JP6300642B2 - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
液体吐出ヘッドでは、インクに代表される液体を吐出するための吐出口群と、各吐出口に対向するエネルギー発生素子とが設けられた記録素子基板を備える構成が知られている。また、液体吐出ヘッドには、エネルギー発生素子の駆動に用いられる電気信号や電力を記録装置本体から受け取るためのコンタクト部が設けられている。このコンタクト部と記録素子基板との接続には、可撓性を有する電気配線部材が一般的に用いられる。
液体吐出ヘッドを構成する支持部材と記録素子基板との接合は、支持部材に接着剤を塗布した後、記録素子基板を位置合わせすることにより行われる。電気配線部材と記録素子基板とは、電気配線部材に設けられたインナーリードと記録素子基板に設けられた接続端子とにより電気的に接続される。インナーリードと接続端子との電気接続部は、封止材によって覆われて保護される。この封止材は、電気接続部の隙間等の細部を速やかに充填する必要があるので、比較的粘度の低い封止材が一般的に使われる。
電気接続部を覆う封止材は、記録素子基板の側面とできるだけ接触しない方が好ましい。その理由の一つは、環境変化等によって封止材が膨張または収縮し、記録素子基板に外力を加えてしまうからである。近年、液体吐出ヘッドの小型化の要求に伴って、記録素子基板に設けられた複数のインク供給口間の距離や、インク供給口から記録素子基板の端部までの距離が短くなってきている。このような記録素子基板に封止材から外力が加わった場合、記録素子基板が変形する問題が起こり得る。
そこで、上記のような問題を解決するための技術が特許文献1(特開2012−143896号公報)に開示されている。特許文献1には、記録素子基板と、この記録素子基板を収容する凹部を備えた支持部材とを有する液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドでは、凹部の内側面に、記録素子基板との距離が部分的に近くなる凸部が設けられている。記録素子基板を支持部材に接合する際、記録素子基板に押圧されてはみ出た接着剤によって、記録素子基板と凸部との間に壁部が形成される。この壁部によって、封止材の広がりが抑制され、封止材と記録素子基板とが接触しにくくなる。
特開2012−143896号公報
特許文献1に記載の液体吐出ヘッドでは、凹部の底面全体が平坦な面で構成されているので、記録素子基板に押圧された接着剤は、壁部の形成部分(凸部と記録素子基板との間)だけでなく凹部の底面全体に等方的に広がる。そのため、封止材の広がりを抑えるために壁部の高さをある程度確保するためには、多量の接着剤が必要になる。また、凹部内に部分的に記録素子基板に近い領域(凸部)を設けることで、その領域を起点にして、塗布した接着剤が凹部の内側面に流出し、記録素子基板の接合に必要な接着剤の高さ(厚さ)を保持できない可能性がある。
近年、液体吐出ヘッドでは、記録速度を上げる目的で、記録素子基板上に配置されるエネルギー発生素子の配列が長尺化する傾向にある。それに伴い、記録素子基板が長尺化すると、記録素子基板と支持部材との接合面積が広がるため、より多くの接着剤が必要になる。
本発明の目的は、記録素子基板を支持部材に接合するための接着剤の使用量を抑制しつつ、封止材を広がりにくくすることが可能な液体吐出ヘッド、およびその製造方法を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する記録素子基板と、前記記録素子基板と電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板を収容する凹部を備える支持部材と、前記記録素子基板と前記電気配線基板との電気接続部を封止する封止材と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記支持部材は、前記凹部の底面に形成され、前記記録素子基板を接合するための接着剤が塗布される凸状の接着剤塗布面と、前記電気接続部の近傍となる前記凹部の内側面から前記接着剤塗布面に向かって突出する凸部と、を備え、前記接着剤塗布面が、前記記録素子基板に覆われる第1の領域と、該第1の領域から前記凸部まで延びる第2の領域とを備え、前記第2の領域上に、前記接着剤の一部によって形成され、前記凸部と該凸部に対向する前記記録素子基板の側面との隙間を塞ぐ壁部を有する。
