JP4644953B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜抵抗素子を有して成る半導体装置の製造方法に係わる。特に、高抵抗（＞０．５ｋΩ／□）の抵抗素子の搭載が必要とされ、バイポーラ素子等から構成されるアナログ回路機能を有する半導体装置もしくはバイポーラトランジスタ及びＭＯＳトランジスタから構成されるアナログ・デジタル回路機能を有するいわゆるＢｉＣＭＯＳ半導体装置に適用して好適な半導体装置の製造方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路を有する半導体装置において抵抗素子を形成する場合に、用いられている抵抗素子の種類としては、
（１）拡散抵抗素子
（２）電界効果型抵抗素子
（３）薄膜多結晶シリコン抵抗素子
（４）薄膜金属抵抗素子
が挙げられる。
【０００３】
（１）拡散抵抗素子は、半導体基体に導電型がＮ型又はＰ型となる不純物をドーピングし、熱処理を行うことにより形成される。拡散抵抗素子の抵抗値は、不純物の拡散の長さ、拡散の幅、拡散の深さと、拡散材料の抵抗率とに依存する。拡散材料の抵抗率はドーパントと高温熱処理後のドーパント種の接合プロファイルに依存する特徴がある。
（２）電界効果型抵抗素子は、デプレッションモードで使用されるトランジスタを用いた抵抗素子であり、そのトランジスタの閾値電圧を制御するイオン注入により抵抗値が調整されることを特徴としている。
（３）薄膜多結晶シリコン抵抗素子は、多結晶シリコン膜に導電型がＮ型又はＰ型となる不純物をドーピングし、熱処理を行うことによって形成される。
（４）薄膜金属抵抗素子は、絶縁材料上に成膜される抵抗性金属材料膜により形成される。薄膜金属抵抗素子は、回路上高いシート抵抗が必要とされるＬＳＩにおいて、特に有用とされてきた。
【０００４】
従来のディジタル回路においては、不純物をドープされた多結晶シリコン膜が抵抗体材料として用いられてきた。
しかしながら、特にアナログ回路では、ディジタル回路と比較して、より低い抵抗温度係数が必要とされる。そこで、高精度、高信頼性を有する薄膜金属抵抗素子を採用するようになってきている。このような高精度かつ高信頼性を有する薄膜金属抵抗素子の材料としては、従来から、ニッケルクロム（ＮｉＣｒ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、クロムシリサイド（ＣｒＳｉ2 ）、クロムシリコンオキシ（ＣｒＳｉＯ）等が知られている。
【０００５】
近年、半導体装置の高集積化に伴い、抵抗素子の微細化が要求されており、そのために２０００μΩｃｍ程度の高い比抵抗が容易に得られるＣｒＳｉＯやＣｒＳｉ2 が多く用いられるようになっている。これにより、所要の高抵抗値の確保がなされている。
尚、上記材料の比抵抗は、ＣｒＳｉＯが１０００〜４０００μΩｃｍ、ＣｒＳｉ2 が５００〜２０００μΩｃｍ、ＴａＮが１００μΩｃｍ、ＮｉＣｒが５０μΩｃｍ程度である。
【０００６】
そして、従来の微細化された薄膜抵抗素子は、半導体基体上の絶縁膜上に抵抗素子となる例えばＣｒＳｉ2 膜から成る薄膜パターンが延在配設され、このＣｒＳｉ2 膜から成る薄膜パターンの両端部にアルミニウムもしくはその合金から成るＡｌ配線が直接コンタクトした構造を有していた。
【０００７】
さらに、特にシリコン半導体基板上に形成された薄膜金属抵抗素子に対してとりわけ低い抵抗温度係数が要求される場合には、その材料としてＣｒＳｉＮ膜がしばしば用いられる。
このＣｒＳｉＮ膜は高抵抗でかつスパッタ成膜やエッチングが容易であり、ドープされた多結晶シリコン膜の抵抗温度係数が１０００ｐｐｍ／℃以上あるのに対して、ＣｒＳｉＮ膜は１００ｐｐｍ／℃と低い抵抗温度係数を有するため、多用されてきた。
【０００８】
しかしながら、上述した４種類の抵抗素子においては、以下のような問題があった。
【０００９】
拡散抵抗素子及び電界効果型抵抗素子は、それぞれ半導体集積回路の製造プロセスに容易に統合されるという利点を有しているが、多くの短所もある。
特にこれらの抵抗素子は、抵抗値を制御するパラメータが半導体集積回路のデバイス性能のために最適化されなければならないパラメータと同一であるため、抵抗値が制約され、自由な抵抗値の設計が難しくなっている。
従って、実際の半導体集積回路において、拡散抵抗素子または電界効果型抵抗素子を形成した場合、デバイス性能を優先する結果、上述のパラメーターの制約により、これらの抵抗素子では低い抵抗値しか得られない。
さらに、拡散抵抗素子は、比較的大きなスペースを必要とするため、半導体集積回路の集積化や小型化を妨げてしまう短所を有している。
【００１０】
一方、多結晶シリコン抵抗素子は、半導体集積回路用の抵抗素子として現在最も幅広く採用されている。
しかしながら、多結晶シリコンにおけるキャリア伝導機構を構成する因子が多く、かつ複雑であり、しかも他工程の熱処理の影響による大きな変動を受け、特に高抵抗側で顕著となる傾向があり、抵抗値の精度が充分でないこと及び抵抗温度係数（〜２０００ｐｐｍ／℃）が大きいことが課題となってきている。
【００１１】
また、薄膜金属抵抗素子で最も広く採用されているＣｒＳｉ系材料は、非常に酸化されやすいことが大きな課題となってきている。ＣｒＳｉ系抵抗素子の製造プロセスでは、パターニングした抵抗膜（ＣｒＳｉ系材料の膜）が直接酸素雰囲気や酸素プラズマに晒される工程が多い。このため、抵抗膜の表面に酸化や変質が生じる。このように表面が酸化されたり、変質した抵抗膜の上に直接アルミニウム膜の配線を形成すると、接触抵抗が大きくかつ導通が不安定になる。
そこで、抵抗膜の表面の変質層を除去するために、希フッ酸水溶液で抵抗膜の表面及び半導体ウエハの表面を洗浄することも行われている。
しかしながら、このように抵抗膜の表面に対して洗浄を行っても、コンタクト抵抗を充分低く、かつ安定にすることは困難である。例えばＣｒＳｉＮ膜は非常に酸化されやすいため、表面の洗浄を行った後でも、ＣｒＳｉＮ膜の上に積層する配線膜材料との間に薄い酸化クロム等が自然酸化膜として形成されてしまい、配線材料と抵抗膜との導通がしばしば不安定になる。
【００１２】
さらに、薄膜金属抵抗素子の材料としてＣｒＳｉ2 膜を用いた従来の薄膜抵抗素子では、ＣｒＳｉ2 の抵抗値が３６０℃近傍の温度で大きく変化し、薄膜抵抗素子を形成した後に半導体装置が完成するまでに行われる熱処理工程によって、抵抗値が大幅に変動する問題がある。
【００１３】
一方、ＣｒＳｉＯ膜は、熱的な安定性が高く、抵抗素子を形成した後の熱処理工程による抵抗値の変動が少ないので、抵抗膜自体の材料としては望ましい。しかしながら、このＣｒＳｉＯ膜は、アルミニウム合金を積層して成る配線層と良好な電気的接続をとることが難しく、接続部の接触抵抗により初期抵抗値のばらつきが大きくなる問題があり、実用化には複雑な素子構造と繁雑な製造工程が必要となることから、製造コストの増大が大きな課題となる。
【００１４】
さらに、従来の薄膜抵抗素子には、ニクロム合金やチッ化タンタルを用いたものが多いが、これらの材料は比抵抗が低いため、高い比抵抗とするためには抵抗膜を薄くしなければならず、薄くすることにより熱的安定性が悪くなるという問題があった。
そこで、高い比抵抗を有する材料として、クロムとシリコンとの合金から成る薄膜抵抗素子が提案されているが、この合金材料も熱を加えると抵抗値が変化するという問題があった。
【００１５】
上述した従来の抵抗素子の課題を解決するために、各種の抵抗素子の構成や製造方法が提案されているが（例えば特開平６−５７８７号、特開平５−１９０５４７号、特開平７−２４５３０３号、特開平７−２０２１２４等参照）、いずれも製造コストの大幅な上昇や抵抗精度の悪化等の短所を有していて、実用上充分なものとはなっていない。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
以上の問題を回避し、尚かつ、特に高抵抗の抵抗素子に求められる特性、即ち高い抵抗（＞２．０ｋΩ／□）、低い抵抗温度係数（＜±２００ｐｐｍ／℃）、高精度の抵抗値、耐熱性（４５０℃程度まで）、耐酸化性（４５０℃程度まで）、経時変化に対する安定性、等の要件を全て満たすことが要求されている。
【００１７】
そこで、これらの要求に応えられる材料として、（Ｍ＋ＳｉＯ2 ）、（Ｍ＋ＳｉＮ）、（Ｍ＋ＳｉＣ）等（Ｍは金属元素）の組成を有するシリコンサーメット材料（絶縁材料と金属材料との合成材料）を用いて、高抵抗の薄膜抵抗素子を形成することが考えられる。
【００１８】
これらのシリコンサーメット材料のうち、例えばＴａ−ＳｉＯ2 サーメットは、シート抵抗〜１０ｋΩ／□、抵抗温度係数＜±１００ｐｐｍ／℃、耐熱性〜６００℃、耐酸化性も〜６００℃という良好な特性を有しており、さらに半導体製造装置に広く利用されている絶縁膜ＳｉＯ2 系やＳｉＮ系材料とも密着性が極めて良好であるという特長を有している。
【００１９】
しかしながら、上述のシリコンサーメット材料を薄膜抵抗素子へ採用する際には、前述した従来の他の抵抗素子の構成をそのまま適用することができない問題がある。
最大の問題は、現在半導体装置一般に幅広く採用されているシリコン系絶縁膜との製造工程上の問題である。
特に、抵抗膜として、シリコンサーメット材料の薄膜（膜厚１０ｎｍ〜１００ｎｍ）を形成しようとしたとき、抵抗膜の下地の層や抵抗膜を覆う層間絶縁層として、シリコンサーメット材料と組成及び構成元素が酷似したシリコン系絶縁層（ＳｉＯ2 系やＳｉＮ系材料）に挟み込まれる構造が避けられないため、これらのシリコン系絶縁層とシリコンサーメット材料から成る抵抗膜とのエッチング選択性を確保することが困難になっている。
【００２０】
これにより、配線層と抵抗素子を接続するコンタクト領域の形成工程の難易度が高くなり、このことが実現化の最大の課題となっている。
【００２１】
ここで、具体的な構成を挙げて、シリコンサーメット材料を薄膜抵抗素子に適用した場合に発生する問題を説明する。
シリコンサーメット材料を薄膜抵抗素子に適用した場合の構造としては、まず図２２に示すように、シリコンサーメット材料からなる抵抗膜７３により薄膜抵抗素子７０を形成し、薄膜抵抗素子７０を覆うシリコン系絶縁層７４に形成した接続孔を通じて配線７７（下地膜７５及び配線層７６）のコンタクト部７７Ｃを接続した構造が考えられる。このような構造は、例えば前述した薄膜多結晶シリコン抵抗素子において、多く採用されている構造である。
この構造を採用した場合、シリコン系絶縁層７４とシリコンサーメット材料から成る抵抗膜７３とのエッチング選択比がとれないために、絶縁層７４をエッチングして接続孔を形成する際にオーバーエッチングされて配線７７のコンタクト部７７Ｃの下の抵抗膜７３が一部削られて薄くなってしまう。
これにより、コンタクト抵抗が増えて、コンタクト抵抗を要因とする薄膜抵抗素子７０の抵抗値の変動が大きくなる。
【００２２】
一方、抵抗膜７３上の絶縁層７４に接続孔を形成する代わりに、抵抗膜７３上に配線層を形成して配線層をパターニングして配線７７を形成する方法も考えられる。この場合、配線層のパターニングはエッチング薬液によるウエット処理か或いはプラズマエッチング等のドライ処理により行われる。
【００２３】
まず、ウエット処理により配線層をパターニングする場合には、図２３Ａに示すように、抵抗膜７３上に配線層７８を直接成膜して、さらにエッチング薬液によるウエット処理により選択的なエッチングを行って、配線層７８をパターニングして配線を形成する。
この場合には、配線層７８がウエット処理が可能な材料に限定されてしまい、Ｔｉ系のバリアメタル層の採用が不可能となる。
また、抵抗膜７３の表面がエッチング薬液により損傷することにより、薄膜抵抗素子７０の抵抗値の変動要因となる。さらに、抵抗膜７３の両側に接続された配線の間隔Ｌにより抵抗値が規定されるが、ウエット処理では配線層７８の端面７８Ａの位置を制御して配線の間隔Ｌを高精度に制御することが難しく、抵抗値の精度上問題となる。
【００２４】
また、ドライ処理により配線層をパターニングする場合には、図２３Ｂに示すように、抵抗膜７３上に下地膜７５及び配線層７６の積層膜を直接成膜して、さらにプラズマエッチングによりパターニングを行って、配線７７を形成することができる。この場合は、下地膜７５としてＴｉ系のバリアメタル層を採用することが可能である。
この場合には、プラズマ中の活性ラジカルや入射イオン等のダメージにより抵抗膜７３表面が損傷する（例えば図２３Ｂのように薄くなる）ことにより薄膜抵抗素子７０の抵抗値の変動要因となる。特にＲＩＥ（反応性イオンエッチング）等によるイオン損傷が抵抗膜７３の表面に与える影響は無視できない。
【００２５】
そこで、抵抗膜７３上に配線７７を形成した構成において、図２４に示すように、絶縁性材料から成る保護膜７９を抵抗膜７３上に積層してこの保護膜７９を介して抵抗膜７３と配線７７を接続する構成が考えられる。保護膜７９を積層することにより、プラズマや薬液等による抵抗膜７３の表面の損傷を回避することが可能となる。
この図２４に示す構成を製造する場合には、抵抗膜７３上に保護膜７９を積層した後、これを覆って下地膜７５及び配線層７６を形成し、下地膜７５及び配線層７６をパターニングして配線７７を形成する。このパターニングの際には保護膜７９により抵抗膜７３の表面の損傷を回避することができる。
さらに、薄膜抵抗素子７０を構成するために、左右にある配線７７との接続部を分離する必要があるため、その間（中央部）の保護膜７９を除去する。
このとき、保護膜７９が抵抗膜７３とエッチング選択比が確保しやすい絶縁性材料である場合、抵抗膜７３を保護膜７９の除去の際のエッチングストッパとして作用させることができるが、材料の性質として配線７７とのコンタクト抵抗が著しく高くなる。
一方、もし保護膜７９に導電性材料を採用すると、保護膜７９が配線７７や抵抗膜７３に対してエッチング選択性を確保できなるため、配線７７のパターニングの際に保護膜７９も同時にエッチングされたり、中央部の保護膜７９を除去する際に抵抗膜７３へダメージを与えたりする。
【００２６】
次に、図２５に示す構成は、エッチング用の加工マスクを２枚利用することで、抵抗値の精度の確保と、保護膜７９による抵抗膜７３へのダメージ損傷とを回避することを可能としたものである。
この図２５に示す構成を製造する際には、抵抗膜７３上に保護膜７９を積層した後、これを覆って下地膜７５及び配線層７６を形成し、配線層７６をパターニングして配線７７を形成する。この配線層７６のパターニングにはウエット処理を用いていて、配線層７６の端面７６Ａが曲面となっている。このとき、保護膜７９によりウエット処理のエッチング薬液から抵抗膜７３が保護される。
続いて、配線層７６のパターニングに用いたマスクを除去して、より開口の小さいマスクを改めて形成する。この開口の小さいマスクを用いて、中央部の下地膜７５と保護膜７９を除去する。配線７７の間隔Ｌがウエット処理ではなく開口の小さいマスクにより規定されるため、薄膜抵抗素子７０の抵抗値の精度を高く確保することができる。
しかしながら、この場合は、マスクを付け直しする等煩雑な製造工程が必要になり、製造コストの増大をもたらす問題がある。
【００２７】
図２６に示す構成は、図２２に示した構成を改善したもので、配線７７と薄膜抵抗素子７０とのコンタクト部において、抵抗膜７３の下に導電性のエッチングストッパ層８０を形成し、部分的に抵抗膜７３と積層構造としたものである。
エッチングストッパ層８０により、絶縁層７４に接続孔を形成する際に、エッチングストッパ層８０で接続孔が止まる。そして、配線７８と、エッチングストッパ層８０及び抵抗膜７３とが電気的に接続される。エッチングストッパ層８０が導電性のため配線とのコンタクト抵抗も小さい。
しかしながら、この場合には、抵抗膜７３が段差を有していて、この段差部のカバレージが抵抗値の変動要因となる。また、エッチングストッパ層８０が増えることにより、この場合も煩雑な製造工程が必要となり、製造コストの増大をもたらす。
【００２８】
上述した問題の解決のために、本発明においては、抵抗値の精度がよく、耐熱性や耐酸化性を有し、配線層と良好な接続を行うことができ、比較的安い製造コストで容易に製造することが可能な半導体装置の製造方法を提供するものである。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜する工程と、この抵抗膜を形成する工程と同一の装置内で連続して抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜する工程と、抵抗膜及び絶縁性保護膜を一括してパターニングして、抵抗膜及び絶縁性保護膜の積層膜から成る薄膜抵抗素子を形成する工程と、薄膜抵抗素子を覆って絶縁層を形成する工程とを有して薄膜抵抗素子を有して成る半導体装置を製造するものであり、シリコンサーメット材料はシリコン及び１種類以上の金属元素に、酸素、窒素、炭素から選ばれる少なくとも１種類の元素を含む組成から成るものである。
【００３２】
上述の本発明の半導体装置の製造方法によれば、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜した後、抵抗膜を形成する工程と同一の装置内で連続して抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜し、抵抗膜及び絶縁性保護膜を一括してパターニングして薄膜抵抗素子を形成するため、抵抗膜の表面に自然酸化膜を生じないで抵抗膜を絶縁性保護膜で覆うことができる。
また、上述のように絶縁性保護膜により抵抗膜を保護して、後の工程における抵抗膜表面への損傷を防止することができる。
これにより、上述した低い抵抗温度係数、耐熱性、並びに耐酸化性を有する高抵抗の薄膜抵抗素子を製造することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
本発明は、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜する工程と、この抵抗膜を形成する工程と同一の装置内で連続して抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜する工程と、抵抗膜及び絶縁性保護膜を一括してパターニングして、抵抗膜及び絶縁性保護膜の積層膜から成る薄膜抵抗素子を形成する工程と、薄膜抵抗素子を覆って絶縁層を形成する工程とを有して薄膜抵抗素子を有して成る半導体装置を製造するものであり、シリコンサーメット材料はシリコン及び１種類以上の金属元素に、酸素、窒素、炭素から選ばれる少なくとも１種類の元素を含む組成から成る半導体装置の製造方法である。
【００３８】
また本発明は、上記半導体装置の製造方法において、絶縁性保護膜が、上記抵抗膜及び上記絶縁層に対して、エッチングに対する選択性を有する。
【００３９】
図１は本発明の一実施の形態として薄膜抵抗素子を有する半導体装置の概略構成図（断面図）を示す。
この半導体装置は、例えば半導体基板や半導体基板上にエピタキシャル層を形成して成る基体１上に絶縁層２が形成され、この絶縁層２上に抵抗膜３とその上の保護膜４との積層膜から成る薄膜抵抗素子１０が形成されて成る。
そして、薄膜抵抗素子１０の表面を絶縁層５が覆っていて、この絶縁層５及び薄膜抵抗素子１０の保護膜４に形成された開口を通じて、配線１１が抵抗膜３に接続されている。配線１１は配線層７とその下の下地膜６とから構成され、絶縁層５及び保護膜４に形成された開口内を埋めて抵抗膜３に電気的に接続されるようにコンタクト部１１Ｃを有している。
【００４０】
本実施の形態においては、特に抵抗膜３の材料として、Ｓｉ（シリコン）サーメット材料（絶縁材料と金属材料との合成材料）を用いると共に、保護膜４を絶縁性の膜とする。
【００４１】
Ｓｉ（シリコン）サーメット材料は、Ｓｉ（シリコン）と金属元素Ｍとその他の元素（例えば酸素）とから構成される。
金属元素Ｍとしては、好ましくは、Ｔａ，Ｎｂ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｏ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒの金属から少なくとも１種類を選択する。
その他の元素としては、酸素、窒素、炭素の反応種の元素から少なくとも１種類を選択する。
【００４２】
これらシリコン、金属元素Ｍ、反応種の元素から３元系以上の組成のサーメットを構成する。
例えばＭx Ｓｉy Ｏz ，Ｍx Ｓｉy Ｎz ，Ｍx Ｓｉy Ｃz ，Ｍx Ｓｉy Ｏz Ｎw （ｘ，ｙ，ｚ，ｗは正の数）といった組成のサーメットを用いることができる。
【００４３】
シリコンサーメット材料から成る抵抗膜３のシート抵抗は、好ましくは０．１ＫΩ／□以上とする。また、抵抗膜３の膜厚は、好ましくは１０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲内とする。
また、シリコンサーメット材料の金属元素ＭとシリコンＳｉとの組成比は、Ｍ／（Ｍ＋Ｓｉ）＝２５〜５５（ｍｏｌ％）とすることが好ましい。
【００４４】
このようなシリコン系サーメット材料は、例えばサーマルプリンターヘッドやインクジェットヘッド等の発熱体（ヒーター）に用いられている。
【００４５】
絶縁性の保護膜４としては、絶縁性金属酸化物、絶縁性金属酸窒化物を用いることができる。好ましくは、抵抗膜３のサーメットを構成する金属元素Ｍの酸化物や酸窒化物（Ｍx Ｏy ，Ｍx Ｏy Ｎz 等、ｘ，ｙ，ｚは正の数）を用いて、抵抗膜３に対して良好な相性を有するようにする。
また、絶縁性の保護膜４として、微細結晶性多結晶シリコンやアモルファス（非晶質）シリコン、並びにそれらが混合した状態の膜を用いることも可能である。
【００４６】
絶縁性の保護膜４のシート抵抗は、好ましくは１００ｋΩ／□以上とする。また、保護膜４の膜厚は、好ましくは５〜５０ｎｍの範囲内とする。
【００４７】
さらに、絶縁性の保護膜４は、薄膜抵抗素子１０を上下に挟む絶縁層２及び５、特に薄膜抵抗素子１０を覆う絶縁層５に対してエッチング選択性（選択比）が高いことが好ましい。通常、半導体装置において、絶縁層２及び５の材料としてはシリコン化合物（酸化シリコンや窒化シリコン）が用いられる。上述した絶縁性金属酸化物、絶縁性金属窒化物、微細結晶性多結晶シリコン、アモルファスシリコン等の材料で、絶縁層５のシリコン化合物に対してエッチング選択性の高い材料を、絶縁性の保護膜４に用いる。
これにより、薄膜抵抗素子１０を覆う絶縁層５に配線１１のコンタクト部１１Ｃのための開口を形成するエッチングを行う工程において、絶縁性の保護膜４をエッチングストッパをして作用させることができる。
【００４８】
そして、上述のように保護膜４をシリコン化合物から成る絶縁層５に対してエッチング選択性が高い材料とすれば、保護膜４がシリコン系サーメット材料から成る抵抗膜３に対してもエッチング選択性が高くなる。
これにより、保護膜に配線１１のコンタクト部１１Ｃのための開口を形成するエッチングを行う工程において、絶縁性の保護膜４だけエッチングされて、抵抗膜３がエッチングされないようにすることができる。
【００４９】
配線１１には、Ａｌ，Ｔｉ，Ｗ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｃｕから選ばれた１種類以上の元素もしくはこれらを主成分にもつ化合物から選択した材料を用いることができる。またこれらの材料を用いた複数の膜の積層構造であっても良い。
配線１１の下地膜６は、特にＴｉ等を用いることにより、バリアメタルとして作用させることができる。
【００５０】
本実施の形態の半導体装置において、薄膜抵抗素子１０及びその周辺の各層のの材料及び膜厚については、例えば次のような構成を採ることができる。
（Ａ）基体１としてシリコン基板、絶縁層２としてＳｉＯ2 膜を膜厚８００ｎｍ、抵抗膜３としてＴａ−ＳｉＯ2 サーメット（モル比でＴａ：ＳｉＯ2 ＝４５：５５）膜を膜厚８０ｎｍ（シート抵抗３ｋΩ／□）、絶縁性の保護膜４として、Ｔａx Ｏy を膜厚２５ｎｍ、絶縁層５としてＳｉＯ2 膜を膜厚４００ｎｍ、配線１１として、下層から順にＴｉ／ＴｉＯＮ／Ｔｉをそれぞれ膜厚３０ｎｍ／７０ｎｍ／３０ｎｍとした積層構造（下地膜６に相当）、Ａｌ−Ｓｉ膜を膜厚８００ｎｍ、ＴｉＯＮ膜を膜厚２５ｎｍ、それぞれ形成する。
（Ｂ）基体１としてＧａＡｓ基板、絶縁層２としてＳｉ3 Ｎ4 膜を膜厚３００ｎｍ、抵抗膜３としてＴａ−ＳｉＯ2 サーメット（モル比でＴａ：ＳｉＯ2 ＝４５：５５）膜を膜厚８０ｎｍ（シート抵抗３ｋΩ／□）、絶縁性の保護膜４として、Ｔａx Ｏy を膜厚２５ｎｍ、絶縁層５としてＳｉ3 Ｎ4 膜を膜厚３００ｎｍ、配線１１として、下層から順にＴｉ膜を膜厚５０ｎｍ（下地膜６に相当）、Ｐｔ膜を膜厚５０ｎｍ、Ａｕ膜を膜厚５００ｎｍ、それぞれ形成する。
【００５１】
また、本実施の形態の半導体装置は、その構造に上述した特徴を有すると共に、以下述べるように、その製造工程にも特徴を有する。
【００５２】
まず、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の変動を抑制するために、抵抗膜３及び保護膜４とを積層するだけでなく、好ましくは同一スパッタ装置内で連続して抵抗膜３の成膜及び保護膜４の成膜を行う。
これにより、抵抗膜３の表面が酸化されたり損傷したりすることなく、保護膜４に覆われる。
【００５３】
また、抵抗膜３の上に保護膜４が形成されていることにより、抵抗膜３が酸素雰囲気や酸素プラズマに晒されることがなく、かつ剥離薬液等のアルカリ性薬液による抵抗膜３の腐食も回避することができる。
即ち後の工程、例えば配線層７等の成膜及びパターニング工程における、抵抗膜３の表面に対する酸素雰囲気やエッチング薬液による化学変化、並びに酸素プラズマによる損傷が防止される。
これにより、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の変動が抑制されるため、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の高精度化を一層実現することができる。
【００５４】
そして、抵抗膜３及び保護膜４からなる薄膜抵抗素子１０をパターニング加工する際には、フォトレジストによりパターンを形成した後、反応性イオンエッチングＲＩＥもしくはイオンミリングのいずれかにより加工を行う。
このとき、同一のフォトレジストをマスクとして用いて、一括して抵抗膜３及び保護膜４を加工することが望ましい。
【００５５】
薄膜抵抗素子１０とこの薄膜抵抗素子１０に接続される配線１１とのコンタクト部１１Ｃの形成にあたっては、薄膜抵抗素子１０を覆う絶縁層５に対して、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）による加工、もしくはエッチング薬液による加工のいずれか、或いはこれらの加工の組み合わせによりコンタクト部１１Ｃのための開口（接続孔）を形成する。さらに、絶縁性の保護膜４にも加工を行って、コンタクト部１１Ｃのための開口（接続孔）を形成する。
シリコン化合物からなる絶縁層５の加工工程と絶縁性の保護膜４の加工工程は、同一設備と同マスクでエッチング処理条件を切り換えることで可能になる。
【００５６】
そして、上述したように絶縁性の保護膜４の材料をシリコン化合物から成る絶縁層５に対してエッチング選択比の高い材料とすることにより、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法により高選択比のエッチングを行って、絶縁層５に接続孔を形成するエッチングにおいて保護膜４をエッチングストッパとして用いることができる。このとき、絶縁性の保護膜４の膜厚をエッチングストッパとして充分耐えうる膜厚とする。
この高選択比のエッチングを行うための条件としては、例えばエッチングガスにＣＦ4 ，ＣＨＦ3 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ4 Ｆ8 ，Ａｒ，ＣＯの少なくとも１種以上のガス種を採用して、それらのプラズマ生成により反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を行うことが挙げられる。
【００５７】
同様に、絶縁性の保護膜４の材料はシリコンサーメット材料から成る抵抗膜３に対してエッチング選択比の高い材料とすることにより、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法により高選択比のエッチングを行って、保護膜４に配線１１のコンタクト部１１Ｃを形成するための開口を形成するエッチングにおいて抵抗膜３をエッチングストッパとして用いることができる。
この高選択比のエッチングを行うための条件としては、例えばエッチングガスにＣｌ2 ，ＢＣｌ3 ，ＳＦ6 ，ＣＨ2 Ｆ2 の少なくとも１種以上のガス種、或いはＣＦ4 ，ＣＨＦ3 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ4 Ｆ8 ，Ａｒ，ＣＯの少なくとも１種以上のガス種を採用して、それらのプラズマ生成により反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を行うことが挙げられる。
【００５８】
このように製造を行うことにより、従来不可能であった、薄膜抵抗素子１０の抵抗膜３と配線１１とを安定して電気的に接続することを可能にすると共に、さらに抵抗膜３と配線１１との接触抵抗値を常に安定化することができるため、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の変動要因を抑えることを可能にする。
