JP2016171301A - 半導体集積回路装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図3(1)は、図2のヒューズ301から304を横に並べて平面的に示したものである。個々のヒューズ素子は、中央の線幅を両端部よりも細くしたレーザーカット用の領域と、両端部でコンタクトホール7を介し、金属配線8によって内部回路に接続している配線接続のための領域を有している。またレーザートリミングによりヒューズ素子をカットする領域は、レーザーヒューズカット用開口部10を設けている。
しかし、従来半導体集積回路に使用されるレーザーカット用ヒューズの加工には以下のような困難があった。
まず、半導体基板と、前記半導体基板上に形成した絶縁膜と、前記絶縁膜上に離間して配置された2つの金属からなる導電体と、前記導電体上に積層する第1の高融点金属膜と、前記第1の高融点金属膜上及び前記導電体の側面を覆い、前記2つの導電体の離間した前記絶縁膜上の領域に設けられたアモルファスシリコン層からなるヒューズ素子と、を含む半導体集積回路装置とした。
さらに、前記半導体集積回路装置は、少なくとも2層以上の金属配線層から構成され、前記導電体は前記金属配線層のうちの最上層からなり、前記最上層の金属配線層上には保護膜が設けられていること特徴とする半導体集積回路装置とした。
さらに、前記保護膜は、シリコン酸化膜と、その上に形成されたシリコン窒化膜とからなり、前記ヒューズ素子上には前記シリコン窒化膜を除去した開口部が設けられていることを特徴とする半導体集積回路装置とした。
すなわち、ヒューズ素子を含む半導体集積回路装置の製造方法であって、
半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜の上に第1の金属膜および第1の高融点金属膜をこの順で積層する工程と、
前記第1の金属膜および前記第1の高融点金属膜をエッチングして、ヒューズ素子領域に離間した、前記第1の金属膜の上に前記第1の高融点金属膜が配置された2つの導電体を形成し、ボンディングパッド領域にボンディングパッドを形成する工程と、
前記2つの導電体と前記ボンディングパッドと前記絶縁膜の上にアモルファスシリコン層を堆積する工程と、
前記ヒューズ素子領域において前記第1の高融点金属膜の上及び前記2つの導電体の側面を覆い、前記2つの導電体の離間した前記絶縁膜上の領域に設けられた前記アモルファスシリコン層からなるヒューズ素子を形成する工程と、
前記ボンディングパッド領域において前記アモルファスシリコン層および前記第1の高融点金属膜を除去する工程と、
前記ヒューズ素子を含む前記半導体基板上に、下層のシリコン酸化膜と上層のシリコン窒化膜とからなる保護膜を堆積する工程と、
前記ボンディングパッド上の前記保護膜を除去する保護膜形成工程と、
からなることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法とした。
さらに、前記アモルファスシリコン層を堆積する工程の前に、第2の高融点金属膜を堆積する工程をさらに有し、
前記ヒューズ素子を形成する工程において、前記ヒューズ素子領域において前記第1の高融点金属膜上及び前記2つの導電体の側面を覆い、前記2つの導電体の離間した前記絶縁膜上の領域に設けられた前記アモルファスシリコン層および前記第2の高融点金属膜からなるヒューズ素子を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体集積回路装置の製造方法とした。
以下に、図面を用いてそれぞれの実施例について説明する。
また、従来例も同様ではあるが、レーザーカット開口部10を設けることで、最終保護膜であるシリコン窒化膜がなくなり長期信頼性劣化の可能性がでてくる。
図1の第1の実施例との違いは、アモルファスシリコン層17の下に第2の高融点金属膜18を積層して設けている点である。この2つの積層膜は同じマスクパターンを用いて一括ドライエッチング加工形成しているため平面視的に同一形状となっており、図5(1)の平面図では特に相違点はない。
そして最上層のシリコン酸化膜24及びシリコン窒化膜25からなる最終保護膜については、外部への端子取り出しのためにボンディングパッド19上のみ開口している。
まず、半導体基板1上に、MOSトランジスタを作製するために、LOCOS絶縁膜13などの素子分離領域、ゲート絶縁膜9、ゲート電極6、ソース/ドレイン領域12などを含む工程を行う。ついで、BPSG膜16などの平坦絶縁膜の形成、BPSG膜中のコンタクトホール7の形成、1層目の金属配線8の形成、金属配線8上の層間絶縁膜22の形成、1層目と2層目の金属配線を接続するための層間絶縁膜22中のビアホール15の形成、2層目の金属配線11の形成、2層目の金属配線11上の層間絶縁膜22の形成を行う(図15(1))。