上記目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出する記録素子基板と、前記記録素子基板と電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板を収容する凹部を備え、前記記録素子基板と前記電気配線基板との電気接続部の近傍となる前記凹部の内側面から前記記録素子基板に向かって突出する凸部が形成された支持部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記凹部の底面に形成された凸状の接着剤塗布面であって、前記記録素子基板に覆われる第1の領域と、該第1の領域から前記凸部まで延びる第2の領域とを備えた接着剤塗布面に接着剤を塗布する塗布工程と、前記第1の領域に塗布された接着剤を前記記録素子基板で押圧し、該押圧によって前記第1の領域から押し出された接着剤で前記第2の領域上に前記凸部と該凸部に対向する前記記録素子基板の側面との隙間を塞ぐ壁部を形成する工程と、前記電気接続部を封止材で封止する封止工程と、を有する。
本発明では、支持部材の凹部の底面に、凸状の接着剤塗布面が形成されている。さらに、接着剤塗布面は、記録素子基板に覆われる第1の領域と、第1の領域から凹部の内側面に形成された凸部まで延びる第2の領域とを備えている。これにより、第1の領域において記録素子基板により押し出された接着剤が第2の領域へ流動するように促されるので、封止材の広がりを抑えるための壁部の形成に必要な接着剤を確保しやすくなる。
本発明によれば、上述した凸状の接着剤塗布面によって、記録素子基板を支持部材に接合するための接着剤の使用量を抑制しつつ、封止材を広がりにくくすることが可能となる。
本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図である。 図1に示す支持部材の平面図である。 図2の一部を拡大した平面図および斜視図である。 接着剤の塗布工程を示す図である。 塗布工程における接着剤の動きを示す図である。 接着剤の壁部を形成する工程を示す図である。 封止工程を示す図である。 比較例における接着剤の動きを示す図である。 図1に示す液体吐出ヘッドの変形例を示す図である。 図1に示す液体吐出ヘッドの他の変形例を示す図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図である。図1に示す液体吐出ヘッド10は、支持部材1と、支持部材1が取り付けられた筐体2と、支持部材1に接合される記録素子基板3と、記録素子基板3と電気的に接続される電気配線基板4と、を有する。本実施形態では、記録素子基板3は、黒色のインクを吐出する記録素子基板3aと、黒色以外の3色のインクを吐出する記録素子基板3bと、で構成されている。液体吐出ヘッド10では、筺体2に接続される液体供給部(不図示)から、筺体2、支持部材1を通って、記録素子基板3a、3bにインクが供給される。供給されたインクは、電気配線部材4を通じて記録素子基板3a、3bを駆動することによって吐出される。
支持部材1の構成について、図2、3を用いて説明する。図2は支持部材1の平面図である。図3(a)は、図2に示す支持部材3の一部を拡大した平面図であり、図3(b)は、図2に示す支持部材3の一部を拡大した斜視図である。図3(c)は、支持部材1に記録素子基板3aと電気配線部材4とが接合された状態を表す平面図である。
支持部材1と記録素子基板3a、3bとの接合は、支持部材1に接着剤を塗布した後、記録素子基板3a、3bを位置合わせすることにより行われる。また、支持部材1には、記録素子基板3a、3bを接着する際の接着剤とは別の接着剤によって電気配線部材4が接合される。
支持部材1は、樹脂成形により形成されている。本実施形態で使用した樹脂材料(変性ポリフェニレンエーテル)には、剛性の向上と、線膨張係数を記録素子基板の線膨張係数に近づける目的で、フィラーが40質量%混合されている。支持部材1は、記録素子基板3a、3bをそれぞれ配置する部分が、その周囲の電気配線部材4を接合する部分よりも凹んでいる凹部11を備える。これは、電気配線部材4のインナーリード41と記録素子基板3a、3bの接続端子31とをほぼ同じ高さにして、両者の電気接続部の信頼性を向上させるためである。
