JP2016114379A - センサーデバイス、電子機器及び移動体 - Google Patents
センサーデバイス、電子機器及び移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016114379A JP2016114379A JP2014250942A JP2014250942A JP2016114379A JP 2016114379 A JP2016114379 A JP 2016114379A JP 2014250942 A JP2014250942 A JP 2014250942A JP 2014250942 A JP2014250942 A JP 2014250942A JP 2016114379 A JP2016114379 A JP 2016114379A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- unit
- sensor device
- physical quantity
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D21/00—Measuring or testing not otherwise provided for
- G01D21/02—Measuring two or more variables by means not covered by a single other subclass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
本適用例に係るセンサーデバイスは、第1物理量センサーと、前記第1物理量センサーを駆動周波数で駆動する駆動信号を生成する駆動部と、第2物理量センサーと、前記第2物理量センサーからの信号と、前記駆動周波数のn倍(nは1以上の整数)の周波数である基準信号と、に基づいて、出力信号を生成する出力部と、を備える、センサーデバイスである。
上述のセンサーデバイスにおいて、前記基準信号は、前記駆動部からの信号であっても
よい。
上述のセンサーデバイスにおいて、前記駆動部からの信号が入力され、前記駆動周波数を含む第1帯域を通過させ、前記第1帯域よりも高い第2帯域を減衰させるフィルター特性を有するフィルター部を備え、前記基準信号は、前記フィルター部からの信号であってもよい。
上述のセンサーデバイスにおいて、前記駆動部からの信号が入力される波形整形部を備え、前記基準信号は、前記波形整形部からの信号であってもよい。
上述のセンサーデバイスにおいて、前記駆動部からの信号の振幅を小さくするレベルシフト部を備え、前記基準信号は、前記レベルシフト部からの信号であってもよい。
本適用例に係る電子機器は、上述のいずれかのセンサーデバイスを含む、電子機器である。
本適用例に係る移動体は、上述のいずれかのセンサーデバイスを含む、移動体である。
1−1.第1実施形態
図1は、第1実施形態に係るセンサーデバイス1の回路図である。
図3は、第2実施形態に係るセンサーデバイス1aの回路図である。第1実施形態に係るセンサーデバイス1と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
1及びフィルター部32を介して、第2物理量センサー20及び出力部21に入力される。フィルター部32は、駆動周波数fdを含む第1帯域を通過させるローパスフィルターであってもよい。フィルター部32は、駆動周波数fdを含む第1帯域を通過させるバンドパスフィルターであってもよい。
図4は、第3実施形態に係るセンサーデバイス1bの回路図である。第2実施形態に係るセンサーデバイス1aと同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
を低減できるセンサーデバイス1bを実現できる。
図5は、第4実施形態に係るセンサーデバイス1cの回路図である。第3実施形態に係るセンサーデバイス1bと同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
図6は、第5実施形態における第2物理量センサー20a及び出力部21aの回路図である。上述の第1実施形態に係るセンサーデバイス1、第2実施形態に係るセンサーデバ
イス1a、第3実施形態に係るセンサーデバイス1b及び第4実施形態に係るセンサーデバイス1cのいずれかにおいて、第2物理量センサー20に代えて第2物理量センサー20aを採用し、出力部21に代えて出力部21aを採用することができる。
上述の第1〜5実施形態では、n=1である場合、すなわち、駆動周波数fdと基準信号の周波数fclkとが等しい場合について示したが、各実施形態において、駆動部11からの信号の周波数fdをn倍して出力する逓倍回路を設けてもよい。例として、第1実施形態において、逓倍回路を設けた形態について、図7を用いて以下に説明する。
本発明における物理量センサーとしては、例えば、様々な静電容量型の物理量センサー及び抵抗変化型(ピエゾ抵抗型)の物理量センサーを採用することができる。例えば、可動錘部の移動により静電容量の変化を検出する物理量センサーを採用することができる。また例えば、ジャイロセンサー、シリコンダイヤフラム型の圧力センサー等を採用することができる。また例えば、キャビティ(中空室)の空気圧によってシリコンダイヤフラムを変形させ、その変形による静電容量の変化(あるいはピエゾ抵抗の抵抗値の変化等)を検出する圧力センサーを採用することができる。
図8は、本実施形態に係る電子機器300の機能ブロック図である。なお、上述された各実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
デバイス1bまたセンサーデバイス1cを含んで構成されている場合にも同様の効果を奏する。
図10は、本実施形態に係る移動体400の一例を示す図(上面図)である。なお、上述された各実施形態と同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
Claims (7)
- 第1物理量センサーと、
前記第1物理量センサーを駆動周波数で駆動する駆動信号を生成する駆動部と、
第2物理量センサーと、
前記第2物理量センサーからの信号と、前記駆動周波数のn倍(nは1以上の整数)の周波数である基準信号と、に基づいて、出力信号を生成する出力部と、
を備える、センサーデバイス。 - 請求項1に記載のセンサーデバイスにおいて、
前記基準信号は、前記駆動部からの信号である、センサーデバイス。 - 請求項2に記載のセンサーデバイスにおいて、
前記駆動部からの信号が入力され、前記駆動周波数を含む第1帯域を通過させ、前記第1帯域よりも高い第2帯域を減衰させるフィルター特性を有するフィルター部を備え、
前記基準信号は、前記フィルター部からの信号である、センサーデバイス。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のセンサーデバイスにおいて、
前記駆動部からの信号が入力される波形整形部を備え、
前記基準信号は、前記波形整形部からの信号である、センサーデバイス。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のセンサーデバイスにおいて、
前記駆動部からの信号の振幅を小さくするレベルシフト部を備え、
前記基準信号は、前記レベルシフト部からの信号である、センサーデバイス。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のセンサーデバイスを含む、電子機器。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のセンサーデバイスを含む、移動体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014250942A JP6547934B2 (ja) | 2014-12-11 | 2014-12-11 | センサーデバイス、電子機器及び移動体 |
US14/956,732 US10048072B2 (en) | 2014-12-11 | 2015-12-02 | Sensor device, electronic apparatus, and moving object |
CN201510904277.1A CN105698847A (zh) | 2014-12-11 | 2015-12-09 | 传感器装置、电子设备以及移动体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014250942A JP6547934B2 (ja) | 2014-12-11 | 2014-12-11 | センサーデバイス、電子機器及び移動体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016114379A true JP2016114379A (ja) | 2016-06-23 |
JP2016114379A5 JP2016114379A5 (ja) | 2018-01-25 |
JP6547934B2 JP6547934B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=56110858
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014250942A Active JP6547934B2 (ja) | 2014-12-11 | 2014-12-11 | センサーデバイス、電子機器及び移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10048072B2 (ja) |
JP (1) | JP6547934B2 (ja) |
CN (1) | CN105698847A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6492739B2 (ja) | 2015-02-20 | 2019-04-03 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
JP6586735B2 (ja) * | 2015-02-20 | 2019-10-09 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 |
IT202100008045A1 (it) | 2021-03-31 | 2022-10-01 | St Microelectronics Srl | Sensore, in particolare sensore mems, per la generazione di un segnale digitale di uscita, accoppiabile ad una pluralita' di sensori in un apparecchio elettronico |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008261685A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2009264974A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Panasonic Corp | 慣性力センサ装置およびその起動制御方法 |
US20140251009A1 (en) * | 2013-03-08 | 2014-09-11 | Freescale Semiconductor, Inc. | System and method for reducing offset variation in multifunction sensor devices |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5992233A (en) * | 1996-05-31 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of California | Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope |
JP2001077989A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-03-23 | Canon Inc | 画像形成装置、方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP3435665B2 (ja) | 2000-06-23 | 2003-08-11 | 株式会社村田製作所 | 複合センサ素子およびその製造方法 |
JP2005249646A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ用音叉型振動子、この振動子を用いた角速度センサ及びこの角速度センサを用いた自動車 |
JP2009162645A (ja) * | 2008-01-08 | 2009-07-23 | Panasonic Corp | 慣性速度センサ信号処理回路およびそれを備える慣性速度センサ装置 |
JP5161706B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2013-03-13 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及びその制御方法 |
JP2010217170A (ja) | 2009-02-17 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | 複合センサー、電子機器 |
WO2010150736A1 (ja) * | 2009-06-26 | 2010-12-29 | ローム株式会社 | 角速度センサと、それに用いられる同期検波回路 |
JP5649810B2 (ja) * | 2009-10-29 | 2015-01-07 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 静電容量式センサ |
