JP2016531438A - インシトゥで取り出すことができる静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 静電チャックであって、
前記静電チャックの底部を画定する底面および頂面を有する実質的に堅い支持層と、
第1の電極と、
前記第1の電極と少なくとも部分的に交互に配置された第2の電極と、
前記静電チャックの頂部を画定する頂面を有する誘電体層と
を備え、前記第1および第2の電極が、前記誘電体層の前記頂面と前記支持層の前記頂面との間に配置されており、前記支持層、前記電極および前記誘電体層が単一体を形成し、前記静電チャックがさらに、
前記第1の電極に結合された第1のコネクタであり、前記静電チャックの前記底部に対して露出した第1のコネクタと、
前記第2の電極に結合された第2のコネクタであり、前記静電チャックの前記底部に対して露出した第2のコネクタと
を備え、
前記第1および第2のコネクタが、ばね式の導体と接触することによって電源に電気的に接続するように構成された
静電チャック。 - 前記第1のコネクタが導電性パッドを含む、請求項1に記載の静電チャック。
- 前記支持層を貫いて前記パッドを前記第1の電極に電気的に接続する1つまたは複数の導電性ビア
をさらに備える、請求項1に記載の静電チャック。 - 前記第1の電極が、前記第2の電極の複数のフィンガと交互に配置された複数のフィンガを備える、請求項1に記載の静電チャック。
- 前記支持層および前記誘電体層が、前記支持層および前記誘電体層内に形成されたガス導管と、前記支持層および前記誘電体層を貫いて形成された3つ以上のリフトピン孔とを有する、請求項1に記載の静電チャック。
- 前記誘電体層の前記頂面が、前記誘電体層の前記頂面内に形成された1つまたは複数のガスチャネルを有し、前記ガスチャネルが前記ガス導管に結合された、請求項4に記載の静電チャック。
- 基板をチャックする装置であって、
(a)
頂面と、
前記頂面を貫いて形成された孔の中に配置された第1の複数のリフトピンと、
前記頂面を貫いて形成された孔の中に配置された第2の複数のリフトピンと
を備える支持部材と、
(b)前記支持部材の前記頂面上に配置された静電チャックと
を備え、前記静電チャックが、
前記静電チャックの底部を画定する底面および頂面を有する実質的に堅い支持層と、
第2の電極と少なくとも部分的に交互に配置された第1の電極と、
前記静電チャックの頂部を画定する頂面を有する誘電体層と
を備え、前記第1および第2の電極が、前記誘電体層の前記頂面と前記支持層の前記頂面との間に配置されており、前記装置がさらに、
(c)前記誘電体層の前記頂面から突出する持ち上げられた位置と、前記誘電体層の前記頂面の高さと同じかまたはそれよりも低い引っ込められた位置との間で、前記第1の複数のリフトピンを変位させるように構成された第1のアクチュエータと、
(d)前記支持部材の前記頂面から間隔を置いて前記静電チャックを配置する持ち上げられた位置と、前記支持部材の前記頂面上に前記静電チャックを着座させる引っ込められた位置との間で、前記第2の複数のリフトピンを変位させるように構成された第2のアクチュエータと
を備える装置。 - 前記支持部材の前記頂面が、
前記静電チャックを受け取る凹み
を備える、請求項7に記載の装置。 - 前記静電チャックが、
前記静電チャックの外側端面内に形成された1つまたは複数のガス送達溝であり、前記静電チャックの前記頂面内に形成されたもう1つのガス送達溝に結合された1つまたは複数のガス送達溝を備え、前記支持部材の前記頂面内に形成された前記凹みの側壁が、前記静電チャックの前記外側端面内に形成された前記ガス送達溝の境界をなす、
請求項8に記載の装置。 - 前記静電チャックおよび前記支持部材が、前記支持部材に対する前記静電チャックの位置に応じて自動的に係合し、自動的に係合を解くように構成された電気接続を有する、請求項8に記載の装置。
- 前記誘電体層が、前記支持層の熱膨張率にほぼ等しい熱膨張率を備える、請求項8に記載の装置。
- 前記第1の電極が、前記第2の電極の複数のフィンガと交互に配置された複数のフィンガを備える、請求項8に記載の装置。
- 処理チャンバ内の静電チャックを取り替える方法であって、
第1の一組のリフトピンを作動させて、前記処理チャンバ内に配置された支持部材から第1の静電チャックを離隔させること、
ロボットによって、前記第1の一組のリフトピンから前記第1の静電チャックを取り外すこと、
ロボットによって、前記第1の一組のリフトピン上に第2の静電チャックを置くこと、および
前記第1の一組のリフトピンを作動させて、前記支持部材上に前記第2の静電チャックをセットすること
を含む方法。 - ロボットによって、前記第1の一組のリフトピン上に前記第2の静電チャックを置くことが、
前記第2の静電チャックを貫いて形成された孔を第2の一組のリフトピンと整列させることを含み、前記第2の一組のリフトピンが、前記第2の静電チャックの上方に、加工物を、前記第2の静電チャックから間隔を置いて配置する位置まで作動するように構成された、
請求項13に記載の方法。 - 前記支持部材に前記第2の静電チャックを固定すること、および
前記支持部材に対して前記第2の静電チャックを静電的に保持すること
をさらに含む、請求項13に記載の方法。
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