TWI633973B

TWI633973B - 切削裝置

Info

Publication number: TWI633973B
Application number: TW106118707A
Authority: TW
Inventors: 大槻俊紀; 渡辺勝行; 片岡光宗
Original assignee: 日商利德股份有限公司
Priority date: 2016-06-28
Filing date: 2017-06-06
Publication date: 2018-09-01
Also published as: KR102047717B1; KR20190022572A; MY176705A; WO2018003429A1; JP2016215369A; CN109414800B; JP6270921B2; TW201808535A; PH12018502694A1; CN109414800A; PH12018502694B1

Abstract

提供一種在省空間之下可以實現工件切削用刀片的修整之修整機構、具備這樣的修整機構之切削裝置、及使用該修整機構之刀片的修整方法。

進行工件切削用的刀片(3)的修整之修整器(10)，係設成繞與刀片(3)的第1軸(L1)成平行的第2軸(L2)可以旋動，而且於修整器的外周圍面(11)，與刀片的外周圍面對向時，沿圓周方向設有與該刀片的刃部(3a)滑動接觸之修整範圍(12)、以及與該刃部成為非接觸狀態之餘隙範圍(13)，使該修整器繞其軸(L2)旋動，經此，可以選擇性切換在修整範圍所致之修整狀態、和餘隙範圍所致之非修整狀態。

Description

切削裝置

本發明係有關用於修整工件切削用的刀片的修整機構、具備這樣的修整機構之切削裝置、及使用該修整機構之刀片的修整方法。

以往，為了對半導體晶圓或電子零件材料等的工件施以切割或開槽等的切削加工，使用具備工件切削用的刀片之切削裝置。接著，作為這樣的切削裝置，前述刀片係具有在包含基材的外周圍面之外周圍緣固著磨粒而形成之刃部，對載置在工件搬運床臺之工件使該刀片一邊繞其旋轉軸高速旋轉一邊接觸，藉此，從該刀片的刃部亦即磨粒層的表面露出的磨粒成為切刃，對該工件施以指定的切削加工這一點是廣為人知的。

順便一說，前述切削裝置中，反覆進行工件的切削加工的話，從工件產生的切削屑堆積在刀片的磨粒層表面的磨粒間而引起孔賭塞，而且成為切刃的磨粒本身也磨耗而其末端變得圓滑的緣故，刀片的切削品質會逐漸變鈍，可惜切削性能下降。在此，例如，專利文獻1記載的切削裝置中，在修整床臺上設有板形狀的修整器，把該修整器切入刀片的刃部進行該刃部的修整(整形)，經此，消解磨粒層表面的磨粒間的孔賭塞，或者是，使末端已磨耗的磨粒脫落，創造出新的磨粒。

但是，在該專利文獻1的記載中，從前述修整器搭載在修整床臺上來看，使該修整床臺，變位在用修整器修整刀片之修整位置、與使修整器從刀片離開之退避位置之間是有必要。為此，一定要確保這樣的修整床臺的移動用空間在切削裝置，招致該裝置的大型化。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2006-159334號專利公報

在此，本發明的技術的課題，係提供一種在省空間之下可以實現工件切削用刀片的修整之修整機構、具備這樣的修整機構之切削裝置、及使用該修整機構之刀片的修整方法。

為了解決上述課題，有關本發明之切削裝置中的修整機構，係一種修整機構，係用於修整形成在包含有研削裝置的圓盤狀刀片中的軸周圍的外周圍面之外周圍緣的刃部；其特徵為：該修整機構具有：用於經由滑動接觸到前述刀片的刃部來修整該刃部之修整器、驅動該修整器之修整器驅動部、以及安裝這些修整器及修整器驅動部之支撐框；前述修整器，係繞其軸具有外周圍面，利用前述支撐框被支撐成繞該軸自由旋轉；於前述修整器的外周圍面，用於與前述刀片的外周圍面對向時滑動接觸到前述刃部的修整範圍、和用於隔著空隙與該刀片的外周圍面成為非接觸狀態的凹狀的餘隙範圍，係沿其圓周方向來設置；用前述修整器驅動部使前述修整器繞軸旋動，經此，構成可以選擇性切換在上述修整範圍所致之修整狀態和餘隙範圍所致之非修整狀態。

