JP2008172184A - プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来に比べてマスクとしての有機膜層に対するシリコン含有誘電層の選択比を向上させることのできるプラズマエッチング方法等を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜102をマスクとしフォトレジスト膜102に対して、SiO2膜101を選択的にプラズマエッチングしてホール104を形成する。プラズマエッチングには、C6F6ガスと、希ガスと、酸素ガスとを含み、C6F6ガスに対する酸素ガスの流量比(酸素ガス流量/C6F6ガス流量)が2.8〜3.3の処理ガスを用い、この処理ガスからプラズマを生成する。
【選択図】図1
【解決手段】フォトレジスト膜102をマスクとしフォトレジスト膜102に対して、SiO2膜101を選択的にプラズマエッチングしてホール104を形成する。プラズマエッチングには、C6F6ガスと、希ガスと、酸素ガスとを含み、C6F6ガスに対する酸素ガスの流量比(酸素ガス流量/C6F6ガス流量)が2.8〜3.3の処理ガスを用い、この処理ガスからプラズマを生成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、被処理基板に形成されたシリコン含有誘電層を、有機膜層をマスクとしてプラズマエッチングするプラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。
半導体装置の製造工程においては、フォトレジスト等の有機膜層をマスクとしてシリコン含有誘電層(例えば、SiO2膜、SiOC膜等)をプラズマエッチングし、コンタクトホール等を形成することが知られている。このようなプラズマエッチングに使用されるプラズマ生成のための処理ガスとしては、例えば、C4F6/Ar/O2等の混合ガスを使用することが一般的である。
また、処理ガスとして、C6F6ガスと、フロンガス又は酸素ガスと、ヘリウム又はアルゴンガスの混合ガスを使用してプラズマエッチングを行い、多結晶シリコンに対するSiO2の選択比を向上させる技術が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
また、SiO2をプラズマエッチングする際の処理ガスとして、C6F6からなる処理ガスを使用し、Si3N4層に対するSiO2の選択比を向上させることが知られている(例えば、特許文献2参照。)。
また、フォトレジストに対して選択的にSiO2をプラズマエッチングする際の処理ガスとして、少なくとも4の炭素原子及び2より少ないF/C比を有するフルオロカーボンガスと、アルゴン又はキセノンガスと、O2ガスからなる処理ガスを使用し、酸素の流量とフルオロカーボンの流量の比を0.4:1および2:1の間とすること、及び、上記のフルオロカーボンガスとしてC6F6を用いることが提案されている(例えば、特許文献3
参照。)。
特開昭57−155732号公報
特開平6−275568号公報
特表2004−512668号公報
参照。)。
フォトレジスト等の有機膜層をマスクとして、高アスペクト比のコンタクトホール等を形成する場合、マスクに対するエッチング対象層の高い選択比が必要とされる。このような要求は、マスク層の薄膜化や生産性の向上のために、より高度なものとなっている。しかしながら、上記したような従来の技術では、かかる選択比が通常では5程度、高くても10程度であり、さらに高い選択比でプラズマエッチングを行えるプラズマエッチング方法の開発が求められていた。
本発明は、上記従来の事情に対処してなされたもので、従来に比べてマスクとしての有機膜層に対するシリコン含有誘電層の選択比を向上させることのできるプラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体を提供することを目的とする。
請求項1のプラズマエッチング方法は、被処理基板に形成されたシリコン含有誘電層を、有機膜層をマスクとしてプラズマによりエッチングするプラズマエッチング方法であって、少なくとも、C6F6ガスと、希ガスと、酸素ガスとを含み、前記C6F6ガスに対する前記酸素ガスの流量比(酸素ガス流量/C6F6ガス流量)が2.8〜3.3の処理ガスから前記プラズマを生成することを特徴とする。
請求項2のプラズマエッチング方法は、請求項1記載のプラズマエッチング方法であって、前記有機膜層はフォトレジスト層であり、前記シリコン含有誘電層は酸化シリコン層であることを特徴とする。
