JP5642427B2 - プラズマ処理方法 - Google Patents
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以下、図面を参照しながら、本発明の実施例を詳細に説明する。
high-kメタルゲート構造は、Si基板(ウエハ)101上にHfOなどの高誘電体の絶縁膜102が堆積され、その上にメタルゲートとしてAlO、TiNの各層103、104、及びpoly-Siの層105が堆積される。poly Si の層105の上には微細加工をするためのマスク106が堆積される。マスク106は、図2では1層に表示されているが、実際はアモルファスカーボン/SiN/反射防止膜/ホトレジストなどの多層からなり、その構成は各様である。また、AlOの層103とTiNの層104は、熱処理を行うと相互拡散してAlとTiが混在した層となる。またメタルゲートの層103、104に相当するものとして、最初からTiAlNなどの材料を堆積させることもある。
次の、HfO層102のエッチングにも、BCl3/Cl2のようなフッ素を含まないガス系を用いる。エッチングが終了して真空チャンバからウエハ搬出後(S24)に、真空チャンバに対してCl2、BCl3あるいはこれらの混合ガスによる一次のプラズマクリーニングを行う(S25)。また、Cl2の代替ガスとして、SiCl4、HCl、CH2Cl2、SiH2Cl2ガスを用いても良い。引き続いてSF6,NF3,CF4などのフッ素ガスによる二次のプラズマクリーニングを行う(S26)。
図5に、真空チャンバを複数(ここでは2個)有するドライエッチング装置の構成図を示す。このように真空チャンバ(真空容器)が2個ある装置では、poly-Siをエッチングする第1の真空チャンバと、メタルゲート/high-kをエッチングする第2の真空チャンバを分けて運用するのがよい。すなわち、カセット設置部404又は405から被処理ウエハを第1の真空チャンバ401に搬送し、この第1の真空チャンバ401にて被処理ウエハのマスク106とpoly Si 105をエッチングし、次に、真空搬送室403を介して第1の真空チャンバ401から第2の真空チャンバ402に被処理ウエハを搬送して、ここで、TiN 104,AlO 103, HfO 102をフッ素を用いないでエッチングする。処理済のウエハは元のカセット設置部404又は405に戻す。そして、第1の真空チャンバ401をフッ素を含むガスでプラズマクリーニングし、第2の真空チャンバ402を塩素を含むガスでクリーニングする。この方法でも、Alを含むメタルゲート層のエッチング後に両真空チャンバがフッ素に晒されることがないので、AlFの発生を防ぎ、両真空チャンバのウエットクリーニング周期を延長できる。
Claims (4)
- poly−Si膜と、前記poly−Si膜の下方に配置されたメタルゲート層と、前記メタルゲート層の下方に配置されたHigh−k膜とを有し前記High−k膜が表面に堆積されたSi基板を真空容器内でプラズマエッチングするプラズマ処理方法において、
前記poly−Si膜をプラズマエッチングする第一の工程と、
前記第一の工程後、フッ素を含まないガスを用いて前記メタルゲート層と前記High−k膜をプラズマエッチングする第二の工程と、
前記第二の工程後、Cl 2 ガス、HClガス、CH 2 Cl 2 ガス、またはSiH 2 Cl 2 ガスを用いて前記真空容器内をプラズマクリーニングする第三の工程と、
前記第三の工程後、前記フッ素を含むガスを用いて前記真空容器内をプラズマクリーニングする第四の工程とを有することを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項1に記載のプラズマ処理方法において、
前記メタルゲート層は、TiN膜とAlO膜を有し、Cl 2 ガスを用いてプラズマエッチングされ、
前記High−k膜は、HfO膜であり、BCl 3 ガスとCl 2 ガスの混合ガスを用いてプラズマエッチングされ、
前記第三の工程は、所望の枚数のSi基板がプラズマエッチングされた後に行われることを特徴とするプラズマ処理方法。 - 請求項1または請求項2に記載のプラズマ処理方法において、
前記真空容器の内面は、Y 2 O 3 コートされたAl、Y 2 O 3 コートされた石英またはY 2 O 3 コートされたステンレスの材料で構成されていることを特徴とするプラズマ処理方法。 - poly−Si膜と、前記poly−Si膜の下方に配置されたメタルゲート層と、前記メタルゲート層の下方に配置されたHigh−k膜とを有し前記High−k膜が表面に堆積されたSi基板をプラズマエッチングするプラズマ処理方法において、
前記poly−Si膜を第一の真空容器内でプラズマエッチングする第一の工程と、
前記第一の工程後、フッ素を含まないガスを用いて前記メタルゲート層と前記High−k膜を第二の真空容器内でプラズマエッチングする第二の工程と、
フッ素を含むガスを用いて前記第一の真空容器内をプラズマクリーニングする第三の工程と、
Cl 2 ガス、HClガス、CH 2 Cl 2 ガス、またはSiH 2 Cl 2 ガスを用いて前記第二の真空容器内をプラズマクリーニングする第四の工程とを有することを特徴とするプラズマ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010118390A JP5642427B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | プラズマ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011249405A JP2011249405A (ja) | 2011-12-08 |
JP2011249405A5 JP2011249405A5 (ja) | 2013-06-06 |
JP5642427B2 true JP5642427B2 (ja) | 2014-12-17 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010118390A Expired - Fee Related JP5642427B2 (ja) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | プラズマ処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5642427B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6275610B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-02-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 |
WO2018180663A1 (ja) | 2017-03-27 | 2018-10-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理方法 |
CN111627797B (zh) * | 2020-06-08 | 2022-06-10 | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 | 一种提高半导体芯片键合可靠性的处理方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4503270B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2010-07-14 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理容器内部材 |
JP5110987B2 (ja) * | 2007-07-05 | 2012-12-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理方法およびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP5042162B2 (ja) * | 2008-08-12 | 2012-10-03 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 半導体加工方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011249405A (ja) | 2011-12-08 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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