JP7224782B2 - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
近年、インクジェット記録装置による記録は紙媒体に対してだけでなく基板等の非紙媒体に対しても行われるようになっており、産業機器としての高い信頼性がインクジェット記録装置には求められている。
インクジェットヘッドはインクを加圧するエネルギー発生素子を備え、加圧されたインクは吐出口からインク滴として外部に吐出され、紙などのメディアに着弾することで画像等を形成する。エネルギー発生素子が形成されている素子基板には、エネルギー発生素子を駆動するための電力を外部から供給するための電気接続部（電極パッド）が形成され、この電気接続部は、インクの付着を抑制するために樹脂材料等の封止部材で封止される。
一方、吐出口の近傍にインク滴が付着し固着すると記録品位が損なわれる場合があるため、ブレード状の部材によって付着したインク滴を除去するクリーニング動作を行う必要がある。ブレード部材を素子基板の吐出口近傍に押しつけた状態で動かすことによりインク滴を除去する。その際にブレード部材が電気接続部の封止部材に当接し、クリーニングに影響を及ぼす場合がある。
したがって、例えば上記クリーニングを考慮すると、電気接続部は吐出口が形成されていない面に設けることが望ましい。特許文献１では、吐出口が設けられている面と反対側（以下、素子基板の裏面側と称す）の領域に、電気接続部が形成された素子基板が提案されている。
電気接続部を封止する封止部材と素子基板の面とは密着しており、電気接続部への液体の侵入を抑制している。しかしながら温度や湿度の変化といった環境変化や、液体吐出ヘッドのクリーニング時に加わる力等の要因によって封止部材と素子基板の面との密着性が損なわれる場合がある。その場合、インクミストやインク流路からの液体が素子基板の裏面を伝って流動し、封止部材と素子基板との間に侵入し電気接続部まで到達することで、電気接続部の信頼性に影響する恐れがある。
本発明の目的は上記の課題を鑑み、素子基板の電気接続部における液体に対する信頼性を確保できる液体吐出ヘッドを提供することである。
上記の課題を解決するために本発明は、液体を吐出する吐出口と、該吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、該エネルギー発生素子と電気的に接続されている端子と、を備える素子基板と、前記端子と接続され、前記エネルギー発生素子を駆動するための電力を前記素子基板の外部から前記エネルギー発生素子に供給する電気接続部材と、を備える液体吐出ヘッドであって、前記端子は、前記素子基板の前記吐出口が設けられる側の面の裏面に形成される穴部の底部に設けられており、前記穴部の内部には前記端子と前記電気接続部材との接続部を覆う封止部材が設けられており、前記素子基板の前記吐出口が形成されている面に固定部材が当接して設けられており、前記素子基板の前記吐出口が形成されている面と垂直な方向から見た際に、前記固定部材は、前記穴部と重なる位置に配置されていることを特徴とする。
また、本発明は、液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、第１の面に液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子に配線層を介して接続される端子とを備える素子基板を用意する工程と、前記素子基板の前記第１の面の裏面である第２の面から前記第１の面に向かってエッチングにより穴部を形成する工程と、前記穴部の内部にツールを挿入し、前記穴部の底部に設けられる端子と電気接続部材とを電気的に接続する工程と、前記穴部の内部に封止部材を注入し、前記端子と前記電気接続部材との接続部を前記封止部材で覆う工程と、前記素子基板の前記吐出口が形成されている面に固定部材を当接して設ける工程と、を有し、前記素子基板の前記吐出口が形成されている面と垂直な方向から見た際に、前記固定部材は、前記穴部と重なる位置に配置することを特徴とする。
本発明によれば、素子基板の電気接続部における液体に対する信頼性が確保された液体吐出ヘッドを提供することができる。
以下、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッド及びその製造方法について、図面を参照しながら説明する。ただし、以下の記載は本発明の範囲を限定するものではない。一例として、本実施形態では発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式が採用されているが、ピエゾ方式およびその他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。また、本実施形態の液体吐出ヘッドは被記録媒体の幅に対応した長さを有する、所謂ページワイド型ヘッドであるが、被記録媒体に対してスキャンを行いながら記録を行う、所謂シリアル型の液体吐出ヘッドにも本発明を適用できる。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えばブラックインク用、およびカラーインク用素子基板を各１つずつ搭載する構成があげられる。しかしながら、これに限らず、数個の素子基板を吐出口列方向に吐出口をオーバーラップさせるよう配置した、被記録媒体の幅よりも短いヘッドを作成し、それを被記録媒体に対してスキャンさせる形態のものであっても良い。
