JP2007276263A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】異種材料からなるインクジェット記録ヘッド構成部材同士を固定する際の問題点を解決する。
【解決手段】ホルダー２５０上に支持部材２００が搭載され、支持部材２００上に記録ヘッドチップ２０が搭載されている。支持部材２００には、ホルダー２５０との対向面において開口する外部連通穴２１０が形成され、外部連通穴２１０には、軸線方向と交差する方向に広がりを有する拡張部２１１が連設されている。一方、ホルダー２５０には、支持部材２００との対向面から突出する加締めピン２５２が形成され、突起部には、軸線方向と交差する方向に膨出した大径部２５３が一体に成形されている。そして、大径部２５３が拡張部２１１に嵌合することによって、支持部材２００とホルダー２５０とが連結されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、インク等の記録液を吐出して記録動作を行う記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関するものである。なお、上記記録装置には、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置なども含まれる。

一般的なインクジェット記録ヘッドは、記録素子基板または記録素子基板を含む記録素子ユニットが支持部材に固定された基本構造を有する。例えば、特許文献１には、板状部材に記録素子基板が位置決めされて固定された記録素子ユニットと、ホルダー部材とを低温（常温）硬化型接着剤により接着固定したインクジェット記録ヘッドが開示されている。

また、特許文献２には、複数の記録素子基板を第１の支持部材に接着固定した記録素子ユニットと、樹脂製のインク供給ユニットとをジョイントシール部材を介して積層した上でビスで固定した記録ヘッドが開示されている。
特開２００１−１２９９７７号公報 特開２００２−１９１１９号公報

高速化、多色化といったインクジェット記録装置の多機能化を実現しつつ、小型化、低コスト化といった要求に応えるためには、記録素子そのものの改良は言うまでもなく、ヘッド構成の改良も必要である。そして、ヘッド構成の改良策の一つとして、記録素子基板や記録素子ユニットとホルダー部材や支持部材との固定構造や固定方法の改良が挙げられる。何故なら、従来の固定構造や固定方法には次のような問題があったからである。

即ち、特許文献１に開示されているインクジェット記録ヘッドに用いられているホルダー部材は樹脂製であるのに対し、板状部材はアルミナ（Al₂O₃）材料で形成されており、両者はその線膨張係数が異なる。そこで、耐インク性があり、かつ、常温で硬化し、かつ、異種材料間の線膨張差に耐えられる柔軟性のある接着剤で記録素子ユニットとホルダー部材とを接着固定することが望ましく、吸湿硬化型のシリコーン接着剤が使用されている。しかしながら、シリコーン接着剤はインクにより劣化することはないが、インクにシリコーンが溶け出し、電気熱変換方式を用いたインクジェット記録ヘッドの場合、ヒーターが焦げる等の問題が起こる虞がある。また、ガスバリア性が悪く、長期間使用しないでいると、ヘッド内に空気が溜まり、記録できなくなる虞がある。これに対し、エポキシ系の接着剤であれば上記のような虞はないが、150℃程度の比較的高温状態でないと硬化せず、樹脂製のホルダー部材に耐熱を持たせるためにフィラーを入れる必要があり、ゴミの発生や吸湿による硬化時の接着不良が発生する虞がある。

また、特許文献２に開示されているインクジェット記録ヘッドでは、記録素子ユニットが搭載された第１の支持部材と樹脂製のインク供給ユニットとがジョイントシール部材を介して重ね合わされた上でビスによって固定している。しかし、かかる構造では、第１の支持部材のキャッピング領域外にビス固定用のスペースを確保する必要があり、その分だけ第１の支持部材が大きくなる。ここで、第１の支持部材は、コストの高いアルミナ材料で形成されているので、第１の支持部材が大きくなればアルミナ材料の使用量が増え、コスト高を招く。また、上記ビス固定用スペースはキャッピング領域外に設けられているので、該領域にインクが付着する可能性があり、付着したインクによって紙面が汚される虞がある。

本発明の目的は、インクジェット記録ヘッドを構成する異種材料の部材同士を固定する際の上記問題を解決し、信頼性が高く、小型で安価なインクジェット記録ヘッドを提供することである。