図3(a)〜図3(c)に示すように、記録素子基板3aが収容される凹部11の底面の中央部には、凸状の接着剤塗布面13が形成されている。凹部11の内側面には、内方に向かって突出した凸部12が形成されている。接着剤塗布面13は、第1の領域131と第2の領域132とを備える。第1の領域131は、記録素子基板3aとの接合領域であり、記録素子基板3aの裏面に覆われる領域である。第2の領域132は、第1の領域131から凸部12まで延びる領域である。本実施形態では、第2の領域132の周縁部のうち凸部12と接する部分の長さが凸部12の幅と同じである。
第2の領域上には、凸部12と凸部12に対向する記録素子基板3aの側面との隙間を塞ぐ壁部(図3では不図示)が形成される。この壁部によって、凹部内における接着剤塗布面13の周囲は、接続部側領域14と素子基板横領域15とに隔てられる。接続部側領域14は、接続端子31とリード端子41との電気接続部を挟む領域(電気接続部近傍の領域)である。一方、素子基板横領域15は、接続部側領域14よりも電気接続部から離れた領域である。素子基板横領域15の底面は、接続部側領域14の底面よりも凹んでいる。
また、素子基板横領域15の両端に位置する2つの凸部12の間には、凸部12と同じ高さで記録素子3に近づく方向に張り出した部分が設けられている。この部分と凸部12とで、素子基板横領域15はコの字に形成されている。この部分の上部には溝16が設けられている。
本実施形態では、上述した支持部材1の各部位は、射出成型によりすべて一体に構成されている。また、記録素子基板3bが収容される凹部11の構造は、記録素子基板3aが収容される凹部11と同様の構造である。
以下、本実施形態の液体吐出ヘッド10の製造方法について説明する。具体的には、記録素子基板3aを支持部材1へ接合する接合工程から電気接続部を封止する封止工程までについて説明する。なお、記録素子基板3bの接合工程および封止工程は、記録素子基板3aと同様なので説明を省略する。
図4から図7は、本実施形態の液体吐出ヘッド10の製造工程を説明する図である。図4(a)〜図7(a)は、図2(a)に示す切断線A−Aに沿った断面図である。図4(b)〜図7(b)は、図2(a)に示す切断線B−Bに沿った断面図である。図4(c)〜図7(c)は、図2(a)に示す切断線C−Cに沿った断面図である。図4(d)〜図7(d)は、接着剤の塗布軌跡および広がりを示す平面図である。図4(d)〜図7(d)においては支持部材1に接合される記録素子基板3aや電気配線部材4の記載は省略している。
まず、接着剤5が、支持部材1に設けられた凸状の接着剤塗布面13に塗布される(図4参照)。本実施形態では、熱硬化型の接着剤がニードル走査により第1の領域131に塗布される(図4(d)参照)。塗布された接着剤5は、第1の領域131内に拡散する(図5参照)。接着剤5の拡散は、第1の領域131の周縁部で止まる。また、第1の領域131に塗布された接着剤5は、第2の領域132にも拡散して、凸部12に到達する。その後、拡散した接着剤5は、第2の領域132の凸部12と接する部分でとまる。本実施形態では、接着剤塗布面13が凸状に形成された構成となっている。換言すると、接着剤塗布面13の周囲が接着剤塗布面13よりも凹んでいる構成となっている。これにより、接着剤5の塗布工程において、第1の領域131と第2の領域132の両方を覆う接着剤5は、これらの領域外に拡散しにくくなる。その結果、接着剤5は凹部11の底面全体ではなく凸部12に向けて選択的に拡散するので、接着剤5の使用量を必要最低限に抑えることが可能となる。
本実施形態の塗布工程では、後述する壁部の高さをある程度確保するために第1の領域131内における凸部12に対向する部分でニードルを一定期間停止させ、その部分の接着剤5の塗布量を増やしている(図4(d)参照)。しかし、必要な壁部の高さに応じてニードルの停止期間を設けなくてもよい。また、本実施形態では、第1の領域131のみにニードルを走査しているが、第2の領域132にニードルを走査させて接着剤5を塗布してもよい。
