成する電着処理工程と、前記電着処理工程で表面に塗膜を形成した前記被塗物を複数の工程で段階的に洗浄する水洗処理工程と、前記水洗処理工程で洗浄した前記被塗物を加熱して前記被塗物の塗膜を硬化乾燥させる焼付乾燥処理工程と、を実行する電着塗装方法であって、
前記水洗処理工程では、少なくとも、前記被塗物を温水に浸漬させて洗浄する温水浸漬工程と、前記温水浸漬工程の次の工程として、前記被塗物における鋼板合わせ面部に温水を吹き付ける温水吹付工程とを実行する電着塗装方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015141511A JP6664159B2 (ja) | 2015-07-15 | 2015-07-15 | 電着塗装システム、及び、電着塗装方法 |
PCT/JP2016/070657 WO2017010504A1 (ja) | 2015-07-15 | 2016-07-13 | 電着塗装システム、及び、電着塗装方法 |
EP16824484.6A EP3323911A4 (en) | 2015-07-15 | 2016-07-13 | ELECTRODEPOSITION SYSTEM AND ELECTRODEPOSITION METHOD |
CN201680041512.XA CN108026658A (zh) | 2015-07-15 | 2016-07-13 | 电沉积涂装系统及电沉积涂装方法 |
US15/744,168 US10676839B2 (en) | 2015-07-15 | 2016-07-13 | Electrodeposition system and electrodeposition method |
MX2018000503A MX2018000503A (es) | 2015-07-15 | 2016-07-13 | Sistema de electrodeposicion y metodo de electrodeposicion. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015141511A JP6664159B2 (ja) | 2015-07-15 | 2015-07-15 | 電着塗装システム、及び、電着塗装方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017025346A true JP2017025346A (ja) | 2017-02-02 |
JP6664159B2 JP6664159B2 (ja) | 2020-03-13 |
Family
ID=57757174
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015141511A Active JP6664159B2 (ja) | 2015-07-15 | 2015-07-15 | 電着塗装システム、及び、電着塗装方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10676839B2 (ja) |
EP (1) | EP3323911A4 (ja) |
JP (1) | JP6664159B2 (ja) |
CN (1) | CN108026658A (ja) |
MX (1) | MX2018000503A (ja) |
WO (1) | WO2017010504A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6779245B2 (ja) | 2018-02-26 | 2020-11-04 | 株式会社大気社 | 電着塗装設備 |
JP7177620B2 (ja) | 2018-08-02 | 2022-11-24 | トリニティ工業株式会社 | 熱回収装置及び電着塗装システム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52155645A (en) * | 1976-06-22 | 1977-12-24 | Kansai Paint Co Ltd | Modified rinsing in electrodeposition coating |
JPH04346696A (ja) * | 1991-05-21 | 1992-12-02 | Kansai Paint Co Ltd | カチオン電着塗装工程における水洗方法 |
JPH11131291A (ja) * | 1997-10-28 | 1999-05-18 | Nissan Motor Co Ltd | 電着塗装方法 |
JP2008012374A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Nippon Paint Co Ltd | 塗装方法および塗装装置 |
JP2009249681A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Nissan Motor Co Ltd | 過熱水蒸気による電着水洗方法 |
JP2009293079A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Kanto Auto Works Ltd | 電着塗装の水洗システム |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2558134B2 (ja) | 1988-01-12 | 1996-11-27 | 新日本製鐵株式会社 | 高能率電解クロムめっき鋼板の製造方法 |
JP3154568B2 (ja) * | 1992-09-24 | 2001-04-09 | 日産自動車株式会社 | 電着塗装の水洗方法 |
JP3309699B2 (ja) | 1996-03-11 | 2002-07-29 | 日産自動車株式会社 | 電着塗装用洗浄装置 |
JPH09268397A (ja) | 1996-04-01 | 1997-10-14 | Nippon Paint Plant Eng Kk | 電着塗装システムの水洗工程 |
JPH1180996A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-26 | Nissan Motor Co Ltd | 電着塗装方法 |
CA2414892A1 (en) * | 2001-12-19 | 2003-06-19 | Durr Industries, Inc. | Pretreatment spray clean tank configuration |
JP2008189963A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Nippon Paint Co Ltd | 電着塗装方法および水洗工程を短縮もしくは水洗水の使用量の削減方法 |