此時，較佳為，前述修整器的外周圍面的1周，係利用由圓弧面所成之1個前述修整範圍、以及1個前述餘隙範圍所構成；前述餘隙部，係形成延伸涵蓋前述修整器的軸方向的全長之溝狀；以前述修整器的軸為中心的修整範圍的角度範圍，係形成比餘隙範圍的角度範圍還要大。

而且，較佳為，前述修整器驅動部，係利用以下所構成：使前述修整器繞其軸旋動之旋轉驅動部；以及使該修整器在水平方向上，分別變位在與其軸直角的方向及平行的方向之直線驅動部。

接著，具備上述修整機構之切削裝置，係構成：具備在包含軸周圍的外周圍面之外周圍緣形成刃部並繞該軸旋轉驅動之圓盤狀刀片、以及相對於前述刀片的軸相對進給在直角方向之床臺，用旋轉的前述刀片的刃部切削該床臺的工件；前述修整器的軸與刀片的軸，係使前述修整器的修整範圍與刀片的外周圍面對向時，前述刃部保持滑動接觸在該修整範圍之指定的距離，配置成相互地平行；用前述修整器驅動部使修整器旋動，經此，構成對前述刀片的外周圍面可以選擇性對向在前述修整器的修整範圍及餘隙範圍；使前述修整器的修整範圍與前述刀片的外周圍面對向時，實行前述刃部的修整，使前述修整器的餘隙範圍與前述刀片的外周圍面對向時，停止前述刃部的修整。

另一方面，一種刀片的修整方法，係使用上述修整機構；其中，使刀片繞其軸旋轉，切削加工工件時，使前述修整器的修整範圍與該刀片的外周圍面對向，一邊使該修整器繞軸旋動，一邊使該刀片的刃部相對於該修整範圍依序滑動接觸在圓周方向，經此，修整該刀片的刃部；在刀片從工件離開之該工件的非加工時，使前述修整器的餘隙範圍以非接觸狀態與該刀片的外周圍面對向，使該修整器的旋動停止。

如以上，本發明中，於修整器的外周圍面，用於與刀片的外周圍面對向時滑動接觸到該刀片的刃部之修整範圍、以及隔著空隙與該刀片的外周圍面成為非接觸狀態之凹狀的餘隙範圍，係沿其圓周方向設置，用修整器驅動部使前述修整器繞軸旋動，經此，構成可以選擇性切換在上述修整範圍所致之修整狀態和餘隙範圍所致之非修整狀態。為此，根據本發明，可以在省空間下實現工件切削用刀片的修整，可以抑制切削裝置的大型化。

1‧‧‧切削裝置

2‧‧‧工件搬運床臺

3‧‧‧刀片

3a‧‧‧刀片的刃部

10‧‧‧修整器

11‧‧‧修整器的外周圍面

12‧‧‧修整範圍

13‧‧‧餘隙範圍

20‧‧‧修整機構

L1‧‧‧刀片的旋轉軸(第1軸)

L2‧‧‧修整器的旋轉軸(第2軸)

W‧‧‧工件

[圖1]為表示具備有關本發明的修整機構之切削裝置之一實施方式者，為示意性表示工件切削前的狀態之放大側視圖。

[圖2]為示意性表示前述切削裝置中工件切削開始稍後的狀態之放大側視圖。

[圖3]為示意性表示前述切削裝置中工件切削途中的狀態之放大側視圖。

[圖4]為示意性表示前述切削裝置中工件切削結束時的狀態之放大側視圖。

[圖5]為示意性表示前述切削裝置中的修整機構之立體圖。

以下，使用圖1至圖5，詳細說明有關具備有關本發明的修整機構之切削裝置1之一實施方式。本實施方式的切削裝置1，係利用以下所構成：用於搭載半導體晶圓等的工件W的工件搬運床臺2、以及在第1軸L1周圍具有作為外周圍刃的刃部3a之圓盤狀的刀片3。接著，經由使該刀片3繞其軸L1旋轉，可以用其刃部3a切削前述床臺2上的工件W。

