JPH0569323A - 加工用砥石の形状修正方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 加工用砥石の反り又は回転加工具への加工用
砥石の取付け誤差等に起因する加工用砥石の振動を未然
に防ぎ、加工用砥石による加工精度を良好なものとす
る。 【構成】 周方向回転させられることによって被加工物
を加工する円板状の加工用砥石11を回転させつつ、該加
工用砥石11の側面に、周方向に回転する円板状の修正用
砥石711 を当接させ、修正用砥石711 によって加工用砥
石11を削ることによって加工用砥石11の側面の形状を修
正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は被加工物を加工する円板
状の加工用砥石の側面の形状を修正する方法及び装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハの切断，磁気ヘッドの製造
時の溝入れ及びスライシング等の精密加工には、該精密
加工を行うブレードとして回転式の加工用砥石を備えた
精密加工装置が用いられている。このような精密加工装
置においては、座金に、天然ダイヤモンド砥粒又は立方
晶窒化硼素砥粒等の超砥粒を、電着，レジンボンド又は
メタルボンド等の方法で結合することによって形成され
た薄い円環状板形態の加工用砥石を、回転軸を有する回
転加工具の前記回転軸の先端に取付け、この回転軸を所
定のモータ等の駆動源にて回転駆動させることによって
前記加工用砥石を高速で回転させ、この高速回転する加
工用砥石によって被加工物に所定の加工を施すようにな
っていた。

【０００３】前述の如き精密加工装置において、加工用
砥石を初期使用する際には、円滑な加工を行えるように
すべく、実加工を行う前に、まず、その加工用砥石によ
って、超砥粒製の材料であるドレス材を加工させる。こ
れによって、加工用砥石の全周の加工抵抗が略一定とな
るように加工用砥石の表面の超砥粒をならす作業である
ドレッシングを行わせ、該ドレッシングの完了後、所定
の試験材を加工させ、その加工箇所の形状を顕微鏡等に
よって観察する。そして、この観察において、加工箇所
に存在するクラック及びチッピング等の欠陥が充分に少
なくなるまで前記ドレッシングを繰り返し、これらの欠
陥が充分に少なくなった後、実加工を行うようにしてい
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前述の如き
従来の精密加工装置においては、加工用砥石の反り又は
回転加工具への加工用砥石の取付け誤差等によって、回
転中の加工用砥石に、加工用砥石の回転面に対する垂直
方向への振動が生じることがある。このような振動が生
じた場合、加工用砥石先端の被加工物内部への進入深さ
が深くなるに従って、被加工物による加工用砥石の拘束
力が大となり、また被加工物を通り抜けるに従って拘束
力が小さくなるため、この拘束力の変化により、前記振
動の振幅は、前記進入深さが深くなるに従って小さくな
り、さらに進むと大きくなる。このため、加工用砥石に
より被加工物に形成される加工溝の幅は、被加工物にお
ける加工用砥石の出側の方がその入側よりも大きくなる
ので、その結果、被加工物の加工箇所の寸法が均一にな
らないという問題があった。

【０００５】本発明は斯かる事情に鑑みてなされたもの
であり、加工用砥石の形状修正を行うことによって、加
工用砥石の反り又は回転加工具への加工用砥石の取付け
誤差等に起因する加工用砥石の振動を未然に防ぎ、加工
用砥石による加工精度を良好なものとする加工用砥石の
形状修正方法及び装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の加工用砥
石の形状修正方法は、円板状の加工用砥石の側面の形状
を修正する方法であって、前記加工用砥石を回転させつ
つ、該加工用砥石の片側又は両側の側面に、回転する円
板状の修正用砥石を当接させることを特徴とする。

【０００７】本発明の第２の加工用砥石の形状修正方法
は、円板状の加工用砥石の側面の形状を修正する方法で
あって、前記加工用砥石を回転させつつ、該加工用砥石
の片側又は両側の側面に、前記加工用砥石よりも曲げ剛
性が小さい、回転する円板状の修正用砥石の側面を当接
させることを特徴とする。