【００５９】
そして、図１に示した薄膜抵抗素子１０を有する半導体装置は、具体的には例えば次のようにして製造することができる。尚、各層の材料及び膜厚は、前述した（Ａ）の構成として説明している。
まず、図２Ａに示すように、基板１上に、例えばＳｉＯ2 から成る絶縁層２を例えば８００ｎｍの厚さに形成する。
【００６０】
次に、図２Ｂに示すように、スパッタ法により、絶縁層２上に例えばＴａ−ＳｉＯ2 サーメット材料から成る抵抗膜３を例えば８０ｎｍの厚さに成膜し、さらに同一スパッタ装置内で連続して、スパッタ法により、例えばＴａ2 Ｏ5 から成る保護膜４を例えば２５ｎｍの厚さに成膜する。
ここで、サーメット材料の組成をＴａ／（Ｔａ＋ＳｉＯ2 ）＝４５％（モル比）とした場合には抵抗膜３のシート抵抗は３ｋΩ／□が得られる。一方、Ｔａ2 Ｏ5 から成る保護膜４のシート抵抗は３ＭΩ／□以上とする。
【００６１】
次に、水素雰囲気中で４５０℃・１５分の熱処理を行い、薄膜抵抗素子１０のストレスを緩和し、熱変動を安定化させる。この熱処理工程により、抵抗膜３のシート抵抗が８％程度変動するが、この後の製造工程において同様の熱処理を行う際の抵抗値の変動が回避される。
尚、この熱処理工程は配線１１を形成した後に行ってもよい。
【００６２】
次に、図２Ｃに示すように、薄膜抵抗素子１０のパターンを形成するためのフォトレジスト２１を保護膜４上に形成する。
続いて、図２Ｄに示すように、このフォトレジスト２１を用いて、抵抗膜３及び保護膜４をエッチングにより一括して加工することにより、これら抵抗膜３及び保護膜４をパターニングする。このときのエッチングは、例えばプラズマ生成装置によるＲＩＥ（反応性イオンエッチング）を利用して、例えば混合ガス（ＢＣｌ3 ＋Ｃｌ2 ）、圧力１０ｍＴｏｒｒの雰囲気で行う。
【００６３】
抵抗膜３及び保護膜４をパターニングした後に、プラズマ生成装置によりレジストアッシングを行う。即ち図２Ｅに示すように、保護膜４上に残ったフォトレジスト２１Ｘを酸素プラズマ２２により除去する。アッシングの条件は、酸素を主成分とするガスから構成し、例えば圧力１．６Ｔｏｒｒの下で行う。
このとき、Ｔａ2 Ｏ5 から成る絶縁性の保護膜４が、Ｔａ−ＳｉＯ2 サーメットから成る抵抗膜３を酸素プラズマ２２の照射損傷から保護する役割を果たす。
【００６４】
また、さらにアッシング後の残留有機物、ポリマー、エッチング残さ、レジスト変質層等を除去するための洗浄工程を行う。図３Ｆに示すように、例えばアルカリ性有機剥離液２３により、表面に対して薬液処理を行う。
このとき、Ｔａ2 Ｏ5 から成る絶縁性の保護膜４が、Ｔａ−ＳｉＯ2 サーメットから成る抵抗膜３をアルカリ性腐食性薬液２３から保護して、抵抗膜３の腐食やエッチング損傷を防止する役割を果たす。
【００６５】
上述したアッシングや薬液処理を経て、図３Ｇに示すように抵抗膜３及び保護膜４の積層膜から成る薄膜抵抗素子１０が完成する。
次に、図３Ｈに示すように、薄膜抵抗素子１０の積層膜を被覆して、プラズマＣＶＤ法により、例えばＳｉＯ2 から成る絶縁層５を例えば４００ｎｍの厚さに成膜する。プラズマＣＶＤの温度は４００℃以下の低温とする。
尚、必要に応じて、この後に表面の平滑化工程を行う。この平滑化工程ではＳＯＧ（Spin on glass ）等の塗布膜を利用するが、絶縁層５が覆っているため薄膜抵抗素子１０には影響が及ばない。
【００６６】
続いて、薄膜抵抗素子１０を覆う絶縁層５に接続孔を形成する。
図３Ｉに示すように、絶縁層５上にフォトレジスト２４を形成し、このフォトレジスト２４に接続孔の形成のための開口２５を形成する。
【００６７】
次に、図４Ｊに示すように、開口２５が形成されたフォトレジスト２４をマスクとして用いて、絶縁層５を例えばプラズマ装置によるＲＩＥ（反応性イオンエッチング）により加工して、絶縁層５に開口を形成する。
この際に、Ｔａ2 Ｏ5 から成る絶縁性の保護膜４をＳｉＯ2 から成る絶縁層５のエッチングのエッチングストッパとするため、プラズマエッチングの条件は、例えばエッチングガスとして混合ガス（ＣＦ4 ＋ＣＨＦ3 ＋Ａｒ）、処理圧力５００ｍＴｏｒｒとする。この条件を採用することにより、エッチング選択比１０以上（ＳｉＯ2 エッチレート／Ｔａ2 Ｏ5 エッチレート）が得られる。
【００６８】
さらに続けて、図４Ｋに示すように、同じくフォトレジスト２４をマスクとして用いて、ＲＩＥにより保護膜４を加工して、保護膜４に開口を形成する。
この際に、Ｔａ−ＳｉＯ2 サーメット材料から成る抵抗膜３をＴａ2 Ｏ5 から成る絶縁性の保護膜４のエッチングストッパーとするため、プラズマエッチングの条件は、例えばエッチングガスとして混合ガス（ＳＦ6 ＋Ｃｌ2 ）、処理圧力１６ｍＴｏｒｒとする。この条件を採用することにより、エッチング選択比８以上（Ｔａ2 Ｏ5 エッチレート／Ｔａ−ＳｉＯ2 エッチレート）が得られる。
【００６９】
その後、図４Ｌに示すように、絶縁層５上のフォトレジスト２４を除去する。
続いて、下地膜６及び配線層７を順次スパッタリング装置を用いて成膜し、これら下地膜６及び配線層７を所定のパターンにパターニングして、図４Ｍに示すように配線１１を形成する。
下地膜６としては、例えばＴｉ／ＴｉＯＮ／Ｔｉの積層構造を例えば合計膜厚１３０ｎｍとなるように形成してバリアメタルとする。配線層７としては、例えばＡｌ−Ｓｉ合金を例えば８００ｎｍの厚さに形成する。
このようにして、図１に示した本実施の形態の薄膜抵抗素子１０を有する半導体装置を製造することができる。
【００７０】
上述の本実施の形態によれば、薄膜抵抗素子１０の抵抗膜３にシリコンサーメット材料を用いたことにより、シリコンサーメット材料の特徴であるシート抵抗〜１０ｋΩ／□、抵抗温度係数＜±１００ｐｐｍ／℃という特性から、薄膜抵抗素子１０において比較的高いシート抵抗及び低い抵抗温度係数が得られ、高抵抗であり熱処理により受ける影響が少ない（耐熱性を有する）薄膜抵抗素子１０を構成することができる。
さらに、シリコンサーメット材料の特徴である耐酸性及び耐酸化性を６００℃まで確保できる特性から、耐酸性及び耐酸化性を有する薄膜抵抗素子１０を構成することができる。
【００７１】
また、抵抗膜３上に絶縁性の保護膜４を積層して薄膜抵抗素子１０を構成したことにより、保護膜４により抵抗膜３の表面が保護されて、例えば薄膜抵抗素子１０のパターニング後のレジストアッシング工程や剥離液工程等において、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜３への損傷や化学変化を防止することができる。これにより、抵抗膜３の損傷等を要因とする薄膜抵抗素子１０の抵抗値の変動を抑制して、薄膜抵抗素子１０の高精度化が可能になる。
【００７２】
さらに、絶縁性の保護膜４を抵抗膜３を覆っているシリコン化合物から成る絶縁層５に対してエッチング選択性を有する材料とすることにより、薄膜抵抗素子１０に配線１１を接続するコンタクト部１１Ｃを形成するためにエッチングにより絶縁層５に開口を形成する工程において、絶縁性の保護膜４がエッチングストッパとして作用して抵抗膜３へのエッチングダメージを回避することができる。
また、これにより、絶縁性の保護膜４がシリコンサーメット材料から成る抵抗膜３ともエッチング選択性を有するので、コンタクト部１１Ｃを形成するためにエッチングにより絶縁性の保護膜４に開口を形成する工程において、絶縁性の保護膜４のエッチング残渣が残ったり抵抗膜３がエッチングされたりしないようにして、確実に配線１１を抵抗膜３に接続して形成することができる。
従って、薄膜抵抗素子１０の寄生抵抗であるコンタクト抵抗成分を低く抑えることができると共に、コンタクト抵抗のばらつき変動も抑えることが可能となり、その結果、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の高精度化をさらに図ることができる。
【００７３】
即ち本実施の形態の半導体装置によれば、特に高抵抗の薄膜抵抗素子１０において、高精度の抵抗値及び高信頼性を実現することが可能になる。
【００７４】
また、シリコン系サーメット材料を組成が類似したシリコン系絶縁膜から構成された半導体集積回路装置に搭載することは従来は不可能であったが、本実施の形態の半導体装置により、製造コストの大幅な増大を招くことなく、かつ複雑な素子構造や繁雑な製造工程を必要としないで実現することが可能になる。
【００７５】
さらに、薄膜抵抗素子１０により抵抗素子を構成しているため、拡散抵抗による抵抗素子と比較して、抵抗素子が占有するスペースを小さくすることができ、半導体装置の微細化・小型化を図ることができる。
【００７６】
また、薄膜抵抗素子１０の構成は、抵抗膜３にシリコンサーメット材料を用い、抵抗膜３上に絶縁性の保護膜４を積層して、配線１１を接続するための接続孔を保護膜４にも形成している他は、従来の多結晶シリコン膜による抵抗素子と同様であり、比較的簡単な構成となっている。
このため、薄膜抵抗素子１０の製造工程は、絶縁性の保護膜４の形成工程が増える他は、従来の多結晶シリコン膜による抵抗素子の製造工程と同様であり、半導体装置の他の部分の製造工程に薄膜抵抗素子１０の製造工程を組み込むことができる。
さらに、絶縁性の保護膜４の成膜は、抵抗膜３の成膜工程と同一のスパッタ装置内で連続して行うため、保護膜４の成膜工程を追加したことによる製造コストの増加は小さい。
【００７７】
このように、本実施の形態によれば、複雑な素子構成や煩雑な製造工程を必要としない。
従って、本実施の形態によれば、製造コストの増大を招かないで比較的安いコストで高抵抗の薄膜抵抗素子１０を有する半導体装置を製造することができると共に、抵抗素子１０の抵抗値の変動を抑制して良好な特性の抵抗素子１０を有する半導体装置を安定して製造することができる。
【００７８】
続いて、本発明の他の実施の形態として、図１に示した薄膜抵抗素子１０の構造を組み込んだＢｉＣＭＯＳ半導体装置の概略構成図（断面図）を図５に示す。
このＢｉＣＭＯＳ半導体装置は、図５に示すように、シリコン基板４１上にＮ型のエピタキシャル層４２が形成されて基体が構成され、この基体にＰＭＯＳトランジスタ３１Ｐ及びＮＭＯＳトランジスタ３１Ｎから成るＣＭＯＳトランジスタ部３１と、縦型のＮＰＮバイポーラトランジスタ（以下ＮＰＮトランジスタとする）から成るバイポーラトランジスタ部３２と、薄膜抵抗素子３０を有する抵抗素子部３３とを有して構成される。
基体の表面にはＬＯＣＯＳにより形成された素子分離層４４が形成されて、各トランジスタ３１Ｐ，３１Ｎ，３２を分離している。
【００７９】
ＣＭＯＳトランジスタ部３１のＰＭＯＳトランジスタ３１Ｐは、基体の表面にＮ- の半導体ウエル領域４５が形成され、このＮ- の半導体ウエル領域４５内にＰ型のソース／ドレイン領域４７が形成されて構成されている。これらソース／ドレイン領域４７の内側にチャネルが形成される。チャネル上にはゲート酸化膜を介して多結晶シリコン膜５５とシリサイド膜５６との積層構造からなるゲート電極Ｇが形成されている。ゲート電極Ｇの側壁には、絶縁膜から成るサイドウォールが形成されている。
Ｐ型のソース／ドレイン領域４７には、下地膜６１、配線層６２、導電性反射防止膜６３の３層構造から成る配線６４が接続されている。
【００８０】
ＣＭＯＳトランジスタ部３１のＮＭＯＳトランジスタ３１Ｎは、基体（半導体エピタキシャル層４２）の表面にＰ- の半導体ウエル領域４６が形成され、このＰ- の半導体ウエル領域４６内にＮ型のソース／ドレイン領域４８が形成されて構成されている。これらソース／ドレイン領域４８の内側にチャネルが形成される。これらソース／ドレイン領域４８は、内側（チャネル側）にＮ型の低濃度領域（いわゆるＬＤＤ領域）を有している。チャネル上にはゲート酸化膜を介して多結晶シリコン膜５５とシリサイド膜５６との積層構造からなるゲート電極Ｇが形成されている。ゲート電極Ｇの側壁には、絶縁膜から成るサイドウォールが形成されている。
Ｎ型のソース／ドレイン領域４８には、下地膜６１、配線層６２、導電性反射防止膜６３の３層構造から成る配線６４が接続されている。
【００８１】
バイポーラトランジスタ部３２の縦型ＮＰＮバイポーラトランジスタは、半導体基体の内部にＮ型の埋め込み拡散領域４３が形成されて構成されている。
そして、Ｎ型のエピタキシャル層４２内に、ベース領域４９が形成され、さらにベース領域４９の中央の表面付近にエミッタ領域５０が形成されている。
また、コレクタ取り出し部では、Ｎ型の埋め込み拡散領域４３に接続するように、コレクタ取り出し領域５１が形成されている。
ベース領域４９には、多結晶シリコン膜５７によりシリサイド膜５８を挟んだ３層構造のベース電極が接続されている。
エミッタ領域５０には、多結晶シリコン膜５９によりシリサイド膜６０を挟んだ３層構造のエミッタ電極が接続されている。
そして、ベース電極にはＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４と同様の３層構造のベース配線６４Ｂが接続され、同様にエミッタ電極には３層構造のエミッタ配線６４Ｅが接続され、コレクタ取り出し領域５１には３層構造のコレクタ配線６４Ｃが接続されている。
【００８２】
抵抗素子部３３は、図１に示した薄膜抵抗素子１０と同様の構成のシリコンサーメット材料から成る抵抗膜３及びその上の絶縁性の保護膜４から成る薄膜抵抗素子３０が形成されて成る。
この薄膜抵抗素子３０は、素子分離層４４上に形成された絶縁層５２，５３上に形成され、表面を薄い絶縁膜５４で覆われている。
絶縁膜５４及び保護膜４に形成された開口を通じて、ＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４と同様の３層構造の配線６４Ｒが薄膜抵抗素子３０の抵抗膜３に直接接続されている。
【００８３】
尚、図５では省略しているが、各配線６４、６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃ，６４Ｒは絶縁層で覆われて、さらに絶縁層上に上層の配線等が形成されてＢｉＣＭＯＳ半導体装置が構成される。
【００８４】
本実施の形態では、抵抗素子部３３の薄膜抵抗素子３０が図１に示した薄膜抵抗素子１０と同様の構成を有するので、前述した先の実施の形態と同様に、高精度の抵抗値を有する高抵抗の薄膜抵抗素子を構成することができる。
【００８５】
また、本実施の形態では、薄膜抵抗素子３０の抵抗膜に接続される配線６４Ｒは、ＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４や、バイポーラトランジスタ部３２の配線６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃと同じ３層構造６１，６２，６３を有しており、同一工程で同時に形成することが可能になっている。
また、ＣＭＯＳトランジスタ部３１のゲート電極Ｇを覆う絶縁膜と、抵抗素子部３３の薄膜抵抗素子３０を覆う絶縁膜とが、同一の絶縁膜５４となっている。
【００８６】
そして、薄膜抵抗素子３０により抵抗素子を構成しているため、抵抗素子の抵抗値は、ＣＭＯＳトランジスタ部３１やバイポーラトランジスタ部３２の特性のパラメーターにより影響されない。
従って、抵抗素子部３３の素子の設計と、ＣＭＯＳトランジスタ部３１やバイポーラトランジスタ部３２の設計とを、それぞれ制約が少なくなるようにして、より自由に行うことができる。
【００８７】
次に、本実施の形態の図５に示したＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を、図６〜図１３を参照して説明する。
尚、シリコン基板４１とＮ型の半導体エピタキシャル層４２から成る基体の内部に素子分離層４４や各半導体領域を形成する工程は、説明を省略する。
基体上に、ゲート絶縁膜を介してゲート電極Ｇを形成し、ゲート電極Ｇの側壁に絶縁膜から成るサイドウォールを形成した後、ゲート電極Ｇを覆って全面的に絶縁膜５２を形成する。さらに、バイポーラトランジスタ部３２においては、ベース領域４９上の絶縁膜５２を除去して開口を形成する。
次に、絶縁膜５２の上に多結晶シリコン膜５７・シリサイド膜５８・多結晶シリコン膜５７の３層を成膜し、これをパターニングして３層構造から成るベース電極を形成する。このベース電極は、絶縁膜５２の開口を通じてベース領域４９に接続される。
次に、ベース電極を覆って、比較的厚い絶縁層５３を形成する。さらに、バイポーラトランジスタ部３２においては、エミッタ領域５０及びその付近のベース領域４９上のベース電極及び絶縁層５３に開口を形成する。開口の側壁にはさらに絶縁膜によりサイドウォールを形成する。
その後、この開口を埋めるように、多結晶シリコン膜５９・シリサイド膜６０・多結晶シリコン膜５９の３層を成膜し、これをパターニングして３層構造から成るエミッタ電極を形成する。このエミッタ電極は、ベース電極及び絶縁層５３の開口を通じてエミッタ領域５０に接続される。ベース電極の開口の側壁に形成されたサイドウォールにより、エミッタ電極とベース電極とが分離される。
次に、絶縁層５３及びエミッタ電極を覆って、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜３と、保護膜４とを順次成膜する。そして、抵抗素子部３３においては、保護膜４上に抵抗素子のパターンを形成するためのフォトレジスト８１を形成する。この状態を示しているのが図６である。
【００８８】
次に、図７に示すように、フォトレジスト８１をマスクとして、保護膜４及び抵抗膜３を一括してパターニングする。
続いて、フォトレジスト８１を除去して、図８に示すように、表面を絶縁膜５４で覆う。これにより、抵抗膜３及び保護膜４から成る薄膜抵抗素子３０が絶縁膜５４で覆われる。
【００８９】
次に、図９に示すように、薄膜抵抗素子３０へのコンタクト部を形成するための開口を有するフォトレジスト８２を形成し、このフォトレジスト８２をマスクとして、エッチングを行って絶縁膜５４に開口（接続孔）を形成する。
引き続いて、図１０に示すように、同じフォトレジスト８２をマスクとして、条件を変えてエッチングを行って、保護膜４に開口（接続孔）を形成する。
【００９０】
次に、フォトレジスト８２を除去して、図１１に示すように、改めてＣＭＯＳトランジスタ部３１及びバイポーラトランジスタ部３２の接続孔を形成するための開口を有するフォトレジスト８３を形成し、このフォトレジスト８３をマスクとして、絶縁膜５４や絶縁層５３、並びに絶縁膜５２に対してエッチングを行って、それぞれ、ソース／ドレイン領域５７，５８、ベース電極、コレクタ取り出し領域５１に達する開口（接続孔）を形成する。
【００９１】
次に、図１２に示すように、フォトレジスト８３を除去する。
さらに、下地膜６１・配線層６２・導電性反射防止膜６３の３層を順次形成して、これをパターニングすることにより、図１３に示すように、ＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４と、バイポーラトランジスタ部３２の配線６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃと、抵抗素子部３３の配線６４Ｒを形成する。
このようにして、図５に示した構成のＢｉＣＭＯＳ半導体装置を製造することができる。
この後は、必要に応じて層間絶縁層や上層の配線を形成する。
【００９２】
続いて、本発明のさらに他の実施の形態として、図１に示した薄膜抵抗素子１０の構造を組み込んだＢｉＣＭＯＳ半導体装置の概略構成図（断面図）を図１４に示す。
このＢｉＣＭＯＳ半導体装置は、概略構成は図５と同様であるが、縦型のＮＰＮバイポーラトランジスタ（以下ＮＰＮトランジスタとする）から成るバイポーラトランジスタ部３２のエミッタ配線６４Ｅの付近が異なっている。
即ちエミッタ配線６４Ｅ及びエミッタ電極の左右に、これらエミッタ配線６４Ｅ及びエミッタ電極の間の層として、薄膜抵抗素子３０の抵抗膜３及び保護膜４が存在している。この部分の抵抗膜３は、エミッタ配線６４の下地膜６１やエミッタ電極の多結晶シリコン膜５９及びシリサイド膜６０の側壁に接していて、エミッタ配線６４及びエミッタ電極と一体化した導電体となっている。
その他の構成は図５と同様であるため、重複説明を省略する。
【００９３】
また、本実施の形態の図１４に示したＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を、図１５〜図２１に示す。
まず、先の実施の形態の図６に示した状態までは、先の実施の形態と同様にして製造を行う。
次に、フォトレジスト８１で薄膜抵抗素子３０のパターニングを行う前に、バイポーラトランジスタ部３２のエミッタ電極の部分を覆うようにフォトレジスト８４を形成する。そして、図１５に示すように、２つのフォトレジスト８１及び８４をマスクとして、保護膜４及び抵抗膜３をエッチングする。これにより、抵抗膜３及び保護膜４による薄膜抵抗素子３０のパターンが形成されると共に、これら抵抗膜３及び保護膜４がエミッタ電極を覆って残る。
【００９４】
続いて、フォトレジスト８１及び８４を除去して、図１６に示すように、表面に絶縁膜５４を形成する。このとき、エミッタ電極を覆う抵抗膜３及び保護膜４が絶縁膜５４により覆われる。
【００９５】
次に、図１７に示すように、フォトレジスト８２をマスクとしてエッチングを行って、薄膜抵抗素子３０上の絶縁膜５４に開口（接続孔）を形成する。
さらに、図１８に示すように、同じフォトレジスト８２をマスクとして条件を変えてエッチングを行って、薄膜抵抗素子３０の保護膜４に開口（接続孔）を形成する。
【００９６】
次に、フォトレジスト８２を除去して、図１９に示すように、改めてＣＭＯＳトランジスタ部３１及びバイポーラトランジスタ部３２の接続孔を形成するための開口を有するフォトレジスト８３を形成し、このフォトレジスト８３をマスクとして、絶縁膜５４や絶縁層５３、絶縁膜５２、並びにエミッタ電極上の保護膜４及び抵抗膜３に対してエッチングを行って、それぞれ、ソース／ドレイン領域５７，５８、ベース電極、コレクタ取り出し領域５１に達する開口（接続孔）を形成する。
【００９７】
次に、図２０に示すように、フォトレジスト８３を除去する。
さらに、下地膜６１・配線層６２・導電性反射防止膜６３の３層を順次形成して、これをパターニングすることにより、図２１に示すように、ＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４と、バイポーラトランジスタ部３２の配線６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃと、抵抗素子部３３の配線６４Ｒを形成する。
このようにして、図１４に示した構成のＢｉＣＭＯＳ半導体装置を製造することができる。
この後は、必要に応じて層間絶縁層や上層の配線を形成する。
【００９８】
上述の各実施の形態では、ＣＭＯＳトランジスタ部３１とバイポーラトランジスタ部３２を有するＢｉＣＭＯＳ半導体装置に、本発明を適用して薄膜抵抗素子３０を有する抵抗素子部３３を形成した構成であったが、その他の構成の半導体装置においても、本発明を適用することができる。
例えば上述の各実施の形態の構成の他に、容量素子（キャパシタ）やＰＮＰバイポーラトランジスタ等を有していてもよい。
【００９９】
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【０１００】
【発明の効果】
上述の本発明によれば、薄膜抵抗素子を有する半導体装置の製造において、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜した後、同一の装置内で連続して抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜し、抵抗膜及び絶縁性保護膜を一括してパターニングすることにより、抵抗膜の表面に自然酸化膜を生じないで抵抗膜を絶縁性保護膜で覆うことができる。
これにより、抵抗膜表面の自然酸化膜を要因とする抵抗値の変動や配線との接触抵抗の増大を回避することができる。
【０１０３】
従って、本発明によれば、薄膜抵抗素子の抵抗値の変動を抑制して、薄膜抵抗素子の抵抗値の精度が高く、かつ信頼性の高い半導体装置を実現することができる。
また、製造コストの大幅な増大を招くことなく、かつ複雑な素子構造や繁雑な製造工程を必要としないので、シリコンサーメット材料から成る薄膜抵抗素子を半導体装置に搭載することが容易になる。
【０１０４】
さらに、絶縁性保護膜を抵抗膜を覆っているシリコン化合物から成る絶縁層に対してエッチング選択性を有する材料としたときには、抵抗素子に配線を接続するコンタクト部を形成する工程において、抵抗膜へのエッチングダメージを回避し、かつ配線を抵抗膜に確実に接続して形成することができる。
これにより、抵抗素子のコンタクト抵抗成分を低く抑えると共にコンタクト抵抗成分のばらつき変動も抑えることが可能となり、薄膜抵抗素子の抵抗値の高精度化をさらに向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の薄膜抵抗素子を有する半導体装置の概略構成図（断面図）である。
【図２】Ａ〜Ｅ 図１の半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図３】Ｆ〜Ｉ 図１の半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図４】Ｊ〜Ｍ 図１の半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図５】本発明の他の実施の形態のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の概略構成図（断面図）である。
【図６】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図７】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図８】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図９】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１０】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１１】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１２】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１３】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１４】本発明のさらに他の実施の形態のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の概略構成図（断面図）である。
【図１５】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１６】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１７】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１８】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１９】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図２０】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図２１】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図２２】シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【図２３】Ａ、Ｂ シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【図２４】シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【図２５】シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【図２６】シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【符号の説明】
１ 基板、２，５，５３ 絶縁層、３ 抵抗膜、４ 絶縁性の保護膜、６ 下地膜、７ 配線層、１０，３０ 薄膜抵抗素子、１１，６４，６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃ，６４Ｒ 配線、２１，２４，８１，８２，８３，８４ フォトレジスト、３１ ＣＭＯＳトランジスタ部、３２ バイポーラトランジスタ部、３３ 抵抗素子部、５２，５４ 絶縁膜
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜抵抗素子を有して成る半導体装置の製造方法に係わる。特に、高抵抗（＞０．５ｋΩ／□）の抵抗素子の搭載が必要とされ、バイポーラ素子等から構成されるアナログ回路機能を有する半導体装置もしくはバイポーラトランジスタ及びＭＯＳトランジスタから構成されるアナログ・デジタル回路機能を有するいわゆるＢｉＣＭＯＳ半導体装置に適用して好適な半導体装置の製造方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路を有する半導体装置において抵抗素子を形成する場合に、用いられている抵抗素子の種類としては、
（１）拡散抵抗素子
（２）電界効果型抵抗素子
（３）薄膜多結晶シリコン抵抗素子
（４）薄膜金属抵抗素子
が挙げられる。
【０００３】
（１）拡散抵抗素子は、半導体基体に導電型がＮ型又はＰ型となる不純物をドーピングし、熱処理を行うことにより形成される。拡散抵抗素子の抵抗値は、不純物の拡散の長さ、拡散の幅、拡散の深さと、拡散材料の抵抗率とに依存する。拡散材料の抵抗率はドーパントと高温熱処理後のドーパント種の接合プロファイルに依存する特徴がある。
（２）電界効果型抵抗素子は、デプレッションモードで使用されるトランジスタを用いた抵抗素子であり、そのトランジスタの閾値電圧を制御するイオン注入により抵抗値が調整されることを特徴としている。
（３）薄膜多結晶シリコン抵抗素子は、多結晶シリコン膜に導電型がＮ型又はＰ型となる不純物をドーピングし、熱処理を行うことによって形成される。
（４）薄膜金属抵抗素子は、絶縁材料上に成膜される抵抗性金属材料膜により形成される。薄膜金属抵抗素子は、回路上高いシート抵抗が必要とされるＬＳＩにおいて、特に有用とされてきた。
【０００４】
従来のディジタル回路においては、不純物をドープされた多結晶シリコン膜が抵抗体材料として用いられてきた。
しかしながら、特にアナログ回路では、ディジタル回路と比較して、より低い抵抗温度係数が必要とされる。そこで、高精度、高信頼性を有する薄膜金属抵抗素子を採用するようになってきている。このような高精度かつ高信頼性を有する薄膜金属抵抗素子の材料としては、従来から、ニッケルクロム（ＮｉＣｒ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、クロムシリサイド（ＣｒＳｉ2 ）、クロムシリコンオキシ（ＣｒＳｉＯ）等が知られている。
【０００５】
近年、半導体装置の高集積化に伴い、抵抗素子の微細化が要求されており、そのために２０００μΩｃｍ程度の高い比抵抗が容易に得られるＣｒＳｉＯやＣｒＳｉ2 が多く用いられるようになっている。これにより、所要の高抵抗値の確保がなされている。
尚、上記材料の比抵抗は、ＣｒＳｉＯが１０００〜４０００μΩｃｍ、ＣｒＳｉ2 が５００〜２０００μΩｃｍ、ＴａＮが１００μΩｃｍ、ＮｉＣｒが５０μΩｃｍ程度である。
【０００６】
そして、従来の微細化された薄膜抵抗素子は、半導体基体上の絶縁膜上に抵抗素子となる例えばＣｒＳｉ2 膜から成る薄膜パターンが延在配設され、このＣｒＳｉ2 膜から成る薄膜パターンの両端部にアルミニウムもしくはその合金から成るＡｌ配線が直接コンタクトした構造を有していた。
【０００７】
さらに、特にシリコン半導体基板上に形成された薄膜金属抵抗素子に対してとりわけ低い抵抗温度係数が要求される場合には、その材料としてＣｒＳｉＮ膜がしばしば用いられる。
このＣｒＳｉＮ膜は高抵抗でかつスパッタ成膜やエッチングが容易であり、ドープされた多結晶シリコン膜の抵抗温度係数が１０００ｐｐｍ／℃以上あるのに対して、ＣｒＳｉＮ膜は１００ｐｐｍ／℃と低い抵抗温度係数を有するため、多用されてきた。
【０００８】
しかしながら、上述した４種類の抵抗素子においては、以下のような問題があった。
【０００９】
拡散抵抗素子及び電界効果型抵抗素子は、それぞれ半導体集積回路の製造プロセスに容易に統合されるという利点を有しているが、多くの短所もある。
特にこれらの抵抗素子は、抵抗値を制御するパラメータが半導体集積回路のデバイス性能のために最適化されなければならないパラメータと同一であるため、抵抗値が制約され、自由な抵抗値の設計が難しくなっている。
従って、実際の半導体集積回路において、拡散抵抗素子または電界効果型抵抗素子を形成した場合、デバイス性能を優先する結果、上述のパラメーターの制約により、これらの抵抗素子では低い抵抗値しか得られない。
さらに、拡散抵抗素子は、比較的大きなスペースを必要とするため、半導体集積回路の集積化や小型化を妨げてしまう短所を有している。
【００１０】
一方、多結晶シリコン抵抗素子は、半導体集積回路用の抵抗素子として現在最も幅広く採用されている。
しかしながら、多結晶シリコンにおけるキャリア伝導機構を構成する因子が多く、かつ複雑であり、しかも他工程の熱処理の影響による大きな変動を受け、特に高抵抗側で顕著となる傾向があり、抵抗値の精度が充分でないこと及び抵抗温度係数（〜２０００ｐｐｍ／℃）が大きいことが課題となってきている。
【００１１】
また、薄膜金属抵抗素子で最も広く採用されているＣｒＳｉ系材料は、非常に酸化されやすいことが大きな課題となってきている。ＣｒＳｉ系抵抗素子の製造プロセスでは、パターニングした抵抗膜（ＣｒＳｉ系材料の膜）が直接酸素雰囲気や酸素プラズマに晒される工程が多い。このため、抵抗膜の表面に酸化や変質が生じる。このように表面が酸化されたり、変質した抵抗膜の上に直接アルミニウム膜の配線を形成すると、接触抵抗が大きくかつ導通が不安定になる。
そこで、抵抗膜の表面の変質層を除去するために、希フッ酸水溶液で抵抗膜の表面及び半導体ウエハの表面を洗浄することも行われている。
しかしながら、このように抵抗膜の表面に対して洗浄を行っても、コンタクト抵抗を充分低く、かつ安定にすることは困難である。例えばＣｒＳｉＮ膜は非常に酸化されやすいため、表面の洗浄を行った後でも、ＣｒＳｉＮ膜の上に積層する配線膜材料との間に薄い酸化クロム等が自然酸化膜として形成されてしまい、配線材料と抵抗膜との導通がしばしば不安定になる。
【００１２】
さらに、薄膜金属抵抗素子の材料としてＣｒＳｉ2 膜を用いた従来の薄膜抵抗素子では、ＣｒＳｉ2 の抵抗値が３６０℃近傍の温度で大きく変化し、薄膜抵抗素子を形成した後に半導体装置が完成するまでに行われる熱処理工程によって、抵抗値が大幅に変動する問題がある。
【００１３】
一方、ＣｒＳｉＯ膜は、熱的な安定性が高く、抵抗素子を形成した後の熱処理工程による抵抗値の変動が少ないので、抵抗膜自体の材料としては望ましい。しかしながら、このＣｒＳｉＯ膜は、アルミニウム合金を積層して成る配線層と良好な電気的接続をとることが難しく、接続部の接触抵抗により初期抵抗値のばらつきが大きくなる問題があり、実用化には複雑な素子構造と繁雑な製造工程が必要となることから、製造コストの増大が大きな課題となる。
【００１４】
さらに、従来の薄膜抵抗素子には、ニクロム合金やチッ化タンタルを用いたものが多いが、これらの材料は比抵抗が低いため、高い比抵抗とするためには抵抗膜を薄くしなければならず、薄くすることにより熱的安定性が悪くなるという問題があった。
そこで、高い比抵抗を有する材料として、クロムとシリコンとの合金から成る薄膜抵抗素子が提案されているが、この合金材料も熱を加えると抵抗値が変化するという問題があった。
【００１５】
上述した従来の抵抗素子の課題を解決するために、各種の抵抗素子の構成や製造方法が提案されているが（例えば特開平６−５７８７号、特開平５−１９０５４７号、特開平７−２４５３０３号、特開平７−２０２１２４等参照）、いずれも製造コストの大幅な上昇や抵抗精度の悪化等の短所を有していて、実用上充分なものとはなっていない。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
以上の問題を回避し、尚かつ、特に高抵抗の抵抗素子に求められる特性、即ち高い抵抗（＞２．０ｋΩ／□）、低い抵抗温度係数（＜±２００ｐｐｍ／℃）、高精度の抵抗値、耐熱性（４５０℃程度まで）、耐酸化性（４５０℃程度まで）、経時変化に対する安定性、等の要件を全て満たすことが要求されている。
【００１７】
そこで、これらの要求に応えられる材料として、（Ｍ＋ＳｉＯ2 ）、（Ｍ＋ＳｉＮ）、（Ｍ＋ＳｉＣ）等（Ｍは金属元素）の組成を有するシリコンサーメット材料（絶縁材料と金属材料との合成材料）を用いて、高抵抗の薄膜抵抗素子を形成することが考えられる。
【００１８】
これらのシリコンサーメット材料のうち、例えばＴａ−ＳｉＯ2 サーメットは、シート抵抗〜１０ｋΩ／□、抵抗温度係数＜±１００ｐｐｍ／℃、耐熱性〜６００℃、耐酸化性も〜６００℃という良好な特性を有しており、さらに半導体製造装置に広く利用されている絶縁膜ＳｉＯ2 系やＳｉＮ系材料とも密着性が極めて良好であるという特長を有している。
【００１９】
しかしながら、上述のシリコンサーメット材料を薄膜抵抗素子へ採用する際には、前述した従来の他の抵抗素子の構成をそのまま適用することができない問題がある。
最大の問題は、現在半導体装置一般に幅広く採用されているシリコン系絶縁膜との製造工程上の問題である。
特に、抵抗膜として、シリコンサーメット材料の薄膜（膜厚１０ｎｍ〜１００ｎｍ）を形成しようとしたとき、抵抗膜の下地の層や抵抗膜を覆う層間絶縁層として、シリコンサーメット材料と組成及び構成元素が酷似したシリコン系絶縁層（ＳｉＯ2 系やＳｉＮ系材料）に挟み込まれる構造が避けられないため、これらのシリコン系絶縁層とシリコンサーメット材料から成る抵抗膜とのエッチング選択性を確保することが困難になっている。
【００２０】
これにより、配線層と抵抗素子を接続するコンタクト領域の形成工程の難易度が高くなり、このことが実現化の最大の課題となっている。
【００２１】
ここで、具体的な構成を挙げて、シリコンサーメット材料を薄膜抵抗素子に適用した場合に発生する問題を説明する。
シリコンサーメット材料を薄膜抵抗素子に適用した場合の構造としては、まず図２２に示すように、シリコンサーメット材料からなる抵抗膜７３により薄膜抵抗素子７０を形成し、薄膜抵抗素子７０を覆うシリコン系絶縁層７４に形成した接続孔を通じて配線７７（下地膜７５及び配線層７６）のコンタクト部７７Ｃを接続した構造が考えられる。このような構造は、例えば前述した薄膜多結晶シリコン抵抗素子において、多く採用されている構造である。
この構造を採用した場合、シリコン系絶縁層７４とシリコンサーメット材料から成る抵抗膜７３とのエッチング選択比がとれないために、絶縁層７４をエッチングして接続孔を形成する際にオーバーエッチングされて配線７７のコンタクト部７７Ｃの下の抵抗膜７３が一部削られて薄くなってしまう。
これにより、コンタクト抵抗が増えて、コンタクト抵抗を要因とする薄膜抵抗素子７０の抵抗値の変動が大きくなる。
【００２２】
一方、抵抗膜７３上の絶縁層７４に接続孔を形成する代わりに、抵抗膜７３上に配線層を形成して配線層をパターニングして配線７７を形成する方法も考えられる。この場合、配線層のパターニングはエッチング薬液によるウエット処理か或いはプラズマエッチング等のドライ処理により行われる。
【００２３】
まず、ウエット処理により配線層をパターニングする場合には、図２３Ａに示すように、抵抗膜７３上に配線層７８を直接成膜して、さらにエッチング薬液によるウエット処理により選択的なエッチングを行って、配線層７８をパターニングして配線を形成する。
この場合には、配線層７８がウエット処理が可能な材料に限定されてしまい、Ｔｉ系のバリアメタル層の採用が不可能となる。
また、抵抗膜７３の表面がエッチング薬液により損傷することにより、薄膜抵抗素子７０の抵抗値の変動要因となる。さらに、抵抗膜７３の両側に接続された配線の間隔Ｌにより抵抗値が規定されるが、ウエット処理では配線層７８の端面７８Ａの位置を制御して配線の間隔Ｌを高精度に制御することが難しく、抵抗値の精度上問題となる。
【００２４】
また、ドライ処理により配線層をパターニングする場合には、図２３Ｂに示すように、抵抗膜７３上に下地膜７５及び配線層７６の積層膜を直接成膜して、さらにプラズマエッチングによりパターニングを行って、配線７７を形成することができる。この場合は、下地膜７５としてＴｉ系のバリアメタル層を採用することが可能である。
この場合には、プラズマ中の活性ラジカルや入射イオン等のダメージにより抵抗膜７３表面が損傷する（例えば図２３Ｂのように薄くなる）ことにより薄膜抵抗素子７０の抵抗値の変動要因となる。特にＲＩＥ（反応性イオンエッチング）等によるイオン損傷が抵抗膜７３の表面に与える影響は無視できない。
【００２５】
そこで、抵抗膜７３上に配線７７を形成した構成において、図２４に示すように、絶縁性材料から成る保護膜７９を抵抗膜７３上に積層してこの保護膜７９を介して抵抗膜７３と配線７７を接続する構成が考えられる。保護膜７９を積層することにより、プラズマや薬液等による抵抗膜７３の表面の損傷を回避することが可能となる。
この図２４に示す構成を製造する場合には、抵抗膜７３上に保護膜７９を積層した後、これを覆って下地膜７５及び配線層７６を形成し、下地膜７５及び配線層７６をパターニングして配線７７を形成する。このパターニングの際には保護膜７９により抵抗膜７３の表面の損傷を回避することができる。
さらに、薄膜抵抗素子７０を構成するために、左右にある配線７７との接続部を分離する必要があるため、その間（中央部）の保護膜７９を除去する。
このとき、保護膜７９が抵抗膜７３とエッチング選択比が確保しやすい絶縁性材料である場合、抵抗膜７３を保護膜７９の除去の際のエッチングストッパとして作用させることができるが、材料の性質として配線７７とのコンタクト抵抗が著しく高くなる。
一方、もし保護膜７９に導電性材料を採用すると、保護膜７９が配線７７や抵抗膜７３に対してエッチング選択性を確保できなるため、配線７７のパターニングの際に保護膜７９も同時にエッチングされたり、中央部の保護膜７９を除去する際に抵抗膜７３へダメージを与えたりする。
【００２６】
次に、図２５に示す構成は、エッチング用の加工マスクを２枚利用することで、抵抗値の精度の確保と、保護膜７９による抵抗膜７３へのダメージ損傷とを回避することを可能としたものである。
この図２５に示す構成を製造する際には、抵抗膜７３上に保護膜７９を積層した後、これを覆って下地膜７５及び配線層７６を形成し、配線層７６をパターニングして配線７７を形成する。この配線層７６のパターニングにはウエット処理を用いていて、配線層７６の端面７６Ａが曲面となっている。このとき、保護膜７９によりウエット処理のエッチング薬液から抵抗膜７３が保護される。
続いて、配線層７６のパターニングに用いたマスクを除去して、より開口の小さいマスクを改めて形成する。この開口の小さいマスクを用いて、中央部の下地膜７５と保護膜７９を除去する。配線７７の間隔Ｌがウエット処理ではなく開口の小さいマスクにより規定されるため、薄膜抵抗素子７０の抵抗値の精度を高く確保することができる。
しかしながら、この場合は、マスクを付け直しする等煩雑な製造工程が必要になり、製造コストの増大をもたらす問題がある。
