JP2016086152A - シリコン酸化膜及びその製造方法、並びにシリコン酸化膜の製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、本実施形態のシリコン酸化膜の製造装置100の構成を示す一部断面図である。本図面は概略図であるため、公知のガス供給機構の一部や排気機構の一部を含む周辺装置は省略されている。
本実施形態では、まず、(1)シリコン酸化膜の形成工程として、加熱された基板20が、チャンバー40を用いてTEOSガスと酸素ガスとから形成されるプラズマに曝露される。具体的には、チャンバー40内の圧力が100Paとなるまで、50sccmのTEOSガスと酸素ガスがチャンバー40に供給される。次に、ステージ41の温度が200℃になるまでヒーター44bが加熱される。その後、シャワーヘッドガス導入部45には、13.56MHzにおいて450W〜500Wの高周波電力が印加される。また、ステージ41には、380kHzにおいて100Wの低周波電力が印加される。本実施形態では、上記のプラズマ条件によるシリコン酸化膜形成工程が10分間行われる。このシリコン酸化膜の形成工程において採用される条件によって、低ストレスの(内部応力が少ない)シリコン酸化膜が形成される。
具体的なプロセスの一例を示すと、チャンバー40内の圧力が50Pa以上250Pa以下(代表的には、100Pa)となるまで、ヘリウムガスが100sccm以上2000sccm以下(代表的には、500sccm)供給される。
本実施形態のシリコン酸化膜130及びその製造方法、並びにその製造装置は、第1の実施形態における(2)希ガスプラズマの曝露工程において希ガスのプラズマに加えて水素(H2)ガスのプラズマを用いている点を除き、第1の実施形態と同様である。従って、第1の実施形態と重複する説明は省略され得る。
(1)内部応力の経時的変化
図5は、シリコン酸化膜30を外気に曝したときの該シリコン酸化膜30の内部応力の時系列的な変化を示すグラフである。なお、図5においては、希ガスの例は、ヘリウムとアルゴンである。また、比較例として、第1の実施形態における希ガスの代わりに、プラズマ密度が比較的低い酸素(O2)又は窒素(N2)のみをシリコン酸化膜に曝したサンプルについても、内部応力の時系列的な変化を調査した。なお、この内部応力の値は、より具体的には、薄膜応力測定装置(東邦テクノロジー社、型式:FLX-2320-S(KLA Tencor))を用いて測定された。なお、前述の比較例においては、チャンバー40内の圧力が100Paとなるまで、酸素又は窒素が500sccm供給されることによって形成されたプラズマをシリコン酸化膜に曝している。
加えて、本願発明者らによる更なる研究と分析によって、以下の興味深い知見が得られた。具体的には、シリコン酸化膜30,130に対して、フッ化水素(蒸気)に曝露することによって表面から約11nmの深さまでエッチングしてから少なくとも2時間、該シリコン酸化膜の応力の経時的変化が約2MPa以内に収まっており、ほとんど変化がなかった。一方、シリコン酸化膜30,130に対して、前述の同様の方法で表面から約27nmの深さまでエッチングしてから該シリコン酸化膜の応力の変化を調べると、当初約−15MPaであったのが、2時間後には約−100MPaになっていることが確認された。従って、25nm以下の深さまでの改質層30aが形成されていることが分かる。この範囲の深さであれば、シリコン酸化膜の物性の経時変化を抑えるとともに、生産性の低下及び/又はシリコン酸化膜の特性の変化を招くことなく、シリコン酸化膜全体の物性への影響を抑える観点から好適な一態様である。なお、改質層30a,130aの実効性を高める観点も併せて考慮すれば、該改質層30a,130aの深さがシリコン酸化膜30,130の表面から25nm以上であることがより好ましい。
また、本願発明者らは、希ガスプラズマの曝露時間(各グラフ中では「処理時間」として表されている)を変化させたときの、フッ化水素に曝露した積算時間の変化に対するシリコン酸化膜のエッチング速度の変化とともに、シリコン酸化膜の内部応力の時系列的な変化を調査、分析することにより、有効な改質層の下限値を特定する実験を行った。より具体的には、希ガスプラズマの曝露時間を変化させて作製された各サンプルに対して、フッ化水素に30秒ずつ曝露させたものについて、それぞれエッチレートの測定が行われた。
第1の実施形態のシリコン酸化膜30を外気に曝したときの、リーク電流値(絶縁性)の経時変化を評価した。表2は、第1の実施形態のシリコン酸化膜30のリーク電流値の経時変化を表した表である。また、比較例として、第1の実施形態における希ガスプラズマの曝露工程を行っていないシリコン酸化膜を採用した。なお、リーク電流測定時の電界強度は、3MV/cmであった。
ところで、上述の実施形態では、制御部49が排気流量調整器38等に直接接続されていたが、上述の各実施形態の態様は、そのような構成に限定されない。例えば、制御部49が、ローカルエリアネットワークやインターネット回線等の公知の技術を介して、いわば間接的に、排気流量調整器48等と接続されている態様も上述の各実施形態の他の採用し得る一態様に含まれ得る。
