JP2016216734A - セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 - Google Patents
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- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 66
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 59
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 59
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 59
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title abstract description 35
- 150000000703 Cerium Chemical class 0.000 title description 61
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 23
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 70
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 8
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 26
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 13
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 abstract description 6
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 32
- GHLITDDQOMIBFS-UHFFFAOYSA-H cerium(3+);tricarbonate Chemical compound [Ce+3].[Ce+3].[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O GHLITDDQOMIBFS-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 29
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 24
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- -1 bastonite ore Chemical compound 0.000 description 17
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 14
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 12
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 11
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 11
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 10
- 239000000047 product Substances 0.000 description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 9
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 9
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 7
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 6
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N Ammonium bicarbonate Chemical compound [NH4+].OC([O-])=O ATRRKUHOCOJYRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000013 Ammonium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 5
- 235000012538 ammonium bicarbonate Nutrition 0.000 description 5
- 239000001099 ammonium carbonate Substances 0.000 description 5
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 5
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 5
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 3
- 235000010755 mineral Nutrition 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 3
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000017550 sodium carbonate Nutrition 0.000 description 3
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000403354 Microplus Species 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 150000001785 cerium compounds Chemical class 0.000 description 2
- IKNAJTLCCWPIQD-UHFFFAOYSA-K cerium(3+);lanthanum(3+);neodymium(3+);oxygen(2-);phosphate Chemical compound [O-2].[La+3].[Ce+3].[Nd+3].[O-]P([O-])([O-])=O IKNAJTLCCWPIQD-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- YNFYQHZKLWMOPA-UHFFFAOYSA-H cerium(3+);tricarbonate;hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[Ce+3].[Ce+3].[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O.[O-]C([O-])=O YNFYQHZKLWMOPA-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000010459 dolomite Substances 0.000 description 2