JP2009167496A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Kanto Auto Works Ltd | 電着塗装の前処理水洗装置 |
CN101624720A (zh) | 2009-08-20 | 2010-01-13 | 一拖(洛阳)福莱格车身有限公司 | 一种阴极电泳涂装后冲洗工艺 |
CN103436940A (zh) | 2013-08-29 | 2013-12-11 | 长城汽车股份有限公司 | 电泳涂装工艺以及用于该电泳涂装工艺的电泳涂装装置 |
-
2015
- 2015-07-15 JP JP2015141511A patent/JP6664159B2/ja active Active
-
2016
- 2016-07-13 EP EP16824484.6A patent/EP3323911A4/en not_active Withdrawn
- 2016-07-13 WO PCT/JP2016/070657 patent/WO2017010504A1/ja active Application Filing
- 2016-07-13 US US15/744,168 patent/US10676839B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2016-07-13 MX MX2018000503A patent/MX2018000503A/es unknown
- 2016-07-13 CN CN201680041512.XA patent/CN108026658A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52155645A (en) * | 1976-06-22 | 1977-12-24 | Kansai Paint Co Ltd | Modified rinsing in electrodeposition coating |
JPH04346696A (ja) * | 1991-05-21 | 1992-12-02 | Kansai Paint Co Ltd | カチオン電着塗装工程における水洗方法 |
JPH11131291A (ja) * | 1997-10-28 | 1999-05-18 | Nissan Motor Co Ltd | 電着塗装方法 |
JP2008012374A (ja) * | 2006-07-03 | 2008-01-24 | Nippon Paint Co Ltd | 塗装方法および塗装装置 |
JP2009249681A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Nissan Motor Co Ltd | 過熱水蒸気による電着水洗方法 |
JP2009293079A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Kanto Auto Works Ltd | 電着塗装の水洗システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MX2018000503A (es) | 2018-09-06 |
CN108026658A (zh) | 2018-05-11 |
WO2017010504A1 (ja) | 2017-01-19 |
EP3323911A4 (en) | 2019-01-16 |
EP3323911A1 (en) | 2018-05-23 |
US10676839B2 (en) | 2020-06-09 |
US20180202064A1 (en) | 2018-07-19 |
JP6664159B2 (ja) | 2020-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100589306B1 (ko) | 도장 시스템 | |
JP2017025346A (ja) | 電着塗装システム、及び、電着塗装方法 | |
KR20160081284A (ko) | 오일쿨러부품 자동 세척 플럭스 도포장치 | |
JP3341727B2 (ja) | ウエット装置 | |
JP5708274B2 (ja) | 洗浄装置 | |
TW201703864A (zh) | 噴灑蝕刻裝置 | |
JP2017154111A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP6135575B2 (ja) | 冷延鋼板の冷却方法および冷却設備ならびに冷延鋼板の製造方法 | |
JP2008012374A (ja) | 塗装方法および塗装装置 | |
JP2015013240A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
US7926494B2 (en) | Bernoulli blade | |
TWI610726B (zh) | 用於清潔物件的方法和裝置 | |
RU2489338C2 (ru) | Установка и способ обработки поверхности деталей, в частности, кузовов автомобилей | |
JP2006272298A (ja) | 容器洗浄装置 | |
TW201630845A (zh) | 用於大型基板之水平濕式化學處理之裝置的處理模組 | |
KR101620292B1 (ko) | 세라믹도장의 전처리개선방법 | |
JPH11300300A (ja) | 基板処理方法および同装置 | |
JP2019127643A (ja) | 電着塗装方法及び電着塗装装置 | |
JP6927065B2 (ja) | 電着塗装方法及び電着塗装装置 | |
KR101556847B1 (ko) | 진공세정기반의 외부전극 형성시스템 | |
KR101075483B1 (ko) | 기판 세정장치 및 방법 | |
JP2016187049A (ja) | ウェハの洗浄装置および洗浄方法 | |
KR100924080B1 (ko) | 습식에칭장치 및 이를 이용한 습식에칭방법 | |
JP6049257B2 (ja) | ウェハの洗浄装置および洗浄方法 | |
JP2003239098A (ja) | 電着塗装方法および電着塗装装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190806 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6664159 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |