JP2016215369A - ブレードのドレッシング機構及び該ドレッシング機構を備えた切削装置及び該ドレッシング機構を用いたブレードのドレッシング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワーク切削用ブレードのドレッシングを省スペースにて実現することが可能なドレッシング機構、そのようなドレッシング機構を備えた切削装置、及び該ドレッシング機構を用いたブレードのドレッシング方法を提供することにある。【解決手段】ワーク切削用のブレード３のドレッシングを行うドレッサ１０が、ブレード３の第１軸Ｌ１と平行を成す第２軸Ｌ２周りに回動可能に設けられ、またドレッサの外周面１１には、ブレードの外周面に対向させたときに、該ブレードの刃部３ａに摺接するドレス領域１２と、該刃部と非接触状態となる逃げ領域１３と周方向に沿って設けられ、該ドレッサをその軸Ｌ２周りに回動させることで、ドレス領域によるドレッシング状態と、逃げ領域による非ドレッシング状態とを選択的に切り換えることができるようにした。【選択図】図５

Description

本発明は、ワーク切削用のブレードをドレッシングするためのドレッシング機構、そのようなドレッシング機構を備えた切削装置、及び該ドレッシング機構を用いたブレードのドレッシング方法に関するものである。

従来から、半導体ウエハや電子部品材料等のワークに対してダイシングや溝入れ等の切削加工を施すために、ワーク切削用のブレードを備えた切削装置が用いられている。そして、このような切削装置としては、前記ブレードが、基材の外周面を含む外周縁に砥粒を固着することにより形成された刃部を有していて、該ブレードを、ワーク搬送テーブルに載置されたワークに対し、その回転軸周りに高速に回転させながら接触させることで、該ブレードの刃部即ち砥粒層の表面から露出する砥粒が切刃となり、該ワークに所定の切削加工が施されるものが知られている。

ところで、前記切削装置においては、ワークの切削加工を繰り返し行うと、ワークから生ずる切削屑がブレードの砥粒層表面の砥粒間に堆積して目詰まりを起したり、また切刃となる砥粒自体も摩耗してその先端が丸められたりするため、ブレードの切れ味が次第に鈍くなって切削性能が低下してしまう。そこで、例えば、特許文献１に記載の切削装置においては、ドレステーブル上にボード形状のドレッサが設けられていて、このドレッサをブレードの刃部で切り込んで該刃部のドレッシング（目立て）を行うことにより、砥粒層表面の砥粒間の目詰まりを解消したり、或いは、先端が摩耗した砥粒を脱粒させて新たな砥粒を創出させたりするようになっている。

しかしながら、この特許文献１に記載のものでは、前記ドレッサがドレステーブル上に搭載されていることから、該ドレステーブルを、ドレッサでブレードをドレッシングするドレス位置と、ドレッサをブレードから離間させる退避位置との間で変位させる必要性がある。そのため、このようなドレステーブルの移動用スペースを切削装置に確保しおかなければならず、該装置の大型化を招いてしまう。

特開２００６−１５９３３４号公報

そこで、本発明の技術的課題は、ワーク切削用ブレードのドレッシングを省スペースにて実現することが可能なドレッシング機構、そのようなドレッシング機構を備えた切削装置、及び該ドレッシング機構を用いたブレードのドレッシング方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明に係る切削装置におけるドレッシング機構は、研削装置の円盤状ブレードにおける軸周りの外周面を含む外周縁に形成された刃部をドレッシングするためのドレッシング機構であって、該ドレッシング機構は、前記ブレードの刃部に摺接させることにより、該刃部をドレッシングするためのドレッサと、該ドレッサを駆動するドレッサ駆動部と、これらドレッサ及びドレッサ駆動部を装着した支持フレームとを有し、前記ドレッサは、その軸周りに外周面を有していて、前記支持フレームにより該軸周りに回転自在に支持されており、前記ドレッサの外周面には、前記ブレードの外周面と対向させたときに、前記刃部に摺接させるためのドレス領域と、該ブレードの外周面と空隙を介して非接触状態にするための凹状の逃げ領域とが、その周方向に沿って設けられており、前記ドレッサ駆動部で前記ドレッサを軸周りに回動させることにより、上記ドレス領域によるドレッシング状態と逃げ領域による非ドレッシング状態とを選択的に切り換えることができるように構成されていることを特徴とする。

このとき、好ましくは、前記ドレッサの外周面の１周が、円弧面から成る１つの前記ドレス領域と、１つの前記逃げ領域とから構成されていて、前記逃げ部が、前記ドレッサの軸方向の全長に亘って延びる溝状に形成されており、前記ドレッサの軸を中心とするドレス領域の角度範囲が逃げ領域の角度範囲よりも大きく形成されている。
また、好ましくは、前記ドレッサ駆動部は、前記ドレッサをその軸周りに回動させる回転駆動部と、該ドレッサを水平方向において、その軸と直角方向及び平行方向にそれぞれ変位させる直線駆動部とから構成されている。

そして、上記ドレッシング機構を備えた切削装置は、軸周りの外周面を含む外周縁に刃部が形成されて該軸周りに回転駆動される円盤状ブレードと、前記ブレードの軸に対して相対的に直角方向に送られるテーブルとを備えていて、回転する前記ブレードの刃部で該テーブルのワークを切削するように構成されており、前記ドレッサの軸とブレードの軸とは、前記ドレッサのドレス領域をブレードの外周面と対向させたときに前記刃部が該ドレス領域に摺接される所定の距離を保持して、互いに平行に配置されており、前記ドレッサ駆動部でドレッサを回動させることにより、前記ブレードの外周面に対して前記ドレッサのドレス領域及び逃げ領域を選択的に対向させることができるように構成されていて、前記ドレッサのドレス領域を前記ブレードの外周面に対向させたときに前記刃部のドレッシングを実行し、前記ドレッサの逃げ領域を前記ブレードの外周面に対向させたときに前記刃部のドレッシングを停止することを特徴とする。

一方、上記ドレッシング機構を用いたブレードのドレッシング方法は、ブレードをその軸回りに回転させてワークを切削加工しているときには、前記ドレッサのドレス領域を該ブレードの外周面に対向させて、該ドレッサを軸周りに回動させながら該ブレードの刃部を該ドレス領域に対して周方向に順次摺接させることにより、該ブレードの刃部をドレッシングし、ブレードがワークから離間した該ワークの非加工時には、前記ドレッサの逃げ領域を該ブレードの外周面に非接触状態で対向させ、該ドレッサの回動を停止させることを特徴とする。

以上のように、本発明においては、ドレッサの外周面に、ブレードの外周面と対向させたときに、該ブレードの刃部に摺接させるためのドレス領域と、該ブレードの外周面と空隙を介して非接触状態にするための凹状の逃げ領域とが、その周方向に沿って設けられており、ドレッサ駆動部で前記ドレッサを軸周りに回動させることにより、上記ドレス領域によるドレッシング状態と逃げ領域による非ドレッシング状態とを選択的に切り換えることができるように構成されている。そのため、本発明によれば、ワーク切削用ブレードのドレッシングを省スペースにて実現することが可能となり、切削装置の大型化を抑制することが可能となる。

本発明に係るドレッシング機構を備えた切削装置の一実施形態を示すものであって、ワーク切削前の状態を模式的に示す拡大側面図である。 前記切削装置においてワーク切削開始直後の状態を模式的に示す拡大側面図である。 前記切削装置においてワーク切削途中の状態を模式的に示す拡大側面図である。 前記切削装置においてワーク切削終了時の状態を模式的に示す拡大側面図である。 前記切削装置におけるドレッシング機構を模式的に示す斜視図である。

以下に、図１−図５を用いて、本発明に係るドレッシング機構を備えた切削装置１の一実施形態について詳細に説明する。本実施形態の切削装置１は、半導体ウエハ等のワークＷを搭載するためのワーク搬送テーブル２と、第１軸Ｌ１周りに外周刃としての刃部３ａを有する円盤状のブレード３とから構成されている。そして、該ブレード３をその軸Ｌ１周りに回転させることにより、その刃部３ａで前記テーブル２上のワークＷを切削することができるようになっている。

また、前記切削装置１は、前記ブレード３の刃部３ａをドレッシング（目立て）するためのドレッサ１０を備えたドレッシング機構２０を更に有している。そして、該ドレッシング機構２０のドレッサ１０を前記ブレード３の刃部３ａに摺接させることにより、該刃部３ａの目詰まりを解消したり、傷んだ該刃部３ａを自発的に創生したりすることができるようになっている。なお、この切削装置１としては、例えば、半導体ウエハ等のワークＷを切削して個々のペレットに分割するダイシング装置等が挙げられる。

前記ワーク搬送テーブル２は、図１−図４に示すように、水平方向におけるＸ軸方向（図において左右方向）に、図示しない駆動部により直線的に往復移動可能な板状体を成している。このテーブル２にワークＷを搭載する際には、該テーブル２の上面に設けられたワーク搭載面２ａに前記ワークＷを載せて、適宜の方法で固定する。このワーク搭載面２ａへのワークＷの固定方法については、例えば、真空吸着によるものでもよいし、或いは、固定用の冶具を用いて固定してもよく、接着剤等で接着して固定してもよい。

前記ブレード３は、例えば、ステンレス鋼やアルミニウム等の金属から成る薄い円盤状の基板３ｂにおける外周面を含む外周縁に、前記刃部３ａを形成したものである。より具体的には、該刃部３ａは、前記基板３ｂにおける、軸Ｌ１周りの外周面と該外周面を挟んで軸Ｌ１に直交する両側面の外周部とから成る外周縁に、例えば、ダイヤモンドやｃＢＮ（立方晶窒化ホウ素）等から成る砥粒（好ましくは、微細な超砥粒）を、レジンボンドやメッキ金属などのメタルボンド等の適宜のボンド材で固着することにより形成されている。

なお、図５に示すように、前記基板３ｂの中央部には、該基板の板厚方向に貫通する取付孔３ｃが設けられており、この取付孔３ｃに図示しないスピンドルの先端が着脱自在に取り付けられる。そして、図示しないモーター等の駆動部により前記スピンドルを回転させることで、前記ブレード３が、その軸Ｌ１周り（スピンドル軸周り）の所定の回転方向に所定の回転速度で回転するように構成されている。

次いで、本実施形態における前記ドレッシング機構２０について具体的に説明する。図５に示すように、このドレッシング機構２０は、前記ブレード３の刃部３ａに摺接させることにより該刃部をドレッシングするための前記ドレッサ１０と、該ドレッサ１０を駆動するためのドレッサ駆動部３０，４０，５０と、これらドレッサ１０及びドレッサ駆動部３０，４０，５０を装着した支持フレーム２１，２２，２３，２４とを有している。

前記ドレッサ駆動部は、ドレッサ１０を、ブレード２の前記第１軸Ｌ１と平行を成す第２軸Ｌ２周りに回動させる回転駆動部５０と、ドレッサ１０を水平方向においてＸ軸方向（軸Ｌ２と直角方向）及びそれと直角を成すＹ軸方向（軸Ｌ２と平行方向）にそれぞれ往復変位させる第１直線駆動部３０及び第２直線駆動部４０とから構成されている。

