JP2016199462A - 炭化珪素半導体基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主面12の反対面13の中心を含む第1の領域14と、第1の領域14を囲む第2の領域15とを有し、第2の領域15の表面部分における結晶の乱れた部分の厚さは、第1の領域14の表面部分における結晶の乱れた部分の厚さよりも大きく、且つ、第1の領域14の表面部分における結晶の乱れた部分の厚さ、及び、第2の領域15の表面部分における結晶の乱れた部分の厚さは、いずれも主面12の表面部分における結晶の乱れた部分の厚さよりも大きいか、または第2の領域15の表面部分における結晶の乱れの線密度は、第1の領域14の表面部分における結晶の乱れの線密度よりも大きく、且つ、第1の領域14及び、第2の領域15の表面部分における結晶の乱れの線密度は、いずれも主面12の表面部分における結晶の乱れの線密度よりも大きい炭化珪素半導体基板。
【選択図】図12B
Description
主面と、前記主面と反対側に位置する反対面とを備え、炭化珪素半導体の結晶を含み、前記反対面は、前記反対面の中心を含む第1の領域と、前記第1の領域を囲む第2の領域とを有し、前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さおよび前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きい、または前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度および前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きい炭化珪素半導体基板。
主面と、前記主面と反対側に位置する反対面とを備える炭化珪素半導体基板であって、前記反対面は、前記反対面の中心を含む第1の領域と、前記第1の領域を囲む凹部により定義される第2の領域とを有し、前記第2の領域における前記炭化珪素半導体基板の厚さは、前記第1の領域における前記炭化珪素半導体基板の厚さよりも小さい炭化珪素半導体基板。
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さが390nm以上である、項目1に記載の炭化珪素半導体基板。
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度が200本/mm以上である、
項目1に記載の炭化珪素半導体基板。
前記炭化珪素半導体基板は炭化珪素半導体の結晶を含み、前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さおよび前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きい、または前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度および前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きい、項目2に記載の炭化珪素半導体基板。
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さが390nm以上である、項目5に記載の炭化珪素半導体基板。
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度が200本/mm以上である、項目5に記載の炭化珪素半導体基板。
主面と、前記主面と反対側に位置する反対面であって、前記反対面の中心を含む第1の領域および前記第1の領域を囲む第2の領域を有する反対面とを備え、炭化珪素半導体の結晶を含む炭化珪素半導体基板を準備する工程と、前記第2の領域を部分的に機械的に加工する工程とを含み、前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さおよび前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きい、または前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度および前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きい、炭化珪素半導体基板の製造方法。
主面と、前記主面と反対側に位置する反対面であって、前記反対面の中心を含む第1の領域および前記第1の領域を囲む第2の領域を有する反対面とを備え、炭化珪素半導体の結晶を含む炭化珪素半導体基板を準備する工程、前記第2の領域を研磨する工程を含み、前記第2の領域における前記炭化珪素半導体基板の厚さは、前記第1の領域における前記炭化珪素半導体基板の厚さよりも小さい、炭化珪素半導体基板の製造方法。
前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の少なくとも一部を除去する工程をさらに含む、項目9に記載の炭化珪素半導体基板の製造方法。
前記炭化珪素半導体基板の前記主面上に半導体エピタキシャル層を形成する工程と、前記炭化珪素半導体基板の前記反対面の前記第1の領域及び前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の少なくとも一部を除去する工程とをさらに含む、項目8または9に記載の炭化珪素半導体基板の製造方法。
以下、図面を参照しながら、本開示の第1の実施形態を説明する。図12Aおよび図12Bは、本開示の炭化珪素半導体基板11の底面図および断面図である。炭化珪素半導体基板11は、主面12および主面12と反対側に位置する反対面13を備える。反対面13は少なくとも2つの領域を含む。具体的には、反対面13は、反対面13の中心を含む第1の領域14と、第1の領域14を囲み、第1の領域の外側に配置される第2の領域15とを有する。