本発明のインクジェット記録ヘッドは、樹脂製の第一の支持部材の上に、非導電性材料からなり、かつ、積層構造を有する第二の支持部材が搭載され、該第二の支持部材の上に記録素子基板が搭載されている。前記第二の支持部材には、前記第一の支持部材との対向面において開口する外部連通穴が形成され、該外部連通穴には、その軸線方向と交差する方向に広がりを有する拡張部が連設されている。また、前記第一の支持部材には、前記第二の支持部材との対向面から突出する突起部が形成され、該突起部には、その軸線方向と交差する方向に突出した膨出部が一体に成形されている。そして、前記外部連通孔に挿入された前記突起部の前記膨出部が、前記外部連通孔の前記拡張部に嵌合することによって、前記第一の支持部材と前記第二の支持部材とが連結されている。

本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、前記第一の支持部材に突設された前記突起部を前記第二の支持部材に形成された前記外部連通穴に挿入する工程を有する。さらに、前記外部連通穴に挿入された前記突起部を加熱して、前記外部連通穴内において前記膨張部を形成する工程を有する。

本発明によれば、インクジェット記録ヘッドを構成する異種材料の部材同士を固定する際の問題点を解決し、信頼性が高く、小型で安価なインクジェット記録ヘッドを提供することができる。

（実施形態１）
以下、本発明の実施形態の一例について図面を参照しつつ詳細に説明する。図１（ａ）、（ｂ）は、本例のインクジェット記録ヘッドを構成する記録ヘッドチップ２０の構造を示す模式的斜視図であり、同図（ｃ）は同図（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。

図１（ａ）、（ｂ）に示すように、記録ヘッドチップ２０を構成している記録素子基板１００には、記録液（インク）を吐出するための吐出口１０７が複数形成されたノズル部材１０９が設けられている。ノズル部材１０９に形成された複数の吐出口１０７は列をなすことで、吐出口列１０８を形成している。吐出口列１０８の裏面側には、インクを供給するための液体供給口１０２が、吐出口列１０８の長さとほぼ等しい長さで開口されている。液体供給口１０２を介して供給されたインクは、図１（ｃ）に示す発泡室１０９に流入する。発泡室１０９に流入したインクは、吐出口１０７と対向する位置に設けられている電気熱変換素子(不図示)が発する熱エネルギーの作用を受けて吐出口１０７から吐出する。具体的には、記録信号となる電気パルスが入力された電気熱変換素子によって発泡室１０９内のインクに熱エネルギーが与えられると、インクが発泡（沸騰）し、このときの相変化によって生じる気泡圧力によってインクが吐出口１０７から吐出される。

さらに、記録素子基板１００には、各電気熱変換素子に接続された電極１０４が形成されており、それら電極１０４は、レーザーやエッチング等で形成された貫通スルーホール１２０内に形成された貫通配線（不図示）を介して裏面電極１２４に接続されている。また、裏面電極１２４には緩衝材として高さ20.0μｍの金バンプ１０５が設けられている。

以上の構成を有する記録ヘッドチップ２０は、図２（ａ）、（ｂ）に示す支持部材２００の搭載面上に載置されている。支持部材２００は、グリーンシートを積層、焼結して作られたセラミック積層配線基板であり、液体供給口２０１と、その周囲に配置された複数の電極端子２０２とを有し、各電極端子２０２は、図１（ｂ）、（ｃ）に示す金バンプ１０５に接合されている。一方、図２（ｂ）に示すように、支持部材２００の底面（上記搭載面と反対側の面）には、複数の外部電極端子２０３が設けられており、各外部電極端子２０３は、立体配線２０４（図３）によって、搭載面上の電極端子２０２に接続されている。立体配線２０４は、支持部材２００の少なくとも２層以上に形成された導体配線をビアホールを介して積層方向に接続してなるものである。また、図示は省略するが、上記導体配線は、必要に応じて同一層内の他の導体配線とも接続されている。

なお、図２（ｃ）に符号２６０で示された部材はシールゴムであり、支持部材２００の液体供給口２０１の周囲に取り付けられ、後述するホルダー２５０の液体供給口２５１と支持部材２００の液体供給口２０１との間に液体流路を形成する。

次に、図３（ａ）〜（ｄ）を参照しながら本例のインクジェット記録ヘッドの製造工程について説明する。なお、図３（ａ）〜（ｄ）は、図２（ｂ）のＢ−Ｂ'断面方向の要部断面図である。

まず、樹脂製の支持部材（ホルダー２５０）に支持部材２００を取り付ける。図３（ａ）に示すように、ホルダー２５０には、液体供給口２５１と、加締めピン２５２とが設けられている。液体供給口２５１の周囲に形成された凹部に、図２（ｃ）に示すシールゴム２６０を嵌め込んだ後に、加締めピン２５２を支持部材２００の底面に開口している外部連通穴２１０に挿入する。

その後、図３（ｂ）に示すように、支持部材２００に荷重Ｆを掛けながら振幅Ｗ0の超音波振動を加え、加締めピン２５２をその先端側から溶融（或いは軟化）させ、その後、加振を停止して、加締めピン２５２を再度硬化させる。以上によって、ホルダー２５０と支持部材２００とが固定され、一体化される。即ち、支持部材２００に形成された外部連通穴２１０の上端には、幅（径）が他の部分に比べて水平方向に拡張された拡張部２１１が連設されている。加締めピン２５２には、その先端面が拡張部２１１の天井に突き当たるまで外部連通穴２１０に挿入された状態（図３（ｂ）に示す状態）で、超音波振動が加えられる。すると、超音波振動によって溶融した加締めピン２５２の先端部分は、拡張部２１１を成形型として再生される。この結果、図３（ｃ）に示すように、加締めピン２５２の先端に他の部分よりも外側に膨出した大径部２５３が形成され（加締めピン２５２の先端部が溶融加締めされ）、加締めピン２５２が外部連通穴２１０から抜けなくなる。以上によって、ホルダー２５０と支持部材２００とが加締めピン２５２によって固定され、一体化される。

次に、図３（ｄ）に示すように、記録ヘッドチップ２０をアライメントした後に例えば超音波（振動）によって、記録ヘッドチップ２０の金バンプ１０５を支持部材２００の電極端子２０２に接合する。さらに、記録ヘッドチップ２０の周囲に封止剤３１０を塗布し、塗布された封止剤３１０を硬化させることで本例のインクジェット記録ヘッド１０が完成する。尚、記録ヘッドチップ２０の金バンプ１０５と支持部材２００の電極端子２０２との接合は、この他、加熱ツールによる熱圧着方式も可能であるが、金金接合の為には200℃以上の加熱が必要な為、前述のホルダー２５０が変形しないような工夫が必要である。また、超音波（振動）での接合においても超音波ホーンに設けたヒーターでの加熱を併用することで、短時間で確実な接合が可能である。

なお、記録ヘッドチップ２０を支持部材２００に接合する直前に、一体化されたホルダー２５０と支持部材２００との洗浄工程を実行することが望ましい。かかる工程を実行することによって、記録ヘッドチップ２０と支持部材２００との接合工程のみをクリーン環境下で行うことによって、記録ヘッド１０内への塵埃の混入が十分に防止されるからである。

本例の支持部材２００は、複数枚のグリーンシートを積層して作られたものであるので、各シートに所定形状及び寸法の開口部を予め形成しておくことによって、外部連通穴２１０及び拡張部２１１を容易に形成することができる。同様に、上記ビアホールや液体供給口２０１も容易に形成することができる。なお、図３には、５層構造の支持部材２００が図示されているが、通常使用される0.2mm〜0.4ｍｍ厚のグリーンシートを約10層積層し、総厚を3.0ｍｍ程度にすると良好である。

本例では加締めピン２５２を４本設けたが、ビスとは異なり、部品コストがかからず、溶着ホーンの形状も大きく変わらないので、必要な強度と支持部材２００内部の立体配線２０４の空きスペースとに応じて所望本数の加締めピン２５２を設けることができる。

本例では、支持部材２００としてセラミック積層配線基板を用いたが、支持部材２００は必ずしもセラミック積層配線基板には限定されない。もっとも、支持部材２００をセラミック積層配線基板とすれば、一部品で支持部材と電気配線部材を兼ねることが可能であり、より信頼性が高く、より小型、かつ、安価なインクジェット記録ヘッドを提供することが可能となる。

本例では、記録ヘッドチップ２０には裏面電極１２４に接続された貫通配線が形成されているものを使用したが、通常の記録素子基板を使用しても本発明の効果を得ることができる。しかしながら、電気接続を例えばワイヤーボンディング等で行う必要があり、製造工程が増える可能性がある。

本例では、超音波振動を加えることによって、加締めピン２５２を溶融加締めしたが、支持部材２００の記録ヘッドチップ搭載面側からヒーターブロックで加熱して加締めることも可能である。しかしながら、支持部材２００がホルダー２５０に接すると、ホルダー２５０の支持部材２００との接触面が溶けてしまうので、ヒーターブロックでの加熱は短時間とし、ホルダー２５０との接触面の温度が低くなるような温度勾配を持たせることが必要である。また、ヒーターブロックによる表面加熱で加締めを行なうと、超音波加振による内部発熱に比べて加締め強度が小さくなる傾向がある。従って、超音波加振による加締めのほうが優れている。

本例では、外部連通穴２１０および加締めピン２５２の断面形状を円形とした。しかし、これらの断面形状は、楕円形、矩形その他の任意の形状とすることができる。ここで、支持部材２００は、複数枚のグリーンシートを積層して作られているので、各シートに形成する開口部の形状を変更することによって、所望形状の外部連通穴２１０を非常に容易に形成することができる。
（実施形態２）
以下、本発明の実施形態の他例について説明する。図４（ａ）〜（ｄ）は、本例のインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す要部断面図である。本例のインクジェット記録ヘッドを構成する支持部材４００では、外部連通穴４１０の軸線方向途中に拡張部４１１が連設されている。さらに、拡張部４１１よりも上方に位置する外部連通穴４１０の上端部は、同拡張部４１１より下方の部分に比べて小径に形成されている。加えて、ホルダー４５０に突設されている加締めピン４５２の先端部にはテーパーが付けられている。

実施形態１で説明した支持部材２００では、拡張部２１１が外部連通穴２１０の上端に連設されていた。このため、超音波加振によって溶融（或いは軟化）した加締めピン２５２の材料樹脂が拡張部２１１内で偏った状態で硬化してしまうことがあり、固定強度にバラツキが生じる虞がある。それに対し、本例では、加締めピン４５２のテーパーが付けられた先端部は、拡張部４１１を通過し、外部連通穴４１０よりも小径の外部連通穴４１０の上端部に挿入され（図４（ｂ））、その状態で超音波振動が加えられる。即ち、加締めピン４５２が溶融する際、該加締めピン４５２の先端部は、外部連通穴４１０の上端部によって拘束されている。従って、溶融した加締めピン４５２の材料樹脂が拡張部４１１内で偏った状態で硬化することが防止される。なお、本例では、外部連通穴４１０の長手方向途中に拡張部４１１が形成されているので、加締めピン４５２の大径部４５３は、該加締めピン４５２の軸線方向途中に形成される（図４（ｃ））。

ここで、加締めピン４５２の先端部に付けられたテーパーは、該加締めピン４５２を外部連通穴４１０に挿入する際、拡張部４１１を通過した加締めピン４５２の先端部を該外部連通穴４１０よりも小径の外部連通穴４１０の上端部に挿入し位置決めし易くする効果を奏する。なお、本例では、加締めピン４５２の先端面を平面にしてあるが、円弧面としたり、先尖としたりすると、上記効果がさらに向上する。

尚、ここで説明したインクジェット記録ヘッドの構造および製造工程以外の構造および工程は、実施形態１のそれらと同様であるので、説明を省略する。また、実施形態１で説明した構成と同一の構成については、図４中に同一の符号を付した。
（実施形態３）
実施形態１、２では、搭載される記録ヘッドチップが１つのインクジェット記録ヘッドについて述べたが、本例では、複数の記録ヘッドチップが搭載されたカラー用のインクジェット記録ヘッドについて説明する。なお、搭載される各記録ヘッドチップの構造は、実施形態１の記録ヘッドチップ２０と同一である。

