JP2016521238A - シーメンス炉用のガス分配器 - Google Patents
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Abstract
Description
1 炉フード
21 原料ガス分配器
22 排ガス捕集器
31 原料ガス管
32 排ガス管
41 反応ガス給送部
42 排ガス除去部
5 ベースプレート
6 フランジ接続部
7 U字状基材(フィラメント)
8 水冷却部(二重壁)
9 水噴霧部
Claims (12)
- 容易に脱着可能な固定手段を用いて互いに気密に接続される少なくとも2つのセグメントと、少なくとも1つのガス入口孔および少なくとも1つのガス出口孔とを備え、ガスを輸送できる、ガス分配器であって、ガス分配器は、容易に脱着可能な固定手段を用いて多結晶シリコンを析出するための炉に取り付けることができ、ガス分配器の少なくとも1つのガス出口孔が、炉の少なくとも1つのガス入口孔に連通接続される、および/または、ガス分配器の少なくとも1つのガス入口孔が、炉の媒体供給部の少なくとも1つのガス給送管に連通接続される、ガス分配器。
- ガスを炉内に導入するのに適しており、少なくとも1つのガス入口孔が、ガスを給送するために設けられ、ガス給送管に接続され、少なくとも1つのガス出口孔が、ガスを炉ノズルに給送するのに役立つ、請求項1に記載のガス分配器。
- 容易に脱着可能な固定手段がフランジ接続部である、請求項1または請求項2に記載のガス分配器。
- ガス分配器からノズルまでの給送管が、同一形状を有し、好ましくは垂直に延びる、請求項1から3のいずれか一項に記載のガス分配器。
- リング型である、請求項1から4のいずれか一項に記載のガス分配器。
- 容易に脱着可能な固定手段を用いて互いに気密に接続される少なくとも2つのセグメントと、少なくとも1つのガス入口孔および少なくとも1つのガス出口孔とを備え、ガスを輸送できる、ガス分配器であって、ガス分配器は、容易に脱着可能な固定手段を用いて多結晶シリコンを析出するための炉に取り付けることができ、ガス分配器の少なくとも1つのガス入口孔が、炉からの排ガスを給送するために設けられ、炉の少なくとも1つの排ガス孔に接続され、ガス分配器の少なくとも1つのガス出口孔が、ガス分配器から排ガスを除去するのに役立つ、ガス分配器。
- 容易に脱着可能な固定手段がフランジ接続部である、請求項6に記載のガス分配器。
- 炉の排ガス孔からガス分配器までの接続管が同一形状を有する、請求項6または7に記載のガス分配器。
- リング型である、請求項6から8のいずれか一項に記載のガス分配器。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の少なくとも1つのガス分配器を含む、多結晶シリコンを析出するための炉。
- 請求項6から9のいずれか一項に記載の少なくとも1つのガス分配器を含む、多結晶シリコンを析出するための炉。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の少なくとも1つのガス分配器と、請求項6から9のいずれか一項に記載の少なくとも1つのガス分配器とを含む、多結晶シリコンを析出するための炉。
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