以下、図面を参照しながら本開示の第2の実施形態を説明する。図14Aおよび図14Bは、本開示の炭化珪素半導体基板の底面図および断面図である。炭化珪素半導体基板11は、主面12および主面12と反対側に位置する反対面13を備える。反対面13は少なくとも2つの領域を含む。具体的には、反対面13は、反対面13の中心を含む第1の領域14と、第1の領域14を囲み、第1の領域の外側に配置される第2の領域15とを有する。本実施形態における第2の領域15は、凹部に相当する。
図12B、図14Bおよび図16を用いて、本開示の炭化珪素半導体基板の製造方法を説明する。炭化珪素半導体基板11をブールから切り出し、主面12と反対面13とを研削および研磨する工程は通常の炭化珪素半導体基板の製造工程と同じである。この時、反対面13の変質層を主面12の変質層よりも厚くするため、主面よりも粗い研磨剤もしくは硬い研磨布を用いて反対面13の研磨を行う。
3 固定サセプタ
4 誘導コイル
5 回転サセプタ
6 ウェハ
7 ポケット
11 炭化珪素半導体基板
12 主面
13 反対面
14 第1の領域
15 第2の領域
16 変質層
17 主面の変質層
18 反対面の変質層
19 第1の変質層
20 第2の変質層
30 半導体エピタキシャル層
100 定盤
110 研磨治具
Claims (11)
- 主面と、
前記主面と反対側に位置する反対面とを備え、
炭化珪素半導体の結晶を含み、
前記反対面は、前記反対面の中心を含む第1の領域と、前記第1の領域を囲む第2の領域とを有し、
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さおよび前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きい、または
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度および前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きい炭化珪素半導体基板。 - 主面と、
前記主面と反対側に位置する反対面とを備える炭化珪素半導体基板であって、
前記反対面は、前記反対面の中心を含む第1の領域と、前記第1の領域を囲む凹部により定義される第2の領域とを有し、
前記第2の領域における前記炭化珪素半導体基板の厚さは、前記第1の領域における前記炭化珪素半導体基板の厚さよりも小さい炭化珪素半導体基板。 - 前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さが390nm以上である、請求項1に記載の炭化珪素半導体基板。
- 前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度が200本/mm以上である、請求項1に記載の炭化珪素半導体基板。
- 前記炭化珪素半導体基板は炭化珪素半導体の結晶を含み、
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さおよび前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きい、または
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度および前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きい、請求項2に記載の炭化珪素半導体基板。 - 前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さが390nm以上である、請求項5に記載の炭化珪素半導体基板。
- 前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度が200本/mm以上である、請求項5に記載の炭化珪素半導体基板。
- 主面と、前記主面と反対側に位置する反対面であって、前記反対面の中心を含む第1の領域および前記第1の領域を囲む第2の領域を有する反対面とを備え、炭化珪素半導体の結晶を含む炭化珪素半導体基板を準備する工程と、
前記第2の領域を部分的に機械的に加工する工程とを含み、
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さおよび前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さは、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れた部分の厚さよりも大きい、または
前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きく、かつ前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度および前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れの線密度は、いずれも前記主面の表面部分における前記結晶の乱れの線密度よりも大きい、炭化珪素半導体基板の製造方法。 - 主面と、前記主面と反対側に位置する反対面であって、前記反対面の中心を含む第1の領域および前記第1の領域を囲む第2の領域を有する反対面とを備え、炭化珪素半導体の結晶を含む炭化珪素半導体基板を準備する工程と、
前記第2の領域を研磨する工程を含み、
前記第2の領域における前記炭化珪素半導体基板の厚さは、前記第1の領域における前記炭化珪素半導体基板の厚さよりも小さい、炭化珪素半導体基板の製造方法。 - 前記第1の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の少なくとも一部を除去する工程をさらに含む、請求項9に記載の炭化珪素半導体基板の製造方法。
- 前記炭化珪素半導体基板の前記主面上に半導体エピタキシャル層を形成する工程と、
前記炭化珪素半導体基板の前記反対面の前記第1の領域及び前記第2の領域の表面部分における前記結晶の乱れた部分の少なくとも一部を除去する工程とをさらに含む、請求項8または9に記載の炭化珪素半導体基板の製造方法。
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