また、上記支持フレームは、前記第１直線駆動部３０が搭載されていると共に、前記ワーク搬送テーブル２の上方に配置されて水平方向に延びる第１フレーム２１と、前記第２直線駆動部４０が搭載されていると共に、前記第１直線駆動部３０に連結されて第１フレーム２１に対してＸ軸方向に変位するＸ軸スライドテーブル２２と、前記第２直線駆動部４０に連結されてＸ軸スライドテーブル２２に対してＹ軸方向に変位するＹ軸スライドテーブル２３と、該Ｙ軸スライドテーブル２３に基端部（上端部）が固定されてＺ軸に沿って下方に延びた一対の第２フレーム２４，２４とを有している。

そして、該一対の第２フレーム２４，２４の先端部（下端部）において、前記ドレッサ１０の軸Ｌ２方向の両側端が回転自在かつ着脱可能に支持されている。なお、該ドレッサ１０を回動させる前記回転駆動部５０は、後述するように、前記Ｙ軸スライドテーブル２３と第２フレーム２４とに跨って設けられている。さらに、前記第１フレーム２１は、Ｘ軸方向に延びて互いに平行を成す一対の対向プレート２１ａ，２１ａと、Ｙ軸方向に延びてこれら対向プレート２１ａ，２１ａ間を連結する連結プレート２１ｂとから一体に形成されている。そして、これら対向プレート２１ａ，２１ａのうちの一方に、前記第１直線駆動部３０が搭載されている。

図５に示すように、前記第１直線駆動部３０は、前記第１フレーム２１の一方の対向プレート２１ａ上においてＸ軸方向に延設されたＸ軸ガイドベース３１と、該Ｘ軸ガイドベース３１の長手方向の一端に配されたＸ軸送り用のモーター３２とを有している。そして、該Ｘ軸ガイドベース３１上に、前記Ｘ軸スライドテーブル２２の長手方向（Ｙ軸方向）の一端側がＸ軸方向に往復動可能に支持されている。

本実施形態において、この第１直線駆動部３０は、例えば、該モーター３２とＸ軸ガイドベース３１内部に設けられたボールスクリュー（図示略）とによるボールねじ機構等によって構成することができる。その場合、前記Ｘ軸スライドテーブル２２に連結された移動子（図示略）を、Ｘ軸ガイドベース３１上に開設された長溝３１ａを通じて内部のボールスクリューに螺合させることにより、前記モーター３２の回転駆動力で前記Ｘ軸スライドテーブル２２をＸ軸方向に往復動させて変位させることができる。なお、前記一対の対向プレート２１ａ，２１ａのうち他方のフレーム２１ａ上には、ガイドレール３３がＸ軸方向に延設されており、前記Ｘ軸スライドテーブル２２の長手方向の他端側が、該ガイドレール２２によって摺動自在にガイドされている。

また、前記第２直線駆動部４０は、前記Ｘ軸スライドテーブル２２上においてＹ軸方向に延設されたＹ軸ガイドベース４１と、該Ｙ軸ガイドベース４１の長手方向の一端に配されたＹ軸送り用のモーター４２とを有している。そして。該Ｙ軸ガイドベース４１上に、前記Ｙ軸スライドテーブル２３がＹ軸方向に往復動可能に支持されている。

この第２直線駆動部４０も、前記第１直線駆動部３０と同様に、ボールねじ機構によって構成することができる。その場合、前記Ｘ軸ガイドベース３１と同様に、前記Ｙ軸スライドテーブル２３に連結された移動子（図示略）を、Ｙ軸ガイドベース４１上に開設された長溝４１ａを通じて内部のボールスクリューに螺合させることにより、前記モーター４２の回転駆動力で前記Ｙ軸スライドテーブル２３をＹ軸方向に往復動させて変位させることができる。

