JP6049257B2 - ウェハの洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態1にかかる洗浄装置1を図1、2に示す。図1は洗浄装置1の断面図、図2は洗浄装置1の上面図である。
まず、図4のフローチャートにおける配置工程(ステップS1)を実施する。具体的には、ウェハ2をキャリア20に保持させた状態で、キャリア20ごと槽3内に配置する。このとき、シャワーバルブ12、洗浄液供給バルブ15、および洗浄液排出管バルブ17はいずれも閉状態に制御されている。
次に、第1洗浄工程(ステップS2)を実施する。具体的には、図5に示されるように、シャワーノズル9から槽3内に配置された複数のウェハ2に対して洗浄液を噴射する。これは、閉状態とされていたシャワーバルブ12を開状態に制御することにより、洗浄液供給源22に接続されたシャワー水供給口11からシャワーパイプ10を通じてシャワーノズル9に超純水を供給して行う。
次に、第2洗浄工程(ステップS3)を実施する。具体的には、まず、洗浄液供給ノズル13から超純水を供給することにより槽3内に超純水を貯めていく。これは、閉状態とされていた洗浄液供給バルブ15を開状態に制御することにより、洗浄液供給源22に接続された洗浄液供給口14からパイプを通じて洗浄液供給ノズル13に超純水を供給して行う。洗浄液供給ノズル13からの超純水の供給を開始してから所定時間経過すると、ウェハ2は超純水によって浸漬され、さらに時間が経過すると、槽3が超純水によってオーバーフローする。オーバーフローによって、ウェハ2に付着していた薬液を含む超純水が槽3外部へ排出されることにより、ウェハ2表面の洗浄が進む。槽3がオーバーフローしてから所定時間経過後に洗浄液供給バルブ15を閉状態に制御することにより、超純水の供給を停止する。なお、ステップS2にて実施していたシャワーノズル9からウェハ2への超純水の噴射は、ステップS3開始後も引き続き実施し、ウェハ2が超純水によって浸漬されたら停止する。
次に、搬出工程(ステップS4)を実施する。具体的には、搬出手段(図示せず)を用いて、ウェハ2をキャリア20ごと槽3の外部へ搬出する。搬出手段としては様々なものを用いることができる。搬出されたウェハ2は、続く半導体製造工程へと送られる。
本発明の実施の形態2では、実施の形態1と同じ洗浄装置1を用いて、図7に示すフローチャートの工程を実施する。以下に実施の形態1との相違点についてのみ説明する。
従来例では、超純水の噴射は行わないでクイックダンプリンス工程のみでウェハ2の洗浄を行う。すなわち、図7に示す実施の形態1のフローチャートから第1洗浄工程を抜いたフローに従って、ウェハ2の洗浄を行うというものである。図12A、12Bに、従来例によるウェハ2のエッチング量の結果を示す。図12Aは、ウェハ2のX軸(水平中心軸)上におけるエッチング量を示すグラフであり、縦軸がウェハ2のエッチング量(nm)、横軸がX座標位置(mm)である。図12Bは、ウェハ2のY軸(垂直中心軸)上におけるエッチング量を示すグラフであり、縦軸がウェハ2のエッチング量(nm)、横軸がY座標位置(mm)である。設定条件としては、シャワーノズル9からの超純水の噴射量が8L(リットル)/分、洗浄液供給ノズル13からの超純水の供給量が10L/分、洗浄工程におけるクイックダンプリンス工程の回数が3回、クイックダンプリンス工程1回あたりの超純水の供給・排出量が約20Lである。