次に、記録素子基板3aを、治具を用いてハンドリングして支持部材1の凹部11に位置決めを行いつつ配置する(図6参照)。このとき、第1の領域131に塗布された接着剤5は、記録素子基板3aに押圧されることにより記録素子基板3aの下面から記録素子基板3aの外側に押し出される。押し出された接着剤5のうち第2の領域132に流動した接着剤5は、凸部12と凸部12に対向する記録素子基板3aの側面とに間に働く毛管力によって、上昇する。第2の領域132以外に押し出された接着剤5は、接着剤塗布面13の周縁部でメニスカス力が働くため、面外に広がることなく面内で移動する。その結果、記録素子基板3aに押し出された接着剤5が第2の領域132に集まり、第2の領域132における接着剤5の高さはより高くなり、壁部51が形成される(図6(b)参照)。
本実施形態では、チクソ性の低い接着剤5が使用され、記録素子基板3aの配置前に接着剤5が凸部12に到達している。しかし、本発明では、チクソ性の低い接着剤5を使用し、記録素子基板3aの押圧によって接着剤5が凸部12に到達する製法であってもよい。この場合にも、凸状の接着剤塗布面13により、記録素子基板3aに押し出された接着剤5が凸部12に向けて選択的に拡散するので、多量の接着剤5を使用しなくても壁部51を形成することが可能である。
記録素子基板3aを支持部材1に載置した後、電気配線部材4を支持部材1に接着し、記録素子基板3の接続端子31と電気配線部材のインナーリード41とを電気的に接続する。
続いて、インナーリード41をインク等の液体や外力から保護するために、封止材6を注入する(図7参照)。封止剤6は、図7(d)に示すポケット部17から注入される。注入後、封止剤6は毛管力によって以下の2つの領域に流れ込む。一方は、記録素子3の接続端子31側の側面(短辺部側の側面)と凹部11の内側面との間の領域である。他方は、溝16と電気配線部材4との間の領域である。このとき、ポケット部17と素子基板横領域15との間には上述した壁部51が形成されているため、封止剤6の広がりは壁部51で抑制される。ポケット17に注入された封止剤6の高さが壁部51より高い場合には、封止剤6が壁部51を越えようとする。しかし、支持部材1の凸部12と記録素子基板3との距離に比べて、素子基板横領域15における凹部11と記録素子基板3との距離は大きい。そのため、封止剤6は凸部12でメニスカスを形成し、素子基板横領域15への流入量は少なく抑えられる。また、メニスカスが破れて封止剤6が素子基板横領域15に流れ込んだ場合でも、素子基板横領域15の底面は接続部側領域14の底面よりも凹んでいるので、封止剤6の底面からの高さは記録素子基板3aの高さに対して十分低く抑えられる。すなわち、封止剤6と記録素子基板3aとの接触部分は、十分小さくなる。また本実施形態において、電気配線部材4の、記録素子基板3を露出させるための開口端は、支持部材1の凹部11の開口端より内側に位置している。特に素子基板横領域15では、記録素子基板3を露出させるための開口端は、溝16の直上に位置する。この位置関係によって、溝16と電気配線部材4との間の領域に封止剤16を介在させることができるので、電気配線部材の接着の信頼性を高めることができる。
続いて、インナーリード41と接続端子31との電気接続部をインク等の液体や外力から保護するために、インナーリード41の上に第2の封止材(不図示)を塗布する。本実施形態では、封止工程を、インナーリード41の下部空間に封止材を充填する工程と、インナーリード31の上部を封止材で覆う工程とにわけている。しかし、本発明では、これらの工程を同時に行うこととしてもよい。
最後に、支持部材1を高温環境に一定時間おいて、接着剤5および封止剤6を熱硬化させる。接着剤5は、加熱から硬化までの間に粘度が下がり、移動しやすい状態となる。しかし、接着剤塗布面13が凸状に形成されているので、接着剤5は、接着剤塗布面外に広がりにくい。これにより、多量の接着剤5を用いなくても壁部51の高さを確保できるため、素子基板横領域15への封止剤6の広がりを抑制できる。
(比較例)
以下、図8を参照して比較例について説明する。本比較例では、凹部110の底面全体が平坦な面である。以下、主に接着剤の挙動について説明する。図8(a)から図8(c)は、凹部11の底面に塗布された接着剤の挙動の様子を示している。本比較例では、接着剤塗布面の中で凸部120の対向する部分には他の部分よりも多くの接着剤50が塗布される(図8(a)参照)。本比較例では、凹部110の底面全体が平坦面であるので、接着剤50は、等方的に広がり、凸部120の幅以上に広がった形となる(図8(b)参照)。また、接着剤50が凸部120に到達すると、接着剤50は、凸部120根元の隅部(凹部11の底面と凸部120の境界線)に沿って、凹部110の内側面に毛管力で広がる。そのため、記録素子基板と支持部材の接合や、封止材の広がり抑制のために必要な接着剤の高さを確保するためには、多量の接着剤が必要になる。