（第１の実施形態）
（液体吐出ヘッドの説明）
本実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図１～図３を用いて説明する。図１は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。図１に示すように、液体吐出ヘッド３は、１つの素子基板１０でＣ／Ｍ／Ｙ／Ｋの４色のインクを吐出できる素子基板１０が直線状に１５個配列（インラインに配置）されるページワイド型の液体吐出ヘッドである。液体吐出ヘッド３は、各素子基板１０と、電気配線部材４０およびプレート状の電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２を備える。電気接続部材４０は、例えばフレキシブル配線基板である。信号入力端子９１及び電力供給端子９２は、被記録媒体（不図示）を搬送する搬送部（不図示）及び液体吐出ヘッド３を有する記録装置（不図示）の制御部と電気的に接続され、それぞれ、吐出駆動信号及び吐出に必要な電力を素子基板１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号出力端子９１及び電力供給端子９２の数を素子基板１０の数に比べて少なくできる。これにより、記録装置に対して液体吐出ヘッド３を組み付けるとき又は液体吐出ヘッド３の交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。
（液体吐出ヘッドの説明）
本実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図１～図３を用いて説明する。図１は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。図１に示すように、液体吐出ヘッド３は、１つの素子基板１０でＣ／Ｍ／Ｙ／Ｋの４色のインクを吐出できる素子基板１０が直線状に１５個配列（インラインに配置）されるページワイド型の液体吐出ヘッドである。液体吐出ヘッド３は、各素子基板１０と、電気配線部材４０およびプレート状の電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２を備える。電気接続部材４０は、例えばフレキシブル配線基板である。信号入力端子９１及び電力供給端子９２は、被記録媒体（不図示）を搬送する搬送部（不図示）及び液体吐出ヘッド３を有する記録装置（不図示）の制御部と電気的に接続され、それぞれ、吐出駆動信号及び吐出に必要な電力を素子基板１０に供給する。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号出力端子９１及び電力供給端子９２の数を素子基板１０の数に比べて少なくできる。これにより、記録装置に対して液体吐出ヘッド３を組み付けるとき又は液体吐出ヘッド３の交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。
図２は、液体吐出ヘッド３に設けられる複数の素子基板１０と電気配線部材４０のうち、１つの素子基板１０と電気配線部材４０の斜視図であり、素子基板１０の吐出口が設けられる面の裏面側を示している。図２（ａ）は、素子基板１０と電気配線部材４０を接続する前の斜視図である。図２（ｂ）は、夫々を接続した際の斜視図である。尚、図２においては説明を容易にするために液体流路部材１２０（図３）を省略した図を示している。図２（ａ）に示すように、素子基板１０は端子１６を有し、電気配線部材４０は端子４１（他の端子）を有する。端子１６と端子４１は後述するワイヤーボンディングにより電気接続部材１１２（図３）を介して電気的に接続されており、その接合部は封止部材１１３により覆われている（図２（ｂ））。
図３（ａ）は、図２（ｂ）におけるｘ－ｘ断面の一部を示す液体吐出ヘッド３の概略図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるＡ－Ａから見た素子基板１０の概略の平面図であり、説明を容易にするため封止部材１１３を省略した状態を示す。図３（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド３は、素子基板１０と液体流路部材１２０から主に構成されている。素子基板１０は、液体を吐出する吐出口１０５が形成されている吐出口形成部材１０３と、配線層１０７と、シリコンの基体部１０１で主に構成されている。配線層１０７は、吐出口１０５近傍の液体にエネルギーを供給するエネルギー発生素子であるヒータ１０４と、端子１６とを電気的に接続するように構成されている。なお、ヒータ１０４と端子１６との間にトランジスタ（不図示）や各種回路を設けて電気接続してもよい。液体流路部材１２０は、吐出口１０５から吐出する液体を素子基板１０に供給するための流路を構成する部材である。インク供給口１０６は、吐出口１０５に供給されるインクの流路となる部分である。電気配線部材４０は、裏面側の素子基板上に形成されている。