【００２７】
図２６に示す構成は、図２２に示した構成を改善したもので、配線７７と薄膜抵抗素子７０とのコンタクト部において、抵抗膜７３の下に導電性のエッチングストッパ層８０を形成し、部分的に抵抗膜７３と積層構造としたものである。
エッチングストッパ層８０により、絶縁層７４に接続孔を形成する際に、エッチングストッパ層８０で接続孔が止まる。そして、配線７８と、エッチングストッパ層８０及び抵抗膜７３とが電気的に接続される。エッチングストッパ層８０が導電性のため配線とのコンタクト抵抗も小さい。
しかしながら、この場合には、抵抗膜７３が段差を有していて、この段差部のカバレージが抵抗値の変動要因となる。また、エッチングストッパ層８０が増えることにより、この場合も煩雑な製造工程が必要となり、製造コストの増大をもたらす。
【００２８】
上述した問題の解決のために、本発明においては、抵抗値の精度がよく、耐熱性や耐酸化性を有し、配線層と良好な接続を行うことができ、比較的安い製造コストで容易に製造することが可能な半導体装置の製造方法を提供するものである。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜する工程と、この抵抗膜を形成する工程と同一の装置内で連続して抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜する工程と、抵抗膜及び絶縁性保護膜を一括してパターニングして、抵抗膜及び絶縁性保護膜の積層膜から成る薄膜抵抗素子を形成する工程と、薄膜抵抗素子を覆って絶縁層を形成する工程とを有して薄膜抵抗素子を有して成る半導体装置を製造するものであり、シリコンサーメット材料はシリコン及び１種類以上の金属元素に、酸素、窒素、炭素から選ばれる少なくとも１種類の元素を含む組成から成るものである。
【００３２】
上述の本発明の半導体装置の製造方法によれば、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜した後、抵抗膜を形成する工程と同一の装置内で連続して抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜し、抵抗膜及び絶縁性保護膜を一括してパターニングして薄膜抵抗素子を形成するため、抵抗膜の表面に自然酸化膜を生じないで抵抗膜を絶縁性保護膜で覆うことができる。
また、上述のように絶縁性保護膜により抵抗膜を保護して、後の工程における抵抗膜表面への損傷を防止することができる。
これにより、上述した低い抵抗温度係数、耐熱性、並びに耐酸化性を有する高抵抗の薄膜抵抗素子を製造することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
本発明は、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜する工程と、この抵抗膜を形成する工程と同一の装置内で連続して抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜する工程と、抵抗膜及び絶縁性保護膜を一括してパターニングして、抵抗膜及び絶縁性保護膜の積層膜から成る薄膜抵抗素子を形成する工程と、薄膜抵抗素子を覆って絶縁層を形成する工程とを有して薄膜抵抗素子を有して成る半導体装置を製造するものであり、シリコンサーメット材料はシリコン及び１種類以上の金属元素に、酸素、窒素、炭素から選ばれる少なくとも１種類の元素を含む組成から成る半導体装置の製造方法である。
【００３８】
また本発明は、上記半導体装置の製造方法において、絶縁性保護膜が、上記抵抗膜及び上記絶縁層に対して、エッチングに対する選択性を有する。
【００３９】
図１は本発明の一実施の形態として薄膜抵抗素子を有する半導体装置の概略構成図（断面図）を示す。
この半導体装置は、例えば半導体基板や半導体基板上にエピタキシャル層を形成して成る基体１上に絶縁層２が形成され、この絶縁層２上に抵抗膜３とその上の保護膜４との積層膜から成る薄膜抵抗素子１０が形成されて成る。
そして、薄膜抵抗素子１０の表面を絶縁層５が覆っていて、この絶縁層５及び薄膜抵抗素子１０の保護膜４に形成された開口を通じて、配線１１が抵抗膜３に接続されている。配線１１は配線層７とその下の下地膜６とから構成され、絶縁層５及び保護膜４に形成された開口内を埋めて抵抗膜３に電気的に接続されるようにコンタクト部１１Ｃを有している。
【００４０】
本実施の形態においては、特に抵抗膜３の材料として、Ｓｉ（シリコン）サーメット材料（絶縁材料と金属材料との合成材料）を用いると共に、保護膜４を絶縁性の膜とする。
【００４１】
Ｓｉ（シリコン）サーメット材料は、Ｓｉ（シリコン）と金属元素Ｍとその他の元素（例えば酸素）とから構成される。
金属元素Ｍとしては、好ましくは、Ｔａ，Ｎｂ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｏ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒの金属から少なくとも１種類を選択する。
その他の元素としては、酸素、窒素、炭素の反応種の元素から少なくとも１種類を選択する。
【００４２】
これらシリコン、金属元素Ｍ、反応種の元素から３元系以上の組成のサーメットを構成する。
例えばＭx Ｓｉy Ｏz ，Ｍx Ｓｉy Ｎz ，Ｍx Ｓｉy Ｃz ，Ｍx Ｓｉy Ｏz Ｎw （ｘ，ｙ，ｚ，ｗは正の数）といった組成のサーメットを用いることができる。
【００４３】
シリコンサーメット材料から成る抵抗膜３のシート抵抗は、好ましくは０．１ＫΩ／□以上とする。また、抵抗膜３の膜厚は、好ましくは１０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲内とする。
また、シリコンサーメット材料の金属元素ＭとシリコンＳｉとの組成比は、Ｍ／（Ｍ＋Ｓｉ）＝２５〜５５（ｍｏｌ％）とすることが好ましい。
【００４４】
このようなシリコン系サーメット材料は、例えばサーマルプリンターヘッドやインクジェットヘッド等の発熱体（ヒーター）に用いられている。
【００４５】
絶縁性の保護膜４としては、絶縁性金属酸化物、絶縁性金属酸窒化物を用いることができる。好ましくは、抵抗膜３のサーメットを構成する金属元素Ｍの酸化物や酸窒化物（Ｍx Ｏy ，Ｍx Ｏy Ｎz 等、ｘ，ｙ，ｚは正の数）を用いて、抵抗膜３に対して良好な相性を有するようにする。
また、絶縁性の保護膜４として、微細結晶性多結晶シリコンやアモルファス（非晶質）シリコン、並びにそれらが混合した状態の膜を用いることも可能である。
【００４６】
絶縁性の保護膜４のシート抵抗は、好ましくは１００ｋΩ／□以上とする。また、保護膜４の膜厚は、好ましくは５〜５０ｎｍの範囲内とする。
【００４７】
さらに、絶縁性の保護膜４は、薄膜抵抗素子１０を上下に挟む絶縁層２及び５、特に薄膜抵抗素子１０を覆う絶縁層５に対してエッチング選択性（選択比）が高いことが好ましい。通常、半導体装置において、絶縁層２及び５の材料としてはシリコン化合物（酸化シリコンや窒化シリコン）が用いられる。上述した絶縁性金属酸化物、絶縁性金属窒化物、微細結晶性多結晶シリコン、アモルファスシリコン等の材料で、絶縁層５のシリコン化合物に対してエッチング選択性の高い材料を、絶縁性の保護膜４に用いる。
これにより、薄膜抵抗素子１０を覆う絶縁層５に配線１１のコンタクト部１１Ｃのための開口を形成するエッチングを行う工程において、絶縁性の保護膜４をエッチングストッパをして作用させることができる。
【００４８】
そして、上述のように保護膜４をシリコン化合物から成る絶縁層５に対してエッチング選択性が高い材料とすれば、保護膜４がシリコン系サーメット材料から成る抵抗膜３に対してもエッチング選択性が高くなる。
これにより、保護膜に配線１１のコンタクト部１１Ｃのための開口を形成するエッチングを行う工程において、絶縁性の保護膜４だけエッチングされて、抵抗膜３がエッチングされないようにすることができる。
【００４９】
配線１１には、Ａｌ，Ｔｉ，Ｗ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｃｕから選ばれた１種類以上の元素もしくはこれらを主成分にもつ化合物から選択した材料を用いることができる。またこれらの材料を用いた複数の膜の積層構造であっても良い。
配線１１の下地膜６は、特にＴｉ等を用いることにより、バリアメタルとして作用させることができる。
【００５０】
本実施の形態の半導体装置において、薄膜抵抗素子１０及びその周辺の各層のの材料及び膜厚については、例えば次のような構成を採ることができる。
（Ａ）基体１としてシリコン基板、絶縁層２としてＳｉＯ2 膜を膜厚８００ｎｍ、抵抗膜３としてＴａ−ＳｉＯ2 サーメット（モル比でＴａ：ＳｉＯ2 ＝４５：５５）膜を膜厚８０ｎｍ（シート抵抗３ｋΩ／□）、絶縁性の保護膜４として、Ｔａx Ｏy を膜厚２５ｎｍ、絶縁層５としてＳｉＯ2 膜を膜厚４００ｎｍ、配線１１として、下層から順にＴｉ／ＴｉＯＮ／Ｔｉをそれぞれ膜厚３０ｎｍ／７０ｎｍ／３０ｎｍとした積層構造（下地膜６に相当）、Ａｌ−Ｓｉ膜を膜厚８００ｎｍ、ＴｉＯＮ膜を膜厚２５ｎｍ、それぞれ形成する。
（Ｂ）基体１としてＧａＡｓ基板、絶縁層２としてＳｉ3 Ｎ4 膜を膜厚３００ｎｍ、抵抗膜３としてＴａ−ＳｉＯ2 サーメット（モル比でＴａ：ＳｉＯ2 ＝４５：５５）膜を膜厚８０ｎｍ（シート抵抗３ｋΩ／□）、絶縁性の保護膜４として、Ｔａx Ｏy を膜厚２５ｎｍ、絶縁層５としてＳｉ3 Ｎ4 膜を膜厚３００ｎｍ、配線１１として、下層から順にＴｉ膜を膜厚５０ｎｍ（下地膜６に相当）、Ｐｔ膜を膜厚５０ｎｍ、Ａｕ膜を膜厚５００ｎｍ、それぞれ形成する。
【００５１】
また、本実施の形態の半導体装置は、その構造に上述した特徴を有すると共に、以下述べるように、その製造工程にも特徴を有する。
【００５２】
まず、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の変動を抑制するために、抵抗膜３及び保護膜４とを積層するだけでなく、好ましくは同一スパッタ装置内で連続して抵抗膜３の成膜及び保護膜４の成膜を行う。
これにより、抵抗膜３の表面が酸化されたり損傷したりすることなく、保護膜４に覆われる。
【００５３】
また、抵抗膜３の上に保護膜４が形成されていることにより、抵抗膜３が酸素雰囲気や酸素プラズマに晒されることがなく、かつ剥離薬液等のアルカリ性薬液による抵抗膜３の腐食も回避することができる。
即ち後の工程、例えば配線層７等の成膜及びパターニング工程における、抵抗膜３の表面に対する酸素雰囲気やエッチング薬液による化学変化、並びに酸素プラズマによる損傷が防止される。
これにより、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の変動が抑制されるため、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の高精度化を一層実現することができる。
【００５４】
そして、抵抗膜３及び保護膜４からなる薄膜抵抗素子１０をパターニング加工する際には、フォトレジストによりパターンを形成した後、反応性イオンエッチングＲＩＥもしくはイオンミリングのいずれかにより加工を行う。
このとき、同一のフォトレジストをマスクとして用いて、一括して抵抗膜３及び保護膜４を加工することが望ましい。
【００５５】
薄膜抵抗素子１０とこの薄膜抵抗素子１０に接続される配線１１とのコンタクト部１１Ｃの形成にあたっては、薄膜抵抗素子１０を覆う絶縁層５に対して、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）による加工、もしくはエッチング薬液による加工のいずれか、或いはこれらの加工の組み合わせによりコンタクト部１１Ｃのための開口（接続孔）を形成する。さらに、絶縁性の保護膜４にも加工を行って、コンタクト部１１Ｃのための開口（接続孔）を形成する。
シリコン化合物からなる絶縁層５の加工工程と絶縁性の保護膜４の加工工程は、同一設備と同マスクでエッチング処理条件を切り換えることで可能になる。
【００５６】
そして、上述したように絶縁性の保護膜４の材料をシリコン化合物から成る絶縁層５に対してエッチング選択比の高い材料とすることにより、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法により高選択比のエッチングを行って、絶縁層５に接続孔を形成するエッチングにおいて保護膜４をエッチングストッパとして用いることができる。このとき、絶縁性の保護膜４の膜厚をエッチングストッパとして充分耐えうる膜厚とする。
この高選択比のエッチングを行うための条件としては、例えばエッチングガスにＣＦ4 ，ＣＨＦ3 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ4 Ｆ8 ，Ａｒ，ＣＯの少なくとも１種以上のガス種を採用して、それらのプラズマ生成により反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を行うことが挙げられる。
【００５７】
同様に、絶縁性の保護膜４の材料はシリコンサーメット材料から成る抵抗膜３に対してエッチング選択比の高い材料とすることにより、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法により高選択比のエッチングを行って、保護膜４に配線１１のコンタクト部１１Ｃを形成するための開口を形成するエッチングにおいて抵抗膜３をエッチングストッパとして用いることができる。
この高選択比のエッチングを行うための条件としては、例えばエッチングガスにＣｌ2 ，ＢＣｌ3 ，ＳＦ6 ，ＣＨ2 Ｆ2 の少なくとも１種以上のガス種、或いはＣＦ4 ，ＣＨＦ3 ，Ｃ2 Ｆ6 ，Ｃ4 Ｆ8 ，Ａｒ，ＣＯの少なくとも１種以上のガス種を採用して、それらのプラズマ生成により反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を行うことが挙げられる。
【００５８】
このように製造を行うことにより、従来不可能であった、薄膜抵抗素子１０の抵抗膜３と配線１１とを安定して電気的に接続することを可能にすると共に、さらに抵抗膜３と配線１１との接触抵抗値を常に安定化することができるため、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の変動要因を抑えることを可能にする。
【００５９】
そして、図１に示した薄膜抵抗素子１０を有する半導体装置は、具体的には例えば次のようにして製造することができる。尚、各層の材料及び膜厚は、前述した（Ａ）の構成として説明している。