図11は、本実施形態におけるシリコン酸化膜の内部応力の時系列的な変化を示すグラフである。また、図11に示す比較例(C)は、一旦形成したシリコン酸化膜を大気に曝した後、実質的に真空にしたチャンバー40内に放置した例である。また、比較例(D)は、一旦形成したシリコン酸化膜を大気に曝した後、ヘリウムガス雰囲気にしたチャンバー40内に放置した例である。
また、図12は、上述の第1及び第2の実施形態におけるシリコン酸化膜の内部応力の時系列的な変化を比較したグラフである。なお、この比較においては、第1の実施形態と第2の実施形態との各改質層を備えたシリコン酸化膜へのフッ化水素(蒸気)への曝露条件(曝露時間を含む)が同じであるが、その曝露によってエッチングされた厚さ(深さ)が異なっている。具体的には、第1の実施形態の結果は、表面から約270Åの深さまでエッチングされた後に測定された内部応力の変化を示している。また、第2の実施形態の結果は、表面から約115Åの深さまでエッチングされた後に測定された内部応力の変化を示している。図12に示す結果から、定性的に以下の(1)及び(2)を確認することができた。
(1)同じ曝露条件によって、エッチングされる深さが異なることから、第1及び第2の実施形態のシリコン酸化膜の改質層の質又は厚みが異なる。
(2)図12に示すように、同じ曝露条件によって、第1の実施形態と第2の実施形態との間に、内部応力の時系列的な変化の差が生じる。
上述の結果を踏まえると、希ガスプラズマの曝露工程において希ガスのプラズマに加えて水素(H2)ガスのプラズマを用いた方が、改質層の質が良い、改質層が厚い、及び経時的な応力の変化が少ない、という効果の群から選ばれる少なくとも1つが該当することが確認された。従って、改質層の質を高める、改質層を厚くする、及び/又は経時的な応力の変化を低減する観点からいえば、第1の実施形態よりも第2の実施形態を採用することが好ましい。
本実施形態においては、第1の実施形態におけるシリコン酸化膜の形成工程と希ガスプラズマの曝露工程との間に、「基板の一部を除去する除去工程」、代表的には、基板20の一部をエッチングするエッチング工程が行われる点を除き、第1の実施形態と同様である。従って、第1の実施形態と重複する説明は省略され得る。なお、図13(a)〜(d)は、本実施形態におけるシリコン酸化膜230の製造方法の一過程を示す一部断面図である。
まず、第1の実施形態と同様に、図13(a)に示すように、シリコン酸化膜230が基板20上に形成される。なお、本実施形態の基板20は、シリコン基板である。また、シリコン酸化膜230の形成工程は、第1の実施形態のシリコン酸化膜30の形成工程と同じである。
具体的なプロセスの一例を示すと、まず、排気可能な密閉チャンバー内に、パターンが形成されたシリコン酸化膜230を備える基板20を載置する。排気を十分に行った後、室温(約25℃)下、圧力を400Pa(約3Torr)の二フッ化キセノン(XeF2)ガスに30秒間、基板20を曝露することにより、図13(c)に示すような構造体が形成される。
上述の基板20の除去工程の後、第1の実施形態における希ガスプラズマの曝露工程が行われる。本実施形態の希ガスプラズマの曝露工程は、第1の実施形態の希ガスプラズマの曝露工程と同じである。
ところで、第3の実施形態における希ガスプラズマの曝露工程を、図13(b)に示すシリコン酸化膜のパターニングの前に行うことも、採用し得る好適な他の一態様である。この変形例によれば、図14に示すように、シリコン酸化膜230の一部を除去するためのパターン形成工程の前に、シリコン酸化膜230が改質層230aを備えている。その結果、たとえシリコン酸化膜の形成工程が行われた後にパターン形成工程が行われるために一旦外気に曝されることになっても、その外気による影響を低減することができる。
ところで、第3の実施形態における希ガスプラズマの曝露工程を、図13(b)に示すシリコン酸化膜のパターニングの前に行うとともに、そのパターニングの後に、追加的に希ガスプラズマの曝露工程を行うことも、採用し得る好適な他の一態様である。この変形例によれば、図15に示すように、基板20の一部を除去する除去工程の前に、シリコン酸化膜230が改質層230a及び改質層230cを備える。その結果、たとえ基板20の一部を除去する除去工程が行われるために一旦外気に曝されることになっても、その外気による影響を低減することができる。
ところで、第3の実施形態及びその変形例(1)及び(2)における希ガスプラズマの曝露工程の代わりに、希ガスのプラズマに加えて水素(H2)ガスのプラズマを用いた希ガスプラズマの曝露工程が採用されることも、好適な他の一態様である。この変形例によって形成されるシリコン酸化膜は、第2の実施形態のシリコン酸化膜130と同様に、希ガスに対して水素(H2)ガスが追加されたプラズマによる効果、代表的にはフッ化水素(蒸気)に対する耐エッチング性の顕著な向上という、特筆すべき効果が奏され得る。
本実施形態は、第1の実施形態のTEOSの代わりにシラン(SiH4)が採用された例である。従って、本実施形態のシリコン酸化膜の製造装置は、TEOSの代わりにシランが採用されたこと以外は、第1の実施形態のシリコン酸化膜の製造装置100の構成と同じであるため、第1の実施形態と重複する説明は省略され得る。