- 229910000514 dolomite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910052590 monazite Inorganic materials 0.000 description 2
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000000967 suction filtration Methods 0.000 description 2
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 2
- WKBPZYKAUNRMKP-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2,4-dichlorophenyl)pentyl]1,2,4-triazole Chemical compound C=1C=C(Cl)C=C(Cl)C=1C(CCC)CN1C=NC=N1 WKBPZYKAUNRMKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229920005830 Polyurethane Foam Polymers 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000012237 artificial material Substances 0.000 description 1
- WPKYZIPODULRBM-UHFFFAOYSA-N azane;prop-2-enoic acid Chemical compound N.OC(=O)C=C WPKYZIPODULRBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229960001759 cerium oxalate Drugs 0.000 description 1
- ZMZNLKYXLARXFY-UHFFFAOYSA-H cerium(3+);oxalate Chemical compound [Ce+3].[Ce+3].[O-]C(=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C([O-])=O ZMZNLKYXLARXFY-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- HSJPMRKMPBAUAU-UHFFFAOYSA-N cerium(3+);trinitrate Chemical compound [Ce+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O HSJPMRKMPBAUAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UNJPQTDTZAKTFK-UHFFFAOYSA-K cerium(iii) hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Ce+3] UNJPQTDTZAKTFK-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229930014626 natural product Natural products 0.000 description 1
- 239000010450 olivine Substances 0.000 description 1
- 229910052609 olivine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000011496 polyurethane foam Substances 0.000 description 1
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 229940065287 selenium compound Drugs 0.000 description 1
- 150000003343 selenium compounds Chemical class 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 239000011031 topaz Substances 0.000 description 1
- 229910052853 topaz Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001132 ultrasonic dispersion Methods 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F17/00—Compounds of rare earth metals
- C01F17/10—Preparation or treatment, e.g. separation or purification
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
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Abstract
【課題】研磨時に被研磨面に発生するスクラッチが少ないセリウム系研磨剤を提供する。
【解決手段】酸化セリウム粒子を含むセリウム系研磨剤であって、該セリウム系研磨剤を乾燥させて得られる、前記酸化セリウム粒子を含む乾燥物は、6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で1ppm以下である、セリウム系研磨剤。
【選択図】なし
【解決手段】酸化セリウム粒子を含むセリウム系研磨剤であって、該セリウム系研磨剤を乾燥させて得られる、前記酸化セリウム粒子を含む乾燥物は、6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で1ppm以下である、セリウム系研磨剤。
【選択図】なし
Description
本発明は、不純物粒子を低減した高純度なセリウム塩及びその製造方法、これを高温で処理して得られる酸化セリウム、さらに酸化セリウムを用いたセリウム系研磨剤に関する。
