JP2013014070A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】使用材料の数を増やすことなく、記録素子基板の電気接続部を保護する封止剤が所定領域にのみ塗布されたインクジェット記録ヘッドを実現する。
【解決手段】凹部１２０が形成された支持部材１０３、凹部１２０に収容された記録素子基板１０１および支持部材１０３に固定された電気配線部材１０２を有する記録ヘッドであって、電気配線部材１０２には、基板１０１が露出する開口部１０４の縁から該開口部１０４の内側へ向けて伸びて基板１０１の電極パッド２０４に接合されている電極リードと、開口部１０４の縁から該開口部１０４の内側へ向けて伸びており、先端が凹部底面１０８に接している突出部３０２とが設けられており、凹部底面１０８、これに対向する突出部３０２の裏面、基板１０１の側面、これに対向する凹部内側面１１０によって囲まれた空間に、電極パッド２０４と電極リード１０５の接合部を被覆する封止剤１３０が充填されている。
【選択図】図３

Description

本発明は、記録紙等の被記録媒体に対してインクを吐出するインクジェット記録ヘッドとその製造方法に関する。

インクジェット記録ヘッド（以下「記録ヘッド」と呼ぶ場合もある。）は、電気熱変換素子やインク室等が設けられた記録素子基板と、該記録素子基板と記録装置本体とを電気的に接続するフレキシブルフィルム配線基板とを有する。さらに、記録素子基板やフレキシブル配線基板を支持するための支持部材も有する。一般的に、記録素子基板やフレキシブル配線基板は、支持部材に貼り付けられ、該支持部材によって支持される。さらに、フレキシブルフィルム配線基板から伸びている複数の電極リードが記録素子基板に設けられている電極パッドに重ねられて接合されており、その接合部を含む電極リードおよび電極パッドは封止剤により封止されている。

従来、電極リードの表面側と裏面側は異なる封止剤で封止されている。具体的には、支持部材に形成されている凹部の内面と、該凹部内に収容されている記録素子基板の側面との間の隙間に、第一の封止剤が充填されている。この第一の封止剤は、電極リードの裏面側などの狭い隙間にも入り込むことが可能な流動性を持つ一方、硬化後には弾性を有する。このような第一の封止剤を充填することで、電極リードの裏面側が被覆される。さらに、電極パッドとの接合部を含む電極リードの表面側には、第二の封止剤が塗布されている。この第二の封止剤は、硬化後に強固な接着力を有し、かつ硬く、また塗布形状を保持する。このような第二の封止剤を塗布することで、ワイピング等の外力から電極リード、電極パッドおよびそれらの接合部を保護することができる。以下の説明では、電極リード、電極パッドおよびそれらの接合部を「電気接続部」と総称する場合がある。

ただし、記録素子基板の外周部のうち、電気接続部以外の部分には、封止剤がなるべく接触していない方が好ましい。換言すれば、記録素子基板外周部の所定領域にのみ封止剤が塗布されていることが好ましい。その理由の一つは、環境変化等によって封止剤が膨張したり収縮したりすると、記録素子基板に無用な外力が作用するからである。特に、記録ヘッドを小型化するために記録素子基板のサイズを縮小すると、上記外力によって記録素子基板が変形したり、インクの吐出不良が発生したり、インク滴の着弾位置精度が低下したりすることが懸念される。

ここで、電気接続部の封止に、上記第一の封止剤のような流動性の高い封止剤を用いると、所定領域以外の領域に封止剤が流出してしまう。一方、上記第二の封止剤のような粘度の高い封止剤を用いると、電気接続部を完全に被覆することができない。

そこで、特許文献１には、流動性を有する封止剤を用いつつ、所定領域以外の領域への封止剤の流出を回避すべく、接着剤で壁を作る方法が開示されている。具体的には、記録素子基板外周部のうち、電気接続部が形成されている領域とそれ以外の領域との間に、両者を隔てる壁を形成した上で、封止剤を塗布することが開示されている。

米国特許第７２４０９９１号明細書

特許文献１に開示されている技術では、封止剤とは別の接着剤を用いて封止剤の流出を防止するための壁を形成する必要があるので、使用材料の数が増える。また、接着剤を塗布する工程や塗布した接着剤を硬化させる工程が必要になるので、製造工程数が増加し、製造コストがアップする懸念もある。

そこで本発明の目的は、使用材料の数を増やすことなく、記録素子基板の電気接続部を保護する封止剤が所定領域にのみ塗布されたインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供することである。

本発明のインクジェット記録ヘッドは、支持部材に形成された凹部の底面上に配置されている記録素子基板が、前記支持部材の前記凹部が形成されている面に接合されている電気配線部材の開口部から露出しているインクジェット記録ヘッドにおいて、前記記録素子基板の少なくとも一辺に、該一辺に沿って配置された複数の電極パッドと、前記電極パッドが配置されている前記記録素子基板の前記一辺に対向する前記電気配線部材の前記開口部の一辺から伸びており、前記電極パッドにそれぞれ接続されている複数の電極リードと、前記電極リードが伸びている前記開口部の前記一辺または他の辺から、前記記録素子基板の前記電極パッドが配置されていない辺と該辺に対向する前記凹部の内側面との間の隙間に伸びている突出部とを有する。そして、前記突出部の先端は、前記凹部の前記底面に接しており、前記凹部の前記底面、該底面に対向する前記突出部の裏面、前記凹部の前記内側面および該内側面に対向する前記記録素子基板の側面によって囲まれた空間に、前記電極パッドと前記電極リードの接合部を被覆する第一の封止剤が充填されている。

本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、支持部材に形成された凹部の底面上に配置されている記録素子基板が、前記支持部材の前記凹部が形成されている面に接合されている電気配線部材の開口部から露出しているインクジェット記録ヘッドの製造方法である。そして、前記記録素子基板の少なくとも一辺に該一辺に沿って配置されている複数の電極パッドに、前記電極パッドが配置されている前記記録素子基板の前記一の辺に対向する前記電気配線部材の前記開口部の一辺から伸びている複数の電極リードをそれぞれ接合する工程と、前記電極リードが伸びている前記開口部の前記一辺または他の辺から、前記記録素子基板の前記電極パッドが配置されていない辺と該辺に対向する前記凹部の内側面との間の隙間に伸びている突出部を、該突出部の先端が前記凹部の前記底面に接するように曲げる工程と、前記凹部の前記底面、該底面に対向する前記突出部の裏面、前記凹部の前記内側面および該内側面に対向する前記記録素子基板の側面によって囲まれた空間に第一の封止剤を充填して前記電極パッドと前記電極リードの接合部を被覆する工程とを有する。

本発明によれば、従来に比べて使用材料の数を増やすことなく、封止剤が所定領域にのみ塗布されたインクジェット記録ヘッドを提供することができる。その結果、記録素子基板に封止剤の膨張や収縮による無用な外力が作用する可能性が低減し、インク吐出不良や記録素子基板の機械的破壊が防止される。また、従来と比較して使用する封止剤の量が減少するため、コストも低減される。

第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドカートリッジの斜視図である。 第１の実施形態に係る記録素子基板の平面図である。 第１の実施形態に係る記録素子基板およびその近傍の模式図である。 第１の実施形態に係る電気配線部材の模式図である。 第１の実施形態に係る電気配線部材の突出部およびその近傍を示す模式的断面図である。 第１の実施形態に係る電気配線部材の突出部を示す模式図である。 第２の実施形態に係る記録素子基板およびその近傍を示す模式図である。 第３の実施形態に係る電気配線部材の突出部およびその近傍を示す模式的断面図である。

（第１の実施形態）
次に、本発明の第１の実施形態について図面を参照して説明する。ここでは、インクジェット記録ヘッドとインク容器とが一体化された形態について説明するが、記録ヘッドに対してインク容器が着脱可能であってもよい。

図１（ａ）は、本発明が適用されたインクジェット記録ヘッドカートリッジ１００の斜視図である。図１（ｂ）は、インクジェット記録ヘッドカートリッジ１００の記録ヘッド部分を分解して示す斜視図である。なお、以下の説明中では、インクジェット記録ヘッドカートリッジを「ヘッドカートリッジ」と略して呼ぶ場合もある。

図２（ａ）は、記録ヘッド部分を構成する記録素子基板１０１の表面を示す平面図であり、図２（ｂ）は、記録素子基板１０１の裏面を示す平面図である。

図２に示すように、記録素子基板１０１は、シリコン（Ｓｉ）材料よりなる厚さ０．６２５ｍｍの略長方形の板状部材である。記録素子基板１０１の表面には、インクを吐出するためのエネルギーを発生する素子として、複数の電気熱変換素子（不図示）が設けられている。記録素子基板１０１の表面には、少なくとも一辺（本実施形態では対向する２つの短辺）に沿って複数の電極パッド２０４が配置されている。さらに、各電極パッド２０４と各電気熱変換素子を電気的に接続し、それぞれの電気熱変換素子に電力を供給するアルミニウム（Ａｌ）等の電気配線（不図示）も設けられている。これら、電気熱変換素子、電極パッド２０４および電気配線は、成膜技術により形成されている。また、本実施形態では、電気熱変換素子としてヒーターが用いられている。

さらに、記録素子基板１０１の表面側には、各電気熱変換素子に対応する複数のインク流路（不図示）と複数のインク吐出口２０１が形成された流路形成部材２０２が、フォトリソグラフィ技術により形成されている。また、各インク流路にインクを供給するための共通のインク供給口２０３も開口されている。インク供給口２０３は、記録素子基板１０１の長手方向に沿って開口しており、記録素子基板１０１を貫通している。

電気配線部材１０２は、記録素子基板１０１が組み込まれる略長方形の開口部（デバイスホール）１０４と、記録素子基板１０１に設けられている電極パッド２０４に接続される複数の電極リード１０５を備えている。電極リード１０５は、開口部１０４の辺（縁）から開口部１０４の内側へ向けて伸びている。より具体的には、電極パッド２０４が配置されている記録素子基板１０１の２つの短辺に対向する各短辺から開口部１０４の内側へ向けて複数の電極リード１０５がそれぞれ伸びている。

さらに、電気配線部材１０２は、不図示の記録装置本体から出力された駆動制御信号が入力される外部信号入力端子１０６も備えている。この外部信号入力端子１０６と電極リード１０５が、銅箔配線を介して接続されて、可撓性を有する電気配線部材１０２が形成されている。電気配線部材１０２の一例としてＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式のテープが挙げられる。

電気配線部材１０２の各電極リード１０５は、記録素子基板１０１の電極パッド２０４にそれぞれ接合されており、その接合部は、該接合部をインク等の液体や外力から保護するための封止剤１３０によって被覆されている。

記録ヘッド部を構成している筐体の一部である支持部材１０３は、樹脂成形により形成されており、本実施形態においては、変性ポリフェニレンエーテルによって成形されている。さらに、支持部材１０３の形状的剛性を向上させるべく、ガラスフィラーが３５質量％混合された樹脂材料が使用されている。この支持部材１０３には、インク貯留部からのインク供給を受けるためのインク供給路１０７が形成されている。支持部材１０３と記録素子基板１０１は、熱硬化型接着剤によって接合されている。両者を接合する際には、例えば、支持部材１０３の上の所定位置に熱硬化型接着剤を塗布した後、接着剤が塗布されている上記所定位置に記録素子基板１０１を位置合わせして載置する。また、支持部材１０３には、接着剤によって電気配線部材１０２も固定されており、電気配線部材１０２の開口部１０４から記録素子基板１０１が露出している。

図３（ａ）は、図１（ａ）に示す記録素子基板１０１およびその近傍を示す模式的に示す拡大図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ断面図、図３（ｃ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図３に示すように、記録素子基板１０１は、支持部材１０３に形成された凹部１２０の底面上に配置されている。具体的には、支持部材１０３の面１０９には、記録素子基板１０１が配置される凹部１２０が形成されており、該凹部１２０の底面１０８の上に記録素子基板１０１が配置されている。また、凹部１２０を取り囲む面１０９に電気配線部材１０２が接着固定され、凹部１２０内に配置された記録素子基板１０１が電気配線部材１０２の開口部１０４から露出している。電気配線部材１０２が接合されている面１０９よりも一段低い凹部底面１０８上に記録素子基板１０１を配置するのは、電極リード１０５と電極パッド２０４をほぼ同じ高さにして、両者の電気的接続の信頼性を向上させるためである。なお、凹部１２０の内面は、底面１０８と該底面１０８の各辺から立ち上がる内側面１１０とによって形成されていることは図面から明らかである。

図３（ａ）に示すように、電気配線部材１０２の開口部１０４の四隅には突出部３０２がそれぞれ設けられている。換言すれば、電極リード１０５が伸びている開口部１０４の辺（縁）と同一の辺（縁）から突出部３０２がそれぞれ伸びている。具体的には、２つの突出部３０２が開口部１０４の一方の短辺から開口部１０４の内側へ向けて伸びており、他方の短辺から別の２つの突出部３０２が開口部１０４の内側へ向けて伸びている。また、各突出部３０２は、記録素子基板１０１の電極パッド２０４が配置されていない辺（長辺）と該長辺に対向する凹部内側面１１０との間の隙間に伸びている。換言すれば、各突出部３０２は、記録素子基板１０１の長辺側の側面とこれに対向する凹部内側面１１０との間の隙間に伸びている。

さらに、図３（ｂ）に最も明確に示されているように、各突出部３０２は、開口部１０４の開口面に沿って伸びる平坦部３０２ａと、平坦部３０２ａの端から支持部材１０３の凹部底面１０８に向けて折り曲げられた屈曲部３０２ｂとを有する。加えて、突出部３０２の先端（屈曲部３０２ｂの先端）は、凹部底面１０８に接している。

図３（ｂ）（ｃ）に示すように、突出部３０２の裏面を含む電気配線部材１０２の裏面、記録素子基板１０１の側面および支持部材１０３の凹部１２０の内面によって囲まれた空間には第一の封止剤としての封止剤１３０が充填されている。この封止剤１３０により、電極リード１０５の表裏面、電極パッド２０４およびこれらの接合部、すなわち電気接続部が被覆されている。なお、上記空間を形成している凹部１２０の内面とは、凹部底面１０８および凹部内側面１１０の一部の領域であることは図面から明らかである。なお、突出部３０２は、上記空間を形成するように、記録素子基板１０１の側面とこれに対向する凹部内側面１１０との間の隙間に伸びている限り、開口部１０４の短辺ではなく、長辺から伸びていてもよく、短辺と長辺の双方から伸びていてもよい。

次に、本発明の製造方法の一部である封止剤１３０の充填工程について説明する。まず電気配線部材１０２の電極リード１０５と記録素子基板１０１の電極パッド２０４を接合させる。その後、記録素子基板１０１を支持部材１０３の凹部底面１０８上に位置合わせし、記録素子基板１０１を凹部底面１０８に接着固定する。同時に、電気配線部材１０２を支持部材１０３の面１０９およびこれに連なる側面に接着固定する。なお、突出部３０２の屈曲部３０２ｂを形成する折り曲げ工程は、電気配線部材１０２と記録素子基板１０１を接合する前に行ってもよく、記録素子基板１０１を支持部材１０３に接合する際に同時に行ってもよい。また、記録素子基板１０１を支持部材１０３に接合した後に行ってもよい。

いずれにしても、支持部材１０３に記録素子基板１０１および電気配線部材１０２を接合した後、凹部１２０内に封止剤１３０を充填して電気接続部を被覆する。具体的には、各電極リード１０５の間から支持部材１０３の凹部内へ流入した封止剤１３０が上記空間を満たし、さらに、電気接続部を覆うまで封止剤１３０を充填する（図３（ｃ）参照）。よって、封止剤１３０には、粘度が極端に高いものではなく、各電極リード１０５の間から支持部材１０３の凹部内へ流入可能な程度の粘度のものを用いる。

その後、封止剤１３０を硬化させる。電極リード１０５と電極パッド２０４の接合部をより強固に保護するために、接合部を被覆している封止剤１３０の上に、より高粘度の第二の封止剤を重ねて塗布してもよい。また、封止剤１３０と同一の封止剤を第二の封止剤として重ねて塗布してもよい。

図４（ａ）は、屈曲部３０２ｂが形成される前の突出部３０２を示す模式図であり、図４（ｂ）は、屈曲部３０２ｂが形成された後の突出部３０２を示す模式図である。図５（ａ）に示すように、突出部３０２は、その先端側の一部が支持部材１０３の凹部底面１０８に接するように折り曲げられている。このとき、突出部３０２の折り曲げ位置（平坦部３０２ａと屈曲部３０２ｂの境界）から突出部３０２（屈曲部３０２ｂ）の先端までの距離（長さ）をＬ１、支持部材１０３の凹部１２０の深さをＬ２とすると、Ｌ１≧Ｌ２の関係が成り立つ。かかる関係が成立することにより、突出部３０２の先端と凹部底面１０８との間の隙間が非常に小さくなり、封止剤１３０が記録素子基板１０１の周囲へ流出することを防ぐことができる。一方、図５（ｂ）の示すように、Ｌ１＜Ｌ２の関係が成り立つ場合には、突出部３０２の先端と凹部底面１０８との間の隙間が大きくなり、その隙間から封止剤が流出してしまう。

さらに、図５（ｃ）に示すように、記録素子基板３０４の長手方向の側面（端面）に対向する凹部内側面１１０から、該内側面１１０の上を通って伸びる突出部３２０の先端と凹部底面１０８との接点までの距離をＬ３とする。また、上記の凹部内側面１１０から該内側面１１０に最も近接しているインク供給口２０３の縁までの距離をＬ４とする。ここで、距離Ｌ３および距離Ｌ４は、凹部底面１０８に沿った直線距離である。このとき、Ｌ３≦Ｌ４の関係が成り立つように、突出部３０２の形状や大きさが設定されている。これには二つ理由がある。一つ目の理由は、封止剤１３０の膨張・収縮による無用な外力が記録素子基板１０１に作用することを防止するためである。記録素子基板１０１のインク供給口２０３が設けられている部分は、他の部分に比べて機械的強度が弱い。よって、図５（ｃ）に示す距離Ｌ４が記録素子基板１０１のインク供給口２０３の縁を越えて伸びていると、封止剤１３０の膨張・収縮による無用な外力が記録素子基板１０１に作用してしまう。これでは、記録素子基板１０１が変形してインク吐出不良や機械的破壊が生じるリスクが、記録素子基板１０１の外周全体に封止剤が存在している場合とほぼ同程度に高まってしまうので、これを防止するのが一つ目の理由である。もう一つの理由は、封止剤の使用量を抑制することである。

加えて、突出部３０２の形状を図６（ａ）に示すような形状とすることで、封止剤がさらに流出し難い構成となる。図６（ａ）に示す突出部３０２では、屈曲部３０２ｂの幅Ｗ１が、記録素子基板１０１の幅方向の側面（長辺側の側面）と該側面に対向する凹部内側面（不図示）との間の隙間の幅Ｗ２（図６（ｂ））よりも若干広くなっている。このため、図６（ｂ）に示すように、屈曲部３０２ｂの一部が記録素子基板１０１の幅方向側面に密接し、封止剤の流出がより確実に防止される。

また、記録素子基板１０１と電気配線部材１０２の接合は、電極パッド２０４や電極リード１０５の位置を基準として行われが、これらの位置には多少の公差が存在する。しかし、屈曲部３０２ｂの幅Ｗ１が上記のように拡大されているので、公差が存在する場合であっても、屈曲部３０２ｂが記録素子基板１０１の幅方向側面に確実に接触し、封止剤の流出がより確実に防止される。
（第２の実施形態）
図７を参照して本発明の実施形態の他例について説明する。図７（ａ）は、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドにおける記録素子基板近傍を模式的に示す拡大図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。

図７（ａ）（ｂ）に示すように、支持部材１０３の凹部底面１０８上であって、記録素子基板１０１の周囲に４つの突起７０１が設けられている。具体的には、記録素子基板１０１の幅方向側面と該側面に対向する支持部材１０３の凹部内側面との間に、突起７０１が設けられている。そして、電気配線基板１０２の各突出部３０２の先端（屈曲部３０２ｂの先端）が対応する突起７０１に突き当てられて係止されている。よって、突出部３０２の弾性が比較的弱い場合にも、突出部３０２の裏側に充填された封止剤１３０を確実に堰き止めることができる。

なお、突起７０１は支持部材１０３の成形時に同時成形されるため、部品数や工程数が増えることはない。突起７０１の形状は、図７に示すような直方体に限らずどのような形状でもあってもよい。また、大きさについても、幅が図６（ｂ）に示す幅Ｗ２よりも狭く、高さが記録素子基板１０１よりも低ければよい。

また、図７（ｃ）に示すように、突出部３０２を完全に折り曲げず、その先端を突起７０１に突き当てることによって形状を保持してもよい。この場合、突出部３０２に屈曲部３０２ｂを形成する折り曲げ工程を省略することができる。なお、突出部３０２を図７（ｂ）に示すように湾曲させる工程は、記録素子基板１０１を支持部材１０３の凹部底面１０８に接合する工程と同時に、治具を用いて行えばよい。
（第３の実施形態）
図８を参照して本発明の実施形態の他例について説明する。図８（ａ）は、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドにおける記録素子基板近傍を模式的に示す拡大図である。

図８（ａ）に示すように、支持部材１０３の凹部底面１０８上であって、記録素子基板１０１の周囲に４つの溝８０１が設けられている。具体的には、記録素子基板１０１の幅方向側面と該側面に対向する支持部材１０３の凹部内側面との間に、溝８０１が設けられている。そして、電気配線基板１０２の各突出部３０２の先端が対応する溝８０１に嵌合されて係止されている。よって、突出部３０２の弾性が比較的弱い場合にも、突出部３０２の裏側に充填された封止剤１３０を確実に堰き止めることができる。なお、溝８０１は、支持部材１０３の成形時に同時成形されるため、部品数や工程数が増えることはない。

本実施形態では、突出部３０２の先端が溝８０１に確実に嵌合されるように、突出部３０２の先端に、図８（ｃ）に示すような凸部８０２が形成されている。なお、溝８０１の形状は図示されている形状に限らずどのような形状でもよい。また、大きさについても、幅が図６（ｂ）に示す幅Ｗ２よりも狭ければよい。

なお、本実施形態においても、突出部３０２の幅Ｗ１を図６（ｂ）に示す幅Ｗ２よりも若干広くすることができる。

さらに、図８（ｂ）に示すように、突出部３０２を完全に折り曲げず、その先端を溝８０１に嵌合させることによって形状を保持してもよい。この場合、突出部３０２に、屈曲部３０２ｂを形成する折り曲げ工程を省略することができる。なお、突出部３０２を図８（ｂ）に示すように湾曲させる工程は、記録素子基板１０１を支持部材１０３に接合する工程と同時に、治具を用いて行えばよい。

本発明のインクジェット記録ヘッドは、一般的なプリンターのほか、複写機、通信手段を備えたファクシミリ、印刷手段を備えたワードプロセッサ、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に適用することができる。

１００ インクジェット記録ヘッド
１０１ 記録素子基板
１０２ 電気配線部材
１０３ 支持部材
１０４ 開口部
１０５ 電極リード
１０８ 凹部底面
１０９ 面
１１０ 凹部内側面
１２０ 凹部
１３０ 封止剤
２０４ 電極パッド
３０２ 突出部
７０１ 突起
８０１ 溝

Claims (12)