而且，前述切削裝置1，係更具有：具備用於修整(整形)前述刀片3的刃部3a的修整器10之修整機構20。接著，經由使該修整機構20的修整器10滑動接觸在前述刀片3的刃部3a的方式，可以消解該刃部3a的孔賭塞，或是自發性產生破損的該刃部3a。尚且，作為該切削裝置1，舉例有例如，切削半導體晶圓等的工件W，分割成一個一個的粒塊之切割裝置等。

前述工件搬運床臺2，係成為如圖1~圖4所表示，藉由未圖示驅動部而可以直線往復移動在水平方向中的X軸方向(圖中左右方向)的板狀體。在把工件W搭載到該床臺2之際，在設在該床臺2的上表面之工件搭載面2a搭載前述工件W，用適宜的方法來固定。有關固定到該工件搭載面2a的工件W的方法，例如，可以是真空吸附所致者，或者是，可以是使用固定用的治具來固定者，也可以是用接著劑等來接著固定者。

前述刀片3，係例如，在利用不鏽鋼或鋁等的金屬所製成之薄的圓盤狀的基板3b中包含外周圍面之外周圍緣，形成前述刃部3a者。更具體方面，該刃部3a，係經由以下來形成：用樹脂結合或鍍覆金屬等的金屬結合等的適宜的結合材，來把例如利用鑽石或cBN(立方晶氮化硼)等所製成的磨粒(較佳為細微的超磨粒)，固著在前述基板3b中利用繞軸L1的外周圍面、與包挾該外周圍面並與軸L1正交之兩側面的外周圍部所構成之外周圍緣。

尚且，如圖5表示，在前述基板3b的中央部，設有貫通在該基板的板厚方向之安裝孔3c，未圖示的心軸的末端係可自由裝卸地安裝在該安裝孔3c。接著，構成為：以經由未圖示馬達等的驅動部使前述心軸旋轉的方式，前述刀片3以指定的旋轉速度旋轉在繞其軸L1(繞心軸)的指定的旋轉方向。

接著，具體說明有關本實施方式中的前述修整機構20。如圖5表示，該修整機構20具有：經由滑動接觸到前述刀片3的刃部3a的方式來用於修整該刃部之前述修整器10、用於驅動該修整器10之修整器驅動部30、40、50、安裝這些修整器10及修整器驅動部30、40、50之支撐框21、22、23、24。

前述修整器驅動部，係利用以下所構成：使修整器10繞與刀片2的前述第1軸L1成為平行之第2軸L2旋動之旋轉驅動部50、使修整器10在水平方向上分別往復變位在X軸方向(與軸L2直角的方向)及與其成為直角之Y軸方向(與軸L2平行的方向)之第1直線驅動部30及第2直線驅動部40。

而且，上述支撐框具有：第1框21，係搭載有前述第1直線驅動部30，並且，配置在前述工件搬運床臺2的上方而延伸在水平方向；X軸滑動床臺22，係搭載有前述第2直線驅動部40，並且，連結到前述第1直線驅動部30，相對於第1框21變位在X軸方向；Y軸滑動床臺23，係連結到前述第2直線驅動部40，相對於X軸滑動床臺22變位在Y軸方向；以及一對的第2框24、24，係基端部(上端部)被固定到該Y軸滑動床臺23，沿Z軸延伸到下方。