請求項3のプラズマエッチング方法は、請求項1又は2記載のプラズマエッチング方法であって、前記希ガスが、アルゴンガスであることを特徴とする。
請求項4のプラズマエッチング方法は、請求項1〜3いずれか1項記載のプラズマエッチング方法であって、前記処理ガスが、フッ素原子と炭素原子の比(F/C)が2以上のフルオロカーボンガスからなる添加ガスを含むことを特徴とする。
請求項5のプラズマエッチング方法は、請求項4項記載のプラズマエッチング方法であって、前記添加ガスが、CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C5F12、C6F14、のいずれかであることを特徴とする。
請求項6のプラズマエッチング方法は、請求項1〜5いずれか1項記載のプラズマエッチング方法であって、前記プラズマエッチングは、前記被処理基板が載置される下部電極と、当該下部電極と対向する上部電極とが配置された処理チャンバー内で、前記上部電極と前記下部電極との間に高周波電力を印加して行うことを特徴とする。
請求項7のプラズマエッチング方法は、請求項6記載のプラズマエッチング方法であって、前記高周波電力は、前記上部電極に印加される第1の高周波電力と、前記第1の高周波電力より周波数が低い、前記下部電極に印加される第2の高周波電力とからなることを特徴とする。
請求項8のプラズマエッチング装置は、被処理基板を収容する処理チャンバーと、前記処理チャンバー内に前記処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、前記処理ガス供給手段から供給された前記処理ガスをプラズマ化して前記被処理基板をプラズマエッチングするプラズマ生成手段と、前記処理チャンバー内で請求項1から請求項7いずれか1項記載のプラズマエッチング方法が行われるように制御する制御部とを備えたことを特徴とする。
請求項9の制御プログラムは、コンピュータ上で動作し、実行時に、請求項1から請求項7いずれか1項記載のプラズマエッチング方法が行われるようにプラズマエッチング装置を制御することを特徴とする。
請求項10のコンピュータ記憶媒体は、コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ記憶媒体であって、前記制御プログラムは、実行時に請求項1から請求項7いずれか1項記載のプラズマエッチング方法が行われるようにプラズマエッチング装置を制御することを特徴とする。
本発明によれば、従来に比べてマスクとしての有機膜層に対するシリコン含有誘電層の選択比を向上させることのできるプラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態に係るプラズマエッチング方法における被処理基板としての半導体ウエハWの断面構成を拡大して示すものであり、図2は、本実施形態に係るプラズマエッチング装置の断面構成を示すものである。まず、図2を参照してプラズマエッチング装置の構成について説明する。
プラズマエッチング装置1は、電極板が上下平行に対向し、プラズマ形成用電源が接続された容量結合型平行平板エッチング装置として構成されている。
プラズマエッチング装置1は、例えば表面が陽極酸化処理されたアルミニウム等からなり円筒形状に成形された処理チャンバー(処理容器)2を有しており、この処理チャンバー2は接地されている。処理チャンバー2内の底部にはセラミックなどの絶縁板3を介して、被処理物、例えば半導体ウエハWを載置するための略円柱状のサセプタ支持台4が設けられている。さらに、このサセプタ支持台4の上には、下部電極を構成するサセプタ5が設けられている。このサセプタ5には、ハイパスフィルター(HPF)6が接続されている。
サセプタ支持台4の内部には、冷媒室7が設けられており、この冷媒室7には、冷媒が冷媒導入管8を介して導入されて循環し、その冷熱がサセプタ5を介して半導体ウエハWに対して伝熱され、これにより半導体ウエハWが所望の温度に制御される。
サセプタ5は、その上側中央部が凸状の円板状に成形され、その上に半導体ウエハWと略同形の静電チャック11が設けられている。静電チャック11は、絶縁材の間に電極12を配置して構成されている。そして、電極12に接続された直流電源13から例えば1.5kVの直流電圧が印加されることにより、例えばクーロン力によって半導体ウエハWを静電吸着する。
絶縁板3、サセプタ支持台4、サセプタ5、静電チャック11には、半導体ウエハWの裏面に、伝熱媒体(例えばHeガス等)を供給するためのガス通路14が形成されており、この伝熱媒体を介してサセプタ5の冷熱が半導体ウエハWに伝達され半導体ウエハWが所定の温度に維持されるようになっている。
サセプタ5の上端周縁部には、静電チャック11上に載置された半導体ウエハWを囲むように、環状のフォーカスリング15が配置されている。このフォーカスリング15は、例えば、シリコンなどの導電性材料から構成されており、エッチングの均一性を向上させる作用を有する。
サセプタ5の上方には、このサセプタ5と平行に対向して上部電極21が設けられている。この上部電極21は、絶縁材22を介して、処理チャンバー2の上部に支持されている。上部電極21は、電極板24と、この電極板24を支持する導電性材料からなる電極支持体25とによって構成されている。電極板24は、サセプタ5との対向面を構成し、多数の吐出孔23を有する。この電極板24は、例えば、シリコンから構成されるか、又は表面に陽極酸化処理(アルマイト処理)されたアルミニウムに石英カバーを設けて構成されている。サセプタ5と上部電極21とは、その間隔を変更可能とされている。
上部電極21における電極支持体25の中央にはガス導入口26が設けられ、このガス導入口26には、ガス供給管27が接続されている。さらにこのガス供給管27には、バルブ28、並びにマスフローコントローラ29を介して、処理ガスとしてのエッチングガスを供給するための処理ガス供給源30が接続されている。
処理チャンバー2の底部には排気管31が接続されており、この排気管31には排気装置35が接続されている。排気装置35はターボ分子ポンプなどの真空ポンプを備えており、処理チャンバー2内を所定の減圧雰囲気、例えば1Pa以下の所定の圧力まで真空引き可能なように構成されている。また、処理チャンバー2の側壁にはゲートバルブ32が設けられており、このゲートバルブ32を開にした状態で半導体ウエハWが隣接するロードロック室(図示せず)との間で搬送されるようになっている。
上部電極21には、第1の高周波電源40が接続されており、その給電線には整合器41が介挿されている。また、上部電極21にはローパスフィルター(LPF)42が接続されている。この第1の高周波電源40は、50〜150MHzの範囲の周波数を有している。このように高い周波数を印加することにより処理チャンバー2内に好ましい解離状態でかつ高密度のプラズマを形成することができる。
下部電極としてのサセプタ5には、第2の高周波電源50が接続されており、その給電線には整合器51が介挿されている。この第2の高周波電源50は、第1の高周波電源40より低い周波数の範囲を有しており、このような範囲の周波数を印加することにより、被処理体である半導体ウエハWに対してダメージを与えることなく適切なイオン作用を与えることができる。第2の高周波電源50の周波数は1〜20MHzの範囲が好ましい。
上記構成のプラズマエッチング装置1は、制御部60によって、その動作が統括的に制御される。この制御部60には、CPUを備えプラズマエッチング装置1の各部を制御するプロセスコントローラ61と、ユーザインタフェース部62と、記憶部63とが設けら
れている。
れている。
ユーザインタフェース部62は、工程管理者がプラズマエッチング装置1を管理するためにコマンドの入力操作を行うキーボードや、プラズマエッチング装置1の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等から構成されている。
記憶部63には、プラズマエッチング装置1で実行される各種処理をプロセスコントローラ61の制御にて実現するための制御プログラム(ソフトウエア)や処理条件データ等が記憶されたレシピが格納されている。そして、必要に応じて、ユーザインタフェース部62からの指示等にて任意のレシピを記憶部63から呼び出してプロセスコントローラ61に実行させることで、プロセスコントローラ61の制御下で、プラズマエッチング装置1での所望の処理が行われる。また、制御プログラムや処理条件データ等のレシピは、コンピュータで読取り可能なコンピュータ記憶媒体(例えば、ハードディスク、CD、フレキシブルディスク、半導体メモリ等)などに格納された状態のものを利用したり、或いは、他の装置から、例えば専用回線を介して随時伝送させてオンラインで利用したりすることも可能である。