素材表面を精密に研磨加工することが必要な用例として光ディスク基板、磁気ディスク、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板、時計板、カメラレンズ、光学部品用の各種レンズに用いられるガラス素材やフィルタ類などの結晶素材、半導体用のシリコンウェハ等の基板、半導体デバイス製造の各工程において形成された絶縁膜、金属層、バリア層等がある。これらの素材表面は高精度に研磨することが要求される。このために例えばシリカ、酸化ジルコニウム、アルミナ等を単独で又は二種類以上を組み合わせて研磨粒子として用いる研磨剤が一般的に用いられている。研磨剤の形態としては、例えば研磨粒子を液体中に分散させてスラリー状にしたものや、研磨粒子を樹脂その他の結着剤とともに固めたもの、研磨粒子を繊維、樹脂、金属等の基材表面に微粒子のみで又は結着剤と共に、付着及び/又は固定したものを研磨剤として用いるのが一般的である。
特にシリカ微粒子を研磨粒子として用いたシリカ系研磨剤は被研磨面のスクラッチ発生などが少ないことから広く半導体集積回路の精密研磨用研磨剤として普及しているが、研磨速度が遅いことから、近年、研磨速度が速い酸化セリウムを含む酸化セリウム系研磨剤が注目されている(特許文献1、特許文献2参照。)。しかし、酸化セリウム系研磨剤はシリカ系研磨剤と比較してスクラッチが多いという課題がある。
セリウム系研磨剤用粒子に主に用いられる酸化セリウムはセリウム塩を高温焼成し、必要に応じて粉砕、分級等を行い製造する。
まずセリウム塩を製造する方法としては、たとえば、まず、少なくともセリウムを含む希土類を含有する鉱石(バストネサイト鉱石、重砂、鉄白雲石等。)等のセリウム化合物を選鉱処理(選鉱、酸浸出等。)により、その他の有価物及び不要な脈石を取り除いて希土類精鉱(バストネサイト精鉱、モナザイト精鉱、中国複雑精鉱等。)を得る。次に、希土類精鉱を化学処理(アルカリ分解、硫酸分解、水酸化物分別沈殿法等。)を実施して不純物等の不溶成分を低減し、さらに、必要に応じて溶媒抽出によりネオジム等の希土類を低減することにより、セリウム含有希土塩溶液を得る。このセリウム含有希土塩溶液に沈殿剤(炭酸水素アンモニウム、アンモニア水、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、蓚酸等。)を添加して沈殿(炭酸希土、水酸化希土、蓚酸希土等。)を生成してセリウム塩を得る(例えば、前記特許文献2参照。)。
また、セリウム含有希土塩溶液は運搬又は貯蔵にコストがかかるため、該希土塩溶液を加熱濃縮後、放冷、固化して塩化希土等にしてから、運搬又は貯蔵した後、水又は希酸にて溶解して、再びセリウム含有希土類溶液として使用する場合もある。
また、前記特許文献2に示すように、このようにして得られたセリウム塩(炭酸希土、水酸化希土、蓚酸希土等。)はさらに必要に応じてろ過、粉砕、鉱産処理やフッ化処理等の化学的処理、断水処理、乾燥等を行う場合もある。
セリウム塩のうち、炭酸セリウムの製造方法は、上述した炭酸希土(セリウム塩)の製造方法の他にも種々知られており、希土類イオンに対し当量以上の炭酸根を投入し微細な炭酸塩粉末を得る方法(例えば、特許文献3参照。)が一般的である。更に、高純度化、例えばアルカリ土類金属不溶成分を低減するために粗製希土類酸化物を鉱酸水溶液に溶解し、アルカリ土類金属の沈殿を精製し難い酸性領域で希土類金属を蓚酸塩として沈殿させ、それを焼成して酸化物とした後、塩酸、硝酸等の鉱酸に再溶解させて炭酸塩として沈殿させる方法、イオン交換法や溶媒抽出法などにより希土類元素とアルカリ土類元素を分離する方法、セリウム鉱酸塩水溶液中から炭酸セリウムを生成させる時のセリウム鉱酸塩水溶液を一定範囲のpHで行う方法(例えば、特許文献4参照。)等がある。
しかし、これらの製造方法で得られるセリウム塩から高温処理により酸化セリウムを製造し、これを研磨剤用粒子として用いた酸化セリウム系研磨剤では、被研磨面のスクラッチ発生を低減することが困難であった。
本発明の目的は素材表面を精密に研磨加工することが必要な分野において、スクラッチの発生が少なく、特に半導体、液晶ディスプレイ、ハードディスク等の研磨に用いられるセリウム系研磨剤、それに研磨剤用粒子として含まれる酸化セリウム、それを製造するための原料となるセリウム塩及びその製造方法を提供することにある。
本発明者らはセリウム系研磨剤を使用した場合のスクラッチの低減を鋭意検討した結果、セリウム系研磨剤に用いる酸化セリウム粒子およびその原料であるセリウム塩粒子中に含まれる不純物等の微粒子の量を低減化することでスクラッチを減少できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、次の(1)〜(11)に関する。
(1)6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で5ppm以下であるセリウム塩。
(2)不溶成分が珪素を含む物質である上記(1)記載のセリウム塩。
(3)セリウム化合物から一種または複数種のセリウム含有中間体を得る工程を経て、沈殿剤を加えてセリウム塩の沈殿を得るセリウム塩の製造方法であって、溶液状態のセリウム含有中間体から不溶成分を分離・除去する工程を少なくとも一つ含むセリウム塩の製造方法。
(4)セリウム含有希土塩溶液に沈殿剤を加えてセリウム塩の沈殿を得る工程を含み、該工程では、予め不溶成分を除去した沈殿剤をセリウム含有希土塩溶液に加えて沈殿させる上記(3)記載のセリウム塩の製造方法。
(5)セリウム塩を、6規定硝酸と混合して溶液を得る工程と、該溶液の不溶成分を分離除去する工程と、該除去の後に沈殿剤を加えて精製されたセリウム塩を沈殿させる工程とを含む上記(3)または(4)記載のセリウム塩の製造方法。
(6)沈殿剤が、予め溶媒に溶解して不溶成分を分離除去した溶液状態である上記(3)〜(5)のいずれか記載のセリウム塩の製造方法。
(7)上記(1)または(2)記載のセリウム塩または上記(3)〜(6)のいずれか記載の製造方法で得られたセリウム塩を、250℃以上で高温処理してなる酸化セリウム。
(8)6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で10ppm以下である上記(7)記載の酸化セリウム。
(9)6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で10ppm以下である酸化セリウム。
(10)上記(7)〜(9)のいずれか記載の酸化セリウムを含むセリウム系研磨剤。
(11)6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に、溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で10ppm以下であるセリウム系研磨剤。
(1)6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で5ppm以下であるセリウム塩。
(2)不溶成分が珪素を含む物質である上記(1)記載のセリウム塩。
(3)セリウム化合物から一種または複数種のセリウム含有中間体を得る工程を経て、沈殿剤を加えてセリウム塩の沈殿を得るセリウム塩の製造方法であって、溶液状態のセリウム含有中間体から不溶成分を分離・除去する工程を少なくとも一つ含むセリウム塩の製造方法。
(4)セリウム含有希土塩溶液に沈殿剤を加えてセリウム塩の沈殿を得る工程を含み、該工程では、予め不溶成分を除去した沈殿剤をセリウム含有希土塩溶液に加えて沈殿させる上記(3)記載のセリウム塩の製造方法。