一方、本実施形態によれば、凸状の接着剤塗布面13によって、第1の領域132から押し出された接着剤5が、壁部51の形成部分に移動するように促される。そのため、接着剤5が、壁部51の形成に寄与しない部分へ流出することが回避されるので、接着剤5の使用量を抑えつつ、封止材6の広がりを抑制することが可能である。
本実施形態においては、凸部12は、記録素子基板3aの長辺部(接続端子31が配置されていない辺部)に対向する部分にのみ設けられている。しかし、本発明では、凸部12は、記録素子基板3aの短辺部(接続端子31が配置されている辺部)に対向する位置にも設けてよい。
また、本実施形態の液体吐出ヘッド10は、インク収容部(不図示)が着脱可能な形態である。しかし、本発明は、液体吐出ヘッドとインク収容部とが一体となった形態にも適用可能である。
(変形例)
以下、上述した実施形態の変形例について図9および図10を参照して説明する。
上述した液体吐出ヘッド10では、図3(a)に示すように、第2の領域132の周縁部のうち凸部12に接する部分の長さが凸部12の幅と同じであり、第1の領域131と第2の領域132との境界線の中心と凸部12の中心が一致している。このような構成によれば、第1の領域131から第2の領域132に流動した接着剤5を凸部12の先端面(記録素子基板3aに対向する面)で接着剤5の進行(拡散)をより確実に止めることができるので、安定した壁部51の形成が可能となる。ただし、製造上の都合でこのような構成が困難な場合には、以下のような構成であってもよい。
図9(a)は、第1の領域131と第2の領域132との境界線Lが凸部12の幅Wよりも長い構成である。図9(b)は、上記境界線Lが凸部12の幅Wよりも短い構成である。図9(c)は、上記境界線Lの中心が、凸部12の中心に対して凸部12の幅方向にずれた構成である。図9(a)〜図9(c)に示す構成は、いずれも、第2の領域132の凸部12に接する部分の長さが凸部12の幅と同じでない。そのため、第2の領域132の周縁部のうち、凸部12に接する部分に隣接する部分に角隅部が形成されていると、第1の領域131から押し出された接着剤5がその角隅部から、毛管力によって接着剤塗布面13の周囲に拡散する可能性がある。この場合、壁部51の形成に寄与する接着剤5の量が不足する事態が起こり得る。そこで、このような事態を回避するために、図9(a)〜図9(c)に示す構成の場合には、第2の領域132の周縁部のうち、凸部12に接する部分に隣接する部分に湾曲部132a〜132cがそれぞれ形成されている。
また、本実施形態では、凹部11内における第1の領域131の周辺領域を、接続部側領域14と素子基板横領域15とに隔てるように凸部12および第2の領域132が形成される構成であったが本発明はこの構成に限定されない。例えば、図10に示すように、素子基板横領域15を領域15aと領域15bとに隔てる凸部22と第2の領域132が形成されていてもよい。すなわち、凹部11の内側面から突出した凸部と記録素子基板から押し出された接着剤を凸部に誘導するための凸状の領域がそれぞれ複数設けられていてもよい。この場合、底面の深さは、接続部側領域14、領域15a、領域15bがすべて同じでもよいし、接続部側領域14、領域15a、領域15bの順に深くなってもよい。仮に、封止剤6が凸部21と記録素子基板3aとの間に形成された壁部51(図10では不図示)を越えても、領域15bにおける封止材6の高さは接続部側領域14よりも低くなる。したがって、封止材6は、凸部22と記録素子基板3aとの間に形成された壁部(不図示)を越えにくくなる。この構成は、例えば、支持部材1の厚み等の制約で、素子基板横領域15の深さを深くできない場合等に、封止材6の広がりを抑制する手段として有効である。
1 支持部材
12 凸部
13 接着剤塗布面
131 第1の領域
132 第2の領域
3 記録素子基板
4 電気接続部材
5 接着剤
51 壁部

Claims (11)

  1. 液体を吐出する記録素子基板と、前記記録素子基板と電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板を収容する凹部を備える支持部材と、前記記録素子基板と前記電気配線基板との電気接続部を封止する封止材と、を有する液体吐出ヘッドであって、