ここでも第3の金属配線構造の詳細は一般的な方法を採用しているが、特に本発明において不可欠である、TiNなどの高融点金属からなる反射防止膜23は図示しており、第3の金属配線の加工終了時点では全ての第3の金属配線層上に反射防止膜23が積層されていることを表している。
次に、フォトレジスト20を塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてヒューズ素子形成予定領域だけにフォトレジストを残し、他の領域のフォトレジストを除去する(図16(1))。
最後に、外部端子との電気的接続を担うボンディングパッド19上の最終保護膜であるシリコン窒化膜とシリコン酸化膜を順次ドライエッチングし、開口部を形成する(図16(3))。
さらに、別のフォトレジストと別のフォトマスクを用い、ボンディングパッド19上のシリコン酸化膜のみをエッチング除去する(図18(3))。
次に、ヒューズ素子加工のためのレジストパターニング工程(図10(1))を行ったのち、同一フォトレジストをマスクとして、アモルファスシリコン層17と高融点金属膜18をエッチング加工する。その際に、ヒューズ素子以外の領域の第3の金属配線上の反射防止膜も、併せて同一フォトレジストマスクでエッチング除去する。
さらに別のフォトレジストと別のフォトマスクを用い、ボンディングパッド19上のシリコン酸化膜のみをエッチング除去する(図12(3))。
以上の説明において、高融点金属はTiあるいはTiNに限られるものではなく、他のTi化合物でも良い。
5 多結晶シリコン膜
6 ゲート電極
7 コンタクトホール
8 1層目の金属配線
9 ゲート絶縁膜
10 レーザーヒューズカット用開口部
11 2層目の金属配線
12 N型ソース/ドレイン領域
13 LOCOS絶縁膜
14 3層目の金属配線
15 ビアホール
16 BPSG膜
17 アモルファスシリコン膜
18 高融点金属膜
19 ボンディングパッド
20 フォトレジスト
21 内部回路用微細金属配線
22 層間絶縁膜
23 反射防止膜
24 シリコン酸化膜
25 シリコン窒化膜
26 P型ウェル領域
27 N型チャネル不純物領域
28 P型チャネル不純物領域
301 ヒューズ1
302 ヒューズ2
303 ヒューズ3
304 ヒューズ4
Claims (16)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に離間して配置された金属からなる2つの導電体と、
前記導電体上に積層された第1の高融点金属膜と、
前記第1の高融点金属膜上及び前記導電体の側面を覆い、前記2つの導電体の離間した前記絶縁膜上の領域に設けられたアモルファスシリコン層からなるヒューズ素子と、
を含む半導体集積回路装置。 - 前記アモルファスシリコン層の下に、平面視的に前記アモルファスシリコン層と同一形状の第2の高融点金属膜を設けたことを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路装置。
- 前記半導体集積回路装置は、少なくとも2層以上の金属配線層から構成され、前記導電体は前記金属配線層のうちの最上層からなり、前記最上層の金属配線層上にはさらに保護膜が設けられていること特徴とする請求項1または2記載の半導体集積回路装置。
- 前記保護膜は、シリコン酸化膜と、その上に形成されたシリコン窒化膜とからなり、前記ヒューズ素子上には前記シリコン窒化膜を除去した開口部が設けられていることを特徴とする請求項3記載の半導体集積回路装置。
- 前記第1の高融点金属膜はTiNあるいはTi化合物であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の半導体集積回路装置。
- 前記第2の高融点金属がTiNあるいはTi化合物であることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項記載の半導体集積回路装置。
- 前記アモルファスシリコン層の厚さが150Å以上1000Å以下の範囲であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の半導体集積回路装置。
- 前記最上層の金属配線層を、前記ヒューズ素子以外の半導体集積回路装置内の配線及びボンディングパッドに使用することを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項記載の半導体集積回路装置。
