JP2022191015A

JP2022191015A - 液体吐出ヘッドとその製造方法

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Publication number: JP2022191015A
Application number: JP2021099618A
Authority: JP
Inventors: 伸石松; Shin Ishimatsu
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2021-06-15
Filing date: 2021-06-15
Publication date: 2022-12-27
Also published as: US20220388305A1

Abstract

【課題】接着材による記録素子基板１の破損が生じにくく、小型化の制約の小さい液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口１４を有する記録素子基板１と、記録素子基板１を支持する支持部材５と、記録素子基板１と支持部材５との間に設けられ、記録素子基板１を支持部材５に接合する接着材３１と、を有している。記録素子基板１は、支持部材５と対向し吐出口１４と連通する液体の供給口１７と、支持部材５と対向し供給口１７を取り囲む第１の面２１と、支持部材５と対向し第１の面２１の外側縁部２１ａの少なくとも一部に沿って設けられ、支持部材５に対して第１の面２１より引き込んだ第２の面２２と、を有している。接着材３１は第１の面２１と支持部材５との間の第１の空間２４に充填されるとともに、第２の面２２と支持部材５との間の第２の空間２５の少なくとも一部に充填されている。【選択図】図３

Description

本発明は、インク等の液体を吐出して記録を行う液体吐出ヘッドとその製造方法に関する。

液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口を有する記録素子基板と、記録素子基板を支持する支持部材と、を有し、記録素子基板は支持部材に接着材で接合されている。特許文献１には、記録素子基板の支持部材との接合面の外側の、接合面よりも下がった位置に溝部を設けた液体吐出ヘッドが開示されている。接合面が封止材で覆われることで記録素子基板が封止材で拘束され、記録素子基板が破損する可能性がある。溝部は封止材を受け入れ、記録素子基板の封止材に覆われる範囲を抑える。これによって、封止材による記録素子基板の拘束効果が抑制され、記録素子基板が破損する可能性が低減する。

特開２０１２－１８７８０４号公報

記録素子基板を支持部材に接合する際は、接着材を予め支持部材の所定の領域に設け、記録素子基板で接着材を押しつける。これによって、接着材が記録素子基板の接合面に広がり、確実な接合が可能となる。この際、余った接着材の一部は記録素子基板の外壁に広がる。接着材は液体を吸収して膨潤し、記録素子基板を押す。記録素子基板の内部には液体の供給部である空洞が形成されているため、記録素子基板は内側に変形し、破損する可能性がある。特許文献１に示すように、接合面に隣接して溝部を設ければ記録素子基板の外壁に付着する接着材は減るが、溝部を設けることで記録素子基板の小型化が制約される可能性がある。

本発明は、接着材による記録素子基板の破損が生じにくく、小型化の制約の小さい液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口を有する第１の記録素子基板と、第１の記録素子基板を支持する支持部材と、第１の記録素子基板と支持部材との間に設けられ、第１の記録素子基板を支持部材に接合する接着材と、を有している。第１の記録素子基板は、支持部材と対向し吐出口と連通する液体の供給口と、支持部材と対向し供給口を取り囲む第１の面と、支持部材と対向し第１の面の外側縁部の少なくとも一部に沿って設けられ、支持部材に対して第１の面より引き込んだ第２の面と、を有している。接着材は第１の面と支持部材との間の第１の空間に充填されるとともに、第２の面と支持部材との間の第２の空間の少なくとも一部に充填されている。

本発明によれば、接着材による記録素子基板の破損が生じにくく、小型化の制約の小さい液体吐出ヘッドを提供することができる。

第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。図１に示す液体吐出ヘッドの平面図と断面図である。図１に示す液体吐出ヘッドの拡大断面図である。比較例１の液体吐出ヘッドの拡大断面図である。比較例１の記録素子基板の変形を示す模式図である。第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの平面図と断面図である。図６に示す液体吐出ヘッドの拡大断面図である。第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの拡大断面図である。比較例２の液体吐出ヘッドの拡大断面図である。第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドの拡大断面図である。変形例の液体吐出ヘッドの拡大断面図である。

以下図面を参照して本発明のいくつかの実施形態について説明する。以下の実施形態ではインクを吐出するインクジェットヘッドについて説明するが、本発明はインク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッドに広く適用することができる。以下の実施形態において、Ｘ方向は記録素子基板の長辺と平行な方向、ないし記録素子基板の長手方向を意味し、Ｙ方向は記録素子基板の短辺と平行な方向、ないし記録素子基板の短手方向を意味する。Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向と直交する方向を意味する。

（第１の実施形態）
図１は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の分解斜視図である。図２（ａ）は記録素子基板からみた液体吐出ヘッド１００の上面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の２Ａ－２Ａ線に沿った、記録素子基板１と支持部材５の断面図である。図３は図２（ｂ）のＡ部拡大図である。液体吐出ヘッド１００は、記録素子基板１（第１の記録素子基板）と、記録素子基板１を支持する支持部材５と、記録素子基板１と電気的に接続される電気配線部材２と、を有している。記録素子基板１はＺ方向、すなわち吐出口形成面１０ａと直交する方向からみて、互いに平行な一対の長辺１Ｌと、互いに平行な一対の短辺１Ｓと、を有する長方形形状を有している。記録素子基板１と支持部材５との間に接着材３１が設けられ、記録素子基板１は接着材３１によって支持部材５に接合される。接着材３１は、流動性に優れ且つ硬化後に一定の硬度を有するものが用いられる。これによって、記録素子基板１の広い接合面に均一に接着材３１を塗布することができ、且つ記録素子基板１の接合位置の精度を確保することが容易となる。

記録素子基板１は、基板９と、吐出口形成部材１０と、を有する。吐出口形成部材１０には液体を吐出する吐出口１４と、吐出口１４から吐出する液体を一時的に保持する圧力室１５と、が形成されている。吐出口１４は、吐出口形成部材１０の支持部材５と反対側の面である吐出口形成面１０ａに配置されている。多数の吐出口１４が記録素子基板１の長辺１Ｌと平行に配列している。基板９には、液体の吐出のためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子１６が設けられている。エネルギー発生素子１６は熱電変換素子であるが、圧電素子など他の形式の素子であってもよい。基板９には、圧力室１５に液体を供給する流路である液体の供給部１２が形成されている。各吐出口１４に液体を均等に供給するため、供給部１２は記録素子基板１の長手方向に細長い形状を有する空洞とされている。供給部１２は支持部材５と対向する長方形の開口を有する。この開口は液体の供給口１７を形成する。

支持部材５は、支持プレート３と、支持プレート３に接合された枠部材４と、を有する。支持プレート３には供給部１２と連通する液体供給路１３が形成されている。枠部材４は記録素子基板１を取り囲んでいる。支持プレート３と枠部材４が接合されることにより、凹部を有する支持部材５が形成され、記録素子基板１は凹部の底面である支持プレート３に接合されている。支持部材５はサブタンク６に接合されている。サブタンク６は液体供給口７を有している。液体はメインタンク（図示せず）から液体供給口７を通ってサブタンク６に供給され、サブタンク６から支持部材５に供給される。

電気配線部材２は記録素子基板１に電気信号を送るための電気配線テープである。電気配線部材２は枠部材４に接着材（図示せず）で接合されている。電気配線部材２は電気配線基板８に接続され、電気配線基板８は液体吐出装置の本体（図示せず）から電気信号を受け取る。記録素子基板１の電気接続パッド３０（図５参照）をリード１８によって電気配線部材２と接続することで、電気接続部１９が形成される。すなわち、電気接続部１９は、記録素子基板１の電気接続パッド３０とリード１８とで構成される。電気接続部１９は記録素子基板１の両側の短辺１Ｓ（のみ）に沿って設けられている。

電気接続部１９は、第１の封止材３２により被覆ないし封止される。第１の封止材３２はリード１８の下方、すなわち支持プレート３の底面と、枠部材４の側面と、記録素子基板１の外壁２０と、リード１８とで形成される空間にも充填される。第１の封止材３２はある程度の厚みを保持しながら硬化することが要求されるため、流動性の低いものが好ましい。また、第１の封止材３２は、液体吐出装置の使用中に回復ユニット（図示せず）と接触するため、硬度と耐久性を兼ね備えたものが好ましい。記録素子基板１のＸ方向の動きは、第１の封止材３２によって制限される。第１の封止材３２は毛管力によって記録素子基板１の長辺１Ｌにも広がり、記録素子基板１の外壁２０に付着する。しかし第１の封止材３２の量が限られているため、記録素子基板１の長辺１Ｌのうち、短辺１Ｓに近い部分は第１の封止材３２で覆われるが、中央部は第１の封止材３２で覆われない。このため、記録素子基板１のＹ方向の動きは大きく制限されない。

ここで、比較例の液体吐出ヘッド２００について説明する。図４は比較例の液体吐出ヘッド２００の、図３と同様の断面図を示している。比較例の液体吐出ヘッド２００の記録素子基板１は、支持部材５と対向し吐出口１４と連通する液体の供給口１７と、支持部材５と対向し供給口１７を取り囲む接合面２６と、を有している。接合面２６と支持部材５との間に接着材３１が設けられ、記録素子基板１は支持部材５に接合される。接合面２６は記録素子基板１の供給部１２から外壁２０まで延びる枠状の平面である。具体的には、支持プレート３に接着材３１を所定のパターンで塗布あるいは転写し、記録素子基板１の接合面２６を接着材３１に対して位置決めし、記録素子基板１の接合面２６で接着材３１を押圧する。その後、接着材３１を高温硬化させ、記録素子基板１を支持部材５に接合する。押圧時には、接着材３１は供給部１２と外壁２０にはみ出す。外壁２０にはみ出した接着材３１は、支持プレート３と記録素子基板１とで形成される隅部にメニスカスを形成し、記録素子基板１の周囲に沿って広がり硬化する。

このようにして作成された液体吐出ヘッド２００で記録をおこなうと、記録素子基板１の長辺１Ｌに沿って広がった接着材３１がインクを吸収し、膨張し、記録素子基板１を短手方向（Ｙ方向）に押す（図４矢印）。接着材３１の外壁２０へのはみ出し量が多い場合は、接着材３１は記録素子基板１の外壁２０をＺ方向に広がる。この結果、記録素子基板１の外壁２０の、接着材３１で押される範囲が増加する。これによって、記録素子基板１が内側に押され、供給部１２が変形する。図５は、記録素子基板１が破損した際の、変形状況を示した模式的上面図である。供給部１２の隅部２７に応力が発生し、隅部２７を起点にして記録素子基板１にひびがはいり破損する。また、記録素子基板１をＺ方向に押し上げる力も大きくなる。Ｚ方向への押し上げ力も、Ｙ方向への押し付け力と比べると影響は小さいものの、記録素子基板１の変形や破損につながる。特に、縦横比（短辺１Ｓの寸法に対する長辺１Ｌの寸法の比）が大きく、縦横比に応じた形状の供給部１２を有する記録素子基板１は、長辺１ＬからＹ方向に掛かる荷重に対して大きく変形する。

これに対し図３を参照すると、本実施形態では、記録素子基板１は、支持部材５と対向し吐出口１４と連通する液体の供給口１７と、支持部材５と対向し供給口１７を取り囲む第１の面２１と、第２の面２２と、第３の面２３と、を有している。第２の面２２は支持部材５と対向し、支持部材５に対して第１の面２１より引き込んでいる。第３の面２３は第１の面２１と第２の面２２とを接続している。換言すると、記録素子基板１は、支持部材５と対向し吐出口１４と連通する供給口１７と、支持部材５と対向し供給口１７を取り囲む対向部２８と、外壁２０と、対向部２８と外壁２０とにまたがって形成された欠損部２９と、を有している。欠損部２９は段差２９ａである。第１の面２１と第２の面２２は互いに平行であり、第３の面２３は第１の面２１及び第２の面２２と交差している。好ましくは、第３の面２３は第１の面２１及び第２の面２２と直交している。これによって、第３の面２３がＺ方向に延びる面となるため、形成が容易となる。接着材３１は第１の面２１と支持部材５との間の第１の空間２４に充填されるとともに、第２の面２２と支持部材５との間の第２の空間２５の少なくとも一部に充填されている。換言すると、接着材３１は第１の面２１と支持部材５との間の第１の空間２４に充填されるとともに、欠損部２９の少なくとも一部に充填されている。本実施形態では、接着材３１は第２の面２２と第３の面２３の全面を覆い、第２の空間２５を充填するとともに、一部が記録素子基板１の外壁２０の外にはみ出している。

本実施形態では第１の面２１と第２の面２２と第３の面２３は平面であるが、例えば、第２の面２２と第３の面２３は曲面であってもよい。第２の面２２が支持部材５に対して第１の面２１より引き込んでいれば、第２の面２２と第３の面２３の形状、あるいは第２の空間２５の形状は何ら限定されない。引き込んでいるとは、支持部材５の記録素子基板１との対向面５ａからのＺ方向の平均離隔距離が第１の面２１より第２の面２２が大きいことを意味し、極端な場合、第２の面２２の一部が支持部材５の記録素子基板１との対向面に対し突き出していてもよい。複数の第２の面２２と複数の第３の面２３を階段状の段差として設けてもよい。

第２の面２２ないし段差２９ａは記録素子基板１の長辺１Ｌ（のみ）に沿って設けられている。第２の面２２は記録素子基板１の短辺１Ｓには設けられていない。これは、記録素子基板１の短辺１Ｓが短く、記録素子基板１を短辺１ＳからＸ方向に押す力が小さく無視できるためである。また、電気接続部１９の接合（ボンディング）の安定性を考慮すると、第２の面２２を設ける必要性は小さい。しかし、記録素子基板１の縦横比によっては、記録素子基板１の短辺１Ｓに沿って第２の面２２を設けることもできる。また、第２の面２２は記録素子基板１の長辺１Ｌの全長に沿って設けることが好ましいが、例えば長辺１Ｌの中央部だけに設けることも可能である。図５に示すように、長辺１Ｌの中央部は最も変形が大きいので、第２の面２２を長辺１Ｌの中央部だけに設けても効果がある。すなわち、第２の面２２は第１の面２１の外側縁部２１ａの少なくとも一部に沿って設けられていればよい。

押圧時には、接着材３１は供給部１２と記録素子基板１の外壁２０にはみ出すが、接着材３１の一部は第２の空間２５に収納される。図３に示すように、外壁２０からはみ出した接着材３１は、支持プレート３と記録素子基板１と第２の空間２５との間にメニスカスを形成する。また、接着材３１の一部は外壁２０を上がっていくが、接着材３１の一部が第２の空間２５に収納されるため、外壁２０からはみ出す接着材３１の量は減る。つまり、はみ出した接着材３１のＺ方向高さは比較例よりも低くなる。このため、インクを吸収し膨潤した接着材３１が記録素子基板１をＹ方向に押す範囲が小さくなり、接着材３１が記録素子基板１の外壁２０をＹ方向に押す力は小さくなる。外壁２０からはみ出す接着材３１のＹ方向の量が減ることでも記録素子基板１の外壁２０を押す力は小さくなる。この結果、記録素子基板１の破損の可能性が低減される。なお、第２の空間２５に収容された接着材３１は記録素子基板１に大きな影響を与えない。

また、接着材３１は第１～第３の面２１，２２，２３で記録素子基板１と接するため、接着材３１と記録素子基板１との接触面積が増加する。これによるアンカー効果により、記録素子基板１と支持部材５との接合力が増加し、記録素子基板１が支持部材５により強固に固定される。さらに、記録素子基板１の外壁２０と枠部材４との間にはみ出した接着材３１を保持する部位も不要である。以上説明したように、本実施形態は、記録素子基板１の破損の可能性を低減するだけでなく、記録素子基板１と支持部材５との接合信頼性の向上や液体吐出ヘッドの小型化にも効果がある。

第１の実施形態の液体吐出ヘッド１００で印字をおこなったところ、吐出口１４一つあたり４．０×１０^８回のパルスを印加後に記録素子基板１に破損はみられなかった。これに対して、比較例の記録素子基板１を用いた液体吐出ヘッド２００で印字をおこなったところ、吐出口１４一つあたり０．７×１０^８回のパルスの印加後に、記録素子基板１に供給部１２の隅部２７を起点にしたひびが確認された。

（第２の実施形態）
本実施形態では複数の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃが設けられており、それに応じて封止材の構成が第１の実施形態から変更されている。説明を省略した構成や効果は第１の実施形態と同様である。図６（ａ）は第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド３００の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃからみた液体吐出ヘッド３００の上面図、図６（ｂ）は図６（ａ）の６Ａ－６Ａ線に沿った、第１～第３の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃと支持部材５の断面図である。図７（ａ）は図６（ｂ）のＢ部拡大図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＣ部拡大図である。

液体吐出ヘッド３００は、第１の記録素子基板１ａと、第２の記録素子基板１ｂと、第３の記録素子基板１ｃと、を有している。第１～第３の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃは互いに隣接しており、共通の支持部材５に支持されている。第１～第３の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃは互いに異なる液体（例えば色の異なるインク）を吐出するが、その構成は第１の実施形態の記録素子基板１と同じである。枠部材４は、第１～第３の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃを取り囲んでいる。第１の記録素子基板１ａと第２の記録素子基板１ｂとの隙間の間隔Ｇ１は、第１の記録素子基板１ａと枠部材４との隙間の間隔Ｇ２及び第３の記録素子基板１ｃと枠部材４との隙間の間隔Ｇ２より小さい。また、第２の記録素子基板１ｂと第３の記録素子基板１ｃとの隙間の間隔Ｇ１は、第１の記録素子基板１ａと枠部材４との隙間の間隔Ｇ２及び第３の記録素子基板１ｃと枠部材４との隙間の間隔Ｇ２より小さい。これによって、液体吐出ヘッド１００の小型が可能となる。

第１の実施形態では、リード１８の下に充填される封止材と電気接続部１９を封止する封止材は同じである。これに対し、第２の実施形態では第１の記録素子基板１ａと第２の記録素子基板１ｂとの間及び第２の記録素子基板１ｂと第３の記録素子基板１ｃとの間に小さい隙間の間隔Ｇ１が設けられる。そして、この隙間の間隔Ｇ１は電気接続部１９の封止の安定性のためにも埋める必要がある。このため、第１の記録素子基板１ａと第２の記録素子基板１ｂとの間及び第２の記録素子基板１ｂと第３の記録素子基板１ｃとの間の隙間の間隔Ｇ１には、第１の封止材３２より流動性の高い第２の封止材３３が充填されている。第２の封止材３３は毛管力によって隙間の間隔Ｇ１を埋めていき、吐出口形成面１０ａの近くまで充填される。第２の封止材３３は硬化後も、第１～第３の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃの寸法変化により隙間の間隔Ｇ１に発生する応力を緩和するための柔軟性を有している。第２の封止材３３は、接着材３１と第１～第３の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃとの間、及び接着材３１と支持プレート３との間に発生する毛管力により、各記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃの周囲に広がり、接着材３１は第２の封止材３３で覆われる。その後、第１の封止材３２が各記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃの短辺１Ｓに沿って塗布され、電気接続部１９を封止する。第１の封止材３２は第２の封止材３３の上面の一部を覆う。第１の記録素子基板１ａ及び第３の記録素子基板１ｃと枠部材４との隙間の間隔Ｇ２は、隙間の間隔Ｇ１より大きいため、第１の封止材３２は吐出口形成面１０ａまであがってこない。

このように、複数の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃを隣接配置する場合、特に３つ以上の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃを配列する場合は、最も外側の記録素子基板１ａ，１ｃの、枠部材４と対向する外壁２０が、接着材３１と第２の封止材３３で押される。押される領域も第１の実施形態と比べて大きくなりやすく、記録素子基板１の応力も複雑なものとなる。本実施形態においても、第１～第３の記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃは、支持部材５と対向し吐出口１４と連通する液体の供給口１７と、支持部材５と対向し供給口１７を取り囲む第１の面２１と、第２の面２２と、第３の面２３と、を有している。第２の面２２は支持部材５と対向し、第１の面２１の外側縁部２１ａの少なくとも一部に沿って設けられ、支持部材５に対して第１の面２１より引き込んでいる。従って、接着材３１の一部が第２の空間２５に収納され、外壁２０からはみ出す接着材３１の量が減る。これによって、接着材３１が外壁２０を覆う広さ（Ｚ方向高さ）が抑えられ、接着材３１と第２の封止材３３の外壁２０を覆う合計の広さ（Ｚ方向高さ）も抑えられる。この結果、インクを吸収し膨潤した接着材３１と第２の封止材３３が、記録素子基板１の外壁２０を押す力も小さくなる。本実施形態によれば、複数の記録素子基板が配置される液体吐出ヘッドにおいて、記録素子基板の破損の可能性を低減する効果がある。また、本実施形態も記録素子基板１ａ，１ｂ，１ｃと支持部材５との接合信頼性の向上や液体吐出ヘッドの小型化に効果がある。

第２の実施形態の液体吐出ヘッド３００で印字をおこなったところ、吐出口１４一つあたり４．０×１０^８回のパルスを印加後に記録素子基板１に破損はみられなかった。これに対して、第２の実施形態において段差２９ａのない記録素子基板１を用いた液体吐出ヘッドで印字をおこなったところ、吐出口１４一つあたり０．６×１０^８回のパルスの印加後に、記録素子基板１に供給部１２の隅部２７を起点にしたひびが確認された。

（第３の実施形態）
図８は、本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の、拡大断面図である。ここでは、第１及び第２の実施形態との相違点を中心に説明する。第１及び第２の実施形態では、第２の空間２５の全域に接着材３１が充填され、且つ記録素子基板１の外壁２０にも接着材３１がはみ出しているが、本実施形態では、接着材３１は第２の空間２５の一部だけに充填されている。接着材３１は第３の面２３の全面を覆っているが、第２の面２２は少なくとも一部を覆っていればよい。

図９は比較例２の液体吐出ヘッド４００を示している。第１の面２１と第２の面２２の高低差（段差２９ａの大きさ）が大きく且つ接着材３１が少ないため、接着材３１は第３の面２３の一部のみに付着し、第２の面２２に達していない。この場合、記録素子基板１にかかる応力は段差２９ａがない場合と同じになる。本実施形態では、図８に示すように、第２の面２２と第３の面２３で形成される隅部に発生する毛管力により、第２の面２２に接着材３１が付着するため、接着材３１のはみ出し量を小さくできる。

（第４の実施形態）
図１０は、本発明の第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド１００の、拡大断面図である。本実施形態では、段差２９ａの代わりに面取り２９ｂが用いられる。すなわち、欠損部２９は面取り２９ｂである。第２の面２２は第１の面２１と接続されており、第１の面２１に対し傾斜している。第２の面２２は平面である。接着材３１は第２の空間２５を充填するとともに、記録素子基板１の外壁２０の外にはみ出している。図示は省略するが、第３の実施形態と同様、接着材３１は第２の空間２５の一部だけに充填されていてもよい。段差２９ａと比べて接着材３１の収納体積は減少するが、本実施形態でも第１～第３と同様の効果が得られる。特に記録素子基板１がシリコンである場合は、面取り２９ｂを供給部１２と同様、異方性エッチングで作ることができる。