まず、図２Ａに示すように、基板１上に、例えばＳｉＯ2 から成る絶縁層２を例えば８００ｎｍの厚さに形成する。
【００６０】
次に、図２Ｂに示すように、スパッタ法により、絶縁層２上に例えばＴａ−ＳｉＯ2 サーメット材料から成る抵抗膜３を例えば８０ｎｍの厚さに成膜し、さらに同一スパッタ装置内で連続して、スパッタ法により、例えばＴａ2 Ｏ5 から成る保護膜４を例えば２５ｎｍの厚さに成膜する。
ここで、サーメット材料の組成をＴａ／（Ｔａ＋ＳｉＯ2 ）＝４５％（モル比）とした場合には抵抗膜３のシート抵抗は３ｋΩ／□が得られる。一方、Ｔａ2 Ｏ5 から成る保護膜４のシート抵抗は３ＭΩ／□以上とする。
【００６１】
次に、水素雰囲気中で４５０℃・１５分の熱処理を行い、薄膜抵抗素子１０のストレスを緩和し、熱変動を安定化させる。この熱処理工程により、抵抗膜３のシート抵抗が８％程度変動するが、この後の製造工程において同様の熱処理を行う際の抵抗値の変動が回避される。
尚、この熱処理工程は配線１１を形成した後に行ってもよい。
【００６２】
次に、図２Ｃに示すように、薄膜抵抗素子１０のパターンを形成するためのフォトレジスト２１を保護膜４上に形成する。
続いて、図２Ｄに示すように、このフォトレジスト２１を用いて、抵抗膜３及び保護膜４をエッチングにより一括して加工することにより、これら抵抗膜３及び保護膜４をパターニングする。このときのエッチングは、例えばプラズマ生成装置によるＲＩＥ（反応性イオンエッチング）を利用して、例えば混合ガス（ＢＣｌ3 ＋Ｃｌ2 ）、圧力１０ｍＴｏｒｒの雰囲気で行う。
【００６３】
抵抗膜３及び保護膜４をパターニングした後に、プラズマ生成装置によりレジストアッシングを行う。即ち図２Ｅに示すように、保護膜４上に残ったフォトレジスト２１Ｘを酸素プラズマ２２により除去する。アッシングの条件は、酸素を主成分とするガスから構成し、例えば圧力１．６Ｔｏｒｒの下で行う。
このとき、Ｔａ2 Ｏ5 から成る絶縁性の保護膜４が、Ｔａ−ＳｉＯ2 サーメットから成る抵抗膜３を酸素プラズマ２２の照射損傷から保護する役割を果たす。
【００６４】
また、さらにアッシング後の残留有機物、ポリマー、エッチング残さ、レジスト変質層等を除去するための洗浄工程を行う。図３Ｆに示すように、例えばアルカリ性有機剥離液２３により、表面に対して薬液処理を行う。
このとき、Ｔａ2 Ｏ5 から成る絶縁性の保護膜４が、Ｔａ−ＳｉＯ2 サーメットから成る抵抗膜３をアルカリ性腐食性薬液２３から保護して、抵抗膜３の腐食やエッチング損傷を防止する役割を果たす。
【００６５】
上述したアッシングや薬液処理を経て、図３Ｇに示すように抵抗膜３及び保護膜４の積層膜から成る薄膜抵抗素子１０が完成する。
次に、図３Ｈに示すように、薄膜抵抗素子１０の積層膜を被覆して、プラズマＣＶＤ法により、例えばＳｉＯ2 から成る絶縁層５を例えば４００ｎｍの厚さに成膜する。プラズマＣＶＤの温度は４００℃以下の低温とする。
尚、必要に応じて、この後に表面の平滑化工程を行う。この平滑化工程ではＳＯＧ（Spin on glass ）等の塗布膜を利用するが、絶縁層５が覆っているため薄膜抵抗素子１０には影響が及ばない。
【００６６】
続いて、薄膜抵抗素子１０を覆う絶縁層５に接続孔を形成する。
図３Ｉに示すように、絶縁層５上にフォトレジスト２４を形成し、このフォトレジスト２４に接続孔の形成のための開口２５を形成する。
【００６７】
次に、図４Ｊに示すように、開口２５が形成されたフォトレジスト２４をマスクとして用いて、絶縁層５を例えばプラズマ装置によるＲＩＥ（反応性イオンエッチング）により加工して、絶縁層５に開口を形成する。
この際に、Ｔａ2 Ｏ5 から成る絶縁性の保護膜４をＳｉＯ2 から成る絶縁層５のエッチングのエッチングストッパとするため、プラズマエッチングの条件は、例えばエッチングガスとして混合ガス（ＣＦ4 ＋ＣＨＦ3 ＋Ａｒ）、処理圧力５００ｍＴｏｒｒとする。この条件を採用することにより、エッチング選択比１０以上（ＳｉＯ2 エッチレート／Ｔａ2 Ｏ5 エッチレート）が得られる。
【００６８】
さらに続けて、図４Ｋに示すように、同じくフォトレジスト２４をマスクとして用いて、ＲＩＥにより保護膜４を加工して、保護膜４に開口を形成する。
この際に、Ｔａ−ＳｉＯ2 サーメット材料から成る抵抗膜３をＴａ2 Ｏ5 から成る絶縁性の保護膜４のエッチングストッパーとするため、プラズマエッチングの条件は、例えばエッチングガスとして混合ガス（ＳＦ6 ＋Ｃｌ2 ）、処理圧力１６ｍＴｏｒｒとする。この条件を採用することにより、エッチング選択比８以上（Ｔａ2 Ｏ5 エッチレート／Ｔａ−ＳｉＯ2 エッチレート）が得られる。
【００６９】
その後、図４Ｌに示すように、絶縁層５上のフォトレジスト２４を除去する。
続いて、下地膜６及び配線層７を順次スパッタリング装置を用いて成膜し、これら下地膜６及び配線層７を所定のパターンにパターニングして、図４Ｍに示すように配線１１を形成する。
下地膜６としては、例えばＴｉ／ＴｉＯＮ／Ｔｉの積層構造を例えば合計膜厚１３０ｎｍとなるように形成してバリアメタルとする。配線層７としては、例えばＡｌ−Ｓｉ合金を例えば８００ｎｍの厚さに形成する。
このようにして、図１に示した本実施の形態の薄膜抵抗素子１０を有する半導体装置を製造することができる。
【００７０】
上述の本実施の形態によれば、薄膜抵抗素子１０の抵抗膜３にシリコンサーメット材料を用いたことにより、シリコンサーメット材料の特徴であるシート抵抗〜１０ｋΩ／□、抵抗温度係数＜±１００ｐｐｍ／℃という特性から、薄膜抵抗素子１０において比較的高いシート抵抗及び低い抵抗温度係数が得られ、高抵抗であり熱処理により受ける影響が少ない（耐熱性を有する）薄膜抵抗素子１０を構成することができる。
さらに、シリコンサーメット材料の特徴である耐酸性及び耐酸化性を６００℃まで確保できる特性から、耐酸性及び耐酸化性を有する薄膜抵抗素子１０を構成することができる。
【００７１】
また、抵抗膜３上に絶縁性の保護膜４を積層して薄膜抵抗素子１０を構成したことにより、保護膜４により抵抗膜３の表面が保護されて、例えば薄膜抵抗素子１０のパターニング後のレジストアッシング工程や剥離液工程等において、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜３への損傷や化学変化を防止することができる。これにより、抵抗膜３の損傷等を要因とする薄膜抵抗素子１０の抵抗値の変動を抑制して、薄膜抵抗素子１０の高精度化が可能になる。
【００７２】
さらに、絶縁性の保護膜４を抵抗膜３を覆っているシリコン化合物から成る絶縁層５に対してエッチング選択性を有する材料とすることにより、薄膜抵抗素子１０に配線１１を接続するコンタクト部１１Ｃを形成するためにエッチングにより絶縁層５に開口を形成する工程において、絶縁性の保護膜４がエッチングストッパとして作用して抵抗膜３へのエッチングダメージを回避することができる。
また、これにより、絶縁性の保護膜４がシリコンサーメット材料から成る抵抗膜３ともエッチング選択性を有するので、コンタクト部１１Ｃを形成するためにエッチングにより絶縁性の保護膜４に開口を形成する工程において、絶縁性の保護膜４のエッチング残渣が残ったり抵抗膜３がエッチングされたりしないようにして、確実に配線１１を抵抗膜３に接続して形成することができる。
従って、薄膜抵抗素子１０の寄生抵抗であるコンタクト抵抗成分を低く抑えることができると共に、コンタクト抵抗のばらつき変動も抑えることが可能となり、その結果、薄膜抵抗素子１０の抵抗値の高精度化をさらに図ることができる。
【００７３】
即ち本実施の形態の半導体装置によれば、特に高抵抗の薄膜抵抗素子１０において、高精度の抵抗値及び高信頼性を実現することが可能になる。
【００７４】
また、シリコン系サーメット材料を組成が類似したシリコン系絶縁膜から構成された半導体集積回路装置に搭載することは従来は不可能であったが、本実施の形態の半導体装置により、製造コストの大幅な増大を招くことなく、かつ複雑な素子構造や繁雑な製造工程を必要としないで実現することが可能になる。
【００７５】
さらに、薄膜抵抗素子１０により抵抗素子を構成しているため、拡散抵抗による抵抗素子と比較して、抵抗素子が占有するスペースを小さくすることができ、半導体装置の微細化・小型化を図ることができる。
【００７６】
また、薄膜抵抗素子１０の構成は、抵抗膜３にシリコンサーメット材料を用い、抵抗膜３上に絶縁性の保護膜４を積層して、配線１１を接続するための接続孔を保護膜４にも形成している他は、従来の多結晶シリコン膜による抵抗素子と同様であり、比較的簡単な構成となっている。
このため、薄膜抵抗素子１０の製造工程は、絶縁性の保護膜４の形成工程が増える他は、従来の多結晶シリコン膜による抵抗素子の製造工程と同様であり、半導体装置の他の部分の製造工程に薄膜抵抗素子１０の製造工程を組み込むことができる。
さらに、絶縁性の保護膜４の成膜は、抵抗膜３の成膜工程と同一のスパッタ装置内で連続して行うため、保護膜４の成膜工程を追加したことによる製造コストの増加は小さい。
【００７７】
このように、本実施の形態によれば、複雑な素子構成や煩雑な製造工程を必要としない。
従って、本実施の形態によれば、製造コストの増大を招かないで比較的安いコストで高抵抗の薄膜抵抗素子１０を有する半導体装置を製造することができると共に、抵抗素子１０の抵抗値の変動を抑制して良好な特性の抵抗素子１０を有する半導体装置を安定して製造することができる。
【００７８】
続いて、本発明の他の実施の形態として、図１に示した薄膜抵抗素子１０の構造を組み込んだＢｉＣＭＯＳ半導体装置の概略構成図（断面図）を図５に示す。
このＢｉＣＭＯＳ半導体装置は、図５に示すように、シリコン基板４１上にＮ型のエピタキシャル層４２が形成されて基体が構成され、この基体にＰＭＯＳトランジスタ３１Ｐ及びＮＭＯＳトランジスタ３１Ｎから成るＣＭＯＳトランジスタ部３１と、縦型のＮＰＮバイポーラトランジスタ（以下ＮＰＮトランジスタとする）から成るバイポーラトランジスタ部３２と、薄膜抵抗素子３０を有する抵抗素子部３３とを有して構成される。
基体の表面にはＬＯＣＯＳにより形成された素子分離層４４が形成されて、各トランジスタ３１Ｐ，３１Ｎ，３２を分離している。
【００７９】
ＣＭＯＳトランジスタ部３１のＰＭＯＳトランジスタ３１Ｐは、基体の表面にＮ- の半導体ウエル領域４５が形成され、このＮ- の半導体ウエル領域４５内にＰ型のソース／ドレイン領域４７が形成されて構成されている。これらソース／ドレイン領域４７の内側にチャネルが形成される。チャネル上にはゲート酸化膜を介して多結晶シリコン膜５５とシリサイド膜５６との積層構造からなるゲート電極Ｇが形成されている。ゲート電極Ｇの側壁には、絶縁膜から成るサイドウォールが形成されている。
Ｐ型のソース／ドレイン領域４７には、下地膜６１、配線層６２、導電性反射防止膜６３の３層構造から成る配線６４が接続されている。
【００８０】
ＣＭＯＳトランジスタ部３１のＮＭＯＳトランジスタ３１Ｎは、基体（半導体エピタキシャル層４２）の表面にＰ- の半導体ウエル領域４６が形成され、このＰ- の半導体ウエル領域４６内にＮ型のソース／ドレイン領域４８が形成されて構成されている。これらソース／ドレイン領域４８の内側にチャネルが形成される。これらソース／ドレイン領域４８は、内側（チャネル側）にＮ型の低濃度領域（いわゆるＬＤＤ領域）を有している。チャネル上にはゲート酸化膜を介して多結晶シリコン膜５５とシリサイド膜５６との積層構造からなるゲート電極Ｇが形成されている。ゲート電極Ｇの側壁には、絶縁膜から成るサイドウォールが形成されている。
Ｎ型のソース／ドレイン領域４８には、下地膜６１、配線層６２、導電性反射防止膜６３の３層構造から成る配線６４が接続されている。
【００８１】
バイポーラトランジスタ部３２の縦型ＮＰＮバイポーラトランジスタは、半導体基体の内部にＮ型の埋め込み拡散領域４３が形成されて構成されている。
そして、Ｎ型のエピタキシャル層４２内に、ベース領域４９が形成され、さらにベース領域４９の中央の表面付近にエミッタ領域５０が形成されている。
また、コレクタ取り出し部では、Ｎ型の埋め込み拡散領域４３に接続するように、コレクタ取り出し領域５１が形成されている。
ベース領域４９には、多結晶シリコン膜５７によりシリサイド膜５８を挟んだ３層構造のベース電極が接続されている。
エミッタ領域５０には、多結晶シリコン膜５９によりシリサイド膜６０を挟んだ３層構造のエミッタ電極が接続されている。
そして、ベース電極にはＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４と同様の３層構造のベース配線６４Ｂが接続され、同様にエミッタ電極には３層構造のエミッタ配線６４Ｅが接続され、コレクタ取り出し領域５１には３層構造のコレクタ配線６４Ｃが接続されている。
【００８２】
抵抗素子部３３は、図１に示した薄膜抵抗素子１０と同様の構成のシリコンサーメット材料から成る抵抗膜３及びその上の絶縁性の保護膜４から成る薄膜抵抗素子３０が形成されて成る。
この薄膜抵抗素子３０は、素子分離層４４上に形成された絶縁層５２，５３上に形成され、表面を薄い絶縁膜５４で覆われている。
絶縁膜５４及び保護膜４に形成された開口を通じて、ＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４と同様の３層構造の配線６４Ｒが薄膜抵抗素子３０の抵抗膜３に直接接続されている。
【００８３】
尚、図５では省略しているが、各配線６４、６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃ，６４Ｒは絶縁層で覆われて、さらに絶縁層上に上層の配線等が形成されてＢｉＣＭＯＳ半導体装置が構成される。
【００８４】
本実施の形態では、抵抗素子部３３の薄膜抵抗素子３０が図１に示した薄膜抵抗素子１０と同様の構成を有するので、前述した先の実施の形態と同様に、高精度の抵抗値を有する高抵抗の薄膜抵抗素子を構成することができる。
【００８５】
また、本実施の形態では、薄膜抵抗素子３０の抵抗膜に接続される配線６４Ｒは、ＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４や、バイポーラトランジスタ部３２の配線６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃと同じ３層構造６１，６２，６３を有しており、同一工程で同時に形成することが可能になっている。
また、ＣＭＯＳトランジスタ部３１のゲート電極Ｇを覆う絶縁膜と、抵抗素子部３３の薄膜抵抗素子３０を覆う絶縁膜とが、同一の絶縁膜５４となっている。
【００８６】
そして、薄膜抵抗素子３０により抵抗素子を構成しているため、抵抗素子の抵抗値は、ＣＭＯＳトランジスタ部３１やバイポーラトランジスタ部３２の特性のパラメーターにより影響されない。