一方、前記回転駆動部５０は、前記Ｙ軸スライドテーブル２３上に配置されたモーター５１と、該モーター５１の回転駆動力を、該Ｙ軸スライドテーブル２３から垂下する前記第２フレーム２４，２４によって回動自在に支持されたドレッサ１０に伝達するための動力伝達機構とを有している。本実施形態において、該動力伝達機構は、モーター５１のモーター軸に取り付けられた上方プーリ５２と、前記ドレッサ１０の支軸に取り付けられた下方プーリ５３と、これら一対のプーリに掛け渡された環状ベルト５４とから構成されている。そして、前記モーター５１を回転制御することにより、その回転駆動力が上方プーリ５２からベルト５４を通じて下方プーリ５３に伝達され、前記ドレッサ１０をその軸Ｌ２周りに、任意の回転方向に任意の速度で回動させたり、任意の角度位置で停止させたりすることができるようになっている。

このように、前記ドレッサ駆動部によれば、前記ドレッサ１０を、第１直線駆動部３０及び第２直線駆動部４０により、水平方向において、Ｘ軸方向（軸Ｌ２と直角方向）及びＹ軸方向（軸Ｌ２と平行方向）の２軸方向に直線的に移動させて任意の位置に変位させ、その位置で、回転駆動部５０により軸Ｌ２周りに回動制御することができるようになっている。

図１−図５に示すように、前記ドレッサ１０は、軸Ｌ２周りに外周面１１を有するロータリードレッサであって、このドレッサ１０のＹ軸方向に延びる軸Ｌ２と前記ブレード３の軸Ｌ１とは、互いに平行を成して略水平方向に並んでおり、そのため、これらドレッサ１０とブレード３とはＸ軸方向に横並びに配置されている。前記ドレッサ１０は、多数の砥粒をボンド材で結合して成るドレス材で一体に形成されたもので、その外周面１１に、前記ブレード３の外周面を対向させてその刃部３ａを摺接させることにより、該刃部３ａをドレッシングすることができるようになっている。

前記砥粒としては、例えばホワイトアランダムやグリーンカーボランダム等を用いることができ、前記ボンド材としては、例えばレジンボンド、ビトリファイドボンド、メタルボンド等の適宜のボンド材を用いることができる。なお、このドレッサ１０は、必ずしも本実施形態のようにドレス材で一体成形したものである必要性はなく、後述するドレス領域１２に一定の深さのドレス材層を形成したものであってもよい。

また、前記ドレッサ１０の外周面１１には、前記ブレード３の外周面と対向させたときに、該ブレード３の刃部３ａに摺接させて該刃部３ａをドレッシングするためのドレス領域１２と、該ブレード３の外周面と空隙を介して非接触状態とするための凹状の逃げ領域１３とが、その周方向に沿って形成されている。これらドレス領域１２と逃げ領域１３とは前記外周面１１の周方向において連なっており、該外周面の軸Ｌ２周りの１周は、円弧面から成る１つのドレス領域１２と、該軸Ｌ２方向の全長に亘って延びた溝から成る１つの逃げ領域とから構成されている。

このとき、軸Ｌ２を中心とする前記ドレス領域１２の角度範囲は、前記逃げ領域１３の角度範囲よりも大きく形成されている。すなわち、前記ドレス領域１２の角度範囲は鈍角となっており、前記逃げ領域１３の角度範囲は鋭角となっている。なお、この逃げ領域１３において、溝底１３ａは回転軸Ｌ２を中心としてドレス部１２の円弧面と同心円状の円弧面に形成されており、また、一対の側壁１３ｂはドレッサ１０の半径方向に沿って放射状に形成されている。

そして、前記ドレッサ１０の軸Ｌ２とブレード３の軸Ｌ１とは、該ドレッサ１０のドレス領域１２をブレード３の外周面と対向させたときには前記刃部３ａが該ドレス領域１２に摺接され、逃げ領域１３を同じく対向させたときには前記刃部３ａがブレード３の外周面と空隙を介して非接触状態となるような所定の距離を保持して、互いに平行に配置されている。さらに、ドレッシング時における該ドレッサ１０の回動速度は、テーブル２の送り速度等を考慮して、切削加工中に常にドレス領域にブレード３の刃部３ａが摺接されるように、ブレード３の回転速度よりも十分に小さく設定される。