（変形例）
本発明は上述の実施形態に限定されず、様々な変形例が可能である。図１１（ａ）を参照すると、第２の面２２が支持部材５に対して引き込む凹面とされている。第２の面２２は曲面であるが、複数の平面をつないだ形状であってもよい。この変形例によればより多くの接着材３１を収容することができる。図１１（ｂ）を参照すると、第２の面２２の外壁２０との交差部が面取り（符号３４）されている。この変形例によってもより多くの接着材３１を収容することができる。図１１（ｃ）を参照すると、第２の面２２が支持部材５に対して引き込む凹面とされている。この変形例によれば第４の実施形態より多くの接着材を収容することができる。図１１（ｄ）を参照すると、第２の面２２が支持部材５に対して突き出した凸面とされている。この結果、外壁２０と第２の面２２が滑らかな面で構成され、エッジがなくなるため、エッジを起点とするひび割れが生じにくくなる。

（液体吐出ヘッド１００の製造方法）
次に、第１の実施形態を例に液体吐出ヘッド１００の製造方法について説明する。まず、エネルギー発生素子１６、吐出口形成部材１０などが設けられた記録素子基板１を作成する。記録素子基板１の第２の面２２は、支持部材５との接合部のうち第１の面２１をマスキングして、ケミカルポリッシングによって形成する。第２の面２２はレーザダイシングでも作成できる。また、記録素子基板１が形成されているウエハの裏面（記録素子基板１が形成されていない面）からブレードダイシングを入れ込み、互いに隣接する記録素子基板１の段差２９ａを一括形成してもよい。その後、互いに隣接する記録素子基板１の境界を細いブレードで切断し、個々の記録素子基板１をウエハから切り出す。

次に、支持部材５の記録素子基板１が接合される部位に接着材３１を設け、記録素子基板１を支持部材５に対して位置決めする。接着材３１は、支持プレート３に所定のパターンで塗布あるいは転写する。記録素子基板１は、供給口１７と第１の面２１と第２の面２２とが支持部材５と対向し、第２の面２２が支持部材５に対して第１の面２１より引き込み、第１の面２１が接着材３１と対向するように支持部材５に対して位置決めされる。次に、記録素子基板１を接着材３１で支持部材５に接合する。記録素子基板１を支持部材５に対して押し込むことにより、接着材３１が第１の面２１と支持部材５との間の第１の空間２４に充填されるとともに、第２の面２２と支持部材５との間の第２の空間２５の少なくとも一部に充填される。

次に、枠部材４の電気配線部材２が接合される面に接着材を塗布し、電気配線部材２を枠部材４の所定の位置に貼り付ける。次に、ボンディングによって記録素子基板１と電気配線部材２の電気接続部１９を形成する。次に、ディスペンサーで第１の封止材３２を記録素子基板１の周囲に塗布し、充分に流動させながら、記録素子基板１と支持部材５との間の空間に充填する。さらに、第１の封止材３２を電気接続部１９（記録素子基板１の電気接続パッド３０と電気配線基板８のリード１８）に塗布する。その後、接着材３１と第１の封止材３２を加熱し、一括して硬化させる。

１，１ａ，１ｂ，１ｃ第１の記録素子基板
５支持部材
２１第１の面
２２第２の面
２４第１の空間
２５第２の空間
３１接着材
１００，２００，３００，４００液体吐出ヘッド