基体部１０１の裏面には穴部４が設けられている。穴部４の底部には端子１６が設けられている。端子１６と、電気接続部材１１２の一端部は電気的に接続されており、電気接続部材１１２の他端部は電気配線部材４０の端子４１と電気的に接続されている。本実施形態において電気接続部材１１２はＡｕワイヤであり、所謂ワイヤーボンディング法により端子１６および端子４１と接続されている。なお、電気接続部材１１２はＡｕワイヤに限らず、金、銅、アルミニウム又は銀のいずれか１つ、又はこれら４つの金属のうち少なくともいずれか２つの金属による合金であればよい。端子１６および端子４１および電気接続部材１１２を覆うように封止部材１１３が穴部４の内部に形成されている。電気接続部材１１２を用いて端子１６と端子４１を電気的に接続することにより、電気配線部材４０からヒータ１０４に電力が供給される。また、Ａｕワイヤの先端にはＡｕボール１１１が形成されている。液体流路部材１２０と素子基板１０は接着剤１２１を介して密着している。接着剤１２１は、液体流路部材１２０と素子基板１０を接着する機能の他に、インク供給口１０６のインクが液体流路部材１２０と素子基板１０の間に流入しないようにその間を封止する機能も有している。また、封止部材１１３および接着剤１２１は、例えばエポキシ樹脂により形成されるが、それぞれ異なる材料により形成されていてもよい。端子１６又は端子４１は、金、銅又はアルミニウムのいずれか１つ、又はこれら３つの金属のうち少なくともいずれか２つの金属による合金により形成できる。又は、金、銅又はアルミニウムのうち少なくともいずれか１つの金属とシリコンとの合金により形成できる。
次に、図３（ａ）について、封止部材１１３又は接着剤１２１と、基体部１０１との界面について着目する。界面は図中に示すように、接着剤１２１との界面を形成するａ面、穴部４の側壁であって深さ方向に形成されるｂ面、穴部の底部であって底部に沿って形成されるｃ面の３つある。このように異なる界面の位置及び界面の平面方向が異なると、仮に特定の界面を剥離する力が働いたとしても、界面が剥離するのは一部分だけに抑制できる。例えば、界面ａを剥離するような力（剪断力）が働き界面ａが剥離したとしても、界面ａと交差する面である界面ｂの剥離は抑制される。したがって、仮に外力等が働いたとしても、インクがあるインク供給口１０６から端子１６までの界面すべてが剥離することは抑制されるため、端子１６又は電気接続部材１１２へのインクの付着が抑制され、素子基板１０の液体に対する信頼性を確保できる。つまりインクが、端子１６と電気接続部材１１２との電気接続部に到達することを抑制できる。また、界面は必ずしも３つある必要はなく、少なくとも穴部の深さ方向に形成されるｂ面および底部に沿った方向に形成されるｃ面の２つの界面があれば良く、より好ましくはａ、ｂ、ｃの３つの界面があれば良い。
本実施形態においては図３（ａ）に示すように、封止部材１１３は穴部４の内部全体に充填されている。そのため、例えば液体吐出ヘッドのクリーニング動作時に、素子基板１０の主面に平行な方向の力が働いたとしても、穴部４の内壁面が封止部材１１３の移動を抑制する障害物の役割を担う。一方、素子基板１０の主面に平行な方向における接着剤１２１の両側には壁面等が形成されていない。したがって、クリーニング動作等で界面ａが剥離したとしても、穴部４の底部ｃまで剥離が進行することは抑制される。また、壁面を異なる部材や材料で形成する必要もなく、基体部１０１と同一の材料で界面を安定的に形成することができる。この穴部４の側壁を形成する面は、素子基板１０の主面（例えば素子基板１０の裏面）に対して略垂直に形成されていると好ましい。また、穴部４の側壁は、少なくとも素子基板４の裏面における垂線から４５度以内の角度で形成されていれば好ましく、より好適なのは１０度以内の角度である。本実施形態のように、電気接続部材１１２はＡｕワイヤのような柔軟性のある接続部材を用いることにより、様々な力が働いた場合にもワイヤ部材が変形することで断線が抑制され、電気接続の信頼性を確保できる。
図３においては穴部４の形状を四角形（四角柱）とし、上記説明をしたが、穴部４の形状は四角形に限らず各種形状でよい。例えば、円形（円柱）の穴部でも、四角形の穴部と同様に、穴部の側壁であるｂ面および底部であるｃ面の２面が界面として形成されるので界面の剥離を抑制する効果が得られる。
（フライングリードによる電気接続）
上述した実施形態については素子基板１０と電気配線部材４０とをワイヤーリードボンディングにより接続する形成で説明したが本発明はこれに限定されず各種電気接続の形態が適用可能である。本実施形態の変形例として図４に、フライングリードボンディングによる電気接続の概略図を示す。本変形例では、電気配線部材４０として所謂ＴＡＢ配線を用いる。ＴＡＢ配線は図に示すように、樹脂等からなるフィルム状の絶縁部材４２（ベースフィルムとカバーフィルム）に挟まれた配線部材４３を備え、その配線の一端がＴＡＢ配線の端部から外方に延出している。このような配線の延伸部であるフライングリードを素子基板１０の穴部４の底部に形成される端子１６とボンディングにより電気接続し、この電気接続部を封止部材１１３で封止する。このような形態においても、上述した複数の界面が形成されていれば液体に対する信頼性を確保できる。
上述した実施形態については素子基板１０と電気配線部材４０とをワイヤーリードボンディングにより接続する形成で説明したが本発明はこれに限定されず各種電気接続の形態が適用可能である。本実施形態の変形例として図４に、フライングリードボンディングによる電気接続の概略図を示す。本変形例では、電気配線部材４０として所謂ＴＡＢ配線を用いる。ＴＡＢ配線は図に示すように、樹脂等からなるフィルム状の絶縁部材４２（ベースフィルムとカバーフィルム）に挟まれた配線部材４３を備え、その配線の一端がＴＡＢ配線の端部から外方に延出している。このような配線の延伸部であるフライングリードを素子基板１０の穴部４の底部に形成される端子１６とボンディングにより電気接続し、この電気接続部を封止部材１１３で封止する。このような形態においても、上述した複数の界面が形成されていれば液体に対する信頼性を確保できる。
（製造方法についての説明）
次に、本実施形態における液体吐出ヘッド３の製造方法について説明する。図５に製造方法の工程フローを、図６に製造方法の概略図を示す。まず図６（ａ）に示すように、配線層１０７及び端子１６が形成された素子基板１０を用意する（図５の工程１）。この素子基板１０の配線層１０７の基体部１０１側には端子１６となる金属部としてアルミニウム合金が形成されており、その厚さは６００ｎｍ程度である。なお、この金属部はアルミニウム合金に限らず、金又は銅であってもよい。また、金又は銅又アルミニウムの３つの金属のうち少なくとも２つの金属による合金でもよい。
次に、本実施形態における液体吐出ヘッド３の製造方法について説明する。図５に製造方法の工程フローを、図６に製造方法の概略図を示す。まず図６（ａ）に示すように、配線層１０７及び端子１６が形成された素子基板１０を用意する（図５の工程１）。この素子基板１０の配線層１０７の基体部１０１側には端子１６となる金属部としてアルミニウム合金が形成されており、その厚さは６００ｎｍ程度である。なお、この金属部はアルミニウム合金に限らず、金又は銅であってもよい。また、金又は銅又アルミニウムの３つの金属のうち少なくとも２つの金属による合金でもよい。
次に基体部１０１にレジスト（不図示）を形成した後、フォトリソグラフィを用いて穴部４を形成する部分のレジストを除去する。その後、図６（ｂ）に示すように、ＢＯＳＨプロセスなどのＳｉに対するＤｒｙエッチングを用いて基体部１０１であるＳｉ基板の裏面に穴部４を形成する。また、端子１６と基体部１０１の間にはシリコン酸化膜の絶縁層（不図示）が形成されているため、この絶縁層も酸化膜エッチングで除去する（図５の工程２）。
次に、図６（ｃ）に示すように、穴部４に対してインク供給口１０６が設けられる側と反対側の基体部１０１に電気配線部材４０を取り付ける。穴部４にボンディングツールを挿入し、電気配線部材４０の端子４１と端子１６を、Ａｕワイヤを用いたワイヤーボンディングで接続する（図５の工程３）。次に、図６（ｄ）に示すように、穴部４の内部に封止部材１１３を注入することにより穴部４の内部とＡｕワイヤ１１２の周囲を絶縁封止し、ベークして固める（図５の工程４）。
この後、図６（ｅ）に示すように熱硬化性の接着剤を用いて液体流路部材１２０と素子基板１０とを接合し液体吐出ヘッド３を完成させる（図５の工程５）。なお、インク供給口１０６や吐出口形成部材１０３は、穴部４を形成した後に形成してもよい。
（第２の実施形態）
第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図７を参照しながら説明する。第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。図７は、図３（ａ）のＡ－Ａと同様の箇所から本実施形態に係る液体吐出ヘッドを見た平面図である。本実施形態では、ひとつの穴部４の底部に複数の端子１６が形成されている。複数のＡｕワイヤ１１２が穴部４の中に形成されているが、穴部４は絶縁性の封止部材１１３で満たされているので電気的な絶縁は確保される。これによりフットプリントを小さくすることが出来て小型化の点で好適である。このとき、端子１６は必ずしも一列に並ぶ必要はない。例えば、千鳥状に配列すると列方向の長さを減らすことができ、好適である。
第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図７を参照しながら説明する。第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。図７は、図３（ａ）のＡ－Ａと同様の箇所から本実施形態に係る液体吐出ヘッドを見た平面図である。本実施形態では、ひとつの穴部４の底部に複数の端子１６が形成されている。複数のＡｕワイヤ１１２が穴部４の中に形成されているが、穴部４は絶縁性の封止部材１１３で満たされているので電気的な絶縁は確保される。これによりフットプリントを小さくすることが出来て小型化の点で好適である。このとき、端子１６は必ずしも一列に並ぶ必要はない。例えば、千鳥状に配列すると列方向の長さを減らすことができ、好適である。
