JP7333724B2 - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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前記処理液が貯留される処理槽と、
前記基板を昇降可能に保持し、前記基板を降下させ、該基板を前記処理槽に貯留された前記処理液に浸漬させる基板昇降部と、
前記処理槽に処理液を構成する薬液または純水を供給する薬液供給部と、
前記薬液供給部による薬液または純水の前記処理槽への供給を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記基板昇降部により基板が前記処理槽内の処理液に浸漬された状態において、所定時間に亘り、前記薬液供給部による前記薬液または純水の前記処理槽への供給を停止することを特徴とする、基板処理装置である。
ことができる。
処理槽内に前記処理液を構成する薬液または純水を供給して貯留させる貯留工程と、
前記基板を前記処理槽に貯留された前記処理液に降下させる降下工程と、
前記降下工程により前記基板が前記処理槽内の処理液に浸漬された状態を維持する浸漬工程と、
を有し、
前記浸漬工程においては、所定時間に亘り、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給を停止することを特徴とする、基板処理方法であってもよい。
図1は、本発明の実施例1に係る基板処理装置1の概略図である。基板処理装置1は、半導体ウェハ(以下、単に基板Wともいう)の処理を実行する装置である。ここで、基板Wの製造工程においては、例えばシリコン等のインゴッドをその棒軸方向にスライスし、得られたものに対して面取り、ラッピング、エッチング処理、ポリッシング等の処理が順次施される。そして、処理槽2において実行される基板Wのエッチング処理は、例えば、基板W上のポリシリコン膜や金属膜等を除去することを目的としており、基板Wを処理液に浸漬することにより実施される。
水(CO2 Water)、オゾン水(Ozon Water)等を含んだものであってもよい。
処理液が急速に排水(以下、急速排水ともいう)され、処理槽2を空の状態にすることが可能である。なお、処理槽2から処理液を排水する手法としては、排液バルブ4bが閉弁した状態としたまま処理液を構成する薬液または純水を処理槽2内に流入させ、処理槽2の上端から処理液を溢れさせて排水することも可能となっている。
、処理槽2の下部から上部に向かう水流を生じさせる。そして、その期間中、処理槽2の上端からSC1を含む使用後の処理液が溢れることで排水され、最終的には、処理槽2は純水で略満たされた状態となる。そして、その過程において基板Wの洗浄(リンス)が実行され、処理の進行も停止する。
次に、本発明の実施例2について説明する。実施例1では、ステップ2において、噴出管6a、6bからの処理槽2へのSC1や純水の噴出を停止し、基板Wが処理液に浸漬された状態で静置することとした。これに対し、実施例2においては、処理槽2の下部に超音波発生器を配置し、ステップ2において、処理槽2の下部の処理液に超音波振動を作用させる例について説明する。
した超音波振動は伝搬槽7b内の伝搬水を介して処理槽2の底板2aに伝搬し、底板2aを透過してさらに処理槽2内の処理液に伝搬する。そして、処理液に伝搬した超音波振動のエネルギーによって処理槽2の下部における処理液の温度が上昇する。なお、供給管7dから伝播槽7b内に供給される伝播水としては、例えば、純水が挙げられる。
C1等の薬液や純水は噴出されず、処理槽2内の処理液が静止した状態で基板Wの処理が進行する。よって、噴出管6a、6bから噴出された薬液や純水による水流が基板Wに直接作用する領域において処理が促進されることを抑制し、基板Wにおける処理の進行度合い偏りが生じることを抑制できる。さらに、ステップ12においては、超音波発生器7から処理槽2の下部の処理液に超音波振動を作用させ、処理槽2内の下部の処理液の温度を上昇させている。よって、ステップ12においてより確実に、基板Wの処理の進行度合いに偏りが生じることを抑制できる。
うに、ステップ11~12において超音波振動を処理槽12の下部の処理液に作用させることで、基板Wの処理の進行度合いの偏りが改善されることが分かる。
次に、本発明の実施例3について説明する。実施例1では、ステップ2において、基板Wが処理液に浸漬された状態で静置した後、ステップ3においては、純水を噴出管6a、6bから処理槽2に第3時間に亘り噴出させ、処理槽2におけるSC1濃度を低下させた。そして、その期間中、処理槽2の上端からSC1を含む使用後の処理液が溢れることで排水され、最終的には、純水で満たされた状態とした。実施例3においては、ステップ2に相当するステップ22の終了後において、噴出管6a、6bから純水を噴出させるのではなく、排液部4から急速排水を行いつつ、処理槽2の上部から処理液より低温の純水を散水することで、基板Wを洗浄するとともに、基板Wの上部の温度を低下させる例について説明する。
