JP2016078289A - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、図2(a)に示すように、チップ1と支持部材3とを用意した。チップ1はシリコンで形成された基板と、エポキシ樹脂で形成された流路部材で形成されており、エネルギー発生素子を有する。エネルギー発生素子はTaSiNで形成されており、金で形成されたパッドとアルミニウムの配線によって接続している。チップ1は支持部材3の上に接着剤で固定されている。支持部材3は、樹脂として変性ポリフェニレンエーテルを用い、これにフィラーを40質量%含有させたもので形成した。支持部材3の線膨張係数は70ppmで形成あった。
実施例1においては、支持部材3を125℃で加熱したが、比較例1においてはこの加熱を行わなかった。但し、支持部材3ではなく電気接続部材とパッドとの接触部分のみ125℃で加熱した。これ以外は実施例1と同様にして、液体吐出ヘッドを製造した。
Claims (12)
- 液体を吐出するエネルギーを発生するエネルギー発生素子及び前記エネルギー発生素子と電気的に接続されるパッドを有するチップと、前記チップを支持し樹脂で形成された支持部材と、前記支持部材上に設けられ前記パッドを介して前記エネルギー発生素子と電気的に接続される電気接続部材を有する電気配線基板と、前記電気接続部材を封止する封止材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記電気接続部材を前記パッドに接続させる接続工程と、
前記電気接続部材を前記封止材で封止する封止工程と、
前記封止材を加熱して硬化させる硬化工程と、を有し、
前記接続工程において、前記支持部材を加熱し前記支持部材を膨張させた状態で、前記電気接続部材を前記パッドに接続させることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記支持部材を加熱して前記支持部材を膨張させる際の支持部材の加熱温度は、前記封止材を加熱して硬化させる際に前記支持部材を加熱する加熱温度よりも高い請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記電気接続部材はインナーリードである請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記支持部材の前記チップが設けられている側と反対側は座繰り形状である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記座繰り形状の厚みが薄い部分に加熱手段を設け、前記加熱手段で前記支持部材を加熱して前記支持部材を膨張させる請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記支持部材を加熱して前記支持部材を膨張させる際の支持部材の加熱温度は、100℃以上、150℃以下である請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記支持部材を加熱して前記支持部材を膨張させる際の支持部材の加熱温度は、100℃以上、130℃以下である請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記支持部材を加熱して前記支持部材を膨張させる際の支持部材の加熱温度は、前記封止材を加熱して硬化させる際に前記支持部材を加熱する加熱温度よりも、15℃以上高い請求項1乃至7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記支持部材を加熱して前記支持部材を膨張させる際の支持部材の加熱温度は、前記封止材を加熱して硬化させる際に前記支持部材を加熱する加熱温度よりも高く、その差は50℃以下である請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記支持部材を加熱して前記支持部材を膨張させる際の支持部材の加熱温度は、前記封止材を加熱して硬化させる際に前記支持部材を加熱する加熱温度よりも高く、その差は40℃以下である請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記接続工程の後において、前記電気接続部材は前記電気配線基板よりも下方に位置するように形成される請求項1乃至10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記硬化工程の後において、前記電気接続部材は前記電気配線基板よりも下方に位置するように形成される請求項1乃至11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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