JP2016114379A5 - - Google Patents

Description

第１の例として放射ノイズが発生する場合、駆動周波数ｆｄのノイズ成分は、検出部２１１に入力される第２物理量センサー２０からの微弱な信号に重畳する。そして、駆動周波数ｆｄのノイズ成分を含んだ信号が、増幅回路２１１１で増幅され、基準信号の周波数ｆｃｌｋに基づいて同期検波回路２１１２で同期検波される。

第２の例として電源ノイズが発生する場合、駆動部１１が電源から大きな電流変化を伴って動作しているため、駆動部１１と共通の電源に接続されている増幅回路２１１１における増幅率が変化し、駆動周波数ｆｄのノイズ成分が、増幅回路２１１１の出力信号に重畳される。そして、駆動周波数ｆｄのノイズ成分を含んだ増幅回路２１１１の出力信号が、基準信号の周波数ｆｃｌｋに基づいて同期検波回路２１１２で同期検波される。

また、図４に示される例は、検出部１２１及びＡ／Ｄ変換部１２２に対し、駆動部１１からの信号が直接入力される形態であるが、波形整形部３３からの信号を検出部１２１及びＡ／Ｄ変換部１２２に入力する構成としてもよい。これにより、波形整形部３３によって波形が整形された基準信号を生成することができるので、第１物理量センサー１０に接続された出力部１２及び第２物理量センサー２０に接続された出力部２１の両方ついて、誤動作のリスクを低減できるセンサーデバイス１ｂを実現できる。

本実施形態においては、バッファーアンプ３１を省略してもよい。すなわち、駆動部１１ａからの信号が、少なくとも逓倍回路３５を介して、第２物理量センサー２０及び出力部２１に入力される構成とすれば、上述の効果を奏するセンサーデバイス１ｄを実現できる。

また、本実施形態において、逓倍回路３５からの信号を、バッファーアンプ３１だけでなく、第４実施形態で詳述したフィルター部３２、波形整形部３３、及びレベルシフト部３４を介して、第２物理量センサー２０及び出力部２１に入力されるようにしてもよい。また、別な例として、フィルター部３２、波形整形部３３、及びレベルシフト部３４のいずれか１つ又は２つを選択して、バッファーアンプ３１の後段又は前段に設けてもよい。