（第３の実施形態）
第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図８を参照しながら説明する。第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴部は、固定部材１１０に素子基板１０を取り付けたことである。図８（ａ）は、図２（ｂ）と同様の箇所におけるｘ－ｘ断面における本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の概略図である。図８（ｂ）は、固定部材１１０に取り付けられた複数の素子基板１０および固定部材１１０を、素子基板１０の裏面側から見た概略図である。
第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図８を参照しながら説明する。第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴部は、固定部材１１０に素子基板１０を取り付けたことである。図８（ａ）は、図２（ｂ）と同様の箇所におけるｘ－ｘ断面における本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の概略図である。図８（ｂ）は、固定部材１１０に取り付けられた複数の素子基板１０および固定部材１１０を、素子基板１０の裏面側から見た概略図である。
図８（ｂ）に示すように固定部材１１０は枠体形状をしており、接着剤を用いて枠体の内面側と素子基板１０とを固定している。記録装置（不図示）と液体吐出ヘッド３との接合部は、固定部材１１０を支持する支持部材５（図１）に設けられており、支持部材５には固定部材１１０が取り付けられている。また、素子基板１０は固定部材１１０に取り付けられている。したがって、素子基板１０の位置決め基準は固定部材１１０ではあるが、固定部材１１０近傍の支持部材５に液体吐出ヘッド３との接合部が設けられているため、液体吐出ヘッド３の種々の構成部品による寸法公差が素子基板１０の位置精度に与える影響は小さい。したがって、記録装置に対する素子基板１０の寸法精度を向上することができる。また、記録装置と液体吐出ヘッド３との接合部を固定部材１１０に設けた方が接合部と素子基板１０との距離がより近くなるため、寸法精度の観点からより好ましい。
また上述した各実施形態において、素子基板１０の裏面に穴部４を設けその底部に端子１６を形成する構成をとっているため、その部位の強度が低下する恐れがある。本実施形態においては穴部４（端子１６）が設けられる位置に対応して固定部材１１０が設けられている。これにより穴部４における素子基板１０の強度が向上する点で好ましい。固定部材１１０の材料としは樹脂や金属等、各種材料が適用可能であるが、強度の点からはＳＵＳ等の金属が好ましい。また樹脂も適用可能であるが、強度の点からはフィラーを含有させた樹脂を適用することが好ましい。
図２で説明した液体吐出ヘッドには複数の端子１６が形成されているが、その全ての端子を上述したように穴部４の底部に配置させる必要はない。少なくとも１つの端子１６に対して本発明の構成を適用可能である。
３ 液体吐出ヘッド
４ 穴部
１０ 素子基板
１６ 端子
４０ 電気配線部材
４１ 他の端子
１０４ エネルギー発生素子
１０５ 吐出口
１１３ 封止部材
４ 穴部
１０ 素子基板
１６ 端子
４０ 電気配線部材
４１ 他の端子
１０４ エネルギー発生素子
１０５ 吐出口
１１３ 封止部材
Claims (19)
- 液体を吐出する吐出口と、該吐出口から液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、該エネルギー発生素子と電気的に接続されている端子と、を備える素子基板と、
前記端子と接続され、前記エネルギー発生素子を駆動するための電力を前記素子基板の外部から前記エネルギー発生素子に供給する電気接続部材と、
を備える液体吐出ヘッドであって、
前記端子は、前記素子基板の前記吐出口が設けられる側の面の裏面に形成される穴部の底部に設けられており、
前記穴部の内部には前記端子と前記電気接続部材との接続部を覆う封止部材が設けられており、
前記素子基板の前記吐出口が形成されている面に固定部材が当接して設けられており、
前記素子基板の前記吐出口が形成されている面と垂直な方向から見た際に、前記固定部材は、前記穴部と重なる位置に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記エネルギー発生素子に電力を供給するための配線を備える電気配線部材をさらに備え、
前記電気接続部材は、前記配線と前記端子とを電気的に接続するワイヤ部材であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記エネルギー発生素子に電力を供給するための配線を備える電気配線部材をさらに備え、
前記電気接続部材は、前記電気配線部材の端部から前記配線が外方に延伸するフライングリードであることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記封止部材は、前記電気接続部材を覆うことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記電気接続部材は、金、銅、アルミニウム又は銀のいずれか１つ、又はこれら４つの金属のうち少なくともいずれか２つの金属による合金であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記端子は、金、銅又はアルミニウムのいずれか１つ、これら３つの金属のうち少なくともいずれか２つの金属による合金、又はアルミニウムとシリコンとの合金であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記エネルギー発生素子に液体を供給するための供給口を備える液体流路部材をさらに有し、該液体流路部材と前記素子基板とが接着剤を介して密着していることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記接着剤は前記供給口と前記穴部との間に設けられていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記封止部材は前記穴部の底部及び側壁に設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記素子基板は前記吐出口を備える吐出口形成部材と、前記エネルギー発生素子及び前記穴部を備える基体とを含み、前記エネルギー発生素子及び前記端子は前記基体の第１の面に設けられており、前記穴部は前記基体の第１の面の裏面の第２の面に設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記穴部の側壁を形成する面は、前記素子基板の前記エネルギー発生素子が設けられる面における垂線から４５度以内の角度で形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記穴部の側壁を形成する面は、前記垂線から１０度以内の角度で形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記穴部の側壁を形成する面は、前記素子基板の前記エネルギー発生素子が設けられる面に対して略垂直に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記素子基板は前記吐出口を備える吐出口形成部材と、前記エネルギー発生素子及び前記穴部を備える基体部とを含み、前記基体部には前記エネルギー発生素子と前記端子とを接続する配線層が形成されており、前記端子と前記穴部との間の領域を除く前記配線層と前記基体部との間には絶縁層が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記穴部の底部には、複数の前記端子が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 複数の前記端子のそれぞれは、複数の前記電気接続部材の一端部と接続されていることを特徴とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記電気配線部材は、前記吐出口が設けられる側の面の裏面の前記素子基板上に形成されていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
- 複数の前記素子基板が直線状に配列されるページワイド型の液体吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至請求項１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
- 液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
第１の面に液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子に配線層を介して接続される端子とを備える素子基板を用意する工程と、
前記素子基板の前記第１の面の裏面である第２の面から前記第１の面に向かってエッチングにより穴部を形成する工程と、
前記穴部の内部にツールを挿入し、前記穴部の底部に設けられる端子と電気接続部材とを電気的に接続する工程と、
前記穴部の内部に封止部材を注入し、前記端子と前記電気接続部材との接続部を前記封止部材で覆う工程と、
前記素子基板の前記吐出口が形成されている面に固定部材を当接して設ける工程と、
を有し、
前記素子基板の前記吐出口が形成されている面と垂直な方向から見た際に、前記固定部材は、前記穴部と重なる位置に配置することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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