まう場合があった。これに対し、本実施例においては、ステップ2に相当するステップ22の終了後に、処理槽2の上側から処理槽2内の処理液より低温の純水を処理槽2に散水し、基板Wを洗浄するとともに、基板Wの上部の温度を低下させる。ここで、散水される純水の温度は、例えば室温(25℃前後)であってもよい。
。このように、ステップ23において低温の純水を処理槽2の上側から散水することで、基板Wの処理の進行度合いの偏りが改善されることが分かる。
槽2内の処理液の水面を徐々に下げ、水面から基板Wの上部が露出した時点で、純水の散水を直接基板Wに当てることで、より迅速に基板Wから処理液を洗い流すとともに基板Wの温度を低下させ、処理の進行を抑制することができる。そして、急速排水により処理槽2内の処理液が無くなった時点で、急速排水を停止して、上部噴出管9a、9bからの純水の散水を継続することで、処理槽2内には純水が満たされる状態となる。その後に図6のステップ21に戻るようにしてもよい。
次に、本発明の実施例4について説明する。上述の実施例2においては、処理槽2の下側に超音波発生器7を配置し、ステップ12においては、処理槽2への薬液や純水の噴出を停止するとともに、処理槽2の下側から超音波振動を作用させた。そして、ステップ13においては、純水を噴出管6a、6bから処理槽2に噴出させ、処理槽2内におけるSC1濃度を低下させた。そして、その期間中、処理槽2の上端からSC1を含む使用後の処理液を溢れさせて排水し、最終的には、純水で満たされる状態とした。
第4時間に亘り散水する。この第4時間は、例えば30sec程度であってもよい。
2・・・処理槽
4・・・排液部
5・・・制御部
6a、6b・・・噴出管
7・・・超音波発生器
9a、9b・・・上部噴出管
40・・・濃度調整部
100・・・基板処理システム
W・・・基板
Claims (10)
- 基板を処理液に浸漬させることにより前記基板に対して所定の処理を行う基板処理装置であって、
前記処理液が貯留される処理槽と、
前記基板を昇降可能に保持し、前記基板を降下させ、該基板を前記処理槽に貯留された前記処理液に浸漬させる基板昇降部と、
前記処理槽に処理液を構成する薬液または純水を供給する薬液供給部と、
前記薬液供給部による薬液または純水の前記処理槽への供給を制御し、前記基板昇降部により前記基板が前記処理槽内の処理液に浸漬された状態において、所定時間に亘り、前記薬液供給部による前記薬液または純水の前記処理槽への供給を停止する制御部と、
前記基板昇降部により基板が前記処理槽内の処理液に浸漬され、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態における、前記処理槽内の上部の前記処理液の温度が高く、下部の前記処理液の温度が低いという温度分布による前記処理の進行状態の偏りを補正する補正部と、
を備え、
前記補正部は、前記基板昇降部により基板が前記処理槽内の処理液に浸漬され、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態において、前記処理槽内の下部における前記処理液に超音波を作用させることで、前記処理槽内の下部における処理液の温度を上昇させる超音波発生器を有することを特徴とする、基板処理装置。 - 前記補正部は、更に、前記基板昇降部により基板が前記処理槽内の処理液に浸漬され、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態の後において、前記処理槽内の前記処理液を該処理槽の下部から排水するとともに、該処理槽の上側から、該処理槽内の前記処理液より低温の純水を前記処理槽内に散水することで、前記処理槽内の上部の前記処理液の温度を下げる散水器を有することを特徴とする、請求項1に記載の基板処理装置。
- 基板を処理液に浸漬させることにより前記基板に対して所定の処理を行う基板処理装置であって、
前記処理液が貯留される処理槽と、
前記基板を昇降可能に保持し、前記基板を降下させ、該基板を前記処理槽に貯留された前記処理液に浸漬させる基板昇降部と、
前記処理槽に処理液を構成する薬液または純水を供給する薬液供給部と、
前記薬液供給部による薬液または純水の前記処理槽への供給を制御し、前記基板昇降部により前記基板が前記処理槽内の処理液に浸漬された状態において、所定時間に亘り、前記薬液供給部による前記薬液または純水の前記処理槽への供給を停止する制御部と、
