JP2007304097A - 光学エンコーダ - Google Patents
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Abstract
本発明は、少なくとも1つの測定方向に互いに相対移動する2つの物体の位置を検出する光学エンコーダに関する。
【解決手段】
これに対してこのエンコーダは、スケール本体及び走査装置を有する。スケール本体は、両物体のうちの一方の物体に接合されている。このスケール本体は、測定方向に延在するインクリメンタル目盛及び基準位置に対する少なくとも1つの基準マークを有する。この場合、この基準マークは、場所で変化する目盛周期を有する構造から成る。さらにこのエンコーダは、走査装置を有する。この走査装置は、基準位置に対する少なくとも1つの基準信号を生成するために使用される。基準マークは、インクリメンタル目盛の目盛周期の範囲内の平均目盛周期を有する。
【選択図】 図2
Description
0.5*TP INC ≦TPREF,m ≦1.5*TPINC ,
TPINC :=インクリメンタル目盛の目盛周期
TPREF,m :基準マークの平均目盛周期
好適な実施形では、基準マークの目盛周期の周波数の平均スペクトル幅は、以下のように選択されている:
Δf REF =0.6*f INC ,
fREF :=1/TPREF
fINC :=1/TPINC
さらに処理可能で移相しているさらに多数の部分基準信号が生成可能であるように、走査手段が構成され得る。
光源21、例えばレーザーダイオードから放出されたビーム束が、最初に視準光学系22によって平行なビーム路を有するビーム束に変換される。次いでコリメートされたビーム束又はその少なくとも一部が、走査板の上面23上の回折格子23.1と走査板の下面24上の窓領域24.11とを偏向されずに通過した後に領域B1内でスケール本体10のインクリメンタル目盛11上に最初に当たる。+1次の回折方向及び−1次の回折方向への回折が、この領域B1内で起こる。これらの回折は、走査装置20の方向に再び反射される。走査装置20内では、反射した部分ビーム束が、湾曲された格子線を有する透過性の走査格子24.7,24.9上に到達する。これらの走査格子24.7,24.9は、走査板の下面24上に配置されている。図1中では、上面23及び下面24上に配置された光学要素を有するこの上面23及び下面24だけが、走査板によって概略的に示されている。それぞれの透過する部分ビーム束が、走査格子24.7,24.9によって測定方向xに見て光学軸線に対して平行にz方向に沿って指向つまり偏向される;透過した部分ビーム束が、z方向に対して垂直に、すなわちy方向に焦点合わせされる。
以下で説明するように、基準信号を生成する走査ビーム路は、この例ではインクリメンタル信号を生成する走査ビーム路に原理的に一致して延在する。この例では、3つの生成された部分基準信号を適切に説明する必要がある。このとき、これらの部分基準信号は、適切な信号処理電子装置によって実際に希望する基準信号にさらに処理される;以下で、ます簡単のためにこの基準信号だけによって説明する。
ΔfREF =0.6*fINC (式1)
fREF :=1/TPREF
fINC :=1/TPINC
このことは、換言すれば、チャープ基準マークの平均目盛周期TPREF,m が基準マークの幅に関係なく選択され得、これによって好ましくはインクリメンタル目盛の目盛周期の範囲内にもあり得ることを意味する。
0.5*TPINC ≦TPREF,m ≦1.5*TPINC (式2)
TPINC :=インクリメンタル目盛の目盛周期
TPREF,m :=基準マークの平均目盛周期
図5a及び5b中には、本発明の基準マーク(図5b)及び従来の基準マーク(図5a)に対するチャープ基準マークの目盛周波数fREF のスペクトルが示されている。
11 インクリメンタル目盛
13 目盛キャリヤ
20 走査装置
21 光源
22 視準光学系
23 走査板の上面
24 走査板の下面
25 検出器要素
35 比較器要素
Claims (9)
- 少なくとも1つの測定方向(x)に互いに相対移動する2つの物体の位置を検出する光学エンコーダが、スケール本体及び走査装置を有し、スケール本体は、両物体のうちの一方の物体に接合されていて、このスケール本体は、測定方向(x)に延在するインクリメンタル目盛(11)及び基準位置(xREF )に対する少なくとも1つの基準マーク(12.1,12.3)を有し、この場合、この基準マーク(12.1,12.3)は、場所で変化する目盛周期(TPREF )を有する構造から成り、走査装置(20)は、両物体のうちの他方の物体に接合されていてかつ走査手段を有し、この走査装置は、基準位置(xREF )に対する少なくとも1つの基準信号(REF)を生成するために使用される光学エンコーダにおいて、
基準マーク(12.1,12.3)は、インクリメンタル目盛(11)の目盛周期(TPINC )の範囲内の平均目盛周期(TPREF,m )を有することを特徴とする光学エンコーダ。 - 基準マークの平均目盛周期(TPREF,m )は、以下の範囲に選択されることを特徴とする請求項1に記載の光学エンコーダ:
0.5*TP INC ≦TPREF,m ≦1.5*TPINC ,
TPINC :=インクリメンタル目盛の目盛周期
TPREF,m :基準マークの平均目盛周期 - 基準マーク(12.1,12.2)の目盛周期(TPREF )の周波数(ΔfREF )の平均スペクトル幅は、以下のように選択されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学エンコーダ:
Δf REF =0.6*f INC ,
fREF :=1/TPREF
fINC :=1/TPINC - 多数の処理可能な移相している部分基準信号(REF1,REF2,REF3)が生成可能であるように、走査手段が構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学エンコーダ。
- それぞれ360 °/Nだけ互いに移相しているN個の部分基準信号(REF1,REF2,REF3)を生成することが可能であり、この場合、N=3又はN=4に選択されていることを特徴とする請求項4に記載の光学エンコーダ。
- 基準位置(xREF )の特定の基準信号(REF)を部分基準信号(REF1,REF2,REF3)から生成するため、信号処理電子装置が、走査手段に後続配置されていることを特徴とする請求項4に記載の光学エンコーダ。
- 最大基準信号(REFmax )及び最小基準信号(REFmin )が、部分基準信号(REF1,REF2,REF3)から生成可能であり、これらの信号が差で比較可能であるように、信号処理電子装置が構成されていて、その結果、基準信号(REF)が、基準位置(xREF )で生じることを特徴とする請求項6に記載の光学エンコーダ。
- 基準信号(REF)を生成する走査ビーム路が、インクリメンタル信号を生成する走査ビーム路に基本的に一致して延在し、この場合、基準信号(REF)をスケール本体(10)上に生成するため、ここでは基準マーク(12.1,12.2)が、この場合、
場所で変化する目盛周期を有する構造から配置されていて、この目盛周期(TPREF )は、測定方向(x)の部分ビーム束に対する異なる偏向作用を有し、
インクリメンタル信号を生成するため、一定な目盛周期(TPREF )を有する測定方向(x)に周期的なインクリメンタル目盛(11)が、スケール本体(10)上に配置されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学エンコーダ。 - スケール本体(10)で回折された部分ビーム束が偏向して、これらの部分ビーム束が分離するように、このスケール本体(10)は構成されていることを特徴とする請求項8に記載の光学エンコーダ。
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