【０００８】本発明に係る加工用砥石の形状修正装置
は、円板状の加工用砥石の側面の形状を修正する装置で
あって、前記加工用砥石を回転させる手段と、周方向に
回転可能な円板状の修正用砥石と、該修正用砥石を回転
させる手段と、前記修正用砥石を前記加工用砥石の側面
に当接させる手段とを具備することを特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明の第１の加工用砥石の形状修正方法にあ
っては、周方向回転する加工用砥石の片側の側面に、周
方向に回転する円板状の修正用砥石が当接させられる場
合には、加工用砥石においては、修正用砥石が当接され
た部分が全周に亘って均一に削られるので、加工用砥石
の反り等によって生じる加工用砥石の側面の不均一な形
状が均一化される。また、加工用砥石の両側の側面に修
正用砥石が当接させられる場合には、加工用砥石は両側
面から修正用砥石に挟まれる態様となるため、修正用砥
石から過大な当接力が与えられても、その当接力が相殺
され、加工用砥石が不必要に変形しない。

【００１０】本発明の第２の加工用砥石の形状修正方法
にあっては、周方向回転する加工用砥石の片側の側面
に、加工用砥石よりも曲げ剛性が小さい、周方向に回転
する円板状の修正用砥石の側面が当接させられる場合に
は、加工用砥石においては、前述の第１の加工用砥石の
形状修正方法と同様に加工用砥石の側面の形状が均一化
されるが、この場合、修正用砥石は、加工用砥石よりも
曲げ剛性が小さいため、修正用砥石は湾曲し易く、例え
ば、修正用砥石の当接力が、加工用砥石を変形させるよ
うな過大な力の場合でも、修正用砥石が湾曲して前記当
接力を吸収するので、加工用砥石が不必要に変形しな
い。また、加工用砥石の両側の側面に加工用砥石よりも
曲げ剛性が小さい修正用砥石が当接させられる場合に
は、この修正用砥石は、前述の如く修正用砥石の当接力
を吸収し、加工用砥石の不必要な変形を防ぎ、また、こ
れに加えて、加工用砥石は両側面から修正用砥石に挟ま
れる態様となるので、修正用砥石から過大な当接力が与
えられても、その当接力が相殺されて、加工用砥石が不
必要に変形しない。

【００１１】本発明に係る加工用砥石の形状修正装置
は、前述の如き加工用砥石の形状修正方法を実現するも
のであり、周方向回転する加工用砥石の側面に、周方向
に回転する円板状の修正用砥石が当接させられると、加
工用砥石においては、修正用砥石が当接された部分が全
周に亘って均一に削られるので、加工用砥石の反り等に
よって生じる加工用砥石の側面の不均一な形状が均一化
される。

【００１２】

【実施例】以下本発明をその実施例を示す図面に基づい
て具体的に説明する。図１は本発明に係る加工用砥石の
形状修正方法を適用する装置の第１実施例の構成を示す
模式図である。

【００１３】図中１は回転加工具であり、該回転加工具
１は、回転軸10の先端部に、該回転軸10の回転に伴って
回転する薄い円環状板形態の加工用砥石11を着脱可能に
備えている。前記加工用砥石11は、それを構成する座金
に、天然ダイヤモンド砥粒又は立方晶窒化硼素砥粒等の
超砥粒を、電着，レジンボンド又はメタルボンド等の方
法で結合することによって形成されている。

【００１４】前記回転加工具１は、前記回転軸10を回転
駆動するモータよりなる駆動源２に取付けられている。
また、駆動源２は縦方向（以下Ｚ軸方向という）への移
動自在に設けられた板状の部材であるＺ軸ステージ３に
取付けられており、このような構成により、加工用砥石
11はＺ軸方向での任意の位置に移動することが可能とな
っている。

【００１５】また、被加工物４は、保持具５によって保
持されるようになっており、保持具５は、水平面内（以
下Ｘ，Ｙ平面という）での移動自在に設けられた板状の
部材であるＸＹステージ６上に取付けられている。この
ような構成により、被加工物４はＸ，Ｙ平面内での任意
の位置に移動することが可能となっている。