接著，於該一對的第2框24、24的末端部(下端部)，前述修整器10的軸L2方向的兩側端被支撐成可以自由旋轉且裝卸。尚且，使該修整器10旋動的前述旋轉驅動部50，係如後述般，橫跨前述Y軸滑動床臺23與第2框24而設置。更進一步，前述第1框21，係利用以下而形成為一體：延伸在X軸方向且相互成平行之一對的對向板21a、21a、以及延伸在Y軸方向且連結在這些對向板21a、21a間之連結板21b。接著，於這些對向板21a、21a中的其中一方，搭載前述第1直線驅動部30。

如圖5表示，前述第1直線驅動部30具有：在前述第1框21的其中一方的對向板21a上設成延伸在X軸方向之X軸導引基座31、以及配置在該X軸導引基座31的縱長方向的其中一端之X軸進給用的馬達32。接著，在該X軸導引基座31上，前述X軸滑動床臺22的縱長方向(Y軸方向)的其中一端側被支撐成可以往復動作在X軸方向。

本實施方式中，該第1直線驅動部30，係例如可以藉由該馬達32與設在X軸導引基座31內部的滾珠螺桿(省略圖示)所致之滾珠螺桿機構等來構成。該情況下，把連結到前述X軸滑動床臺22之移動件(省略圖示)，通過開設在X軸導引基座31上的長溝31a而螺合到內部的滾珠螺桿，經此，以前述馬達32的旋轉驅動力，使前述X軸滑動床臺22往復動作變位在X軸方向。尚且，在前述一對的對向板21a、21a中的另一方的框21a上，導軌33設成延伸在X軸方向，前述X軸滑動床臺22的縱長方向的另一端側，係藉由該導軌22而被自由滑動地導引。

而且，在前述X軸滑動床臺22上，前述第2直線驅動部40具有：設成延伸在Y軸方向之Y軸導引基座41、以及配設在該Y軸導引基座41的縱長方向的其中一端之Y軸進給用的馬達42。接著，在該Y軸導引基座41上，前述Y軸滑動床臺23被支撐成可以往復動作在Y軸方向。

該第2直線驅動部40也可以與前述第1直線驅動部30同樣，藉由滾珠螺桿機構來構成。該情況下，與前述X軸導引基座31同樣，把連結到前述Y軸滑動床臺23之移動件(省略圖示)，通過開設在Y軸導引基座41上的長溝41a而螺合到內部的滾珠螺桿，經此，以前述馬達42的旋轉驅動力，使前述Y軸滑動床臺23往復動作變位在Y軸方向。

另一方面，前述旋轉驅動部50具有：配置在前述Y軸滑動床臺23上之馬達51；以及，用於把該馬達51的旋轉驅動力，傳遞到藉由從該Y軸滑動床臺23下垂之前述第2框24、24而被支撐成自由旋動的修整器10之動力傳遞機構。本實施方式中，該動力傳遞機構係利用以下所構成：安裝到馬達51的馬達軸之上方帶輪52、安裝到前述修整器10的支軸之下方帶輪53、以及架設在這些一對的帶輪之環狀皮帶54。接著，經由旋轉控制前述馬達51，其旋轉驅動力從上方帶輪52通過皮帶54傳遞到下方帶輪53，可以使前述修整器10繞其軸L2，在任意的旋轉方向以任意的速度而旋動，或是停止在任意的角度位置。

如此，藉由前述修整器驅動部，使前述修整器10，經由第1直線驅動部30及第2直線驅動部40，於水平方向，直線移動在X軸方向(與軸L2直角的方向)及Y軸方向(與軸L2平行的方向)的2軸方向，變位到任意的位置，在其位置，經由旋轉驅動部50，可以繞軸L2旋動控制。

