JP2016164991A5 - 複層ワイヤ - Google Patents

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  1. Cu合金ワイヤと、前記Cu合金ワイヤの表面に形成されたPd被覆層とを含む、ボンディングワイヤを形成するための複層ワイヤであって、
    前記Cu合金ワイヤの直径が0.3mm以上1.4mm以下であり、
    前記Pd被覆層の厚さが1μm以上15μm以下であり、
    前記複層ワイヤがInを含み、複層ワイヤ全体に対するInの濃度が0.011質量%以上1.2質量%以下である、複層ワイヤ。
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