【００１６】前記回転加工具１の下方には、回転軸710
の先端部に、該回転軸710 の回転に伴って回転する薄い
円環状板形態の修正用砥石711 を着脱可能に備えた修正
用加工具71が、前記回転軸710 の軸長方向が前記回転加
工具１の回転軸10の軸長方向に平行となるように配され
ている。この修正用加工具71は、回転軸710 を回転駆動
するモータよりなる駆動源81に取付けられている。ま
た、駆動源81は、Ｚ軸方向及び前記回転加工具１の回転
軸11の軸長方向( 以下Ｘ軸方向という）への移動自在に
設けられた板状の部材であるＸＺ軸ステージ91に取付け
られており、このような構成により、修正用砥石711 は
Ｘ軸方向及びＺ軸方向での任意の位置に移動することが
可能となっている。

【００１７】以上の如く構成された装置の動作について
説明する。実際に被加工物４の加工を行う場合は、ＸＹ
ステージ６の移動によって被加工物４の加工位置の位置
決めを行い、加工用砥石11を回転させつつＺ軸ステージ
３を移動させることによって被加工物４に対する所定の
加工を実行する。

【００１８】また、加工用砥石11を初期使用する際に
は、円滑な加工を行えるようにすべく、実加工を行う前
に、まず、その加工用砥石11によって、超砥粒製の材料
であるドレス材を加工させ、これによって、加工用砥石
11の全周の加工抵抗が略一定となるように加工用砥石の
表面の超砥粒をならす作業であるドレッシングを行わせ
る。そして、前記ドレッシングの完了後、加工用砥石11
の反り又は回転加工具１への加工用砥石11の取付け誤差
等の原因により生じる、加工用砥石11の回転面に対する
垂直方向への振動を抑止すべく、加工用砥石11の側面の
厚さ方向の形状修正を行う。

【００１９】次に、加工用砥石11の側面の厚さ方向の形
状修正方法について説明する。まず、加工用砥石11を通
常加工時の回転数（例えば8000rpm 〜10000rpm）で回転
させると共に修正用砥石711 をこれよりも高い回転数
（例えば10000rpm〜15000rpm）で回転させる。そして、
回転する修正用砥石711 の上側の周縁部が、回転する加
工用砥石11の下側の周縁部に軽く接触するようにＸＺ軸
ステージ91を移動させる。このように修正用砥石711 が
加工用砥石11の側面に接触すると、加工用砥石11の接触
部分が修正用砥石711 によって削られる。その接触後、
修正用砥石711 が加工用砥石11の径方向内側へ移動する
ようにＸＺ軸ステージ91を所定距離移動させる。この径
方向の移動によって、加工用砥石11の側面の周縁部の表
面が径方向に所定幅削られ、加工用砥石11の側面の平坦
化がなされる。

【００２０】そして、このような加工用砥石11の厚さ方
向の形状修正を行った後、所定の試験材を加工させ、そ
の試験材に形成される加工溝の幅を、被加工物における
加工用砥石11の入側と、その出側とにおいて顕微鏡等に
よって測定し、これらの測定結果の差が所定値（例えば
１μｍ）以下となった場合に、実際の被加工物４の実加
工を行う。

【００２１】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図２は本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適
用する装置の第２実施例の構成を示す模式図であり、図
２において、図１と一致するものには同番号を付しその
説明を省略する。

【００２２】回転加工具１の下方には、回転軸720 の先
端部に、該回転軸720 の回転に伴って回転する薄い円環
状板形態の修正用砥石721を着脱可能に備えた修正用加
工具72が、前記回転軸720 の軸長方向が前記回転加工具
１の回転軸10の軸長方向と直交するように配されてい
る。この修正用加工具72は、回転軸720 を回転駆動する
モータよりなる駆動源82に取付けられている。また、駆
動源82は、Ｚ軸方向及びＸ軸方向への移動自在に設けら
れた板状の部材であるＸＺ軸ステージ92に取付けられて
おり、このような構成により、修正用砥石721 はＸ軸方
向及びＺ軸方向での任意の位置に移動することが可能と
なっている。