1. 支持部材に形成された凹部の底面上に配置されている記録素子基板が、前記支持部材の前記凹部が形成されている面に接合されている電気配線部材の開口部から露出しているインクジェット記録ヘッドにおいて、
   前記記録素子基板の少なくとも一辺に、該一辺に沿って配置された複数の電極パッドと、
   前記電極パッドが配置されている前記記録素子基板の前記一辺に対向する前記電気配線部材の前記開口部の一辺から伸びており、前記電極パッドにそれぞれ接続されている複数の電極リードと、
   前記電極リードが伸びている前記開口部の前記一辺または他の辺から、前記記録素子基板の前記電極パッドが配置されていない辺と該辺に対向する前記凹部の内側面との間の隙間に伸びている突出部と、を有し、
   前記突出部の先端は、前記凹部の前記底面に接しており、
   前記凹部の前記底面、該底面に対向する前記突出部の裏面、前記凹部の前記内側面および該内側面に対向する前記記録素子基板の側面によって囲まれた空間に、前記電極パッドと前記電極リードの接合部を被覆する第一の封止剤が充填されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 前記凹部の前記底面に、前記突出部の前記先端が係止される突起または溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 前記突出部は、前記開口部の開口面に沿って伸びる平坦部と、該平坦部の端から前記凹部の前記底面に向けて折り曲げられた屈曲部とを有し、
   前記平坦部と前記屈曲部の境界から前記突出部の前記先端までの長さをＬ１、前記凹部の深さをＬ２としたとき、Ｌ１≧Ｌ２の関係が成立することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 前記突出部の一部が、前記記録素子基板の前記側面に接していることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。
5. 前記第一の封止剤の上に第二の封止剤が重ねて塗布されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 前記第一の封止剤と前記第二の封止剤が同一の封止剤であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッド。
7. 前記第二の封止剤が、前記第一の封止剤よりも高粘度の封止剤であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッド。
8. 前記記録素子基板には、該記録素子基板の長手方向に沿って開口したインク供給口が形成されており、
   前記記録素子基板の長手方向の側面に対向する前記凹部の内側面から前記突出部の前記先端までの、前記凹部の前記底面に沿った距離をＬ３、
   前記記録素子基板の長手方向の側面に対向する前記凹部の前記内側面から該内側面に最も近接している前記インク供給口の縁までの、前記凹部の前記底面に沿った距離をＬ４としたとき、
   Ｌ４≧Ｌ３の関係が成立することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。
9. 支持部材に形成された凹部の底面上に配置されている記録素子基板が、前記支持部材の前記凹部が形成されている面に接合されている電気配線部材の開口部から露出しているインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
   前記記録素子基板の少なくとも一辺に該一辺に沿って配置されている複数の電極パッドに、前記電極パッドが配置されている前記記録素子基板の前記一の辺に対向する前記電気配線部材の前記開口部の一辺から伸びている複数の電極リードをそれぞれ接合する工程と、
   前記電極リードが伸びている前記開口部の前記一辺または他の辺から、前記記録素子基板の前記電極パッドが配置されていない辺と該辺に対向する前記凹部の内側面との間の隙間に伸びている突出部を、該突出部の先端が前記凹部の前記底面に接するように曲げる工程と、
   前記凹部の前記底面、該底面に対向する前記突出部の裏面、前記凹部の前記内側面および該内側面に対向する前記記録素子基板の側面によって囲まれた空間に第一の封止剤を充填して前記電極パッドと前記電極リードの接合部を被覆する工程とを有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
10. 前記第一の封止剤を充填した後に、該第一の封止剤の上に第二の封止剤を重ねて塗布する工程を有することを特徴とする請求項９に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
11. 前記突出部を曲げる工程では、前記開口部の開口面に沿って伸びる平坦部と、該平坦部の端から前記凹部の前記底面に向けて伸びる屈曲部とが形成されるように、前記突出部を折り曲げることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
12. 前記平坦部と前記屈曲部の境界から前記突出部の先端までの長さをＬ１、前記凹部の深さをＬ２としたとき、Ｌ１≧Ｌ２の関係が成立するように、前記突出部を折り曲げることを特徴とする請求項１１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。

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