JP2006229124A - Icチップの接続方法および接続構造 - Google Patents
Icチップの接続方法および接続構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006229124A JP2006229124A JP2005043927A JP2005043927A JP2006229124A JP 2006229124 A JP2006229124 A JP 2006229124A JP 2005043927 A JP2005043927 A JP 2005043927A JP 2005043927 A JP2005043927 A JP 2005043927A JP 2006229124 A JP2006229124 A JP 2006229124A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- substrate
- film
- adhesive
- connection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01019—Potassium [K]
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
【課題】 インクジェット記録ヘッドのフェース面IC実装における、ICチップの反りを低減した接続方法及び接続構造体を提供する。
【解決手段】 基板とICチップとを接着剤を介して接続するICチップの接続方法において、ICチップの裏面を厚さ30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルムを介して、加圧加熱する接続方法および該フィルムが前記接着剤でフィルムの4辺または一部が接着された接続構造体を提供する。
【選択図】 図1
【解決手段】 基板とICチップとを接着剤を介して接続するICチップの接続方法において、ICチップの裏面を厚さ30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルムを介して、加圧加熱する接続方法および該フィルムが前記接着剤でフィルムの4辺または一部が接着された接続構造体を提供する。
【選択図】 図1
Description
本発明は基板とICチップ、特に厚さが200ミクロン以下の薄いICチップを接着剤を介して接続する際に問題になるICチップの反りを低減した接続方法および接続構造に関するものである。
基板とICチップとを接着剤を介して接続するICチップの従来の接続方法について、図5を用いて説明する。
図5は従来の接続方法を示す断面図で、基板1にICチップ2を接着剤3を介して接続する場合、接合装置(図示しない)のツール5とICチップとの間にテフロン(登録商標)やシリコーン等の樹脂フィルム41を載置して加圧加熱する接続方法が知られている。樹脂フィルムを用いるのは、加圧加熱するときに接着剤3の一部がツール5に付着し、その後の接続において均一な加圧加熱ができなくなることを防止することを目的としている。更には樹脂フィルムは安価で装置に容易に取付けることができる等の理由で広く用いられている。このような接続方法において製造された実装構造体は、簡単な工程で複数の電極を同時に接続できるために接続コストが安く、接続時間も短いと言う特徴を持っている。更にこのような接続方法においては、接着剤の硬化温度が低いために比較的低温度の工程で信頼性の高い接続を達成することができるために、耐熱性が比較的低いデバイスにおいても信頼性の高い実装構造体を製造することが可能である。たとえばインク内の気泡の成長方向とインクの吐出方向とが同じになるタイプのインクジェット記録ヘッドの基板を長尺に形成する場合、インク吐出口を樹脂で形成されるために低温度の接続工程であり、長尺の記録ヘッドを形成するために複数個のICチップを接着剤を介して接続するために、このような接続方法を用いることはきわめて効果的である。(特開2002−210969号参照)
特開2002−210969号公報
ところでこのような接続方法においては、ツール5とICチップとの間にテフロン(登録商標)やシリコーン等の樹脂フィルム41を載置して加圧加熱するICチップ2の電極21,22はICチップ周辺に配置され、中央部には存在しない場合が多いために、ICチップに反りが生じて実装構造体の接続信頼性を劣化させる。
図6はICチップ2の平面をあらわしており、電極21は電源やロジック系の入力電極、電極22はロジック系またはアナログ系の出力電極で基板1との接続用の突起電極を形成している。ICチップ2の電極21,22はICチップ周辺に配置され、中央部には存在しない場合が多い。これはICの機能面上に電極を置くと、接続時のダメージを受けることや電極数を増加させ多層配線が必要になることでコストが上がること等に起因している。
図7は従来の接続方法でICチップ2を接続したときのICチップ2の反り量を示した図である。本発明者等の実験とシミュレーションでは、12mm×2mm×0.175mmのICチップを、総加重30kgf、樹脂フィルムとして30ミクロン厚のテフロン(登録商標)シートを用いた場合、最大で10ミクロンの反りが発生することが確認できた。なお基板には、厚さ0.625mmのSi基板を使用した。
図8は前記ICチップの反りが発生するメカニズムを説明するための図で、電極部は集中荷重であるにもかかわらず、ICチップ裏面には樹脂フィルムを介して等分布荷重が印加され、ICチップ中央部の電極が存在しない部分がたわみ、反りが発生してしまう。ICチップの反りは残留した応力としてその後の環境ストレスによって接続部の信頼性を低下させる原因となることは自明のことである。本発明者等はICチップの反りの原因として、接着剤の硬化収縮や加圧加熱時のICチップと基板の温度差も原因することを把握したが本稿では省略する。