【００２３】次に、このような構成の第２実施例の装置
による加工用砥石11の側面の厚さ方向の形状修正方法に
ついて説明する。まず、加工用砥石11を通常加工時の回
転数（例えば8000rpm 〜10000rpm）で回転させると共に
修正用砥石721 をこれよりも高い回転数（例えば10000r
pm〜15000rpm）で回転させる。そして、回転する修正用
砥石721 の加工用砥石11側の周面が、回転する加工用砥
石11の下側の周縁部に軽く接触するようにＸＺ軸ステー
ジ92を移動させる。このように修正用砥石721が加工用
砥石11の側面に接触すると、加工用砥石11の接触部分が
修正用砥石721によって削られる。その接触後、修正用
砥石721 が加工用砥石11の径方向内側へ移動するように
ＸＺ軸ステージ92を所定距離移動させる。この径方向の
移動によって、加工用砥石11の側面の周縁部の表面が径
方向に所定幅削られ、加工用砥石11の側面の平坦化がな
される。

【００２４】次に、本発明の第３実施例について説明す
る。図３は本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適
用する装置の第３実施例の構成を示す模式図であり、図
３において、図１と一致するものには同番号を付しその
説明を省略する。

【００２５】回転加工具１の下方には、回転軸730 の先
端部に、該回転軸730 の回転に伴って回転する薄い円環
状板形態の修正用砥石731を着脱可能に備えた修正用加
工具73が、前記回転軸730 の軸長方向が前記回転加工具
１の回転軸10の軸長方向と所定角度で交叉するように、
修正用砥石731 の表面が加工用砥石11側の斜め下方を向
いて配されている。前記修正用砥石731 は、ヤング率が
大きいバネ鋼製のもの又は加工用砥石11の略半分の厚さ
のもの等、その曲げ剛性が加工用砥石11の曲げ剛性より
も小さいものである。

【００２６】この修正用加工具73は、回転軸730 を回転
駆動するモータよりなる駆動源83に取付けられている。
また、駆動源83は、Ｚ軸方向及びＸ軸方向への移動自在
に設けられた板状の部材であるＸＺ軸ステージ93に取付
けられており、このような構成により、修正用砥石731
はＸ軸方向及びＺ軸方向での任意の位置に移動すること
が可能となっている。

【００２７】次に、このような構成の第３実施例の装置
による加工用砥石11の側面の厚さ方向の形状修正方法に
ついて説明する。まず、加工用砥石11を通常加工時の回
転数（例えば8000rpm 〜10000rpm）で回転させると共に
修正用砥石731 をこれよりも高い回転数（例えば10000r
pm〜15000rpm）で回転させる。そして、回転する修正用
砥石731 の上側の周縁部が、回転する加工用砥石11の下
側の周縁部に接触するようにＸＺ軸ステージ93を移動さ
せる。修正用砥石731 が加工用砥石11の側面に接触する
と、修正用砥石731 はその曲げ剛性が小さいため、その
周縁部が駆動源83側へ湾曲する。このような態様で修正
用砥石731 が加工用砥石11の側面に接触することによっ
て、加工用砥石11の接触部分が修正用砥石731 によって
削られる。その接触後、修正用砥石731 が加工用砥石11
の径方向内側へ移動するようにＸＺ軸ステージ93を所定
距離移動させる。この径方向の移動によって、加工用砥
石11の側面の周縁部の表面が径方向に所定幅削られ、加
工用砥石11の側面の平坦化がなされる。

【００２８】このように曲げ剛性が小さい修正用砥石73
1 によって加工用砥石11の厚さ方向の形状修正を行う
と、加工用砥石11に対する修正用砥石731 の押圧力が大
きい場合において、修正用砥石731が前述の如く湾曲す
るので、前記押圧力によって加工用砥石11が過剰に変形
しない。

【００２９】次に、本発明の第４実施例について説明す
る。図４は本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適
用する装置の第４実施例の構成を示す模式図であり、図
４において、図１と一致するものには同番号を付しその
説明を省略する。

【００３０】回転加工具１の下方には、回転軸740 の先
端部に、該回転軸740 の回転に伴って回転する薄い円環
状板形態の修正用砥石741を着脱可能に備えた修正用加
工具74が２つ、夫々の回転軸740,740 の軸長方向が前記
回転加工具１の回転軸10の軸長方向と直交するようにＸ
軸方向に所定距離を隔てて配されている。この修正用加
工具74,74 は、夫々の回転軸740,740 を回転駆動するモ
ータよりなる駆動源84,84 に夫々取付けられている。ま
た、駆動源84,84 は、Ｘ軸方向への移動自在に設けられ
た板状の部材であるＸ軸ステージ94,94 に取付けられて
おり、このＸ軸ステージ94,94 は、Ｚ軸方向への移動自
在に設けられた板状の部材であるＺ軸ステージ100 上に
取付けられている。このような構成により、修正用砥石
741,741はＸ軸方向及びＺ軸方向での任意の位置に移動
することが可能となっている。