本実施形態では、まず、(1)シリコン酸化膜の形成工程として、加熱された基板20が、チャンバー40を用いてシランガスと一酸化二窒素(N2O)ガスとから形成されるプラズマに曝露される。具体的には、チャンバー40内の圧力が200Paとなるまで、100sccmのシランガスと1000sccmの一酸化二窒素(N2O)ガスがチャンバー40に供給される。次に、ステージ41の温度が200℃になるまでヒーター44bが加熱される。その後、シャワーヘッドガス導入部45には、13.56MHzにおいて300Wの高周波電力が印加される。また、本実施形態においては、ステージ41には低周波電力が印加されない。また、上記のプラズマ条件によるシリコン酸化膜形成工程が3分間行われる。このシリコン酸化膜の形成工程において採用される条件によって、低ストレスの(内部応力が少ない)シリコン酸化膜が形成される。
本実施形態のプロセスの一例を示すと、チャンバー40内の圧力が50Pa以上250Pa以下(代表的には、100Pa)となるまで、ヘリウムガスが100sccm以上2000sccm以下(代表的には、500sccm)供給される。
本実施形態は、第4の実施形態において、希ガスプラズマの曝露工程が行われる時間において、ステージ41に、380kHzにおいて300Wの低周波電力が印加されること以外は、第4の実施形態のシリコン酸化膜の製造方法と同じ方法が採用される。従って、この変形例においては、希ガスプラズマの曝露工程において、シリコン酸化膜に対してバイアスを印加することにより、イオンを用いた物理的な効果が促進され得る。なお、第1及び第4の実施形態と重複する説明は省略され得る。
特に興味深いことに、第4の実施形態の変形例のシリコン酸化膜の内部応力が、該シリコン酸化膜の形成後約60分間、ほとんど経時変化しないことが明らかとなった。
シリコン酸化膜に対して希ガスのプラズマに曝している間の少なくとも一部に、シリコン酸化膜に引き込むための電力(バイアス電力)が印加されていることによって改質層を形成する態様を採用することができる。
本実施形態においては、上述の各実施形態において採用されている希ガスのプラズマの曝露工程の代わりに、ある特定の条件における酸素プラズマ又は窒素プラズマの曝露工程によって、上述の各実施形態の効果と同様の効果が奏され得ることを説明する。なお、本実施形態において用いられたシリコン酸化膜の製造装置は、該シリコン酸化膜の改質層(改質層30aに相当)の形成のためのプラズマを生成するためのガスが異なる点以外は、第1の実施形態のシリコン酸化膜の製造装置100の構成と同じであるため、第1の実施形態)及びそれらの効果と重複する説明は省略され得る。従って、本明細書を理解するいわゆる当業者であれば、例えば、図10のうち、「希ガス」との表現を「酸素」又は「窒素」に読み替えることができる。
30,130,230 シリコン酸化膜
30a,130a,230a,230c,230d シリコン酸化膜の改質層
30b,130b,230b 改質層以外の領域のシリコン酸化膜
41 ステージ
42a,42b,42d ガスボンベ
42c TEOS用キャビネット
43a,43b,43c,43d ガス流量調整器
44a,44b ヒーター
45 シャワーヘッドガス導入部
40 チャンバー
46a 第1高周波電源
46b 第2高周波電源
47 真空ポンプ
48 排気流量調整器
49 制御部
100,200 シリコン酸化膜の製造装置
Claims (23)
- CVD法により形成されたシリコン酸化膜であって、
前記シリコン酸化膜の形成後に、希ガスのプラズマに曝すことにより、前記シリコン酸化膜の表面から4nm以上300nm以下の深さまでの改質層を備えた、
シリコン酸化膜。 - 前記プラズマに曝している間の少なくとも一部に、前記シリコン酸化膜に引き込むための電力が印加されていることにより、前記改質層を備えた、
請求項1に記載のシリコン酸化膜。 - 前記希ガスのプラズマとともに、水素のプラズマに曝された、
請求項1又は請求項2に記載のシリコン酸化膜。 - 前記シリコン酸化膜は、CVD法によりテトラエチルオルソシリケート(TEOS)から形成されたシリコン酸化膜である、
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜。 - フッ化水素の蒸気に曝されたときに、前記改質層のエッチレートが30nm/分以下である、
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜。 - 前記表面の一部が、前記シリコン酸化膜を備える基板の一部が除去されることによって形成された、
請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜。 - 前記改質層の深さが、前記シリコン酸化膜の表面から25nm以上である、
請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜。 - 前記シリコン酸化膜が形成されてから4000分経過後に、前記シリコン酸化膜の応力値の変動の幅が20MPa以下である、
請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜。 - 前記シリコン酸化膜が形成されてから4000分経過後に、前記シリコン酸化膜の応力値の絶対値が40MPa以下である、