如圖1-圖5表示，前述修整器10，乃是於軸L2周圍具有外周圍面11之旋轉式修整器，延伸在該修整器10的Y軸方向之軸L2與前述刀片3的軸L1，係相互地成平行且排列在略水平方向，為此，這些修整器10與刀片3配置成橫排在X軸方向。前述修整器10，係以用結合材結合多數個磨粒而成之修整材來形成一體者，在其外周圍面11，使其與前述刀片3的外周圍面對向並使其刃部3a滑動接觸，經此，可以修整該刃部3a。

作為前述磨粒，可以使用例如白鋼鋁石(white alundum)或綠金剛砂(green carborundum)等；作為前述結合材，可以使用例如樹脂結合、玻璃化熔結、金屬結合等的適宜的結合材。尚且，該修整器10，並不是說一定要有如本實施方式般以修整材來一體形成之必要性，也可以是在後述的修整範圍12形成一定的深度的修整材層者。

而且，於前述修整器10的外周圍面11，在與前述刀片3的外周圍面對向時，用於滑動接觸到該刀片3的刃部3a而修整該刃部3a之修整範圍12、以及用於隔著空隙與該刀片3的外周圍面成為非接觸狀態之凹狀的餘隙範圍13，係沿其圓周方向而形成。這些修整範圍12與餘隙範圍13係連接在前述外周圍面11的圓周方向上，繞該外周圍面的軸L2之1周，係利用以下所構成：由圓弧面所成之1個修整範圍12、以及由涵蓋該軸L2方向的全長而延伸的溝所成之1個餘隙範圍。

此時，以軸L2為中心之前述修整範圍12的角度範圍，係形成比前述餘隙範圍13的角度範圍還大。亦即，前述修整範圍12的角度範圍成為鈍角，前述餘隙範圍13的角度範圍成為銳角。尚且，該餘隙範圍13中，溝底13a係以旋轉軸L2為中心，形成與修整部12的圓弧面為同心圓狀的圓弧面，而且，一對的側壁13b係沿修整器10的半徑方向形成放射狀。

接著，前述修整器10的軸L2與刀片3的軸L1，係使該修整器10的修整範圍12與刀片3的外周圍面對向時，前述刃部3a滑動接觸在該修整範圍12，同樣使餘隙範圍13對向時，前述刃部3a係隔著空隙與刀片3的外周圍面成為非接觸狀態，保持指定的距離，配置成相互地平行。更進一步，修整時的該修整器10的旋動速度，係考慮到床臺2的進給速度等，為了在切削加工中刀片3的刃部3a總是滑動接觸在修整範圍，設定成比起刀片3的旋轉速度，要充分地小。

為此，修整器10的修整範圍12係與刀片3的外周圍面對向時，該刀片3的刃部3a切入到該修整範圍12的修整材，實行該刃部3a的修整(圖2及圖3)。可是，餘隙範圍13與刀片的外周圍面對向時，該刀片的刃部3a係隔著空隙與該餘隙範圍13中的修整器10的外周圍面(亦即，溝底13a及一對的側壁13b)成為非接觸狀態，停止(迴避)該刃部3a的修整(圖1及圖4)。

在此，前述修整器10中的餘隙範圍13的角度範圍亦即溝底13a的圓周方向長度、或溝深度亦即側壁13b的徑方向長度，係配合修整器10與刀片3的軸L1、L2間距離，或者是該修整器10及刀片3的直徑等，來適宜設定。而且，本實施方式中，形成修整器10中的修整範圍12的直徑比刀片3的直徑還要小徑的緣故，修整器 10的軸L2即便與刀片3的軸L1並設在水平方向，在工件W的切削加工時，刀片3在工件W，該修整器10不會接觸到通過其正下方的工件W。

如此，本實施方式中，用前述旋轉驅動部50使前述修整器10繞軸L2旋動，經此，可以選擇性切換在上述修整範圍12所致之刀片3的修整狀態、以及餘隙範圍13所致之刀片3的非修整狀態。為此，可以在省空間下實現刀片3的修整，可以抑制切削裝置1的大型化。