【００３１】次に、このような構成の第４実施例の装置
による加工用砥石11の側面の厚さ方向の形状修正方法に
ついて説明する。まず、加工用砥石11を通常加工時の回
転数（例えば8000rpm 〜10000rpm）で回転させると共に
修正用砥石741 ,741をこれよりも高い回転数（例えば10
000rpm〜15000rpm）で回転させる。そして、回転する夫
々の修正用砥石741 ,741の加工用砥石11側の周面が、回
転する加工用砥石11の下側の両側部の周縁部に軽く接触
するようにＸ軸ステージ94,94 を移動させる。このよう
に修正用砥石741 ,741が加工用砥石11の両側面に接触す
ると、加工用砥石11の接触部分が修正用砥石741 ,741に
よって削られる。その接触後、修正用砥石741 ,741が加
工用砥石11の径方向内側へ移動するようにＺ軸ステージ
100 を所定距離移動させる。この径方向の移動によっ
て、加工用砥石11の両側面の周縁部の表面が径方向に所
定幅削られ、加工用砥石11の両側面の平坦化がなされ
る。

【００３２】次に、本発明の第５実施例について説明す
る。図５は本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適
用する装置の第５実施例の構成を示す模式図であり、図
５において、図１と一致するものには同番号を付しその
説明を省略する。

【００３３】回転加工具１の加工用砥石11の一面側及び
他面側の夫々の下方には、回転軸750 の先端部に、該回
転軸750 の回転に伴って回転する薄い円環状板形態の修
正用砥石751 を着脱可能に備えた修正用加工具75,75
が、前記回転軸750 の軸長方向が前記回転加工具１の回
転軸10の軸長方向と所定角度で交叉するように、修正用
砥石751 の表面が加工用砥石11側の斜め下方を向いた態
様で対向して配されている。これらの修正用加工具75,7
5 の夫々の修正用砥石751,751 は、ヤング率が大きいバ
ネ鋼製のもの又は加工用砥石11の略半分の厚さのもの
等、その曲げ剛性が加工用砥石11の曲げ剛性よりも小さ
いものである。

【００３４】前記修正用加工具75,75 は、夫々の回転軸
750,750 を回転駆動するモータよりなる駆動源85,85 に
夫々取付けられている。また、駆動源85,85 は、Ｚ軸方
向及びＸ軸方向への移動自在に設けられた板状の部材で
あるＸＺ軸ステージ95,95 に夫々取付けられており、こ
のような構成により、修正用砥石751,751 はＸ軸方向及
びＺ軸方向での任意の位置に移動することが可能となっ
ている。

【００３５】次に、このような構成の第５実施例の装置
による加工用砥石11の厚さ方向の形状修正方法について
説明する。まず、加工用砥石11を通常加工時の回転数
（例えば8000rpm 〜10000rpm）で回転させると共に修正
用砥石751,751 をこれよりも高い回転数（例えば10000r
pm〜15000rpm）で回転させる。そして、回転する修正用
砥石751,751 の上側の周縁部が、回転する加工用砥石11
の下側の両側の周縁部に接触するようにＸＺ軸ステージ
95,95を夫々移動させる。修正用砥石751,751 が加工用
砥石11の側面に接触すると、修正用砥石751,751 はその
曲げ剛性が小さいため、その周縁部が駆動源85,85 側へ
湾曲する。このような態様で修正用砥石751,751 が加工
用砥石11の両側面に接触することによって、加工用砥石
11の接触部分が修正用砥石751,751 によって削られる。
その接触後、修正用砥石751,751 が加工用砥石11の径方
向内側へ移動するようにＸＺ軸ステージ95,95 を所定距
離移動させる。この径方向の移動によって、加工用砥石
11の両側面の周縁部の表面が径方向に所定幅削られ、加
工用砥石11の両側面の平坦化がなされる。