図５（ａ）、（ｂ）は、本例のインクジェット記録ヘッドを構成する支持部材５００の構造を示す模式的斜視図である。図示されている支持部材５００は、実施形態１の支持部材２００と基本的に同一の構造を有する。即ち、グリーンシートを積層し、焼結して作られたセラミック積層配線基板であり、液体供給口５０１（Ｙ、Ｍ、Ｃ）と、その周囲に配置された複数の電極端子５０２とを有する。また、不図示の導体配線とビアホールにより立体配線５０４が形成され、外部電極端子５０３が電極端子５０２に接続されている（図６）。但し、本例の支持部材５００は、液体供給口５０１Ｙ、液体供給口５０１Ｍ、液体供給口５０１Ｃの３つの液体供給口を備え、各液体供給口５０１Ｙ、５０１Ｍ、５０１Ｃの周囲に、複数の電極端子５０２が設けられている。そして、電極端子５０２が対応する記録素子基板１００の金バンプ１０５と接合され、各記録ヘッドチップ２０（図６）からのインクの吐出を可能にしている。

次に、図６（ａ）〜（ｃ）を参照しながら本例のインクジェット記録ヘッドの製造工程について説明する。なお、図６（ａ）〜（ｃ）は、図５（ｂ）のＣ−Ｃ'断面方向の要部断面図である。

まず、樹脂製のホルダー５５０に支持部材５００を取り付ける。ここで、ホルダー５５０には、支持部材５００の３つの液体供給口５０１Ｙ、５０１Ｍ、５０１Ｃに対応した液体供給口５５１Ｙ、５５１Ｍ、５５１Ｃと、３本の加締めピン５５２とが設けられている。一方、支持部材５００には、３本の加締めピン５５２がそれぞれ挿入される外部連通穴５１０が形成されている（図５（ｂ））。尚、各外部連通穴５１０および加締めピン５５２の構成は、実施形態１の外部連通穴２１０および加締めピン２５２と実質的に同一である。

製造工程の説明に戻ると、図６（ａ）に示すように、ホルダー５５０の液体供給口５５１Ｙ、５５１Ｍ、５５１Ｃの周囲にシールゴム５６０を配置した上で、加締めピン５５２を支持部材５００の底面に開口している外部連通穴５１０に挿入する。その後、支持部材５００に荷重Ｆを掛けながら振幅Ｗ0の超音波振動を加えることによって、実施形態１で説明したのと同様の原理で、ホルダー５５０と支持部材５００とが加締めピン５５２によって固定され、一体化される（図６（ｂ））。また、ホルダー５５０と支持部材５００とが固定されることによって、シールゴム５６０がホルダー５５０と支持部材５００との間に挟持される。これによって、ホルダー５５０の液体供給口５５１Ｙ、５５１Ｍ、５５１Ｃと、支持部材５００の液体供給口５０１Ｙ、液体供給口５０１Ｍ、液体供給口５０１Ｃとの間に、液体流路が形成される。従って、不図示のインクタンクから供給され、ホルダー５５０の各液体供給口５５１に流入したインクは、上記液体流路を介して、支持部材５００の各液体供給口５０１に流入し、各記録ヘッドチップ２０に供給される。なお、ホルダー５５０の各液体供給口５５１Ｙ、５５１Ｍ、５５１Ｃには、インクに混入した塵芥などを除去するためのフィルタ５６０が設けられている。

次に、図６（ｃ）に示すように、複数の記録ヘッドチップ２０をアライメントした後に例えば超音波（振動）によって、各記録ヘッドチップ２０の金バンプ１０５を支持部材５００の対応する電極端子５０２に接合する。さらに、封止剤３１０を各記録ヘッドチップ２０の周囲に塗布し、硬化させることで本例のインクジェット記録ヘッド１００が完成する。

本例では、既述の通り、加締めピンが３本設けられている。しかし、カラー用のインクジェット記録ヘッドの場合、支持部材内部の立体配線の空きスペース少ないうえ、支持部材の大型化はコストアップを招く。そこで本例では、図５（ｂ）に示すように、液体供給口５０１Ｙ、５０１Ｍ、５０１Ｃを千鳥配置にして、その配置を逃げる形で３つの外部連通口穴５１０を配置した。なお、シールゴム５６０の反発に対する必要な強度に関しては、加締めピン５５２の太さを変えることで対応可能であり、本例では、外径1.8ｍｍとしてある。

再び図６（ｃ）を参照すると、加締めピン５５２、および外部連通穴５１０は、ホルダー５５０と支持部材５００とが重複するエリア内に配置されている。かかる配置は、支持部材５００をビスによってホルダー５５０に固定する場合には実現不可能であり、先にホルダー５５０と支持部材５００とを固定し、その後、記録ヘッドチップ２０をアライメントして接合する本発明だからこそ実現可能な配置である。そして、かかる配置によれば、支持部材にビス止め用のスペースを確保する必要がないので、支持部材を記録ヘッドチップと略同一程度にまで小さくでき、小型で、安価なインクジェット記録ヘッドが提供できる。

記録ヘッドチップの一例を示す模式図であって、（ａ）（ｂ）は斜視図、（ｃ）は断面図である。 （ａ）（ｂ）は、支持部材の一例を示す模式的斜視図、（ｃ）はシールゴムの一例を示す模式的斜視図である。 インクジェット記録ヘッドの製造工程の一例を示す模式的断面図である。 インクジェット記録ヘッドの製造工程の他例を示す模式的断面図である。 （ａ）（ｂ）は、支持部材の他例を示す模式的斜視図である。 インクジェット記録ヘッドの製造工程の他例を示す模式的断面図である。

符号の説明

１００ 記録素子基板
２００、４００、５００ 支持部材
２１０、４１０、５１０ 外部連通穴
２１１、４１１ 拡張部
２５０、４５０、５５０ ホルダー
２５２、４５２、５５２ 加締めピン
２５３、４５３ 大径部
２０２、５０２ 電極端子
１２４ 裏面電極

Claims (9)

1. 第一の支持部材の上に、非導電性材料からなり、かつ、積層構造を有する第二の支持部材が搭載され、該第二の支持部材の上に記録素子基板が搭載されたインクジェット記録ヘッドであって、
   前記第二の支持部材には、前記第一の支持部材との対向面において開口する外部連通穴が形成され、該外部連通穴には、その軸線方向と交差する方向に広がりを有する拡張部が連設され、
   前記第一の支持部材には、前記第二の支持部材との対向面から突出する突起部が形成され、該突起部には、その軸線方向と交差する方向に膨出した膨出部が形成され、
   前記外部連通孔に挿入された前記突起部の前記膨出部が、前記外部連通孔の前記拡張部に嵌合することによって、前記第一の支持部材と前記第二の支持部材とが連結されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 前記拡張部の少なくとも一部が前記第二の支持部材と前記記録素子基板とが重複する領域内に存在することを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 前記拡張部が前記外部連通穴の軸線方向途中に連設されており、前記拡張部よりも前記記録素子基板側の前記外部連通穴の断面積が、前記拡張部よりも前記第一の支持部材側の前記外部連通穴の断面積よりも小であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 前記膨出部が前記外部連通穴に挿入された前記突起部を溶融または軟化させた後に再度硬化させて形成したものであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
5. 前記第二の支持部材の内部に、該第二の支持部材の複数の層に跨る立体配線が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 前記第二の支持部材がセラミック材料によって形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
7. 前記第二の支持部材がセラミックシートの積層体であり、少なくとも２以上のセラミックシートに形成された配線をビアホールを介して接続して前記立体配線が形成されていることを特徴とする請求項５記載のインクジェット記録ヘッド。
8. 請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
   前記第一の支持部材に突設された前記突起部を前記第二の支持部材に形成された前記外部連通穴に挿入する工程と、
   前記外部連通穴に挿入された前記突起部を加熱して、前記外部連通穴内において前記膨張部を形成する工程と、
   を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
9. 前記外部連通穴に挿入された前記突起部に超音波振動を加えて該突起部を加熱することを特徴とする請求項８記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。

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