JP2016133452A - エンコーダ - Google Patents
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Abstract
Description
測定方向の原点位置を検出するための原点検出用パターンと前記測定方向の変位を検出するための変位検出パターンとが形成されたスケールと、
前記原点検出用パターンの検出結果である原点検出信号及び位相補償信号と、前記変位検出パターンの検出結果である変位検出信号と、を出力する検出ヘッドと、
前記位相補償信号及び前記原点検出信号の一方又は両方を増幅して加算することで原点信号を生成し、前記原点信号と前記変位検出信号とに基づいて、前記スケールに対する前記検出ヘッドの位置を検出する信号処理部と、を備え、
前記検出ヘッドは、
前記スケールに光を照射する光源と、
前記原点検出用パターンからの光を透過させる原点検出用受光格子と、前記原点検出用パターンからの光を透過させる前記原点検出用受光格子に対して前記測定方向にシフトして配置された位相補償用受光格子と、を有する複合受光格子と、
前記原点検出用受光格子を透過した光を光電変換して前記原点検出信号を出力する原点検出用受光素子と、前記位相補償用受光格子を透過した光を光電変換して前記位相補償信号を出力する位相補償用受光素子と、を有する複合受光素子と、を備えるものである。
前記位相補償用受光格子を構成する格子の前記測定方向の幅は、前記原点検出用受光格子を構成する格子の前記測定方向の幅と同じ所定の幅であり、
前記位相補償用受光格子を構成する前記格子は、前記原点検出用受光格子を構成する前記格子に対して、前記測定方向に前記所定の幅の1/2だけシフトして配置されるものである。
前記原点検出用受光格子を構成する格子は、前記測定方向に複数個並んで配置され、
前記位相補償用受光格子は、前記原点検出用受光格子を構成する複数の前記格子のそれぞれに対応する複数の格子が、前記測定方向にシフトして配置されるものである。
前記位相補償用受光格子は、前記原点検出用受光格子に対して、前記スケールの前記原点検出用受光格子及び前記位相補償用受光格子が形成される面に平行かつ前記測定方向に垂直な方向に離れて配置されるものである。
前記信号処理部は、前記位相補償信号の振幅値を−1倍から1倍の範囲で増幅する増幅器と、
増幅後の前記位相補償信号と前記原点信号とを加算した信号を前記原点信号として出力する加算器と、を備えるものである。
前記光源は、前記スケールに平行光を照射するものである。
前記複合受光格子には、前記光源から出射され、かつ、前記スケールを透過した光が入射するものである。
前記複合受光格子には、前記光源から出射され、かつ、前記スケールで反射された光が入射するものである。
前記複合受光格子は、前記変位検出パターンからの光を透過させる変位検出用受光格子を更に有し、
前記複合受光素子は、前記変位検出用受光格子を透過した光を光電変換して前記変位検出信号を出力する変位検出用受光素子を更に有するものである。
本発明の実施の形態1にかかる光学式エンコーダについて説明する。図1は、実施の形態に1かかる光学式エンコーダ100の概略構成を示す斜視図である。図1に示すように、光学式エンコーダ100は、スケール1、検出ヘッド2及び信号処理部3を有する。スケール1と検出ヘッド2とは、スケール1の長手方向である測定方向(図1のX軸方向)に沿って相対的に移動が可能なように構成される。スケール1は、位置検出に用いるパターンが設けられ、パターンに光が照射されることで干渉光が生じる。検出ヘッド2は、干渉光の測定方向の変化を検出し、検出結果を示す電気信号を信号処理部3に出力する。信号処理部3は、受け取った電気信号を信号処理することで、スケール1と検出ヘッド2との間の位置関係を検出することができる。
続いて、機械的なミスアライメントに起因する光学的なずれについて、比較例を提示して説明する。ここでは、光学式エンコーダにおいて、平行光の伝搬方向(上述のZ軸)を回転軸とする回転ずれ(ミスアライメント)が生じた場合について説明する。
また、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、上述の実施の形態では、上述の実施の形態では、本発明の光学式エンコーダはリニアエンコーダであるものとして説明したが、これは例示である。つまり、本発明は、ロータリーエンコーダとして構成してもよい。
2、8 検出ヘッド
3、9 信号処理部
4 光源
5、81 複合受光格子
6、82 複合受光素子
11 変位検出用パターン
11A、42A、51A、52A、53A 光透過部
11B、42B、51B、52B、53B 不透過部
12、13 原点検出用パターン
31 原点信号生成部
32 変位検出信号処理部
33 位置検出部
41 光源素子
42 光源格子
51 変位検出用受光格子
52、54 原点検出用受光格子
53 位相補償用受光格子
61 変位検出用受光素子
62、64 原点検出用受光素子
63 位相補償用受光素子
100、200 光学式エンコーダ
311 増幅器
312 加算器
S1 原点検出信号
S2 位相補償信号
Sm 変位検出信号
S10、Sorig 原点信号
Claims (9)
- 測定方向の原点位置を検出するための原点検出用パターンと前記測定方向の変位を検出するための変位検出パターンとが形成されたスケールと、
前記原点検出用パターンの検出結果である原点検出信号及び位相補償信号と、前記変位検出パターンの検出結果である変位検出信号と、を出力する検出ヘッドと、
前記位相補償信号及び前記原点検出信号の一方又は両方を増幅して加算することで原点信号を生成し、前記原点信号と前記変位検出信号とに基づいて、前記スケールに対する前記検出ヘッドの位置を検出する信号処理部と、を備え、
前記検出ヘッドは、
前記スケールに光を照射する光源と、
前記原点検出用パターンからの光を透過させる原点検出用受光格子と、前記原点検出用パターンからの光を透過させる前記原点検出用受光格子に対して前記測定方向にシフトして配置された位相補償用受光格子と、を有する複合受光格子と、
前記原点検出用受光格子を透過した光を光電変換して前記原点検出信号を出力する原点検出用受光素子と、前記位相補償用受光格子を透過した光を光電変換して前記位相補償信号を出力する位相補償用受光素子と、を有する複合受光素子と、を備える、
エンコーダ。 - 前記位相補償用受光格子を構成する格子の前記測定方向の幅は、前記原点検出用受光格子を構成する格子の前記測定方向の幅と同じ所定の幅であり、
前記位相補償用受光格子を構成する前記格子は、前記原点検出用受光格子を構成する前記格子に対して、前記測定方向に前記所定の幅の1/2だけシフトして配置される、
請求項1に記載のエンコーダ。 - 前記原点検出用受光格子を構成する格子は、前記測定方向に複数個並んで配置され、
前記位相補償用受光格子は、前記原点検出用受光格子を構成する複数の前記格子のそれぞれに対応する複数の格子が、前記測定方向にシフトして配置される、
請求項1又は2に記載のエンコーダ。 - 前記位相補償用受光格子は、前記原点検出用受光格子に対して、前記スケールの前記原点検出用受光格子及び前記位相補償用受光格子が形成される面に平行かつ前記測定方向に垂直な方向に離れて配置される、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記信号処理部は、前記位相補償信号の振幅値を−1倍から1倍の範囲で増幅する増幅器と、
増幅後の前記位相補償信号と前記原点信号とを加算した信号を前記原点信号として出力する加算器と、を備える、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記光源は、前記スケールに平行光を照射する、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記複合受光格子には、前記光源から出射され、かつ、前記スケールを透過した光が入射する、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記複合受光格子には、前記光源から出射され、かつ、前記スケールで反射された光が入射する、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載のエンコーダ。 - 前記複合受光格子は、前記変位検出パターンからの光を透過させる変位検出用受光格子を更に有し、
前記複合受光素子は、前記変位検出用受光格子を透過した光を光電変換して前記変位検出信号を出力する変位検出用受光素子を更に有する、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載のエンコーダ。
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