JP2016145823A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 上面に測定対象物を載置する載置エリアを有する定盤と、
   前記載置エリアの上方側で測定プローブを支持し、かつ、前記載置エリアを跨いでＹ軸方向に移動自在に配置されるＹキャリッジと、
   前記定盤に設けられ、前記定盤に対する前記Ｙキャリッジの前記Ｙ軸方向の位置を示すスケールと、
   前記Ｙキャリッジに設けられ、前記Ｙキャリッジを前記Ｙ軸方向に移動する駆動機構と、を有し、
   前記スケールは前記載置エリアと前記駆動機構との間に位置する三次元座標測定装置。
2. 前記スケールは、前記定盤の定盤面に垂直な側面部に設置されている請求項１に記載の三次元座標測定装置。
3. 前記定盤は、前記Ｙ軸方向に沿った第１の側面を有し、
   前記Ｙキャリッジは、前記載置エリアを跨いでＹ軸方向に移動自在に配置される二つの支柱部材であって、前記第１の側面側に配置され且つ前記駆動機構を有する第１の支柱部材と、前記第１の支柱部材に追従移動する第２の支柱部材とを含む二つの支柱部材を有し、
   前記定盤の前記上面の中で前記載置エリアよりも前記第１の側面側には、前記Ｙ軸方向に沿って溝が形成され、
   前記第１の支柱部材は、前記第１の側面及び前記溝の内面に摺動可能に配置される支持部により前記定盤に支持され、
   前記スケールは、前記溝の内面にＹ軸方向に沿って設置される請求項１又は２に記載の三次元座標測定装置。
4. 前記溝は、互いに対向するＹ軸方向に沿った第２の側面と第３の側面とを有し、前記第２の側面は、前記第３の側面よりも前記第１の側面に近い側に形成され、
   前記支持部は、前記第１の側面及び前記第２の側面の各々に摺動可能に配置され、
   前記スケールは、前記第３の側面に設置される請求項３に記載の三次元座標測定装置。
5. 前記支持部は、前記第１の側面及び前記溝の内面に摺動可能に配置されるエアパッドを介して前記Ｙキャリッジを支持する請求項３又は４に記載の三次元座標測定装置。