JP5443937B2 - シリコン構造体の製造方法及びその製造装置並びにその製造プログラム - Google Patents
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Description
(1)エッチングガスと有機堆積物形成ガスとを交互に又は混合して導入することにより形成されるプラズマを用いてシリコンに対してトレンチエッチングをする第1工程
(2)第1工程により形成されたシリコン構造体を、前述の有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する第2工程
(3)第2工程により形成されたシリコン構造体のうち、トレンチエッチングをされた部分の底面のシリコンを露出させる第3工程
(4)第3工程により形成されたシリコン構造体を、二フッ化キセノンガスに曝露する第4工程
(5)第4工程により形成されたシリコン構造体を、酸素含有ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露するとともに、50℃以上500℃以下で加熱する第5工程
(1)エッチングガスと有機堆積物形成ガスとを交互に又は混合して導入することにより形成されるプラズマを用いてシリコンに対してホールエッチングをする第1工程
(2)第1工程により形成されたシリコン構造体を、前述の有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する第2工程
(3)第2工程により形成されたシリコン構造体のうち、ホールエッチングをされた部分の底面のシリコンを露出させる第3工程
(4)第3工程により形成されたシリコン構造体を、二フッ化キセノンガスに曝露する第4工程
(5)第4工程により形成されたシリコン構造体を、酸素含有ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露するとともに50℃以上500℃以下で加熱する第5工程
(1)エッチングガスと有機堆積物形成ガスとを交互に又は混合して導入することにより形成されるプラズマを用いてシリコンに対してトレンチエッチングをする第1ステップ
(2)第1ステップにより形成されたシリコン構造体を、前述の有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する第2ステップ
(3)第2ステップにより形成されたシリコン構造体のうち、トレンチエッチングをされた部分の底面のシリコンを露出させる第3ステップ
(4)第3ステップにより形成されたシリコン構造体を、二フッ化キセノンガスに曝露する第4ステップ
(5)第4ステップにより形成されたシリコン構造体を、酸素含有ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露するとともに、50℃以上500℃以下で加熱する第5ステップ
(1)エッチングガスと有機堆積物形成ガスとを交互に又は混合して導入することにより形成されるプラズマを用いてシリコンに対してホールエッチングをする第1ステップ
(2)第1ステップにより形成されたシリコン構造体を、前述の有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する第2ステップ
(3)第2ステップにより形成されたシリコン構造体のうち、ホールエッチングをされた部分の底面のシリコンを露出させる第3ステップ
(4)第3ステップにより形成されたシリコン構造体を、二フッ化キセノンガスに曝露する第4ステップ
(5)第4ステップにより形成されたシリコン構造体を、酸素含有ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露するとともに、50℃以上500℃以下で加熱する第5ステップ
本実施形態は、第1の実施形態の製造装置100を用いて実施される。図8は、本実施形態におけるシリコン構造体10Bの製造方法の最終形状を示す断面図である。従って、第1の実施形態と重複する説明は省略され得る。
ところで、上述の実施形態では、シリコンの異方性ドライエッチングする手段として、エッチングガスと保護膜形成ガスが交互にプラズマ化される技術を用いられているが、異方性ドライエッチング手段はこれに限定されない。例えば、特開2004−296474(特許文献3)に記載されているようなエッチングガスと保護膜形成ガスの混合ガスをプラズマ化する方法もシリコンの異方性ドライエッチングとして活用できる。この方法は、上記各々のガスを単に交互にプラズマ化させてエッチングする方法に比べてエッチングレートが遅くなるが、側壁面の凹凸がより小さくなって滑らかになる点では有効である。
12 エッチングマスク
14 側壁
16 底部
17 第1保護膜
18 第2保護膜
19 等方性エッチング領域
20 第1プロセス用チャンバー
21,31,41 ステージ
22a,22b,22c,42a,42b ガスボンベ
23a,23b,23c,43b,43c ガス流量調整器
24 コイル
25,46a 第1高周波電源
26,46b 第2高周波電源
27,37,47 真空ポンプ
28,38,48 排気流量調整器
29,39,49 制御部
30 第2プロセス用チャンバー
32 二フッ化キセノン導入部
33 バルブ
34 二フッ化キセノンガス貯留用チャンバー
35 拡散板
40 第3プロセス用チャンバー
42c TEOS用キャビネット
43c 液体流量調整器
44a,44b ヒーター
45 シャワーヘッドガス導入部
50 基板搬送用チャンバー
60 コンピューター
80 堆積膜
90 突起状の異状形状
100 シリコン構造体の製造装置
Claims (12)
- エッチングガスと有機堆積物形成ガスとを交互に又は混合して導入することにより形成されるプラズマを用いてシリコンに対してトレンチエッチングをする第1工程と、
前記第1工程により形成されたシリコン構造体を、前記有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する第2工程と、
前記第2工程により形成されたシリコン構造体のうち、トレンチエッチングをされた部分の底面のシリコンを露出させる第3工程と、
前記第3工程により形成されたシリコン構造体を、二フッ化キセノンガスに曝露することにより等方性エッチングをする第4工程と、
前記第4工程により形成されたシリコン構造体を、酸素含有ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露するとともに、50℃以上500℃以下で加熱する第5工程と、
前記第5工程の後に、CVD法により、前記シリコン構造体が備える前記トレンチエッチングの領域及びそれに連続する前記等方性エッチング領域の開口を塞ぐ絶縁膜を形成する第6工程と、を含む
シリコン構造体の製造方法。 - エッチングガスと有機堆積物形成ガスとを交互に又は混合して導入することにより形成されるプラズマを用いてシリコンに対してホールエッチングをする第1工程と、
前記第1工程により形成されたシリコン構造体を、前記有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する第2工程と、
前記第2工程により形成されたシリコン構造体のうち、ホールエッチングをされた部分の底面のシリコンを露出させる第3工程と、
前記第3工程により形成されたシリコン構造体を、二フッ化キセノンガスに曝露することにより等方性エッチングをする第4工程と、
前記第4工程により形成されたシリコン構造体を、酸素含有ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露するとともに、50℃以上500℃以下で加熱する第5工程と、
前記第5工程の後に、CVD法により、前記シリコン構造体が備える前記トレンチエッチングの領域及びそれに連続する前記等方性エッチング領域の開口を塞ぐ絶縁膜を形成する第6工程と、を含む
シリコン構造体の製造方法。 - 前記第2工程において、前記プラズマを前記シリコン構造体に引き込むための30W以下の高周波電力が印加される
請求項1又は請求項2に記載のシリコン構造体の製造方法。 - 前記第2工程において、前記第1工程における前記エッチングガス圧力又は前記有機堆積物形成ガス圧力よりも高い圧力で、前記有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する
請求項1又は請求項2に記載のシリコン構造体の製造方法。 - 前記第3工程において、前記プラズマを前記第2工程により形成されたシリコン構造体に引き込むための高周波電力が印加しながら、前記エッチングガスを導入することにより形成されるプラズマを用いる
請求項1又は請求項2に記載のシリコン構造体の製造方法。 - 前記第4工程により形成されたシリコン構造体において新たに形成された空間内が流体の流路となる
請求項1又は請求項2に記載のシリコン構造体の製造方法。 - エッチングガスと有機堆積物形成ガスとを交互に又は混合して導入することにより形成されるプラズマを用いてシリコンに対してトレンチエッチングをする第1ステップと、
前記第1ステップにより形成されたシリコン構造体を、前記有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する第2ステップと、
前記第2ステップにより形成されたシリコン構造体のうち、トレンチエッチングをされた部分の底面のシリコンを露出させる第3ステップと、
前記第3ステップにより形成されたシリコン構造体を、二フッ化キセノンガスに曝露することにより等方性エッチングをする第4ステップと、
前記第4ステップにより形成されたシリコン構造体を、酸素含有ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露するとともに、50℃以上500℃以下で加熱する第5ステップと、
前記第5ステップの後に、CVD法により、前記シリコン構造体が備える前記トレンチエッチングの領域及びそれに連続する前記等方性エッチング領域の開口を塞ぐ絶縁膜を形成する第6ステップと、を含む
シリコン構造体の製造プログラム。 - エッチングガスと有機堆積物形成ガスとを交互に又は混合して導入することにより形成されるプラズマを用いてシリコンに対してホールエッチングをする第1ステップと、
前記第1ステップにより形成されたシリコン構造体を、前記有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する第2ステップと、
前記第2ステップにより形成されたシリコン構造体のうち、ホールエッチングをされた部分の底面のシリコンを露出させる第3ステップと、
前記第3ステップにより形成されたシリコン構造体を、二フッ化キセノンガスに曝露することにより等方性エッチングをする第4ステップと、
前記第4ステップにより形成されたシリコン構造体を、酸素含有ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露するとともに、50℃以上500℃以下で加熱する第5ステップと、
前記第5ステップの後に、CVD法により、前記シリコン構造体が備える前記トレンチエッチングの領域及びそれに連続する前記等方性エッチング領域の開口を塞ぐ絶縁膜を形成する第6ステップと、を含む
シリコン構造体の製造プログラム。 - 前記第2ステップにおいて、前記第1ステップにおける前記エッチングガス圧力又は前記有機堆積物形成ガス圧力よりも高い圧力で、前記有機堆積物形成ガスを導入することにより形成されるプラズマに曝露する
請求項7又は請求項8に記載のシリコン構造体の製造プログラム。 - 前記第3ステップにおいて、前記プラズマを前記第2工程により形成されたシリコン構造体に引き込むための高周波電力が印加しながら、前記エッチングガスを導入することにより形成されるプラズマを用いる
請求項7又は請求項8に記載のシリコン構造体の製造プログラム。 - 前記第4ステップにより形成されたシリコン構造体において新たに形成された空間内が流体の流路となる
請求項7又は請求項8に記載のシリコン構造体の製造プログラム。 - 請求項7又は請求項8に記載の製造プログラムにより制御される制御部を備えた
シリコン構造体の製造装置。
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