上記構成のプラズマエッチング装置1によって、半導体ウエハWに形成されたシリコン含有誘電層(例えば、SiO2層、SiOC層等)を、有機膜層(例えば、フォトレジスト)をマスクとしてこのマスクに対して選択的にエッチングするプラズマエッチングを行う工程について説明する。まず、半導体ウエハWは、ゲートバルブ32が開放された後、図示しないロードロック室から処理チャンバー2内へと搬入され、静電チャック11上に載置される。そして、直流電源13から直流電圧が印加されることによって、半導体ウエハWが静電チャック11上に静電吸着される。次いで、ゲートバルブ32が閉じられ、排気装置35によって、処理チャンバー2内が所定の真空度まで真空引きされる。
その後、バルブ28が開放されて、処理ガス供給源30から所定の処理ガス(エッチングガス)が、マスフローコントローラ29によってその流量を調整されつつ、ガス供給管27、ガス導入口26を通って上部電極21の中空部へと導入され、さらに電極板24の吐出孔23を通って、図2の矢印に示すように、半導体ウエハWに対して均一に吐出される。
そして、処理チャンバー2内の圧力が、所定の圧力に維持される。その後、第1の高周波電源40から所定の周波数の高周波電力が上部電極21に印加される。これにより、上部電極21と下部電極としてのサセプタ5との間に高周波電界が生じ、処理ガスが解離してプラズマ化する。
他方、第2の高周波電源50から、上記の第1の高周波電源40より低い周波数の高周波電力が下部電極であるサセプタ5に印加される。これにより、プラズマ中のイオンがサセプタ5側へ引き込まれ、イオンアシストによりエッチングの異方性が高められる。
そして、プラズマエッチングが終了すると、高周波電力の供給及び処理ガスの供給が停止され、上記した手順とは逆の手順で、半導体ウエハWが処理チャンバー2内から搬出される。
次に、図1を参照して、本実施形態に係るプラズマエッチング方法について説明する。図1(A)に示すように、被処理基板としての半導体ウエハWの表面には、所定の膜厚(例えば2000nm)のシリコン含有誘電層としてのSiO2膜101が形成され、このSiO2膜101の表面には、所定の膜厚(例えば660nm)の有機膜層としてのフォトレジスト膜(KrFレジスト、ArFレジスト、X線レジスト等))102が形成されている。このフォトレジスト膜102は、露光、現像工程等により所定のパターンが転写され、所定パターンの開口部103(例えば、直径0.15μmの多数の円孔)を有するマスクとされている。半導体ウエハWは、この状態でプラズマエッチング装置1の処理チャンバー2内に搬入される。
処理チャンバー2内では、フォトレジスト膜102をマスクとしフォトレジスト膜102に対して、SiO2膜101を選択的にプラズマエッチングして、図1(b)に示すように、コンタクトホール等のホール104を形成する。このプラズマエッチングには、少なくとも、C6F6ガスと、希ガスと、酸素ガスとを含み、C6F6ガスに対する酸素ガスの流量比(酸素ガス流量/C6F6ガス流量)が2.8〜3.3の処理ガスを用い、この処理ガスからプラズマを生成する。
希ガスとしては、例えば、Ne、Ar、Kr、Xe等のガスを用いることができ、特にArを好適に用いることができる。また、この処理ガスには、必要に応じて他のガス、例えば、他のフルオロカーボンガス(例えば、フッ素原子と炭素原子の比(F/C)が2以上のフルオロカーボンガス(CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C5F12、C6F14、のいずれか)等の直鎖飽和型ガス)等の添加ガスを添加することもできる。
実施例として、図2に示したプラズマエッチング装置1を使用し、図1に示した構造の半導体ウエハW(フォトレジスト膜=660nm、SiO2膜=2000nm)に、上記したプラズマエッチング工程を、以下に示すようなレシピにより実施し、直径が0.15μmのホール104を形成した。
なお、以下に示される実施例の処理レシピは、制御部60の記憶部63から読み出されて、プロセスコントローラ61に取り込まれ、プロセスコントローラ61がプラズマエッチング装置1の各部を制御プログラムに基づいて制御することにより、読み出された処理レシピ通りのエッチング工程が実行される。
エッチングガス:C6F6/Ar/O2=20/300/63 sccm
圧力:2.0Pa(15mTorr)
電力(上部/下部):2200W(60MHz)/1800W(2MHz)
電極間間隔:25mm
温度(上部/側壁部/下部):60/50/−10 ℃
ヘリウム圧力:665/3325Pa(5/25Torr)
エッチング時間:180秒
圧力:2.0Pa(15mTorr)
電力(上部/下部):2200W(60MHz)/1800W(2MHz)
電極間間隔:25mm
温度(上部/側壁部/下部):60/50/−10 ℃
ヘリウム圧力:665/3325Pa(5/25Torr)
エッチング時間:180秒
上記プラズマエッチング工程におけるホール部でのSiO2膜のエッチングレートは、551nm/minであった。また、SiO2膜のフォトレジストに対する選択比(SiO2膜のエッチングレート/フォトレジストのエッチングレート)は、平坦部で35.2、肩部17.0であった。
なお、上記のSiO2膜のエッチングレートとは、図3に示すように、エッチングによって生じるホールのエッチ深さcを、エッチング時間で割った値を示している。また、平坦部の選択比とは、図3に示すように「初期フォトレジスト膜厚さ」に対してフォトレジスト(P.R)の平坦部においてエッチングされた厚さaと、上記cの比(c/a)のことを示している。さらに、肩部の選択比とは、図3に示すようにフォトレジストの開口部の入口部分には、斜めにエッチングされた肩(ファセット)部が形成されるので、「初期フォトレジスト膜厚さ」に対してこの肩部においてエッチングされた厚さbと、上記cの比(c/b)のことを示している。
比較例として、エッチングガスを、C4F6/Ar/O2=20/300/17 sccmに変更した以外は、上記と同じ条件でプラズマエッチング工程を実施した。この結果、ホール部でのSiO2膜のエッチングレートは、558nm/min、SiO2膜のフォトレジストに対する選択比は、平坦部で9.7、肩部で5.7であった。
上記の結果から分かるように、上記実施例では、比較例の場合と略同様なエッチングレートが得られ、かつ、比較例の場合に比べてSiO2膜のフォトレジストに対する選択比を平坦部及び肩部とも約3倍に向上させることができた。また、直径が0.15μmのホールに対する抜け性(エッチストップせずに深いホールを形成することのできる性能)は、略同一であった。
また、上記の実施例において、処理ガス中の酸素ガス流量を変化させた以外は,上記の実施例と同じ条件で、同じ対象物にエッチングを行った。この結果を表1に示す。
表1に示されるとおり、酸素ガスの流量を低下させると堆積物が多くなる傾向があり、抜け性が低下し、例えば、酸素ガス流量を55sccmとするとエッチストップが生じホールを形成することができなかった。
一方、酸素ガスの流量を増加させると、SiO2膜のフォトレジストに対する選択比が低下する傾向にあり、66sccmより多くした場合、例えば、68sccmとした場合、肩部におけるSiO2膜のフォトレジストに対する選択比が4.2となった。
さらに、表1に示される酸素ガス流量55sccm〜60sccmの間の酸素ガス流量、具体的には、酸素ガス流量56sccm、57sccm、59sccmの場合について、上記と同様なプラズマエッチングを行ったところ、これらの酸素ガス流量の場合についても、エッチストップが生じることなく、ホールを形成することができた。
このため、酸素ガス流量の範囲は、56〜66sccmの範囲、すなわちC4F6(流量20sccm)に対する流量比が2.8〜3.3の範囲において、抜け性を確保できるとともに、SiO2膜のフォトレジストに対する選択比を大きくすることができた。なお、この場合、使用できる酸素ガス流量の範囲が10sccm(56〜66sccm)と広く、必要に応じて酸素ガス流量を適宜変更することができる。これに対して、エッチングガスとして、C4F6/Ar/O2を用いた場合について、使用できる酸素ガス流量の範囲を調べた結果、エッチストップが生じることなく、かつ、SiO2膜のフォトレジストに対する必要な選択比を確保できる酸素ガス流量の範囲は、3sccmと狭い範囲であった。
次に、上述した実施例の処理ガスに、フッ素原子と炭素原子の比(F/C)が2以上のフルオロカーボンガス(CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C5F12、C6F14、のいずれ
か)を添加ガスとして添加した実施例について説明する。このような添加ガスは、フッ素リッチなガスであり、SiO2膜のエッチングレートを高める一方、フォトレジストのエッチングレートも高めるので、SiO2膜のフォトレジストに対する選択比を低下させる傾向がある。一方、本発明のプラズマエッチング方法では、前述したようにSiO2膜のフォトレジストに対する高い選択比を得ることができるため、このような添加ガスの添加による選択比の低下を補うことができ、高いエッチングレートを得ることが可能となる。
か)を添加ガスとして添加した実施例について説明する。このような添加ガスは、フッ素リッチなガスであり、SiO2膜のエッチングレートを高める一方、フォトレジストのエッチングレートも高めるので、SiO2膜のフォトレジストに対する選択比を低下させる傾向がある。一方、本発明のプラズマエッチング方法では、前述したようにSiO2膜のフォトレジストに対する高い選択比を得ることができるため、このような添加ガスの添加による選択比の低下を補うことができ、高いエッチングレートを得ることが可能となる。
本実施例では、CF4を添加した場合、C4F8を添加した場合、C5F12を添加した場合、C6F14を添加した場合の夫々について、以下の条件でプラズマエッチング工程を行った。
エッチングガス:C6F6/添加ガス/Ar/O2=20/10/300/63sccm
圧力:2.0Pa(15mTorr)
電力(上部/下部):2200W(60MHz)/1800W(2MHz)
電極間間隔:25mm
温度(上部/側壁部/下部):60/50/−10 ℃
ヘリウム圧力:665/3325Pa(5/25Torr)
エッチング時間:90秒
エッチングガス:C6F6/添加ガス/Ar/O2=20/10/300/63sccm
圧力:2.0Pa(15mTorr)
電力(上部/下部):2200W(60MHz)/1800W(2MHz)
電極間間隔:25mm
温度(上部/側壁部/下部):60/50/−10 ℃
ヘリウム圧力:665/3325Pa(5/25Torr)
エッチング時間:90秒
上記プラズマエッチング工程におけるホール部でのSiO2膜のエッチングレート、及び、平坦部におけるSiO2膜のフォトレジストに対する選択比(SiO2膜のエッチングレート/フォトレジストのエッチングレート)を表2に示す。また、比較のため、上記のエッチング条件において、添加ガスを添加しない場合についてエッチングレートを測定した結果も示す。
上記表2に示されるとおり、添加ガスの添加により、SiO2膜のエッチングレートを高めることができた。また、必要とされる程度(11.5以上)の選択比も得ることができた。次に、エッチング時間を除き、上記のプラズマエッチング条件で、初期のレジスト膜厚が388nmで、所定深さのホールを、オーバーエッチング25%の条件で作製し、添加ガスを加えない場合、添加ガスとしてCF4を添加した場合、C4F8を添加した場合、C6F14を添加した場合の夫々について、レジスト残膜量とエッチング時間とを測定した。この結果を表3に示す。
上記表3に示されるとおり、上記の添加ガスを加えた場合、エッチングレートが高くなることから、添加ガスを加えない場合に比べてエッチング時間を短くすることができ、かつ、十分なレジスト残膜量を確保することができた。なお、比較例として、上記のプラズマエッチング工程において、C6F6ガスをC4F6に換え、添加ガスを加えない場合と添加ガスとしてC4F8を添加した場合についてプラズマエッチングを行ったところ、添加ガスを加えない場合のレジスト残膜が93nm、エッチング時間が190であり、C4F8を添加した場合は、途中でフォトレジスト膜の残膜がゼロになってしまい、オーバーエッチングを行うことができなかった。
以上説明したとおり、本実施形態によれば、半導体製造装置の製造におけるプラズマエッチングにおいて、有機膜であるフォトレジストに対するシリコン含有誘電層の選択比を従来に比べて向上させることができる。なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、各種の変形が可能である。例えば、プラズマエッチング装置は、図2に示した平行平板型の上下部高周波印加型に限らず、下部電極に2周波の高周波を印加するタイプやその他の各種のプラズマエッチング装置を使用することができる。
101……SiO2膜、102……フォトレジスト膜、103……開口部、104……ホール、W……半導体ウエハ。
Claims (10)
- 被処理基板に形成されたシリコン含有誘電層を、有機膜層をマスクとしてプラズマによりエッチングするプラズマエッチング方法であって、
少なくとも、C6F6ガスと、希ガスと、酸素ガスとを含み、前記C6F6ガスに対する前記酸素ガスの流量比(酸素ガス流量/C6F6ガス流量)が2.8〜3.3の処理ガスから前記プラズマを生成することを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1記載のプラズマエッチング方法であって、