請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜。 - CVD法により形成されたシリコン酸化膜を、希ガスのプラズマに曝すことにより、前記シリコン酸化膜の表面から4nm以上300nm以下の深さまでの改質層を形成する曝露工程を含む、
シリコン酸化膜の製造方法。 - 前記曝露工程において、前記プラズマに曝している間の少なくとも一部に、前記シリコン酸化膜に引き込むための電力が印加されていることにより、前記改質層を形成する、
請求項10に記載のシリコン酸化膜の製造方法。 - 前記曝露工程において、前記シリコン酸化膜を、前記希ガスのプラズマとともに、水素のプラズマに曝す、
請求項10又は請求項11に記載のシリコン酸化膜の製造方法。 - 前記シリコン酸化膜は、CVD法によりテトラエチルオルソシリケート(TEOS)から形成されたシリコン酸化膜である、
請求項10乃至請求項12のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜の製造方法。 - 前記表面の一部が、前記シリコン酸化膜を備える基板の一部を除去する除去工程によって形成された、
請求項10乃至請求項13のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜の製造方法。 - 前記曝露工程において、前記シリコン酸化膜を備えた基板に対する印加電力が、100W超1000W未満である、
請求項10乃至請求項14のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜の製造方法。 - 前記曝露工程において、前記シリコン酸化膜を備えた基板に対する印加電力を印加する時間が1分以上15分以下である、
請求項10乃至請求項15のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜の製造方法。 - CVD法により形成されたシリコン酸化膜を、希ガスのプラズマに曝すことにより、前記シリコン酸化膜の表面から4nm以上300nm以下の深さまでの改質層を形成する、曝露用チャンバーを備えた、
シリコン酸化膜の製造装置。 - 前記シリコン酸化膜を外気に曝すことなく前記改質層を形成する前記曝露用チャンバーを備えた、
請求項17に記載のシリコン酸化膜の製造装置。 - 前記曝露用チャンバーにおいて、前記プラズマを前記シリコン酸化膜に引き込むための電力が印加されている間の少なくとも一部に、前記プラズマに曝すことにより、前記改質層を形成する、
請求項17又は請求項18に記載のシリコン酸化膜の製造装置。 - 前記希ガスのプラズマとともに、水素のプラズマに曝す前記曝露用チャンバーを備えた、
請求項17乃至請求項19のいずれか1項に記載のシリコン酸化膜の製造装置。 - CVD法により形成されたシリコン酸化膜であって、
前記シリコン酸化膜の形成後に、酸素又は窒素の高密度プラズマに曝すことにより、前記シリコン酸化膜の表面から4nm以上300nm以下の深さまでの改質層を備えた、
シリコン酸化膜。 - CVD法により形成されたシリコン酸化膜を、酸素又は窒素の高密度プラズマに曝すことにより、前記シリコン酸化膜の表面から4nm以上300nm以下の深さまでの改質層を形成する曝露工程を含む、
シリコン酸化膜の製造方法。 - CVD法により形成されたシリコン酸化膜を、酸素又は窒素の高密度プラズマに曝すことにより、前記シリコン酸化膜の表面から4nm以上300nm以下の深さまでの改質層を形成する、曝露用チャンバーを備えた、
シリコン酸化膜の製造装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114217177A (zh) * | 2021-11-03 | 2022-03-22 | 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院 | 一种复合绝缘子界面性能提升方法 |
KR20220114105A (ko) * | 2016-09-29 | 2022-08-17 | 램 리써치 코포레이션 | 반도체 디바이스 제조시 고품질 실리콘 옥사이드 막들의 저온 형성 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005045916A1 (ja) * | 2003-11-11 | 2005-05-19 | Tokyo Electron Limited | 基板処理方法 |
JP2009071226A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-02 | Nec Corp | 層間絶縁膜形成方法、層間絶縁膜、半導体デバイス、および半導体製造装置 |
JP2010239103A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-10-21 | Tokyo Electron Ltd | 活性化ガスインジェクター、成膜装置及び成膜方法 |