    前記支持部材は、
    前記凹部の底面に形成され、前記記録素子基板を接合するための接着剤が塗布される凸状の接着剤塗布面と、
    前記電気接続部の近傍となる前記凹部の内側面から前記接着剤塗布面に向かって突出する凸部と、を備え、
    前記接着剤塗布面が、前記記録素子基板に覆われる第1の領域と、該第1の領域から前記凸部まで延びる第2の領域とを備え、
    前記第2の領域上に、前記接着剤の一部によって形成され、前記凸部と該凸部に対向する前記記録素子基板の側面との隙間を塞ぐ壁部を有する、液体吐出ヘッド。
  2. 前記凹部内における前記壁部で隔てられる領域のうち、前記電気接続部から離れた領域の方が前記電気接続部に近い領域よりも前記封止材の前記底面からの高さが低い、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
  3. 前記凹部内における前記壁部で隔てられる領域のうち、前記電気接続部から離れた領域の方が前記電気接続部に近い領域よりも前記底面が凹んでいる、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 前記第2の領域の周縁部のうち前記凸部に接する部分の長さが、該凸部の幅と同じである、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  5. 前記第1の領域と前記第2の領域との境界線の長さが、前記凸部の幅よりも長く、前記第2の領域の周縁部のうち前記凸部に接する部分に隣接する部分に湾曲部が形成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  6. 前記第1の領域と前記第2の領域との境界線の長さが、前記凸部の幅よりも短く、前記第2の領域の周縁部のうち前記凸部に接する部分に隣接する部分に湾曲部が形成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  7. 前記第1の領域と前記第2の領域との境界線の中心が、前記凸部の中心に対して該凸部の幅方向にずれ、前記第2の領域の周縁部のうち前記凸部に接する部分に隣接する部分に湾曲部が形成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  8. 前記凸部と前記第2の領域とがそれぞれ複数設けられ、前記凹部内における複数の凸部と複数の第2の領域との間にそれぞれ形成された壁部によって隔てられた複数の領域のうち、前記電気接続部から離れた領域ほど前記封止材の前記底面からの高さが低い、請求項1から7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
  9. 液体を吐出する記録素子基板と、前記記録素子基板と電気的に接続される電気配線基板と、前記記録素子基板を収容する凹部を備え、前記記録素子基板と前記電気配線基板との電気接続部の近傍となる前記凹部の内側面から前記記録素子基板に向かって突出する凸部が形成された支持部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
    前記凹部の底面に形成された凸状の接着剤塗布面であって、前記記録素子基板に覆われる第1の領域と、該第1の領域から前記凸部まで延びる第2の領域とを備えた接着剤塗布面に接着剤を塗布する塗布工程と、
    前記第1の領域に塗布された接着剤を前記記録素子基板で押圧し、該押圧によって前記第1の領域から押し出された接着剤で前記第2の領域上に前記凸部と該凸部に対向する前記記録素子基板の側面との隙間を塞ぐ壁部を形成する工程と、
    前記電気接続部を封止材で封止する封止工程と、を有する、液体吐出ヘッドの製造方法。
  10. 前記塗布工程において、前記第1の領域のみが前記接着剤に覆われる、請求項9に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
  11. 前記塗布工程において、前記第1の領域と前記第2の領域の両方が前記接着剤に覆われる、請求項9に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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