JP5206713B2 - 半導体パッケージの組立方法 - Google Patents
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Description
半導体パッケージ500は樹脂ケース51と樹脂キャップ54で構成される。樹脂ケース51には半導体チップ70と接続するリード72が設けられている。圧力センサの樹脂ケース51には凹部71が形成され、圧力センサチップ(半導体チップ70)を凹部71の底に固着し、上から樹脂キャップ54が被せられる。この樹脂キャップ54の外周部は樹脂ケース51に形成された凹部71を囲む溝52に嵌合され、この溝52に接着剤を充填し、硬化させた接着剤60で樹脂キャップ54は樹脂ケース51に機密性よく固着される。
図17は、ノズルの先端が位置ずれを起こした場合の図であり、同図(a)はノズルの先端が樹脂キャップ寄りに位置した場合の図、同図(b)はノズルの先端が樹脂ケース寄り位置した場合の図である。
また、特許文献2では、蓋90の上面に傾斜を設けており、開口部を広げることにより、塗布できる接着剤89の量を増やし、機密性を向上し、生産性も良好な装置となるとしているが、本発明のように毛細管現象を用いて蓋90の下に接着剤89を入れ込み、少ない接着剤89で固着することについては記載されていない。
また、特許請求の範囲の請求項3に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明において、前記隙間の間隔が、0.01mm〜0.5mmであるとよい。
また、特許請求の範囲の請求項5に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明において、前記傾斜面の角度が、前記ケースの裏面の平坦面を基準とした垂直線に対して30°〜60°であるとよい。
また、傾斜面を設けることで、塗布装置のノズルの先端と接着空間の位置あわせずれの許容量を大きくすることができる。
リブ5の底面8と溝2の底面7を接着剤10で固着させるので、接着剤10(10a)の量は極めて少ない量にできる。
また、傾斜面6を設けたため、塗布装置のノズルから押し出し塗布された液状の接着剤10aが傾斜面6に接触しても重力により接着空間12の底に向って流れ、接着空間12の底に到達した液状の接着剤10aは底に溜まり、リブ5の底面8と溝2の底面7との間に設けた隙間9に毛細管現象により侵入し、底面同士を確実に固着する。このとき、隙間9に侵入する前の液状の接着剤10aの溜まりの高さは接着空間12の1/3以下で隙間9以上にする。隙間9に侵入した接着剤10aで底面同士が接着していれば樹脂ケース1と樹脂キャップ4の接着強度は得られるが、溜まり箇所での接着はこれを補強する。補強の程度は接着空間12の1/3以下で充分である。また溜まりの高さが隙間9より狭い場合は毛細管現象を利用しても充分隙間9に接着剤10aが侵入しなくなる。
また、リブ5の底面8の幅Wは、0.5mm〜2mmの範囲にするとよく、好ましくは1.5mm程度がよい。この幅Wは0.5mm未満ではリブ5の樹脂成型が困難になることと、接着強度が弱くなり過ぎる。また2mmを超えるとリブ5の厚さが厚過ぎて熱膨張によりリブ5にクラックが入り易くなる。
樹脂ケース1の環状の溝2に樹脂キャップ4のリブ5を嵌合する(図2)。
つぎに、塗布装置16のノズル17から液状の接着剤10aをリブ5の傾斜面6に押し出し塗布する。このときノズル17は環状の溝2上を掃引するようにする(図4)。
つぎに、溜まった接着剤10aは毛細管現象でリブ5の底面8と溝2の底面8の隙間9に侵入する(図6)。
本発明は、圧力センサ以外の半導体パッケージにも適用できて、塗布装置16のノズル17に位置ずれがあった場合でも、確実に接着空間12にノズル17から液状の接着剤10aが押し出し塗布され、接着空間12の底面に液状の接着剤10aを溜めることができ、且つ、樹脂ケース1の溝2の底面7と樹脂キャップ4外周のリブ5の底面8との隙間9に液状の接着剤10aを毛細管現象で侵入させ、接着剤10aで樹脂ケース1と樹脂キャップ4を確実に固着できる半導体パッケージ100およびその組立方法を提供できる。
2,2a,2b 溝
3 側壁(外側)
3a 側壁(内側)
4,4a 樹脂キャップ
5,5a リブ
6,6a,6b 傾斜面
7 溝の底面
8 リブの底面
9 隙間
10 接着剤(硬化後)
10a 液状の接着剤
11,11a,11b 開口部
12 接着空間
13 内側の傾斜面
14 平坦面
15 交わる箇所
16 塗布装置
17 ノズル
18 先端部
100,200,300 半導体パッケージ
Claims (5)
- ケースに形成された環状の溝にキャップの外周部に形成されたリブを嵌合し接着剤で前記溝と前記リブを接着させる半導体パッケージであって、前記リブの表側または前記環状の溝の外側の側壁もしくは両者の表面に傾斜面を設け、前記リブと前記溝で囲まれる接着空間の断面形状を逆三角形にし、前記リブの底面と前記溝の底面の間に隙間を設け、該隙間より高く前記接触空間に液状の接着剤を溜め、前記隙間に前記液状の接着剤が毛細管現象により侵入した後、前記接着剤を硬化させることで前記キャップと前記ケースを固着することを特徴とする半導体パッケージの組立方法。
- 前記ケースおよび前記キャップが樹脂で形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージの組立方法。
- 前記隙間の間隔が、0.01mm〜0.5mmであることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージの組立方法。
- 前記リブの底面の幅が、0.5mm〜2mmであることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージの組立方法。
- 前記傾斜面の角度が、前記ケースの裏面の平坦面を基準とした垂直線に対して30°〜60°であることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージの組立方法。
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