- 前記最上層の金属配線層上に、TiNあるいはTi化合物で構成された反射防止膜を積層していないことを特徴とする請求項8記載の半導体集積回路装置。
- ヒューズ素子を含む半導体集積回路装置の製造方法であって、
半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜の上に第1の金属膜および第1の高融点金属膜をこの順で積層する工程と、
前記第1の金属膜および前記第1の高融点金属膜をエッチングして、ヒューズ素子領域に離間した、前記第1の金属膜の上に前記第1の高融点金属膜が配置された2つの導電体を形成し、ボンディングパッド領域にボンディングパッドを形成する工程と、
前記2つの導電体と前記ボンディングパッドと前記絶縁膜の上にアモルファスシリコン層を堆積する工程と、
前記ヒューズ素子領域において前記第1の高融点金属膜の上及び前記2つの導電体の側面を覆い、前記2つの導電体の離間した前記絶縁膜上の領域に設けられた前記アモルファスシリコン層からなるヒューズ素子を形成する工程と、
前記ボンディングパッド領域において前記アモルファスシリコン層および前記第1の高融点金属膜を除去する工程と、
前記ヒューズ素子を含む前記半導体基板上に、下層のシリコン酸化膜と上層のシリコン窒化膜とからなる保護膜を堆積する工程と、
前記ボンディングパッド上の前記保護膜を除去する保護膜形成工程と、
からなることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。 - 前記保護膜形成工程において、前記ヒューズ素子上の前記シリコン窒化膜を除去することを特徴とする請求項10に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記アモルファスシリコン層を堆積する工程の前に、第2の高融点金属膜を堆積する工程をさらに有し、
前記ヒューズ素子を形成する工程において、前記ヒューズ素子領域において前記第1の高融点金属膜上及び前記2つの導電体の側面を覆い、前記2つの導電体の離間した前記絶縁膜上の領域に設けられた前記アモルファスシリコン層および前記第2の高融点金属膜からなるヒューズ素子を形成することを特徴とする請求項10または請求項11に記載の半導体集積回路装置の製造方法。 - 前記第1の高融点金属膜に、TiNあるいはTi化合物を用いることを特徴とする請求項10乃至12のいずれか1項に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記第2の高融点金属膜に、TiNあるいはTi化合物を用いることを特徴とする請求項12または13に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記アモルファスシリコン層の厚さを150Å以上1000Å以下の範囲とすることを特徴とする請求項10乃至14のいずれか1項に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- ヒューズ素子を含む半導体集積回路装置の製造方法であって、
半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜の上に第1の金属膜および第1の高融点金属膜をこの順で積層する工程と、
前記第1の金属膜および前記第1の高融点金属膜をエッチングして、ヒューズ素子領域に離間した、前記第1の金属膜の上に前記第1の高融点金属膜が配置された2つの導電体を形成工程と、
前記2つの導電体と前記絶縁膜の上にアモルファスシリコン層を堆積する工程と、
前記ヒューズ素子領域において前記第1の高融点金属膜の上及び前記2つの導電体の側面を覆い、前記2つの導電体の離間した前記絶縁膜上の領域に設けられた前記アモルファスシリコン層からなるヒューズ素子を形成する工程と、
前記第1の金属膜の上に層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜の上に第2の金属膜を形成する工程と、
前記第2の金属膜をエッチングして、ボンディングパッド領域にボンディングパッドを形成する工程と、
前記ヒューズ素子を含む前記半導体基板上に、下層のシリコン酸化膜と上層のシリコン窒化膜とからなる保護膜を堆積する工程と、
前記ボンディングパッド上の前記保護膜を除去する保護膜形成工程と、
からなることを特徴とする半導体集積回路装置の製造方法。
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