接著，根據圖1~圖4，具體說明有關切削裝置1中的前述刀片3所致之工件W的切削動作、及前述修整器10所致之該刀片3的修整動作。

首先，把板狀的工件W搭載到工件搬運床臺2的工件搭載面2a上，適宜設定刀片3的轉速與其旋轉方向、往工件搬運床臺2的X軸方向的進給速度或進給量等。而且，此時，為了調整對修整器10之刀片3的裁切量、或修整器10的旋轉軸L2方向中的裁切位置等，經由前述第1及第2直線驅動部30、40，進行該修整器10的X軸及Y軸方向中的位置調整。

設定了這樣的各種切削條件後，經由驅動未圖示的刀片旋轉用的馬達使前述心軸旋轉，使安裝在該心軸末端的前述刀片3繞其軸L1高速旋轉，並且，把工件搬運床臺2朝向刀片3以指定的進給速度沿X軸方向移動。首先，如圖1表示，工件搬運床臺2係比起刀片3，在床臺進給方向上更位置在面前側，在該刀片3的刃部 3a從工件W離開之非加工狀態時，以把修整器的餘隙範圍13朝向水平方向中的刀片3側的狀態，該修整器10停止旋動。此時，該餘隙範圍13中的修整器10的外周圍面11(溝底13a及一對的側壁13b)與刀片的外周圍面，係隔著空隙成為非接觸狀態的緣故，在工件W的切削加工前，原則上，不進行該修整器10所致之刃部3a的修整。

接著，更進給到工件搬運床臺2，如圖2，開始刃部3a所致之工件W的切削加工，對應於此，驅動前述旋轉驅動部50的馬達51。這時，修整器10係旋動成與刀片3逆向，使前述修整範圍12朝向水平方向，與刀片的外周圍面對向。尚且，修整器10的旋動速度，係在工件W的切削加工中，刃部3a總是滑動接觸在修整範圍12而實行修整，尚且，為了確保對該修整範圍12之刃部3a的必要的滑動接觸速度而確實實行修整，考慮刀片3的旋轉速度、工件W的材質、修整範圍12的圓周方向長度、切削加工時間等、各式各樣的參數來進行設定。

如此，如圖3，修整器10係繞軸L2一邊旋動，對旋轉的刀片3的刃部3a，一邊使其修整範圍12滑動接觸在圓周方向，其結果，該刃部3a係一邊切削加工工件W一邊被修整。此時，於修整器10的修整範圍12，沿其圓周方向形成指定的深度的裁切溝，經此，修整形成在刀片3的外周圍緣之刃部3a整體。

由此，更進一步工件搬運床臺2移動在床臺進給方向，如圖4表示，從床臺進給方向中的工件W的尾端(在圖為右端)，前述刀片3的刃部3a離開，結束對前述工件W之1列的切削線的加工。這樣的話，前述修整器10，係經由旋動，再一次，把餘隙範圍13朝向水平方向中的刀片3側，在使該餘隙範圍13對向到刀片3的外周圍面的狀態下停止旋動，該刀片3的修整也停止。

如此，上述切削裝置1中，經由前述修整器3的刃部3a一邊切削工件W一邊進行該刃部3a的修整的緣故，可以進行更有效率之優異的切削加工。而且，修整器10的修整範圍12係形成在由圓弧面所構成的外周圍面11，而且，藉由使修整器10僅僅繞軸L2旋動，相對於刀片3的刃部3a，可以選擇性切換使該修整範圍12對向之修整狀態、或使前述餘隙範圍13對向之非修整狀態的緣故，可以小型化修整機構，並且，可以在省空間下實現刀片3的修整，其結果，可以抑制切削裝置1的大型化。