JP2011128132A (ja) | 2009-11-19 | 2011-06-30 | Seiko Epson Corp | 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、および電子機器 |
JP5924109B2 (ja) | 2012-05-11 | 2016-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | センサーユニット、運動解析装置 |
-
2014
- 2014-12-11 JP JP2014250942A patent/JP6547934B2/ja active Active
-
2015
- 2015-12-02 US US14/956,732 patent/US10048072B2/en active Active
- 2015-12-09 CN CN201510904277.1A patent/CN105698847A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008261685A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JP2009264974A (ja) * | 2008-04-25 | 2009-11-12 | Panasonic Corp | 慣性力センサ装置およびその起動制御方法 |
US20140251009A1 (en) * | 2013-03-08 | 2014-09-11 | Freescale Semiconductor, Inc. | System and method for reducing offset variation in multifunction sensor devices |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6547934B2 (ja) | 2019-07-24 |
CN105698847A (zh) | 2016-06-22 |
US10048072B2 (en) | 2018-08-14 |
US20160169675A1 (en) | 2016-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10302431B2 (en) | Physical quantity detection circuit, electronic device, and moving object | |
US10520316B2 (en) | Circuit for physical quantity detection device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object | |
JP2016189515A (ja) | 回路装置、電子機器及び移動体 | |
JP2016178601A (ja) | データ処理回路、物理量検出用回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
JP6547934B2 (ja) | センサーデバイス、電子機器及び移動体 | |
JP6311871B2 (ja) | 物理量検出用回路、物理量検出装置、物理量計測システム、電子機器、移動体及び物理量計測データ生成方法 | |
JP2021185356A (ja) | 物理量検出回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
JP2018205007A (ja) | 回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体 | |
JP2017050664A (ja) | アナログ基準電圧生成回路、回路装置、物理量センサー、電子機器及び移動体 | |
US10302672B2 (en) | Angular velocity detection circuit, angular velocity detection device, electronic apparatus, and moving object | |
US10309783B2 (en) | Physical quantity detection system, electronic apparatus, and moving object | |
US20170254645A1 (en) | Angular velocity detection circuit, angular velocity detection device, electronic apparatus, and moving object | |
US20170254644A1 (en) | Drive circuit, angular velocity detection device, electronic apparatus, and moving object | |
JP2021185357A (ja) | 物理量検出回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
JP2016173292A (ja) | 駆動回路、振動デバイス、電子機器及び移動体 | |
JP6521236B2 (ja) | 物理量処理回路、物理量処理装置、電子機器及び移動体 | |
JP6671151B2 (ja) | 物理量検出回路、電子機器および移動体 | |
JP2015198339A (ja) | 発振回路、発振器、電子機器、移動体及び発振器の制御方法 | |
JP2016099208A (ja) | ジャイロセンサー、電子機器および移動体 | |
JP6268726B2 (ja) | 温度補正回路、物理量検出装置、電子機器及び移動体 | |
JP2016161451A (ja) | ジャイロセンサー、電子機器、移動体およびジャイロセンサーの製造方法 | |
JP2016099206A (ja) | ジャイロセンサー、電子機器および移動体 | |
US20160028389A1 (en) | Signal output circuit, electronic device and moving object | |
JP2019039833A (ja) | 角速度検出回路、角速度検出装置、慣性計測装置、センサーモジュール、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器及び移動体 | |
US20150280683A1 (en) | Phase shift circuit, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171206 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190529 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6547934 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |