JP2016111229A - 離間装置および離間方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の離間装置において、前記片状体の相互間隔を測定する測定手段を備え、前記回転体は、前記駆動手段によってそれぞれ個別に駆動可能とされ、前記当接手段は、前記測定手段の測定結果を基に、前記接着シートに対して部位別に張力を付与可能に設けられていることが好ましい。
また、挟込手段を備えることで、回転体の張力を確実に接着シートに付与することができ、片状体の相互間隔をさらに極力均一に広げることができる。
さらに、測定手段の測定結果を基にして接着シートの部位別に張力を付与可能なため、片状体の相互間隔が部位によって不均一であったとしてもそれを解消することができる。
なお、本実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって図1中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、図1中実線で示すように、各部材が初期位置で待機する離間装置10に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物WKを搬送し、図2(A)に示すように、リングフレームRFを支持部材21の溝21Aに挿通させて退避する。このとき、光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段と、一体物WKを移動可能な図示しない位置決め手段とが共動し、ウエハWFとフレーム32との位置決めを行う。
保持手段20は、リングフレームRFを介することなく、ウエハWFに貼付された接着シートASを直接支持してもよい。
保持手段20が接着シートASを支持する箇所は、1箇所でもよいし、3箇所以上でもよい。
当接手段30は、回動モータ34の出力の大きさを変化させることで、回転体33を介して付与される接着シートASへの張力を調整してもよい。
当接手段30のエッジ部32Aの平面形状は、円形、楕円形、多角形、幾何学形など、任意の形状を採用することができ、板状体の平面形状よりも大きな相似関係にある形状としてもよいし、相似関係にない形状としてもよい。
当接手段30は、接着シートASに対して部位別に張力を付与できなくてもよい。
当接手段30は、測定手段60の測定結果を基に、接着シートASに対して張力を付与可能に設けられていなくてもよい。この場合、支持部材21が所定の位置に到達したときに張力付与手段40および当接手段30が直動モータ41および回動モータ34の駆動を停止し、チップCPの相互間隔が所定の間隔となったとすることができる。
回転体33は、回動モータ34の本体としてもよい。
回転体33や挟込ローラ53は、金属や樹脂等で構成することができ、それらの円周面に凹凸や粘着剤等の抵抗増大手段を設けてもよい。
回転体33は、駆動プーリと従動プーリとに掛け回されたベルトで構成したり、その他の構成を採用してもよい。
挟込ローラ53を回転駆動させる駆動機器を設けてもよい。
挟込手段50は、挟込ローラ53の代わりに、駆動プーリと従動プーリとに掛け回されたベルトで構成したり、回転体33の回転方向に移動するシャフトや板材で構成したりしてもよいし、なくてもよい。
測定手段60は、メイン測定箇所を決めずに、複数の測定の箇所におけるチップCPの相互間隔が所定の間隔となった時点で、張力付与手段40がおよび当接手段30が直動モータ41および回動モータ34の駆動を停止するようにしてもよい。
測定手段60は、なくてもよい。
フレームは、リングフレーム以外に、環状でない(外周が繋がっていない)フレームや、円形以外に三角形や四角形等の多角形や楕円形等、その他の形状であってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20…保持手段
30…当接手段
32A…エッジ部
33…回転体
34…回動モータ(駆動手段)
40…張力付与手段
50…挟込手段
60…測定手段
AS…接着シート
AS1…貼付領域
AS2…保持部
CP…チップ(片状体)
WF…ウエハ(板状部材)
Claims (4)
- 板状部材が貼付された接着シートに張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付領域の外側の保持部を保持する保持手段と、
前記接着シートの接着面の反対側の面に当接するとともに、エッジ部に回転体を有する当接手段と、
前記保持手段と当接手段とを相対移動させ、前記接着シートにおける前記貼付領域と保持部との間を前記回転体で折り曲げて当該接着シートに張力を付与する張力付与手段とを備え、
前記当接手段は、前記回転体を駆動する駆動手段を有することを特徴とする離間装置。 - 前記回転体とで前記接着シートを挟み込む挟込手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の離間装置。
- 前記片状体の相互間隔を測定する測定手段を備え、
前記回転体は、前記駆動手段によってそれぞれ個別に駆動可能とされ、
前記当接手段は、前記測定手段の測定結果を基に、前記接着シートに対して部位別に張力を付与可能に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の離間装置。 - 板状部材が貼付された接着シートに張力を付与して当該板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、
前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された貼付領域の外側の保持部を保持する工程と、
前記接着シートの接着面の反対側の面に回転体によって構成されたエッジ部を当接させる工程と、
前記接着シートの保持部とエッジ部とを相対移動させ、前記接着シートにおける前記貼付領域と保持部との間を前記回転体で折り曲げて当該接着シートに張力を付与する工程と、
前記接着シートの保持部とエッジ部とを相対移動させるときに、前記回転体を回転駆動させる工程とを備えていることを特徴とする離間方法。
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