JP2005526951A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. Ａ．スケールと、
   Ｂ．センサヘッドと、
   Ｃ．前記スケールと前記センサヘッドとの間に配設されたマスクと
   を備える光学式エンコーダであって、
   前記スケールは、光学的格子と光学的要素とを含み、
   前記センサヘッドは、光源と、検出器アレイとを含み、これらの双方は基板上に配設され、
   前記スケールは、前記センサヘッドに対向して配設され、且つ前記センサヘッドに対し相対移動するために配設され、
   前記スケールと該スケールに最近接のタルボット像形成平面との間の距離は、ｄに等しく、
   前記センサヘッドは、第１の平面と第２の平面によって制限される領域内に配設され、
   前記第１の平面は、ｎ×ｄ＋ｄ×ｘにほぼ等しい距離だけ前記スケールから離され、
   前記第２の平面は、ｎ×ｄ−ｄ×ｘにほぼ等しい距離だけ前記スケールから離され、ｎは整数であり、ｘは１／２以下であり、
   前記光源は、発散性の光ビームを放射し、この発散性の光ビームは、前記スケールに指向され、
   前記発散性の光ビームからの光は、前記格子によって回折されて前記検出器アレイに向かい、
   前記マスクは、開口を規定し、
   前記マスクは、前記センサヘッドに対してほぼ固定的な状態を維持し、
   前記開口は、前記格子から回折された５次ビームが前記検出器アレイに到達することをほぼ防止するようにサイズおよび位置が決定されたものであることを特徴とする光学式エンコーダ。
2. 前記基板は、トレンチを規定し、前記光源及び前記検出器アレイの少なくとも１つは、前記トレンチ内に配設されている請求項１に記載のエンコーダ。
3. 前記基板上に配設されたスペーサを更に備え、前記光源及び前記検出器アレイの少なくとも１つは、前記スペーサ上に配設されている請求項１に記載のエンコーダ。
4. 前記インデックス検出器は、中央光検出器と、左光検出器と、右光検出器とを含む請求項１に記載のエンコーダ。
5. ｘは０．２以下である請求項１に記載のエンコーダ。
6. ｘは０．１以下である請求項１に記載のエンコーダ。
7. 第１の信号を発生するための処理回路を更に備え、前記第１の信号は、前記中央光検出器によって発生された出力信号の２倍から前記左および右光検出器によって発生された出力信号の合計を引いた差を表している請求項４に記載のエンコーダ。
8. 前記処理回路はまた、第２の信号を発生し、この第２の信号は、前記第１の信号の−１倍を表している請求項７に記載のエンコーダ。
9. 前記処理回路はまた、インデックス信号を発生し、このインデックス信号は、前記第１の信号が前記第２の信号にオフセット値を加算したものよりも大きいときに、第１の値に等しく、そうでない場合、前記第１の信号は、第２の値に等しい請求項８に記載のエンコーダ。
10. 前記中央光検出器は、１よりも多い光検出器からなる請求項４に記載のエンコーダ。