JP2019070666A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019070666A5 JP2019070666A5 JP2019002672A JP2019002672A JP2019070666A5 JP 2019070666 A5 JP2019070666 A5 JP 2019070666A5 JP 2019002672 A JP2019002672 A JP 2019002672A JP 2019002672 A JP2019002672 A JP 2019002672A JP 2019070666 A5 JP2019070666 A5 JP 2019070666A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis direction
- support member
- guide
- surface plate
- carriage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 1
Claims (1)
- 測定対象物を載置する定盤と、
前記定盤を跨いで前記定盤のＹ軸方向に移動するＹキャリッジであって、且つＹキャリッジを前記Ｙ軸方向に駆動する駆動機構をもつ第１の支柱部材と、前記第１の支柱部材に追従移動する第２の支柱部材とを有するＹキャリッジと、
前記定盤の前記第１の支柱部材側に設けられ、前記Ｙ軸方向に平行なＹガイドと、
前記第１の支柱部材に設けられ、前記Ｙガイドの両側面を挟み込んで前記第１の支柱部材の前記Ｙ軸方向の移動をガイドする第１の両側面支持部と、
前記Ｙキャリッジに設けられたＸガイドであって、且つ前記第１の支柱部材及び前記第２の支柱部材の上端部に架け渡されてＸ軸方向に延在するＸガイドと、
測定プローブを支持し且つ前記Ｘガイドに沿って前記Ｘ軸方向に移動するＸ軸方向移動機構と、
前記第１の支柱部材側に設けられたスケールであって且つ前記Ｙ軸方向に移動する前記Ｙキャリッジの位置を計測するスケールと、
を備え、
前記Ｘ軸方向移動機構が、前記Ｘガイドの両側面を挟み込んで、前記Ｘ軸方向移動機構の前記Ｘ軸方向の移動をガイドする第２の両側面支持部を有する三次元座標測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020200064A JP7463258B2 (ja) | 2015-01-30 | 2020-12-02 | 三次元座標測定装置 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015016240 | 2015-01-30 | ||
| JP2015016240 | 2015-01-30 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018229028A Division JP2019056713A (ja) | 2015-01-30 | 2018-12-06 | 三次元座標測定装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020200064A Division JP7463258B2 (ja) | 2015-01-30 | 2020-12-02 | 三次元座標測定装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019070666A JP2019070666A (ja) | 2019-05-09 |
| JP2019070666A5 true JP2019070666A5 (ja) | 2019-06-13 |
| JP6880417B2 JP6880417B2 (ja) | 2021-06-02 |
Family
ID=56686301
Family Applications (6)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016015850A Active JP6347260B2 (ja) | 2015-01-30 | 2016-01-29 | 三次元座標測定装置 |
| JP2018074878A Active JP6454953B2 (ja) | 2015-01-30 | 2018-04-09 | 三次元座標測定装置 |
| JP2018207341A Pending JP2019015746A (ja) | 2015-01-30 | 2018-11-02 | 三次元座標測定装置 |
| JP2018229028A Pending JP2019056713A (ja) | 2015-01-30 | 2018-12-06 | 三次元座標測定装置 |
| JP2019002672A Active JP6880417B2 (ja) | 2015-01-30 | 2019-01-10 | 三次元座標測定装置 |
| JP2020200064A Active JP7463258B2 (ja) | 2015-01-30 | 2020-12-02 | 三次元座標測定装置 |
Family Applications Before (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016015850A Active JP6347260B2 (ja) | 2015-01-30 | 2016-01-29 | 三次元座標測定装置 |
| JP2018074878A Active JP6454953B2 (ja) | 2015-01-30 | 2018-04-09 | 三次元座標測定装置 |
| JP2018207341A Pending JP2019015746A (ja) | 2015-01-30 | 2018-11-02 | 三次元座標測定装置 |
| JP2018229028A Pending JP2019056713A (ja) | 2015-01-30 | 2018-12-06 | 三次元座標測定装置 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020200064A Active JP7463258B2 (ja) | 2015-01-30 | 2020-12-02 | 三次元座標測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (6) | JP6347260B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7360790B2 (ja) | 2018-10-23 | 2023-10-13 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3774311A (en) * | 1971-03-01 | 1973-11-27 | Bendix Corp | Carriage and bearing arrangement for a measuring machine |
| JPS61131612U (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-16 | ||
| JPS62235514A (ja) * | 1986-04-07 | 1987-10-15 | Amada Co Ltd | ３次元測定装置の駆動装置 |
| JPS6435310A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Mitutoyo Corp | Multidimensional measuring machine |
| US4815213A (en) * | 1987-10-09 | 1989-03-28 | Brown & Sharpe Manufacturing Co. | Apparatus for temperature compensation of sensing means of a machine |