(5)セリウム塩を、6規定硝酸と混合して溶液を得る工程と、該溶液の不溶成分を分離除去する工程と、該除去の後に沈殿剤を加えて精製されたセリウム塩を沈殿させる工程とを含む上記(3)または(4)記載のセリウム塩の製造方法。
(6)沈殿剤が、予め溶媒に溶解して不溶成分を分離除去した溶液状態である上記(3)〜(5)のいずれか記載のセリウム塩の製造方法。
(7)上記(1)または(2)記載のセリウム塩または上記(3)〜(6)のいずれか記載の製造方法で得られたセリウム塩を、250℃以上で高温処理してなる酸化セリウム。
(8)6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で10ppm以下である上記(7)記載の酸化セリウム。
(9)6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で10ppm以下である酸化セリウム。
(10)上記(7)〜(9)のいずれか記載の酸化セリウムを含むセリウム系研磨剤。
(11)6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に、溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で10ppm以下であるセリウム系研磨剤。
本発明により、不純物粒子等の不溶成分を低減した、高純度なセリウム塩を提供することができる。また、このセリウム塩から製造される酸化セリウムを用いた研磨剤は、被研磨膜上に研磨傷を発生させることなく研磨することが可能であり、精密な研磨が要求される半導体分野においてその利用価値は極めて高いと考えられる。
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明におけるセリウム塩の製造方法としては、例えば、次の方法が挙げられる。
(1)まず、原料のセリウム化合物として、少なくともセリウムを含む希土類を含有する鉱石を用意する。これから、選鉱、酸浸出等の選鉱処理により、その他の有価物及び不要な脈石を取り除いて第一のセリウム含有中間体である希土類精鉱を得る。
ここで、少なくともセリウムを含む希土類を含有する鉱石として、例えばバストネサイト鉱石、重砂、鉄白雲石等が挙げられる。また、希土類精鉱として、例えばバステナサイト精鉱、モナザイト精鉱、中国複雑精鉱等が挙げられる。
(2)次に、希土類精鉱を化学処理を実施して不純物等の不溶成分を低減し、さらに、必要に応じて溶媒抽出によりネオジム等の希土類を低減することにより、第二のセリウム含有中間体であるセリウム含有希土塩溶液を得る。ここで、化学処理はアルカリ分解、硫酸分解、水酸化物分別沈殿法等が挙げられる。
(3)このセリウム含有希土塩溶液に沈殿剤を添加してセリウム塩の沈殿を得る。これを必要に応じてろ過、乾燥する。前記沈殿剤として、例えば炭酸水素アンモニウム、アンモニア水、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、蓚酸等が挙げられる。また、セリウム塩として、例えば炭酸希土(炭酸セリウム)、水酸化希土(水酸化セリウム)、蓚酸希土(蓚酸セリウム)等が挙げられる。
なお、セリウム塩は水和物であってもよい。
本発明のセリウム塩の製造方法においては、上記のように原料からセリウム含有中間体を経てセリウム塩を得るセリウム塩の製造方法において、上記(3)のように沈殿剤を添加してセリウム塩の沈殿を得る工程の前に、不純物粒子等の不溶成分をセリウム含有中間体から固液分離により分離除去する工程を少なくとも一つ設けることを特徴とする。
前記不溶成分粒子を分離除去する工程においては、セリウム含有中間体は溶液の状態であり、例えばセリウム含有希土塩溶液が挙げられる。好ましくは沈殿剤を添加する工程(3)直前に、セリウム含有希土塩溶液中から前記不溶成分を分離除去する工程を設ける。
不溶成分粒子を固液分離、除去する方法としては、例えば遠心分離法、ろ過法等が挙げられる。遠心分離法により不溶成分を分離除去する方法としては、遠心分離機を用い、例えば遠心半径が10cm、回転数が2,000rpmの条件の時、遠心分離時間は5分が好ましく、より好ましくは10分、さらに好ましくは30分、特に好ましくは120分である。この場合、遠心分離時間が5分未満では、不溶成分の分離が不充分な場合がある。また、回転数を適宜変えることで、遠心分離時間は調整することができる。例えば、この回転数及び遠心分離時間を大きくすると、除去される不溶成分の量が多くなる。
また、ろ過法により不溶成分を分離、除去する場合には、用いるフィルタの孔径は好ましくは10μmフィルタ、より好ましくは1μmフィルタ、さらに好ましくは、0.5μm、特に好ましくは0.05μmのフィルタである。孔径が10μmより大きいフィルタであると、孔径が大きく、例えば0.05μm以上の大きい粒子の捕捉が不十分である傾向がある。例えば、このフィルタの孔径を小さくすると、除去される不溶成分の量が多くなる。また、これらのフィルタは10μm以上の孔径のフィルタを含めて孔径が大きいフィルタと小さいフィルタを複数組み合わせて使用し、孔径の大きいフィルタで大きな粒子を捕捉し、その後孔径の小さいフィルタで小さい粒子を捕捉する等して、段階的にろ過することもできる。この段階的ろ過を行うことで、より多くの不溶成分を除去することができる傾向がある。
フィルタの材質としてはろ過するセリウム含有希土塩溶液等による溶解や金属成分の溶出がなく、膨潤等が小さい材質であれば特に制限はなく、フッ素樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレン製等が挙げられる。
このろ過は、セリウム含有中間体が溶液状態であるいずれの工程における不溶成分の固液分離にも有効であるが、特に沈殿剤を入れる直前のセリウム含有希土塩溶液における不溶成分の分離除去において有効である。
本発明において、不溶成分の分離除去後のセリウム含有中間体、好ましくはセリウム含有希土塩溶液、に添加する沈殿剤は、添加する前に、あらかじめ不溶成分を分離、除去することが有効である。
沈殿剤としては、例えば炭酸水素アンモニウム、アンモニア水、炭酸水素ナトリウム、炭酸ナトリウム、蓚酸等が挙げられる。沈殿剤が固体の場合、不溶成分を分離除去するにはまず固体沈殿剤を溶媒に溶解させて沈殿剤溶液を作製する。この溶媒としては純水が挙げられる。
不溶成分粒子を分離除去する方法としては、例えばセリウム含有中間体中の不溶成分粒子の場合と同様に、遠心分離法、ろ過法等が挙げられ、それぞれの分離除去方法の好ましい条件なども同様である。このようにして得られた溶液状態の沈殿剤が使用される。
本発明のセリウム塩は、6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に、溶液中に存在する不溶成分(以下、セリウム塩中の不溶成分ともいう。)の濃度が、前記混合液に溶解する前のセリウム塩との質量比で5ppm以下である。この不溶成分の濃度が5ppmを超えると、セリウム塩粒子中に含まれる不純物等の微粒子の量が多くなり、スクラッチが多数発生するという問題がある。
スクラッチ低減の見地から、前記セリウム塩中の不溶成分の濃度は、溶解前のセリウム塩との質量比で、好ましくは1ppm以下、さらに好ましくは0.1ppm以下である。本発明のセリウム塩は、例えば上記のようにして製造することができる。
前記セリウム塩中の不溶成分の濃度測定方法としては、例えば体積法、重量法等が挙げられる。
体積法は、セリウム塩を硝酸、過酸化水素水混合液に溶解させて分析用フィルタでろ過し、フィルタ上の不溶成分の粒子を走査型電子顕微鏡で観察してその体積を測定する方法である。粒子の体積を求める方法としては、上述のフィルタ上の粒子の粒度を、定方向径(Green径)、定方等分径(Martin径)、二軸平均径、軸幾何平均径等により求め、これを直径とする球体に近似して求める方法等が挙げられる。
重量法は、セリウム塩の硝酸、過酸化水素水溶解液を分析用フィルタでろ過し、ろ過前後のフィルタの質量差を測定する方法である。また、原子吸光分析、ICP分析、蛍光X線分析などの機器分析による方法もある。
本発明では不溶成分の濃度測定に、溶解前のセリウム塩の粒子の質量に対し、不溶成分粒子の質量が占める割合を算出する方法を採用した。すなわち不溶成分の各粒子を長軸と短軸の積の平方根を直径とする球体に近似して、総体積を求め、さらに不溶成分を二酸化珪素と仮定してその比重2.6を掛けて不溶成分の総質量を求める。
前記セリウム塩中の不溶成分は、より少量でかつより小径であるのが好ましい。例えば、上述した、溶液状態のセリウム含有中間体から分離・除去する不溶成分、および沈殿剤から分離・除去する不溶成分の粒径は、0.05μmより大きいことが好ましい。そして、得られたセリウム塩中の不溶成分は0.05μm以下であるのが好ましい。粒径が0.05μm以下の不溶成分は、研磨中のスクラッチの発生に影響しにくい。
本発明において、不溶成分の粒径は、上記濃度測定法と同様に、各粒子を長軸と短軸の積の平方根を直径とする球体に近似して求める。
前記セリウム塩中の不溶成分は、珪素を含む物質であるのが好ましい。すなわち、二酸化珪素のような珪素を含む物質は、研磨の際に被研磨面にスクラッチを生じやすいため、珪素がより少量、より小径であるか否かを、良好な研磨剤が得られるセリウム塩の指標とすることができる。珪素を含む物質として、例えば人工物として窒化珪素、炭化珪素、天然物として二酸化珪素、かんらん石、ジルコン、柘榴石、トパーズ等が挙げられる。
また、市販のセリウム塩を、6規定硝酸に溶解後、上記と同様にして、溶液に不溶の不溶成分を分離、除去した後、沈殿剤を加えて精製されたセリウム塩の沈殿を得、これを必要に応じてろ過、乾燥するセリウム塩の製造方法、また、ここで特に前記沈殿剤として予め上記と同様に不溶成分を分離除去した沈殿剤溶液を使用するセリウム塩の製造方法、さらに、これらにより得た精製セリウム塩も、本発明に含まれる。
上記セリウム塩を酸化して、酸化セリウムが得られる。セリウム塩は例えば上記のセリウム塩の製造方法により得られたものを使用できる。酸化方法として、例えば加熱(焼成)が挙げられる。加熱処理の場合、250℃以上で高温処理することが好ましく、さらに好ましくは300℃〜1000℃である。
スクラッチ低減の見地から、本発明の酸化セリウムは、6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が前記混合液に溶解する前の酸化セリウムとの質量比で10ppm以下であるのが好ましい。この不溶成分の濃度が10ppmを超えると、スクラッチが多数発生するという問題がある。この不溶成分の、濃度測定方法及び好ましい粒径は、上述のセリウム塩の場合と同様である。
TEOS−CVD法等で形成される酸化珪素膜の研磨に使用する酸化セリウム研磨剤は、一次粒子径が大きく、かつ結晶ひずみが少ないほど、すなわち結晶性がよいほど高速研磨が可能であるが、研磨傷が入りやすい傾向がある。そこで、本発明の酸化セリウムの粒子は、その製造方法を限定するものではないが、酸化セリウム一次粒子径の平均値は5nm以上300nm以下であることが好ましい。ここで一次粒子とは、SEM(走査型電子顕微鏡)で測定して観察される、粒界に囲まれた結晶子に相当する粒子のことをいう。
上記の方法により製造された酸化セリウム粒子は凝集しやすいため、機械的に粉砕することが好ましい。粉砕方法として、ジェットミル等による乾式粉砕や遊星ビーズミル等による湿式粉砕方法が好ましい。ジェットミルは例えば化学工業論文集第6巻第5号(1980)527〜532頁に説明されている。
上記酸化セリウムの粒子を含む組成物を水に分散させることによってセリウム系研磨剤が得られる。酸化セリウムは上記の方法で製造した酸化セリウムを使用できる。セリウム系研磨剤には、必要に応じて、水以外の溶剤、分散剤、高分子添加剤、pH調整剤等が適宜含有される。このセリウム系研磨剤はCMP(chemicalmechanical polishing)研磨に使用することができる。
セリウム系研磨剤中の酸化セリウム粒子の濃度に制限はないが、分散液の取り扱いやすさから、0.5質量%以上20質量%以下の範囲が好ましく、1質量%以上10質量%以下の範囲がより好ましく、1.5質量%以上5質量%以下の範囲が特に好ましい。
セリウム系研磨剤は、例えば次のようにして作製される。分散剤としては、半導体素子研磨にも使用することからナトリウムイオン、カリウムイオン等のアルカリ金属およびハロゲン、イオウの含有率を10ppm以下に抑えることが好ましいので、例えば、共重合成分としてのアクリル酸アンモニウム塩を含む高分子分散剤が好ましい。
分散剤添加量は、スラリー状の研磨剤中の粒子の分散性および沈降防止、さらに研磨傷と分散剤添加量との関係から酸化セリウム粒子100重量部に対して、0.01重量部以上5.0重量部以下の範囲が好ましい。
分散剤の重量平均分子量は100〜50,000が好ましく、1,000〜10,000がより好ましい。分散剤の分子量が100未満の場合は、酸化珪素膜あるいは窒化珪素膜を研磨するときに、十分な研磨速度が得られにくく、分散剤および高分子添加剤の分子量が50,000を超えた場合は、粘度が高くなり、セリウム系研磨剤の保存安定性が低下する傾向があるからである。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレン換算した値である。
酸化セリウム粒子を水中に分散させる方法としては、通常の撹拌機による分散処理のほかにホモジナイザー、超音波分散機、湿式ボールミルなどを用いることができる。
セリウム系研磨剤中の酸化セリウム粒子の二次粒子径の中央値は、0.01〜1.0μmであることが好ましく、0.03〜0.5μmであることがより好ましく、0.05〜0.3μmであることが特に好ましい。二次粒子径の中央値が0.01μm未満であると研磨速度が低くなりやすく、1.0μmを超えると被研磨膜表面に研磨傷が生じやすくなるからである。セリウム系研磨剤中の酸化セリウム粒子の二次粒子径の中央値は、光子相関法、例えば、粒度分布計(例えば、マルバーンインストルメンツ社製、商品名マスターサイザ マイクロ・プラス)で測定することができる。
セリウム系研磨剤のpHは、3以上9以下であることが好ましく、5以上8以下であることがより好ましい。pHが3より小さいと化学的作用力が小さくなり、研磨速度が低下する傾向がある。pHが9より大きいと化学的作用が強すぎ被研磨面が皿状に溶解(ディッシング)するおそれがある。
スクラッチ低減の見地から、セリウム系研磨剤を6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に、溶液中に存在する不溶成分の質量比での濃度は、好ましくは10ppm以下、より好ましくは5ppm以下、さらに好ましくは1ppm以下、特に好ましくは0.1ppm以下である。この不溶成分の濃度が10ppmを超えると、スクラッチが多数発生するという問題がある。このセリウム系研磨剤の不溶成分の濃度測定方法及び好ましい粒径は、セリウム系研磨剤を乾燥させて得られる酸化セリウム粒子を含んだ乾燥物を用いて測定する以外は、上述のセリウム塩の場合と同様である。
ここで、酸化セリウム粒子以外の成分を含んだ乾燥物を使用するのは、乾燥後に酸化セリウム粒子とその他の成分とを分けるのが困難なためであるが、その他の成分の含有量が酸化セリウム粒子の含有量に比較し、極めて微量であることから問題はないと考えられる。
以下、本発明を、実施例を挙げて具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
(炭酸セリウムの精製)
市販の炭酸セリウム6水和物240gを、6規定の硝酸150gに溶解し、炭酸セリウム溶解液390gを得た。この溶解液390gを、回転数1,000rpmで120分間遠心分離を行った。分離機を停止した後すみやかに、上澄み液を350g採取した。
市販の炭酸セリウム6水和物240gを、6規定の硝酸150gに溶解し、炭酸セリウム溶解液390gを得た。この溶解液390gを、回転数1,000rpmで120分間遠心分離を行った。分離機を停止した後すみやかに、上澄み液を350g採取した。
炭酸水素アンモニウム50gを純水250gに溶解し、0.1μmのフィルタでろ過した。このろ液を上記で採取した上澄み液350gに加えて炭酸セリウムの沈殿を得た。この沈殿物を回収して洗浄し、乾燥させたところ、セリウムの回収率は約100%だった。
上記作業を繰り返し、計6kgの炭酸セリウム6水和物(以下、炭酸セリウムという。)を作製した。
この精製された炭酸セリウム20gを、6規定の硝酸12.5gと濃度30%の過酸化水素12.5gの混合液に加え、常温常圧の条件で170時間放置して完全溶解させ、孔径0.05μmのフィルタで吸引ろ過を行い、不溶成分を捕集した。このフィルタを走査型電子顕微鏡で観察して、倍率200倍の視野内に観察された全ての不溶成分の長軸と短軸の積の平方根を直径とする球体に近似して、総体積を求めた。さらに不溶成分を二酸化珪素と仮定してその比重2.6を掛けて不溶成分の総質量を求めた。溶解に用いた炭酸セリウムの質量20gに対し、上記不溶成分の質量が占める割合を算出したところ、0.1ppmだった。
(酸化セリウムの作製)
次に、得られた炭酸セリウム約6kgをアルミナ製容器に入れ、800℃、空気中で2時間焼成することにより黄白色の粉末を約3kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。さらに、得られた酸化セリウム粉末3kgを、ジェットミルを用いて乾式粉砕し、酸化セリウム粒子を得た。
次に、得られた炭酸セリウム約6kgをアルミナ製容器に入れ、800℃、空気中で2時間焼成することにより黄白色の粉末を約3kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。さらに、得られた酸化セリウム粉末3kgを、ジェットミルを用いて乾式粉砕し、酸化セリウム粒子を得た。
(セリウム系研磨剤の調製)
上記作製した酸化セリウム粒子1000gとポリアクリル酸アンモニウム塩水溶液(40質量%)40gと脱イオン水8960gを混合し、撹拌しながら超音波分散を10分間施してセリウム系研磨剤を調製した。得られた研磨剤を孔径1μmのフィルタでろ過した。研磨剤中の粒子をレーザ回折式粒度分布計(マルバーンインストルメンツ社製、マスターサイザ マイクロ・プラス)を用い、屈折率:1.9285、光源:He−Neレーザ、吸収0の条件で、原液(濾過後の研磨剤)について測定した結果、二次粒子径の平均値は200nmであった。
上記作製した酸化セリウム粒子1000gとポリアクリル酸アンモニウム塩水溶液(40質量%)40gと脱イオン水8960gを混合し、撹拌しながら超音波分散を10分間施してセリウム系研磨剤を調製した。得られた研磨剤を孔径1μmのフィルタでろ過した。研磨剤中の粒子をレーザ回折式粒度分布計(マルバーンインストルメンツ社製、マスターサイザ マイクロ・プラス)を用い、屈折率:1.9285、光源:He−Neレーザ、吸収0の条件で、原液(濾過後の研磨剤)について測定した結果、二次粒子径の平均値は200nmであった。
このセリウム系研磨剤を乾燥させて得られた酸化セリウム粒子を含んだ乾燥物20gを、上記精製した炭酸セリウムの場合と同条件で硝酸及び過酸化水素水に溶解した。この溶解液を上記精製した炭酸セリウムの場合と同条件で、分析用フィルタでろ過し、フィルタ上の不溶成分を走査型電子顕微鏡で観察してその質量を導出したところ、溶解に用いた酸化セリウムの質量20gに対し、不溶成分質量が占める割合は0.2ppmだった。
また、この研磨剤を用いて以下の方法で研磨を行い、光学顕微鏡でウェハ表面を観察したところ、明確な傷は見られなかった。
(研磨試験方法)
研磨荷重:30kPa
研磨パッド:発泡ポリウレタン樹脂(ロデール社製、型番IC−1000)
回転数:上盤75rpm、研磨パッド75rpm
研磨剤供給速度:200mL/分
研磨対象物:P−TEOS成膜Siウェハ(200mm径)
研磨荷重:30kPa
研磨パッド:発泡ポリウレタン樹脂(ロデール社製、型番IC−1000)
回転数:上盤75rpm、研磨パッド75rpm
研磨剤供給速度:200mL/分
研磨対象物:P−TEOS成膜Siウェハ(200mm径)
(炭酸セリウムの精製)
実施例1と同条件で調製した炭酸セリウム溶解液390gを、孔径が10.0μm、5.0μm、1.0μm、0.1μmのフィルタで段階的に吸引ろ過し、ろ液を390g採取した。
実施例1と同条件で調製した炭酸セリウム溶解液390gを、孔径が10.0μm、5.0μm、1.0μm、0.1μmのフィルタで段階的に吸引ろ過し、ろ液を390g採取した。
ろ液390gに、実施例1と同条件で溶解、ろ過して得た炭酸水素アンモニウムのろ液を加えて炭酸セリウムの沈殿を得た。この沈殿物を回収して洗浄し、乾燥させたところ、セリウムの回収率は約100%だった。
上記作業を繰り返し、計6kgの炭酸セリウムを作製した。
この精製された炭酸セリウム20gを、実施例1記載の精製した炭酸セリウムの場合と同条件で、硝酸及び過酸化水素水に溶解し、分析用フィルタでろ過し、走査型電子顕微鏡で観察して不溶成分の総質量を導出した。炭酸セリウムの質量20gに対し、不溶成分の質量が占める割合を算出したところ、0.1ppmだった。
(酸化セリウムの作製)