以上，說明了有關本發明之修整機構及切削裝置，但本發明不限定於前述實施方式，在不逸脫申請專利範圍的主旨的範圍下可以各式各樣的設計變更。

例如，使用了前述修整器10之刀片3的修整，係不限於工件W的切削加工中，在交換了刀片3為新品的情況等，在切削加工前有必要修整的情況下，也可以以切削加工前的圖1的時序來進行。而且，本實施方式中，利用前述修整器10為主進行刀片3的刃部3a的整形，但例如，也可以是具有修正刀片3的刃部3a的外形般的整形性之修整器10。

而且，有關前述修整器10的配置位置，本實施方式中，該修整器10的軸L2與刀片3的軸L1配置成排列在略水平方向，但不限於此，例如這些的軸L1、L2也可以配置成在垂直方向(Z軸方向)上下排列。而且，前述修整器10，係配置在床臺進給方向上比前述刀片3更位於後方，但也可以配置在比該刀片3更位於前方。

而且，工件W的切削加工時，在本實施方式，一邊使前述修整器10旋轉成語該刀片3的旋轉方向逆向，一邊進行該刀片3的刃部3a的修整；但不限於此，也可以用使其旋轉成與刀片3的旋轉方向同方向的方式，進行修整。

Claims

一種切削裝置，該切削裝置具有：在包含繞第1軸的外周圍面之外周圍緣形成刃部並被驅動繞該第1軸旋轉之圓盤狀的刀片、在與前述第1軸相對之直角方向上做相對的進給之床臺、以及修整前述刀片的刃部之修整機構；前述修整機構具有：被支撐成繞與前述第1軸成平行的第2軸自由旋轉之修整器、以及驅動該修整器繞前述第2軸旋轉之修整器驅動部；前述修整器具有繞前述第2軸的外周圍面，沿其圓周方向來設置修整範圍以及餘隙範圍；該修整範圍其係在該修整器的外周圍面，經由在與刀片的外周圍面對向時與前述刃部滑動接觸，來修整該刃部；該餘隙範圍其係為凹狀，介隔著空隙與該刀片的外周圍面成為非接觸狀態；前述刀片的第1軸與修整器的第2軸，係在前述修整器的修整範圍保持在與前述刀片的刃部滑動接觸的距離，經由用前述修整器驅動部使該修整器旋動，可以選擇修整範圍或餘隙範圍來和前述刀片的外周圍面對向，構成在使修整範圍和前述刀片的外周圍面對向時，實行前述刃部的修整，在使前述餘隙範圍和前述刃部的外周圍面對向時，停止前述刃部的修整；在工件加工時，在使前述修整器的修整範圍和刀片的外周圍面對向的狀態下，相對於這些刀片及修整器把床臺進給在前述進給方向，經此，控制前述修整器的旋轉速度，使得用旋轉的刀片的刃部對該床臺的工件切削並隨時對該刃部進行修整；在工件的非加工時，定成使修整器的餘隙範圍和刀片的外周圍面對向的狀態，停止前述刃部的修整。
如請求項第1項的切削裝置，其中，前述修整器的外周圍面的1周，係利用由圓弧面所成之1個前述修整範圍、以及1個前述餘隙範圍所構成；前述餘隙部，係形成延伸涵蓋前述修整器的第2軸方向的全長之溝狀；以前述修整器的第2軸為中心的修整範圍的角度範圍，係形成比餘隙範圍的角度範圍還要大。
如請求項第1項的切削裝置，其中，前述修整器驅動部，係利用以下所構成：使前述修整器繞第2軸旋動之旋轉驅動部；以及使該修整器在水平方向上，分別變位在與第2軸直角的方向及平行的方向之直線驅動部。
如請求項第2項的切削裝置，其中，前述修整器驅動部，係利用以下所構成：使前述修整器繞第2軸旋動之旋轉驅動部；以及使該修整器在水平方向上，分別變位在與第2軸直角的方向及平行的方向之直線驅動部。
如請求項第1至4項中任一項的切削裝置；其中，該切削裝置更具有安裝了前述修整器及前述修整器驅動部之支撐框架；經由該支撐框架，支撐前述修整器可以繞前述第2軸自由旋轉。