JP2011151343A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-08-04 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2011174979A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | マスク洗浄方法、マスク洗浄装置及びペリクル |
JP2011185903A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Rohm Co Ltd | 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 |
JP2011210872A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP2013021208A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2013080907A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-05-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP2013229608A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Spts Technologies Ltd | 二酸化珪素フィルムを付着させる方法 |
-
2015
- 2015-03-02 JP JP2015040459A patent/JP6183965B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005045916A1 (ja) * | 2003-11-11 | 2005-05-19 | Tokyo Electron Limited | 基板処理方法 |
JP2009071226A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-02 | Nec Corp | 層間絶縁膜形成方法、層間絶縁膜、半導体デバイス、および半導体製造装置 |
JP2010239103A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-10-21 | Tokyo Electron Ltd | 活性化ガスインジェクター、成膜装置及び成膜方法 |
JP2011151343A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-08-04 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2011174979A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Toshiba Corp | マスク洗浄方法、マスク洗浄装置及びペリクル |
JP2011185903A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Rohm Co Ltd | 圧力センサおよび圧力センサの製造方法 |
JP2011210872A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP2013021208A (ja) * | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2013080907A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-05-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP2013229608A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Spts Technologies Ltd | 二酸化珪素フィルムを付着させる方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220114105A (ko) * | 2016-09-29 | 2022-08-17 | 램 리써치 코포레이션 | 반도체 디바이스 제조시 고품질 실리콘 옥사이드 막들의 저온 형성 |
KR102570744B1 (ko) * | 2016-09-29 | 2023-08-24 | 램 리써치 코포레이션 | 반도체 디바이스 제조시 고품질 실리콘 옥사이드 막들의 저온 형성 |
CN114217177A (zh) * | 2021-11-03 | 2022-03-22 | 国网内蒙古东部电力有限公司电力科学研究院 | 一种复合绝缘子界面性能提升方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6183965B2 (ja) | 2017-08-23 |
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