得られた炭酸セリウム約6kgをアルミナ製容器に入れ、800℃、空気中で2時間焼成することにより黄白色の粉末を約3kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。さらに、得られた酸化セリウム粉末3kgを、ジェットミルを用いて乾式粉砕し、酸化セリウム粒子を得た。
得られた炭酸セリウム約6kgをアルミナ製容器に入れ、800℃、空気中で2時間焼成することにより黄白色の粉末を約3kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。さらに、得られた酸化セリウム粉末3kgを、ジェットミルを用いて乾式粉砕し、酸化セリウム粒子を得た。
(セリウム系研磨剤の調製)
上記作製した酸化セリウム粒子1000gから、実施例1と同条件で、セリウム系研磨剤を調製し、粒子を測定したところ、二次粒子径の平均値は200nmであった。
上記作製した酸化セリウム粒子1000gから、実施例1と同条件で、セリウム系研磨剤を調製し、粒子を測定したところ、二次粒子径の平均値は200nmであった。
このセリウム系研磨剤を乾燥させて得られた酸化セリウム粒子を含んだ乾燥物20gを、上記精製した炭酸セリウムの場合と同条件で硝酸及び過酸化水素水に溶解した。この溶解液を上記精製した炭酸セリウムの場合と同条件で分析用フィルタでろ過し、フィルタ上の不溶成分を走査型電子顕微鏡で観察してその質量を導出したところ、溶解に用いた酸化セリウムの質量20gに対し、不溶成分の質量が占める割合は0.2ppmだった。また、この研磨剤を用いて実施例1と同条件の試験方法で研磨を行い、光学顕微鏡でウェハ表面を観察したところ、明確な傷は見られなかった。
(比較例1)
(炭酸セリウムの不溶成分)
市販の炭酸セリウム20gを、6規定の硝酸12.5gと濃度30%の過酸化水素12.5gの混合液に加え、常温常圧の条件で170時間放置して完全溶解させ、孔径0.05μmのフィルタで、吸引ろ過を行い、不溶成分を捕集した。このフィルタを走査型電子顕微鏡で観察して、実施例1と同条件で、不溶成分の総質量を導出した。溶解に用いた炭酸セリウムの質量に対し、不溶成分の質量が占める割合を算出したところ、7.8ppmだった。
(炭酸セリウムの不溶成分)
市販の炭酸セリウム20gを、6規定の硝酸12.5gと濃度30%の過酸化水素12.5gの混合液に加え、常温常圧の条件で170時間放置して完全溶解させ、孔径0.05μmのフィルタで、吸引ろ過を行い、不溶成分を捕集した。このフィルタを走査型電子顕微鏡で観察して、実施例1と同条件で、不溶成分の総質量を導出した。溶解に用いた炭酸セリウムの質量に対し、不溶成分の質量が占める割合を算出したところ、7.8ppmだった。
(酸化セリウムの作製)
上記市販の炭酸セリウム6kgをアルミナ製容器に入れ、800℃、空気中で2時間焼成することにより黄白色の粉末を約3kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。さらに、得られた酸化セリウム粉末3kgを、ジェットミルを用いて乾式粉砕し、酸化セリウム粒子を得た。
上記市販の炭酸セリウム6kgをアルミナ製容器に入れ、800℃、空気中で2時間焼成することにより黄白色の粉末を約3kg得た。この粉末をX線回折法で相同定を行ったところ酸化セリウムであることを確認した。焼成粉末粒子径は30〜100μmであった。さらに、得られた酸化セリウム粉末3kgを、ジェットミルを用いて乾式粉砕し、酸化セリウム粒子を得た。
(セリウム系研磨剤の調製)
上記作製した酸化セリウム粒子1000gから、実施例1と同条件で、セリウム系研磨剤を調製し、研磨剤粒子を測定した。ただし、レーザ回折式粒度分布計としてマルバーンインストルメンツ社製、商品名マスターサイザー 3000HSを用いた。測定した結果、二次粒子径の平均値は200nmであった。
上記作製した酸化セリウム粒子1000gから、実施例1と同条件で、セリウム系研磨剤を調製し、研磨剤粒子を測定した。ただし、レーザ回折式粒度分布計としてマルバーンインストルメンツ社製、商品名マスターサイザー 3000HSを用いた。測定した結果、二次粒子径の平均値は200nmであった。
このセリウム系研磨剤を乾燥させて得られた酸化セリウム粒子を含んだ乾燥物20gを、上記実施例1記載の精製した炭酸セリウムの場合と同条件で硝酸及び過酸化水素水に溶解した。この溶解液を上記精製した炭酸セリウムの場合と同条件で、分析用フィルタでろ過し、フィルタ上の不溶成分を走査型電子顕微鏡で観察してその質量を測定したところ、溶解に用いた酸化セリウムの質量20gに対し、不溶成分の質量が占める割合は12.0ppmだった。この研磨剤を用いて実施例1と同条件の試験方法で研磨を行い、光学顕微鏡でウェハ表面を観察したところ、ウェハ1枚あたり30個の研磨傷が観察された。
Claims (1)
- 酸化セリウム粒子を含むセリウム系研磨剤であって、
該セリウム系研磨剤を乾燥させて得られる、前記酸化セリウム粒子を含む乾燥物は、6規定の硝酸12.5gと30%の過酸化水素水12.5gとの混合液に20g溶解した場合に溶液中に存在する不溶成分の濃度が質量比で1ppm以下である、
セリウム系研磨剤。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003320667 | 2003-09-12 | ||
JP2003320667 | 2003-09-12 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014238604A Division JP2015091971A (ja) | 2003-09-12 | 2014-11-26 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018018789A Division JP6421887B2 (ja) | 2003-09-12 | 2018-02-06 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016216734A true JP2016216734A (ja) | 2016-12-22 |
Family
ID=34308608
Family Applications (6)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005513887A Active JP4913409B2 (ja) | 2003-09-12 | 2004-09-09 | セリウム塩、その製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
JP2009194508A Pending JP2009274953A (ja) | 2003-09-12 | 2009-08-25 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
JP2011224046A Active JP5882659B2 (ja) | 2003-09-12 | 2011-10-11 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
JP2014238604A Pending JP2015091971A (ja) | 2003-09-12 | 2014-11-26 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
JP2016143389A Pending JP2016216734A (ja) | 2003-09-12 | 2016-07-21 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
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Family Applications Before (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005513887A Active JP4913409B2 (ja) | 2003-09-12 | 2004-09-09 | セリウム塩、その製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
JP2009194508A Pending JP2009274953A (ja) | 2003-09-12 | 2009-08-25 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
JP2011224046A Active JP5882659B2 (ja) | 2003-09-12 | 2011-10-11 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
JP2014238604A Pending JP2015091971A (ja) | 2003-09-12 | 2014-11-26 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018018789A Active JP6421887B2 (ja) | 2003-09-12 | 2018-02-06 | セリウム塩の製造方法、酸化セリウム及びセリウム系研磨剤 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US20070166216A1 (ja) |
JP (6) | JP4913409B2 (ja) |
KR (1) | KR100714814B1 (ja) |
CN (2) | CN101885959B (ja) |
TW (1) | TWI286567B (ja) |
WO (1) | WO2005026051A1 (ja) |
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Families Citing this family (13)
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-
2004
- 2004-09-09 JP JP2005513887A patent/JP4913409B2/ja active Active
- 2004-09-09 CN CN2010102382163A patent/CN101885959B/zh active Active
- 2004-09-09 CN CN2004800257778A patent/CN1849264B/zh active Active
- 2004-09-09 US US10/571,583 patent/US20070166216A1/en not_active Abandoned
- 2004-09-09 WO PCT/JP2004/013118 patent/WO2005026051A1/ja active IP Right Grant
- 2004-09-09 TW TW093127245A patent/TWI286567B/zh active
- 2004-09-09 KR KR1020067004634A patent/KR100714814B1/ko active IP Right Grant
-
2009
- 2009-08-25 JP JP2009194508A patent/JP2009274953A/ja active Pending
-
2010
- 2010-09-20 US US12/886,209 patent/US8323604B2/en active Active
-
2011
- 2011-10-11 JP JP2011224046A patent/JP5882659B2/ja active Active
-
2012
- 2012-09-24 US US13/625,214 patent/US20130014446A1/en not_active Abandoned
-
2014
- 2014-11-26 JP JP2014238604A patent/JP2015091971A/ja active Pending
-
2016
- 2016-07-21 JP JP2016143389A patent/JP2016216734A/ja active Pending
-
2018
- 2018-02-06 JP JP2018018789A patent/JP6421887B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20130014446A1 (en) | 2013-01-17 |
US8323604B2 (en) | 2012-12-04 |
JP2009274953A (ja) | 2009-11-26 |
CN101885959B (zh) | 2012-06-13 |
JPWO2005026051A1 (ja) | 2007-11-08 |
US20110006251A1 (en) | 2011-01-13 |
KR20060061370A (ko) | 2006-06-07 |
US20070166216A1 (en) | 2007-07-19 |
JP2015091971A (ja) | 2015-05-14 |
CN1849264B (zh) | 2010-09-22 |
WO2005026051A1 (ja) | 2005-03-24 |
JP4913409B2 (ja) | 2012-04-11 |
JP2012052121A (ja) | 2012-03-15 |
JP2018104711A (ja) | 2018-07-05 |
JP6421887B2 (ja) | 2018-11-14 |
JP5882659B2 (ja) | 2016-03-09 |
CN1849264A (zh) | 2006-10-18 |
TWI286567B (en) | 2007-09-11 |
TW200517483A (en) | 2005-06-01 |
KR100714814B1 (ko) | 2007-05-04 |
CN101885959A (zh) | 2010-11-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170425 |
|
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