そのため、ドレッサ１０のドレス領域１２がブレード３の外周面に対向しているときには、該ブレード３の刃部３ａが、該ドレス領域１２のドレス材に切り込んで、該刃部３ａのドレッシングが実行される（図２及び図３）。その一方で、逃げ領域１３がブレードの外周面に対向しているときには、該ブレードの刃部３ａが、該逃げ領域１３におけるドレッサ１０の外周面（すなわち、溝底１３ａ及び一対の側壁１３ｂ）と空隙を介して非接触状態となり、該刃部３ａのドレッシングが停止（回避）される（図１及び図４）。

ここで、前記ドレッサ１０における逃げ領域１３の角度範囲すなわち溝底１３ａの周方向長さや、溝深さすなわち側壁１３ｂの径方向長さは、ドレッサ１０とブレード３との軸Ｌ１，Ｌ２間距離、或いは、該ドレッサ１０及びブレード３の直径等に応じて適宜設定される。また、本実施形態においては、ドレッサ１０におけるドレス領域１２の径がブレード３の径よりも小径に形成されているため、ドレッサ１０の軸Ｌ２がブレード３の軸Ｌ１と水平方向に並設されていても、ワークＷの切削加工時に、ブレード３がワークＷに該ドレッサ１０がその真下を通過するワークＷと接触することがない。

このように、本実施形態においては、前記回転駆動部５０で前記ドレッサ１０を軸Ｌ２周りに回動させることにより、上記ドレス領域１２によるブレード３のドレッシング状態と、逃げ領域１３によるブレード３の非ドレッシング状態とを選択的に切り換えることができるようになっている。そのため、ブレード３のドレッシングを省スペースにて実現することが可能となり、切削装置１の大型化を抑制することが可能となる。

次に、図１−図４に基づいて、切削装置１における前記ブレード３によるワークＷの切削動作、及び前記ドレッサ１０による該ブレード３のドレッシング動作について具体的に説明する。
先ず、板状のワークＷをワーク搬送テーブル２のワーク搭載面２ａ上に搭載し、ブレード３の回転数とその回転方向、ワーク搬送テーブル２のＸ軸方向への送り速度や送り量等を適宜設定する。また、このとき、ドレッサ１０に対するブレード３の切り込み量や、ドレッサ１０の回転軸Ｌ２方向における切り込み位置等を調整する為に、前記第１及び第２直線駆動部３０，４０により、該ドレッサ１０のＸ軸及びＹ軸方向における位置調整が行われる。

このような各種切削条件を設定したのち、図示しないブレード回転用のモーターを駆動して前記スピンドルを回転させることにより、該スピンドル先端に装着された前記ブレード３をその軸Ｌ１周りに高速回転させると共に、ワーク搬送テーブル２をブレード３に向けて所定の送り速度でＸ軸方向に沿って移動させていく。まず、図１に示すように、ワーク搬送テーブル２が、ブレード３よりもテーブル送り方向において未だ手前側に位置し、該ブレード３の刃部３ａがワークＷから離間した非加工状態にあるときには、ドレッサの逃げ領域１３を水平方向におけるブレード３側に向けた状態で、該ドレッサ１０は回動を停止している。このとき、該逃げ領域１３におけるドレッサ１０の外周面１１（溝底１３ａ及び一対の側壁１３ｂ）とブレードの外周面とは、空隙を介して非接触状態となっているため、ワークＷの切削加工前においては、原則として、該ドレッサ１０による刃部３ａのドレッシングが行われないようになっている。

そして、ワーク搬送テーブル２にさらに送りが与えられ、図２のように、刃部３ａによるワークＷの切削加工が開始されると、それに対応して、前記回転駆動部５０のモーター５１が駆動される。そのとき、ドレッサ１０はブレード３とは逆向きに回動し、前記ドレス領域１２を水平方向に向けてブレードの外周面に対向させる。なお、ドレッサ１０の回動速度は、ワークＷの切削加工中に、常に刃部３ａがドレス領域１２に摺接してドレッシングが実行され、かつ、該ドレス領域１２に対する刃部３ａの必要な摺接速度を確保してドレッシングが確実に実行されるように、ブレード３の回転速度、ワークＷの材質、ドレス領域１２の周方向長さ、切削加工時間等、様々なパラメータを考慮して設定される。

そうすると、図３のように、ドレッサ１０は軸Ｌ２回りに回動しながら、回転するブレード３の刃部３ａに対して、そのドレス領域１２を周方向に順次摺接させていき、その結果、該刃部３ａはワークＷを切削加工しながらドレッシングされる。その際、ドレッサ１０のドレス領域１２には、その周方向に沿って所定の深さの切り込み溝が形成され、それにより、ブレード３の外周縁に形成された刃部３ａ全体がドレッシングされる。

それから、さらにワーク搬送テーブル２がテーブル送り方向に移動し、図４に示すように、テーブル送り方向におけるワークＷの後端（図では右端）から前記ブレード３の刃部３ａが離間すると、前記ワークＷに対する１列の切削ラインの加工が終了する。そうすると、前記ドレッサ１０は、回動により再び逃げ領域１３を水平方向におけるブレード３側に向け、該逃げ領域１３をブレード３の外周面に対向させた状態で回動を停止し、該ブレード３のドレッシングも停止する。

このように、上記切削装置１においては、前記ドレッサ３の刃部３ａによりワークＷを切削しながら該刃部３ａのドレッシングが行われるようになっているため、より効率に優れた切削加工が可能となる。また、ドレッサ１０のドレス領域１２が円弧面から成る外周面１１に形成されており、しかも、ドレッサ１０を単に軸Ｌ２周りに回動させることによって、ブレード３の刃部３ａに対して、該ドレス領域１２を対向させたドレッシング状態と、前記逃げ領域１３を対向させた非ドレッシング状態とを選択的に切換えることができるため、ドレッシング機構を小型化することができると共に、ブレード３のドレッシングを省スペースにて実現することが可能となり、その結果、切削装置１の大型化を抑制することが可能となる。

以上、本発明に係るドレッシング機構及び切削装置について説明してきたが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲の趣旨を逸脱しない範囲で様々な設計変更が可能である。
例えば、前記ドレッサ１０を用いたブレード３のドレッシングは、ワークＷの切削加工中に限らず、ブレード３を新品に交換した場合など切削加工に先立ってドレッシングが必要な場合には、切削加工前の図１のタイミングで行ってもよい。また、本実施形態においては、前記ドレッサ１０により主としてブレード３の刃部３ａの目立てを行っているが、例えば、ブレード３の刃部３ａの外形を修正するようなツルーイング性をドレッサ１０に持たせることもできる。
また、前記ドレッサ１０の配置位置に関し、本実施形態においては、該ドレッサ１０の軸Ｌ２とブレード３の軸Ｌ１とが略水平方向に並ぶようにして配されているが、これに限らず、例えばこれらの軸Ｌ１，Ｌ２が垂直方向（Ｚ軸方向）で上下に並ぶようにして配置してもよい。また、前記ドレッサ１０は、テーブル送り方向において前記ブレード３よりも後方に配されているが、該ブレード３よりも前方に配置することもできる。
また、ワークＷの切削加工時において、本実施形態では、前記ドレッサ１０を該ブレード３の回転方向と逆向きに回転させながら該ブレード３の刃部３ａのドレッシングを行うようにしているが、これに限らず、ブレード３の回転方向と同方向に回転させることでドレッシングを行うことも可能である。

１ 切削装置
２ ワーク搬送テーブル
３ ブレード
３ａ ブレードの刃部
１０ ドレッサ
１１ ドレッサの外周面
１２ ドレス領域
１３ 逃げ領域
２０ ドレッシング機構
Ｌ１ ブレードの回転軸（第１軸）
Ｌ２ ドレッサの回転軸（第２軸）
Ｗ ワーク

Claims (5)

1. 研削装置の円盤状ブレードにおける軸周りの外周面を含む外周縁に形成された刃部をドレッシングするためのドレッシング機構であって、
   該ドレッシング機構は、前記ブレードの刃部に摺接させることにより、該刃部をドレッシングするためのドレッサと、該ドレッサを駆動するドレッサ駆動部と、これらドレッサ及びドレッサ駆動部を装着した支持フレームとを有し、
   前記ドレッサは、その軸周りに外周面を有していて、前記支持フレームにより該軸周りに回転自在に支持されており、
   前記ドレッサの外周面には、前記ブレードの外周面と対向させたときに、前記刃部に摺接させるためのドレス領域と、該ブレードの外周面と空隙を介して非接触状態にするための凹状の逃げ領域とが、その周方向に沿って設けられており、
   前記ドレッサ駆動部で前記ドレッサを軸周りに回動させることにより、上記ドレス領域によるドレッシング状態と逃げ領域による非ドレッシング状態とを選択的に切り換えることができるように構成されている、
   ことを特徴とするドレッシング機構。
2. 請求項１に記載のドレッシング機構において、
   前記ドレッサの外周面の１周が、円弧面から成る１つの前記ドレス領域と、１つの前記逃げ領域とから構成されていて、
   前記逃げ部が、前記ドレッサの軸方向の全長に亘って延びる溝状に形成されており、
   前記ドレッサの軸を中心とするドレス領域の角度範囲が逃げ領域の角度範囲よりも大きく形成されている、
   ことを特徴とするもの。
3. 請求項１又は２に記載のドレッシング機構において、
   前記ドレッサ駆動部は、前記ドレッサをその軸周りに回動させる回転駆動部と、該ドレッサを水平方向において、その軸と直角方向及び平行方向にそれぞれ変位させる直線駆動部とから構成されている、
   ことを特徴とするもの。
4. 請求項１−３の何れかに記載のドレッシング機構を備えた研削装置であって、
   該研削装置は、軸周りの外周面を含む外周縁に刃部が形成されて該軸周りに回転駆動される円盤状ブレードと、前記ブレードの軸に対して相対的に直角方向に送られるテーブルとを備えていて、回転する前記ブレードの刃部で該テーブルのワークを切削するように構成されており、
   前記ドレッサの軸とブレードの軸とは、前記ドレッサのドレス領域をブレードの外周面と対向させたときに前記刃部が該ドレス領域に摺接される所定の距離を保持して、互いに平行に配置されるようになっており、
   前記ドレッサ駆動部でドレッサを回動させることにより、前記ブレードの外周面に対して前記ドレッサのドレス領域及び逃げ領域を選択的に対向させることができるように構成されていて、
   前記ドレッサのドレス領域を前記ブレードの外周面に対向させたときに前記刃部のドレッシングを実行し、前記ドレッサの逃げ領域を前記ブレードの外周面に対向させたときに前記刃部のドレッシングを停止する、
   ことを特徴とするもの。
5. 請求項１−３の何れかに記載のドレッシング機構を用いたブレードのドレッシング方法であって、
   ブレードをその軸回りに回転させてワークを切削加工しているときには、前記ドレッサのドレス領域を該ブレードの外周面に対向させて、該ドレッサを軸周りに回動させながら該ブレードの刃部を該ドレス領域に対して周方向に順次摺接させることにより、該ブレードの刃部をドレッシングし、
   ブレードがワークから離間した該ワークの非加工時には、前記ドレッサの逃げ領域を該ブレードの外周面に非接触状態で対向させ、該ドレッサの回動を停止させる、
   ことを特徴とするもの。
   

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