前記有機膜層はフォトレジスト層であり、前記シリコン含有誘電層は酸化シリコン層であることを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1又は2記載のプラズマエッチング方法であって、
前記希ガスが、アルゴンガスであることを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1〜3いずれか1項記載のプラズマエッチング方法であって、
前記処理ガスが、フッ素原子と炭素原子の比(F/C)が2以上のフルオロカーボンガスからなる添加ガスを含むことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項4項記載のプラズマエッチング方法であって、
前記添加ガスが、CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C5F12、C6F14、のいずれかであることを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項1〜5いずれか1項記載のプラズマエッチング方法であって、
前記プラズマエッチングは、前記被処理基板が載置される下部電極と、当該下部電極と対向する上部電極とが配置された処理チャンバー内で、前記上部電極と前記下部電極との間に高周波電力を印加して行うことを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 請求項6記載のプラズマエッチング方法であって、
前記高周波電力は、前記上部電極に印加される第1の高周波電力と、前記第1の高周波電力より周波数が低い、前記下部電極に印加される第2の高周波電力とからなることを特徴とするプラズマエッチング方法。 - 被処理基板を収容する処理チャンバーと、
前記処理チャンバー内に前記処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
前記処理ガス供給手段から供給された前記処理ガスをプラズマ化して前記被処理基板をプラズマエッチングするプラズマ生成手段と、
前記処理チャンバー内で請求項1から請求項7いずれか1項記載のプラズマエッチング方法が行われるように制御する制御部と
を備えたことを特徴とするプラズマエッチング装置。 - コンピュータ上で動作し、実行時に、請求項1から請求項7いずれか1項記載のプラズマエッチング方法が行われるようにプラズマエッチング装置を制御することを特徴とする制御プログラム。
- コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ記憶媒体であって
、
前記制御プログラムは、実行時に請求項1から請求項7いずれか1項記載のプラズマエッチング方法が行われるようにプラズマエッチング装置を制御することを特徴とするコンピュータ記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007041705A JP2008172184A (ja) | 2006-02-23 | 2007-02-22 | プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006047113 | 2006-02-23 | ||
JP2006333159 | 2006-12-11 | ||
JP2007041705A JP2008172184A (ja) | 2006-02-23 | 2007-02-22 | プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Publications (1)
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JP2008172184A true JP2008172184A (ja) | 2008-07-24 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007041705A Pending JP2008172184A (ja) | 2006-02-23 | 2007-02-22 | プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
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