実施例1では、上述した実施の形態1に沿ったフロー(図4)でウェハ2の洗浄を行う。図13A、13Bに、実施例1によるウェハ2のエッチング量の結果を示す。設定条件としては、シャワーノズル9からの超純水の噴射量が8L/分、洗浄液供給ノズル13からの超純水の供給量が10L/分、第1洗浄工程における超純水の噴射時間が30秒、第2洗浄工程におけるクイックダンプリンス工程の回数が3回、クイックダンプリンス工程1回あたりの超純水の供給・排出量が約20Lである。
実施例2では、上述した実施の形態2に沿ったフロー(図7)でウェハ2の洗浄を行う。図14A、14Bに、実施例2によるウェハ2のエッチング量の結果を示す。設定条件としては、シャワーノズル9からの超純水の噴射量が10L/分、洗浄工程における超純水の噴射時間が180秒である。
2 ウェハ
3 槽
4 シンク
5 洗浄液噴射装置
6 洗浄液供給装置
7 排出装置
8 制御装置
9 シャワーノズル
10 シャワーパイプ
11 シャワー供給口
12 シャワーバルブ
13 洗浄液供給ノズル
14 洗浄液供給口
15 洗浄液供給バルブ
16 洗浄液排出管
17 洗浄液排出管バルブ
18 シンクドレン
19 オリフラ
20 キャリア
21 回転駆動部
22 洗浄液供給源
Claims (12)
- 内部にウェハが配置される槽と、
槽内に配置されたウェハに洗浄液を噴射するノズルを有する洗浄液噴射装置と、
槽内に洗浄液を貯留するように洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、
槽内の洗浄液を槽の底部より外部へ排出する排出装置と、
槽内に配置されたウェハを液体に浸漬させることなく、ウェハの表面に洗浄液を噴射することにより、ウェハ表面に付着した薬液を除去する第1の洗浄処理を実行し、第1の洗浄処理後にウェハを洗浄液に浸漬させ、その後槽内から洗浄液を排出することによりウェハ表面に付着した薬液を除去する第2の洗浄処理を実行するように、洗浄液噴射装置、洗浄液供給装置、および排出装置を制御する制御装置と、を備えるウェハの洗浄装置。 - 第2の洗浄処理が複数回繰り返される、請求項1に記載のウェハの洗浄装置。
- 洗浄液噴射装置において隣接するノズルが、ウェハの異なる部分に噴射するように異なる角度にて配置されている、請求項1又は2に記載の洗浄装置。
- 洗浄液噴射装置は、ウェハの異なる部分に噴射するように揺動可能である、請求項1から3のいずれか1つに記載の洗浄装置。
- 第1の洗浄処理を実行する前にウェハをフッ化水素酸に浸漬させて洗浄する洗浄槽を備える、請求項1から4のいずれか1つに記載の洗浄装置。
- 洗浄液が超純水である、請求項1から5のいずれか1つに記載の洗浄装置。
- 槽内に、ウェハを配置する配置工程と、
槽内に配置されたウェハを液体に浸漬させることなく、ウェハの表面に洗浄液を噴射することにより、ウェハ表面に付着した薬液を除去する第1の洗浄工程と、
第1の洗浄工程後にウェハを洗浄液に浸漬させ、その後槽内から洗浄液を排出することによりウェハ表面に付着した薬液を除去する第2の洗浄工程と、を有するウェハの洗浄方法。 - 第2の洗浄工程を複数回繰り返す、請求項7に記載の洗浄方法。
- 第1の洗浄工程において、異なる角度にて配置された隣接する複数のノズルがウェハの異なる部分に洗浄液を噴射することにより薬液の除去を行う、請求項7又は8に記載の洗浄方法。
- 第1の洗浄工程において、ウェハに洗浄液を噴射する装置が揺動することによりノズルがウェハの異なる部分に洗浄液を噴射して薬液の除去を行う、請求項7から9のいずれか1つに記載の洗浄方法。
- 第1の洗浄工程の前にウェハをフッ化水素酸に浸漬させて洗浄する、請求項7から10のいずれか1つに記載の洗浄方法。
- 洗浄液が超純水である、請求項7から11のいずれか1つに記載の洗浄方法。
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