前記基板昇降部により基板が前記処理槽内の処理液に浸漬され、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態における、前記処理槽内の上部の前記処理液の温度が高く、下部の前記処理液の温度が低いという温度分布による前記処理の進行状態の偏りを補正する補正部と、
を備え、
前記補正部は、前記基板昇降部により基板が前記処理槽内の処理液に浸漬され、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態の後において、前記処理槽内の前記処理液を該処理槽の下部から排水するとともに、該処理槽の上側から、該処理槽内の前記処理液より低温の純水を前記処理槽内に散水することで、前記処理槽内の上部の前記処理液の温度を下げる散水器を有することを特徴とする、基板処理装置。 - 前記散水器は、前記処理液の該処理槽の下部からの排水が開始されるタイミングで、前記散水を開始することを特徴とする、請求項2または3に記載の基板処理装置。
- 前記散水器は、前記処理槽内の前記処理液が該処理槽の下部から排水され、前記処理液に浸漬されていた基板が処理液の水面から露出するタイミングで、前記散水を開始することを特徴とする、請求項2または3に記載の基板処理装置。
- 基板を処理液に浸漬させることにより前記基板に対して所定の処理を行う基板処理方法であって、
処理槽内に前記処理液を構成する薬液または純水を供給して貯留させる貯留工程と、
前記基板を前記処理槽に貯留された前記処理液に降下させる降下工程と、
前記降下工程により前記基板が前記処理槽内の処理液に浸漬された状態を維持し、所定時間に亘り、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給を停止する浸漬工程と、
前記浸漬工程の、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態における、前記処理槽内の上部の前記処理液の温度が高く、下部の前記処理液の温度が低いという温度分布による前記処理の進行状態の偏りを補正する補正工程と、
を有し、
前記補正工程においては、前記浸漬工程の、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態で、前記処理槽内の下部における前記処理液に超音波を作用させ、前記処理槽内の下部における処理液の温度を上昇させることを特徴とする、基板処理方法。 - 前記補正工程においては、更に、前記浸漬工程の、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態の後で、前記処理槽内の前記処理液を該処理槽の下部から排水するとともに、該処理槽の上側から、該処理槽内の前記処理液より低温の純水を前記処理槽内に散水することで、前記処理槽内の上部の前記処理液の温度を下げることを特徴とする、請求項6に記載の基板処理方法。
- 基板を処理液に浸漬させることにより前記基板に対して所定の処理を行う基板処理方法であって、
処理槽内に前記処理液を構成する薬液または純水を供給して貯留させる貯留工程と、
前記基板を前記処理槽に貯留された前記処理液に降下させる降下工程と、
前記降下工程により前記基板が前記処理槽内の処理液に浸漬された状態を維持し、所定
時間に亘り、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給を停止する浸漬工程と、
前記浸漬工程の、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態における、前記処理槽内の上部の前記処理液の温度が高く、下部の前記処理液の温度が低いという温度分布による前記処理の進行状態の偏りを補正する補正工程と、
を有し、
前記補正工程においては、前記浸漬工程の、前記処理槽に対する前記薬液または純水の供給が停止された状態の後で、前記処理槽内の前記処理液を該処理槽の下部から排水するとともに、該処理槽の上側から、該処理槽内の前記処理液より低温の純水を前記処理槽内に散水することで、前記処理槽内の上部の前記処理液の温度を下げることを特徴とする、基板処理方法。 - 前記補正工程においては、前記処理液の該処理槽の下部からの排水が開始されるタイミングで、前記散水を開始することを特徴とする、請求項7または8に記載の基板処理方法。
- 前記補正工程においては、前記処理槽内の前記処理液が該処理槽の下部から排水され、前記処理液に浸漬されていた基板が処理液の水面から露出するタイミングで、前記散水を開始することを特徴とする、請求項7または8に記載の基板処理方法。
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