| GB8908854D0 (en) * | 1989-04-19 | 1989-06-07 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
| US4928396A (en) * | 1989-03-07 | 1990-05-29 | The Warner & Swasey Company | Coordinate measuring machine with improved carriage drive system |
| JP2501989B2 (ja) * | 1991-12-06 | 1996-05-29 | 株式会社ミツトヨ | 測定機 |
| JP2776427B2 (ja) * | 1992-05-14 | 1998-07-16 | 株式会社東京精密 | 座標測定機 |
| JPH07139936A (ja) * | 1993-11-15 | 1995-06-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 座標測定機 |
| JPH09145342A (ja) * | 1995-11-27 | 1997-06-06 | Nikon Corp | 直線案内装置のコードガイド装置 |
| JP3503799B2 (ja) | 1997-08-25 | 2004-03-08 | 日立粉末冶金株式会社 | 斜歯を有する成形体の再圧装置および再圧方法 |
| JPH11190339A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Kyocera Corp | 静圧流体軸受 |
| JP4722400B2 (ja) * | 2004-01-26 | 2011-07-13 | 株式会社ミツトヨ | ガイドレールの支持装置、ガイドレール装置、駆動装置および測定機 |
| DE102005058504B3 (de) * | 2005-12-02 | 2007-05-16 | Zeiss Ind Messtechnik Gmbh | Vorrichtung zum Bestimmen einer Messgröße an einem Messobjekt |
| JP5157503B2 (ja) | 2008-02-12 | 2013-03-06 | 株式会社ニコン | ズームレンズ、これを搭載する光学機器および変倍方法 |
| JP2011135751A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Nikon Corp | 駆動装置および測定装置 |
| JP2012127851A (ja) * | 2010-12-16 | 2012-07-05 | Nikon Corp | ガイド機構および３次元測定機 |
| JP2012220339A (ja) | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Nikon Corp | 形状測定装置、形状測定方法、及びそのプログラム |
| JP5312556B2 (ja) | 2011-11-07 | 2013-10-09 | 京セラ株式会社 | 発光装置および照明装置 |
| JP2014056352A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Canon Inc | 位置決め装置及び計測装置 |
| JP2014130091A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Canon Inc | 測定装置および測定方法 |
| JP2014238376A (ja) * | 2013-06-10 | 2014-12-18 | キヤノン株式会社 | 測定装置 |
| JP6435310B2 (ja) | 2016-12-06 | 2018-12-05 | Kddi株式会社 | 操縦装置、プログラム及び通信方法 |
| JP7139936B2 (ja) | 2018-12-25 | 2022-09-21 | マツダ株式会社 | エンジンの燃焼制御装置 |
-
2016
- 2016-01-29 JP JP2016015850A patent/JP6347260B2/ja active Active
-
2018
- 2018-04-09 JP JP2018074878A patent/JP6454953B2/ja active Active
- 2018-11-02 JP JP2018207341A patent/JP2019015746A/ja active Pending
- 2018-12-06 JP JP2018229028A patent/JP2019056713A/ja active Pending
-
2019
- 2019-01-10 JP JP2019002672A patent/JP6880417B2/ja active Active
-
2020
- 2020-12-02 JP JP2020200064A patent/JP7463258B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105091802B (zh) | 一种基于激光测距传感器的便携式二维随动激光测量装置 | |
| CN102230789B (zh) | 一种高速铁路钢轨平直度测量仪及其测量面定位方法 | |
| US7895764B2 (en) | Measuring instrument | |
| JP5797942B2 (ja) | エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システム | |
| WO2017012444A1 (zh) | 一种用于板材检测的行走装置 | |
| US7127824B2 (en) | Apparatus for detecting the position in space of a carriage moveable along a coordinate axis | |
| CN205748319U (zh) | 一种高精度三坐标测量机 | |
| CN205561759U (zh) | 一种非接触式三坐标测量机 | |
| CN204027548U (zh) | 一种准确测量轴类零件表面粗糙度的装置 | |
| JP2019070666A5 (ja) | ||
| CN207636024U (zh) | 一种三坐标测量仪 | |
| CN203464915U (zh) | 三坐标测量机 | |
| CN105737781B (zh) | 细长薄壁类工件专用三维测量设备 | |
| CN204128499U (zh) | 多功能三坐标测量机 | |
| CN102794757A (zh) | 船模三座标划线装置 | |
| CN102645190A (zh) | 用于测量异形件的三坐标测量仪 | |
| JP2018124288A5 (ja) | ||
| JP2012242193A (ja) | 外側寸法測定機 | |
| CN105136253A (zh) | 磁致伸缩液位计检测装置 | |
| CN105021112A (zh) | 一种高稳定性深度测量工具 | |
| CN202599378U (zh) | 用于测量异形件的三坐标测量仪 | |
| CN211425348U (zh) | 一种电池盒长度测量仪 | |
| CN205748320U (zh) | 细长薄壁类工件专用三维测量设备 | |
| CN204881520U (zh) | 高精度三坐标测量仪 | |
| JP2015068676A (ja) | すり板測定装置及びすり板測定方法 |