Claims

液体を吐出する吐出口を有する第１の記録素子基板と、前記第１の記録素子基板を支持する支持部材と、前記第１の記録素子基板と前記支持部材との間に設けられ、前記第１の記録素子基板を前記支持部材に接合する接着材と、を有し、
前記第１の記録素子基板は、前記支持部材と対向し前記吐出口と連通する前記液体の供給口と、前記支持部材と対向し前記供給口を取り囲む第１の面と、前記支持部材と対向し前記第１の面の外側縁部の少なくとも一部に沿って設けられ、前記支持部材に対して前記第１の面より引き込んだ第２の面と、を有し、
前記接着材は前記第１の面と前記支持部材との間の第１の空間に充填されるとともに、前記第２の面と前記支持部材との間の第２の空間の少なくとも一部に充填されている、液体吐出ヘッド。
前記第１の記録素子基板は、前記第１の面と前記第２の面とを接続する第３の面を有している、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１の面と前記第２の面は互いに平行であり、前記第３の面は前記第１の面及び前記第２の面と交差している、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２の面は前記支持部材に対して引き込む凹面である、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２の面と前記第１の記録素子基板の外壁の交差部が面取りされている、請求項２から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記接着材は、前記第３の面の全面を覆うとともに、前記第２の面の少なくとも一部を覆っている、請求項２から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２の面は、前記第１の面と接続されており、前記第１の面に対し傾斜している、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２の面は平面である、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
前記第２の面は、前記支持部材に対して引き込んだ凹面、または前記支持部材に対して突き出した凸面である、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
前記接着材は前記第２の空間の一部だけに充填されている、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記接着材は、前記第２の空間を充填するとともに、前記第１の記録素子基板の外壁の外にはみ出している、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１の記録素子基板は長方形であり、前記第２の面は長辺に沿って設けられている、請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１の記録素子基板と電気的に接続される電気配線部材を有し、第１の記録素子基板と前記電気配線部材の電気接続部は短辺に沿って設けられている、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
前記電気接続部を封止する第１の封止材を有する、請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
前記第１の記録素子基板に隣接し、前記支持部材に支持され、液体を吐出する吐出口を有する第２の記録素子基板を有し、
前記支持部材は前記第１の記録素子基板と前記第２の記録素子基板を取り囲む枠部材を有し、
前記第１の記録素子基板と前記第２の記録素子基板との隙間の間隔は前記第１の記録素子基板と前記枠部材の間隔より小さく、
前記第１の記録素子基板と前記第２の記録素子基板との間に、前記第１の封止材より流動性の高い第２の封止材が充填されている、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
前記接着材を前記第２の封止材が覆っている、請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
液体を吐出する吐出口を有する第１の記録素子基板と、
前記第１の記録素子基板を支持する支持部材と、
前記第１の記録素子基板と前記支持部材との間に設けられ、前記第１の記録素子基板を前記支持部材に接合する接着材と、を有し、
前記第１の記録素子基板は、前記支持部材と対向し前記吐出口と連通する供給口と、前記支持部材と対向し前記供給口を取り囲む対向部と、外壁と、前記対向部と前記外壁にまたがって形成された欠損部を有し、
前記接着材は前記第１の面と前記支持部材との間の第１の空間に充填されるとともに、前記欠損部の少なくとも一部に充填されている、液体吐出ヘッド。
前記欠損部は段差である、請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
前記欠損部は面取りである、請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
液体を吐出する吐出口を有する第１の記録素子基板と、前記第１の記録素子基板を支持する支持部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記支持部材に接着材を設けることと、
前記第１の記録素子基板を前記支持部材に対して位置決めすることと、
前記第１の記録素子基板を前記接着材で前記支持部材に接合することと、を有し、
前記第１の記録素子基板は、前記吐出口と連通する供給口と、前記供給口を取り囲む第１の面と、前記第１の面の外側縁部の少なくとも一部に沿って設けられた第２の面と、を有し、
前記第１の記録素子基板は、前記供給口と前記第１の面と前記第２の面とが前記支持部材と対向し、前記第２の面が前記支持部材に対して前記第１の面より引き込み、前記第１の面が前記接着材と対向するように前記支持部材に対して位置決めされ、
前記第１の記録素子基板を前記支持部材に対して押し込むことにより、前記接着材が前記第１の面と前記支持部材との間の第１の空間に充填されるとともに、前記第２の面と前記支持部材との間の第２の空間の少なくとも一部に充填される、液体吐出ヘッドの製造方法。