従って、抵抗素子部３３の素子の設計と、ＣＭＯＳトランジスタ部３１やバイポーラトランジスタ部３２の設計とを、それぞれ制約が少なくなるようにして、より自由に行うことができる。
【００８７】
次に、本実施の形態の図５に示したＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を、図６〜図１３を参照して説明する。
尚、シリコン基板４１とＮ型の半導体エピタキシャル層４２から成る基体の内部に素子分離層４４や各半導体領域を形成する工程は、説明を省略する。
基体上に、ゲート絶縁膜を介してゲート電極Ｇを形成し、ゲート電極Ｇの側壁に絶縁膜から成るサイドウォールを形成した後、ゲート電極Ｇを覆って全面的に絶縁膜５２を形成する。さらに、バイポーラトランジスタ部３２においては、ベース領域４９上の絶縁膜５２を除去して開口を形成する。
次に、絶縁膜５２の上に多結晶シリコン膜５７・シリサイド膜５８・多結晶シリコン膜５７の３層を成膜し、これをパターニングして３層構造から成るベース電極を形成する。このベース電極は、絶縁膜５２の開口を通じてベース領域４９に接続される。
次に、ベース電極を覆って、比較的厚い絶縁層５３を形成する。さらに、バイポーラトランジスタ部３２においては、エミッタ領域５０及びその付近のベース領域４９上のベース電極及び絶縁層５３に開口を形成する。開口の側壁にはさらに絶縁膜によりサイドウォールを形成する。
その後、この開口を埋めるように、多結晶シリコン膜５９・シリサイド膜６０・多結晶シリコン膜５９の３層を成膜し、これをパターニングして３層構造から成るエミッタ電極を形成する。このエミッタ電極は、ベース電極及び絶縁層５３の開口を通じてエミッタ領域５０に接続される。ベース電極の開口の側壁に形成されたサイドウォールにより、エミッタ電極とベース電極とが分離される。
次に、絶縁層５３及びエミッタ電極を覆って、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜３と、保護膜４とを順次成膜する。そして、抵抗素子部３３においては、保護膜４上に抵抗素子のパターンを形成するためのフォトレジスト８１を形成する。この状態を示しているのが図６である。
【００８８】
次に、図７に示すように、フォトレジスト８１をマスクとして、保護膜４及び抵抗膜３を一括してパターニングする。
続いて、フォトレジスト８１を除去して、図８に示すように、表面を絶縁膜５４で覆う。これにより、抵抗膜３及び保護膜４から成る薄膜抵抗素子３０が絶縁膜５４で覆われる。
【００８９】
次に、図９に示すように、薄膜抵抗素子３０へのコンタクト部を形成するための開口を有するフォトレジスト８２を形成し、このフォトレジスト８２をマスクとして、エッチングを行って絶縁膜５４に開口（接続孔）を形成する。
引き続いて、図１０に示すように、同じフォトレジスト８２をマスクとして、条件を変えてエッチングを行って、保護膜４に開口（接続孔）を形成する。
【００９０】
次に、フォトレジスト８２を除去して、図１１に示すように、改めてＣＭＯＳトランジスタ部３１及びバイポーラトランジスタ部３２の接続孔を形成するための開口を有するフォトレジスト８３を形成し、このフォトレジスト８３をマスクとして、絶縁膜５４や絶縁層５３、並びに絶縁膜５２に対してエッチングを行って、それぞれ、ソース／ドレイン領域５７，５８、ベース電極、コレクタ取り出し領域５１に達する開口（接続孔）を形成する。
【００９１】
次に、図１２に示すように、フォトレジスト８３を除去する。
さらに、下地膜６１・配線層６２・導電性反射防止膜６３の３層を順次形成して、これをパターニングすることにより、図１３に示すように、ＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４と、バイポーラトランジスタ部３２の配線６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃと、抵抗素子部３３の配線６４Ｒを形成する。
このようにして、図５に示した構成のＢｉＣＭＯＳ半導体装置を製造することができる。
この後は、必要に応じて層間絶縁層や上層の配線を形成する。
【００９２】
続いて、本発明のさらに他の実施の形態として、図１に示した薄膜抵抗素子１０の構造を組み込んだＢｉＣＭＯＳ半導体装置の概略構成図（断面図）を図１４に示す。
このＢｉＣＭＯＳ半導体装置は、概略構成は図５と同様であるが、縦型のＮＰＮバイポーラトランジスタ（以下ＮＰＮトランジスタとする）から成るバイポーラトランジスタ部３２のエミッタ配線６４Ｅの付近が異なっている。
即ちエミッタ配線６４Ｅ及びエミッタ電極の左右に、これらエミッタ配線６４Ｅ及びエミッタ電極の間の層として、薄膜抵抗素子３０の抵抗膜３及び保護膜４が存在している。この部分の抵抗膜３は、エミッタ配線６４の下地膜６１やエミッタ電極の多結晶シリコン膜５９及びシリサイド膜６０の側壁に接していて、エミッタ配線６４及びエミッタ電極と一体化した導電体となっている。
その他の構成は図５と同様であるため、重複説明を省略する。
【００９３】
また、本実施の形態の図１４に示したＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を、図１５〜図２１に示す。
まず、先の実施の形態の図６に示した状態までは、先の実施の形態と同様にして製造を行う。
次に、フォトレジスト８１で薄膜抵抗素子３０のパターニングを行う前に、バイポーラトランジスタ部３２のエミッタ電極の部分を覆うようにフォトレジスト８４を形成する。そして、図１５に示すように、２つのフォトレジスト８１及び８４をマスクとして、保護膜４及び抵抗膜３をエッチングする。これにより、抵抗膜３及び保護膜４による薄膜抵抗素子３０のパターンが形成されると共に、これら抵抗膜３及び保護膜４がエミッタ電極を覆って残る。
【００９４】
続いて、フォトレジスト８１及び８４を除去して、図１６に示すように、表面に絶縁膜５４を形成する。このとき、エミッタ電極を覆う抵抗膜３及び保護膜４が絶縁膜５４により覆われる。
【００９５】
次に、図１７に示すように、フォトレジスト８２をマスクとしてエッチングを行って、薄膜抵抗素子３０上の絶縁膜５４に開口（接続孔）を形成する。
さらに、図１８に示すように、同じフォトレジスト８２をマスクとして条件を変えてエッチングを行って、薄膜抵抗素子３０の保護膜４に開口（接続孔）を形成する。
【００９６】
次に、フォトレジスト８２を除去して、図１９に示すように、改めてＣＭＯＳトランジスタ部３１及びバイポーラトランジスタ部３２の接続孔を形成するための開口を有するフォトレジスト８３を形成し、このフォトレジスト８３をマスクとして、絶縁膜５４や絶縁層５３、絶縁膜５２、並びにエミッタ電極上の保護膜４及び抵抗膜３に対してエッチングを行って、それぞれ、ソース／ドレイン領域５７，５８、ベース電極、コレクタ取り出し領域５１に達する開口（接続孔）を形成する。
【００９７】
次に、図２０に示すように、フォトレジスト８３を除去する。
さらに、下地膜６１・配線層６２・導電性反射防止膜６３の３層を順次形成して、これをパターニングすることにより、図２１に示すように、ＣＭＯＳトランジスタ部３１の配線６４と、バイポーラトランジスタ部３２の配線６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃと、抵抗素子部３３の配線６４Ｒを形成する。
このようにして、図１４に示した構成のＢｉＣＭＯＳ半導体装置を製造することができる。
この後は、必要に応じて層間絶縁層や上層の配線を形成する。
【００９８】
上述の各実施の形態では、ＣＭＯＳトランジスタ部３１とバイポーラトランジスタ部３２を有するＢｉＣＭＯＳ半導体装置に、本発明を適用して薄膜抵抗素子３０を有する抵抗素子部３３を形成した構成であったが、その他の構成の半導体装置においても、本発明を適用することができる。
例えば上述の各実施の形態の構成の他に、容量素子（キャパシタ）やＰＮＰバイポーラトランジスタ等を有していてもよい。
【００９９】
本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【０１００】
【発明の効果】
上述の本発明によれば、薄膜抵抗素子を有する半導体装置の製造において、シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜した後、同一の装置内で連続して抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜し、抵抗膜及び絶縁性保護膜を一括してパターニングすることにより、抵抗膜の表面に自然酸化膜を生じないで抵抗膜を絶縁性保護膜で覆うことができる。
これにより、抵抗膜表面の自然酸化膜を要因とする抵抗値の変動や配線との接触抵抗の増大を回避することができる。
【０１０３】
従って、本発明によれば、薄膜抵抗素子の抵抗値の変動を抑制して、薄膜抵抗素子の抵抗値の精度が高く、かつ信頼性の高い半導体装置を実現することができる。
また、製造コストの大幅な増大を招くことなく、かつ複雑な素子構造や繁雑な製造工程を必要としないので、シリコンサーメット材料から成る薄膜抵抗素子を半導体装置に搭載することが容易になる。
【０１０４】
さらに、絶縁性保護膜を抵抗膜を覆っているシリコン化合物から成る絶縁層に対してエッチング選択性を有する材料としたときには、抵抗素子に配線を接続するコンタクト部を形成する工程において、抵抗膜へのエッチングダメージを回避し、かつ配線を抵抗膜に確実に接続して形成することができる。
これにより、抵抗素子のコンタクト抵抗成分を低く抑えると共にコンタクト抵抗成分のばらつき変動も抑えることが可能となり、薄膜抵抗素子の抵抗値の高精度化をさらに向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の薄膜抵抗素子を有する半導体装置の概略構成図（断面図）である。
【図２】Ａ〜Ｅ 図１の半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図３】Ｆ〜Ｉ 図１の半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図４】Ｊ〜Ｍ 図１の半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図５】本発明の他の実施の形態のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の概略構成図（断面図）である。
【図６】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図７】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図８】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図９】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１０】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１１】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１２】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１３】図５のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１４】本発明のさらに他の実施の形態のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の概略構成図（断面図）である。
【図１５】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１６】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１７】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１８】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図１９】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図２０】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図２１】図１４のＢｉＣＭＯＳ半導体装置の製造工程を示す工程図である。
【図２２】シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【図２３】Ａ、Ｂ シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【図２４】シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【図２５】シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【図２６】シリコンサーメット材料を用いた薄膜抵抗素子の概略構成図（断面図）である。
【符号の説明】
１ 基板、２，５，５３ 絶縁層、３ 抵抗膜、４ 絶縁性の保護膜、６ 下地膜、７ 配線層、１０，３０ 薄膜抵抗素子、１１，６４，６４Ｂ，６４Ｅ，６４Ｃ，６４Ｒ 配線、２１，２４，８１，８２，８３，８４ フォトレジスト、３１ ＣＭＯＳトランジスタ部、３２ バイポーラトランジスタ部、３３ 抵抗素子部、５２，５４ 絶縁膜
Claims (2)
- 薄膜抵抗素子を有して成る半導体装置を製造する方法であって、
シリコンサーメット材料から成る抵抗膜を成膜する工程と、
上記抵抗膜を形成する工程と同一の装置内で、連続して上記抵抗膜上に絶縁性保護膜を成膜する工程と、
上記抵抗膜及び上記絶縁性保護膜を一括してパターニングして、上記抵抗膜及び上記絶縁性保護膜の積層膜から成る上記薄膜抵抗素子を形成する工程と、
上記薄膜抵抗素子を覆って絶縁層を形成する工程とを有し、
上記シリコンサーメット材料は、シリコン及び１種類以上の金属元素に、酸素、窒素、炭素から選ばれる少なくとも１種類の元素を含む組成から成る
半導体装置の製造方法。 - 上記絶縁性保護膜が、上記抵抗膜及び上記絶縁層に対して、エッチングに対する選択性を有している請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
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