JP2017005120A - 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る基板液処理装置は、貯留部と、処理部と、回収部と、補充部と、制御部とを備える。貯留部は、複数の成分を含有する処理液を貯留する。処理部は、貯留部から供給される処理液を使用して基板を処理する。回収部は、処理部から貯留部へ処理液を回収する。補充部は、処理液中の複数の成分のうちの少なくともいずれかから選択される補充対象成分を貯留部へ補充する。制御部は、処理部による処理を含む一連の基板液処理を実行させる。また、制御部は、貯留部内に残存する処理液から揮発した補充対象成分の揮発量を算出し、算出した揮発量分を補充部より補充させる。
【選択図】図5
Description
1 基板処理システム
2 搬入出ステーション
3 処理ステーション
4 制御装置
16 処理ユニット
18 制御部
102 タンク
113 回収ライン
116 タンク液補充部
Claims (10)
- 複数の成分を含有する処理液を貯留する貯留部と、
前記貯留部から供給される前記処理液を使用して基板を処理する処理部と、
前記処理部から前記貯留部へ前記処理液を回収する回収部と、
前記処理液中の複数の前記成分のうちの少なくともいずれかから選択される補充対象成分を前記貯留部へ補充する補充部と、
前記処理部による処理を含む一連の基板液処理を実行させる制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記貯留部内に残存する前記処理液から揮発した前記補充対象成分の揮発量を算出し、算出した該揮発量分を前記補充部より補充させること
を特徴とする基板液処理装置。 - 前記制御部は、
前記処理液の前記貯留部への未回収分のうち逸失分を推定し、推定した前記逸失分に基づいて前記揮発量を算出すること
を特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。 - 前記制御部は、
前記逸失分に相当する量の前記処理液の新液を前記補充部より補充させること
を特徴とする請求項2に記載の基板液処理装置。 - 前記制御部は、
前記処理液の新液を使用して前記基板液処理を開始してからの処理時間に基づいて前記揮発量を算出すること
を特徴とする請求項2または3に記載の基板液処理装置。 - 前記制御部は、
予め設定された前記基板1枚あたりの逸失量へ、前記処理液の新液を使用して前記基板液処理を開始してからの前記基板の処理枚数を乗じることによって前記逸失分を推定すること
を特徴とする請求項2、3または4に記載の基板液処理装置。 - 前記制御部は、
前記処理部への前記処理液の供給時間を変化させた場合の該供給時間と前記貯留部内における前記未回収分との対応関係を示す検量線を生成し、該検量線の切片を前記逸失分として算出するとともに、前記検量線の傾きを前記揮発量分として算出すること
を特徴とする請求項2〜5のいずれか一つに記載の基板液処理装置。 - 前記処理液は、
フッ酸とフッ化アンモニウム溶液の混合水溶液であること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の基板液処理装置。 - 前記フッ酸中のフッ化水素と前記フッ化アンモニウム溶液中のフッ化アンモニウムとの成分比が略1:1である場合に、前記補充対象成分として前記フッ化水素が選択され、
前記制御部は、
前記フッ化水素の前記揮発量を算出し、算出した該揮発量分の前記フッ化水素を含む希フッ酸を前記補充部より補充させること
を特徴とする請求項7に記載の基板液処理装置。 - 複数の成分を含有する処理液を貯留する貯留部と、前記貯留部から供給される前記処理液を使用して基板を処理する処理部と、前記処理部から前記貯留部へ前記処理液を回収する回収部と、前記処理液中の複数の前記成分のうちの少なくともいずれかから選択される補充対象成分を前記貯留部へ補充する補充部とを備える基板液処理装置を用い、前記処理部による処理を含む一連の基板液処理を実行させる制御工程を含み、
前記制御工程は、
前記貯留部内に残存する前記処理液から揮発した前記補充対象成分の揮発量を算出し、算出した該揮発量分を前記補充部より補充させること
を特徴とする基板液処理方法。 - コンピュータ上で動作し、基板液処理装置を制御するプログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記プログラムは、実行時に、請求項9に記載の基板液処理方法が行われるように、コンピュータに前記基板液処理装置を制御させること
を特徴とする記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015117851A JP6393238B2 (ja) | 2015-06-10 | 2015-06-10 | 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体 |
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