【００３６】前述の如き第４実施例及び第５実施例にお
いては、回転する加工用砥石11の両側面に修正用砥石が
接触するので、加工用砥石11が両側から修正用砥石によ
って挟まれることになり、この拘束力のために、前述の
如き薄い加工用砥石11が、形状修正中に不必要に変形し
ない。

【００３７】

【発明の効果】以上詳述した如く本発明の第１の加工用
砥石の形状修正方法においては、加工用砥石の片側の側
面に当接させられる修正用砥石によって、加工用砥石
の、修正用砥石が当接された部分が全周に亘って均一に
削られるため、加工用砥石の側面の形状が均一化でき
る。また、加工用砥石の両側の側面に修正用砥石が当接
させられ、加工用砥石は両側面から修正用砥石に挟まれ
る態様となり、修正用砥石から過大な当接力が与えられ
ても、その当接力が相殺されるため、上述の効果に加え
て、加工用砥石の不必要な変形を抑制できる。

【００３８】本発明の第２の加工用砥石の形状修正方法
においては、加工用砥石の片側の側面に、加工用砥石よ
りも曲げ剛性が小さい修正用砥石の側面が当接させられ
るため、前述の如き第１の加工用砥石の形状修正方法の
効果に加えて、修正用砥石の当接力が、加工用砥石を変
形させるような過大な力の場合でも、修正用砥石が湾曲
して前記当接力を吸収し、加工用砥石の形状修正の際の
不必要な変形を抑制できる。また、加工用砥石の両側の
側面に加工用砥石よりも曲げ剛性が小さい修正用砥石が
当接させられ、加工用砥石は両側面から挟まれる態様と
なり、修正用砥石から過大な当接力が与えられても、そ
の当接力が相殺されるため、上述の加工用砥石の形状修
正方法の効果に加えて、さらに加工用砥石の不必要な変
形を抑制できる。

【００３９】本発明に係る加工用砥石の形状修正装置
は、加工用砥石の側面に、修正用砥石が当接させられ、
加工用砥石の、修正用砥石が当接された部分が全周に亘
って均一に削られるので、加工用砥石の反り等によって
生じる加工用砥石の側面の形状が均一化できる。

【００４０】このように本発明においては、加工用砥石
の側面の形状が修正用砥石によって均一化されるため、
加工用砥石の反り等に起因する加工用砥石の振動を未然
に防ぐことができ、これによって、加工用砥石による加
工精度を良好なものにできる等、本発明は優れた効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適用
する装置の第１実施例の構成を示す模式図である。

【図２】本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適用
する装置の第２実施例の構成を示す模式図である。

【図３】本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適用
する装置の第３実施例の構成を示す模式図である。

【図４】本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適用
する装置の第４実施例の構成を示す模式図である。

【図５】本発明に係る加工用砥石の形状修正方法を適用
する装置の第５実施例の構成を示す模式図である。

【符号の説明】

２ 駆動源 ４ 被加工物 11 加工用砥石 81,82,83,84,85 駆動源 91,92,93,95 ＸＺ軸ステージ 94 Ｘ軸ステージ 100 Ｚ軸ステージ 711,721,731,741,751 修正用砥石

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円板状の加工用砥石の側面の形状を修正
   する方法であって、 前記加工用砥石を回転させつつ、該加工用砥石の片側又
   は両側の側面に、回転する円板状の修正用砥石を当接さ
   せることを特徴とする加工用砥石の形状修正方法。
2. 【請求項２】 円板状の加工用砥石の側面の形状を修正
   する方法であって、 前記加工用砥石を回転させつつ、該加工用砥石の片側又
   は両側の側面に、前記加工用砥石よりも曲げ剛性が小さ
   い、回転する円板状の修正用砥石の側面を当接させるこ
   とを特徴とする加工用砥石の形状修正方法。
3. 【請求項３】 円板状の加工用砥石の側面の形状を修正
   する装置であって、 前記加工用砥石を回転させる手段と、 周方向に回転可能な円板状の修正用砥石と、 該修正用砥石を回転させる手段と、 前記修正用砥石を前記加工用砥石の側面に当接させる手
   段とを具備することを特徴とする加工用砥石の形状修正
   装置。