近年ICチップの薄型化が進んでいる中で、本発明の目的は
1.基板と薄いICチップとを接着剤を介して接続するICチップの接続方法において、ICチップの反りを低減して信頼性の高いICチップの接続方法を提供すること。
1.基板と薄いICチップとを接着剤を介して接続するICチップの接続方法において、ICチップの反りを低減して信頼性の高いICチップの接続方法を提供すること。
2.基板と薄いICチップとを接着剤を介して接続するICチップの接続構造体において、ICチップの反りを低減して信頼性の高いICチップ接続構造体を安価に提供することである。
本発明は、基板とICチップとを接着剤を介して接続するICチップの接続方法において、ICチップの裏面を厚さで30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルムを介して、加圧加熱することを特徴とするICチップの接続方法を提供する。
更に本発明は、基板とICチップとを接着剤を介して接続されたICチップの接続構造体において、ICチップの裏面には厚さ30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルムが前記接着剤でフィルムの4辺または一部が接着されたことを特徴とするICチップの接続構造体。
以上説明したように本発明は、基板とICチップとを接着剤を介して接続するICチップの接続方法において、ICチップの裏面を厚さで30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルムを介して、加圧加熱することを特徴とするICチップの接続方法を提供する。本発明の接続方法は、厚さが200ミクロン以下の薄いICチップを接着剤を介して接続する際に問題になるICチップの反りを低減した信頼性の高い接続方法を提供する。
更に本発明は、基板とICチップとを接着剤を介して接続されたICチップの接続構造体において、ICチップの裏面には厚さ30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルムが前記接着剤でフィルムの4辺または一部が接着されたことを特徴とするICチップの接続構造体を提供する。本発明の接続構造体は、基板とICチップ、特に厚さが200ミクロン以下の薄いICチップを接着剤を介して接続する際に問題になるICチップの反りを低減した接続構造に関するものであり、放熱特性に優れた接続構造体を提供する。
更に本発明は、記録ヘッド用外付けの制御回路用ICチップ2実装を薄く形成する事を可能とし、紙間距離を短く設定する事が可能となり記録画像の高画質化を可能としたサイドシューター型記録ヘッドを提供することを可能にした。
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
図1は本発明に関わる第一の実施例の接続方法を示す断面図で、基板1に図6に平面図で示したICチップ2を接着剤3を介して接続する場合、接合装置(図示しない)のツール5とICチップとの間に厚さで30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルム4を介して、加圧加熱する。ヤング率は前記従来例で示した「電極部は集中荷重であるにもかかわらず、ICチップ裏面には樹脂フィルムを介して等分布荷重が印加され、ICチップ中央部の電極が存在しない部分がたわみ、反りが発生してしまう」ことを防止することを目的とし、厚さは「加圧加熱するときに接着剤3の一部がツール5に付着し、その後の接続において均一な加圧加熱ができなくなることを防止すること、更には装置に容易に取付けることができる」から決めることが効果的であり、本発明者等は厚さ5ミクロンと30ミクロンのSUS箔(シムテープ/シムプレート)を用いた。
図2は本発明の接続方法で接続したICチップの反り量を示した図である。この実験とシミュレーションは良く一致し、12mm×2mm×0.175mmのICチップを、総加重30kgfで接続した場合、約2ミクロンの反りに低減することが確認できた。この約2ミクロンの反りは、前述したように、接着剤の硬化収縮や加圧加熱時のICチップと基板の温度差に起因する反りである。
図3は本発明に関わる実施例の接続構造を示す断面図で、基板1にICチップ2を接着剤3を介して接続する場合、接合装置(図示しない)のツール5とICチップとの間に厚さ30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のシート状に切断したフィルムを介して、加圧加熱する。ここでは「加圧加熱するときに接着剤3の一部がフィルムに付着する」ことを利用して、前記接着剤で前記フィルムの4辺または一部が接着されたことを特徴とする。ICチップ裏面に接着された前記フィルムはICチップの熱を外気に放散する放熱板の役割を持つことができる。
図4はシリコン基板11が、インク供給口6を化学エッチングやレーザ等の光エネルギーを用いて形成するとともに該基板上にインク流路7及び該インク流路の一部に設けられた電気熱変換素子8と該インク流路の壁となる吐出口形成部材にインク吐出口9が形成されて、インク内の気泡の成長方向とインクの吐出方向とが同じになるタイプのインクジェット記録ヘッドであり、特許請求項1のICチップの接続方法で製造された接続構造体を示す断面図である。本実施例ではドライバーを内蔵せずに高耐圧のCMOSプロセスを用いて作製した外付けの制御回路用ICチップ2を用いる。ICチップ2はインク吐出口9の面からの突出量を小さくするために薄いICチップ、本実施例では175μm厚さに研磨され、電極には突起電極を形成して基板11の電極と対抗して載置する。ICチップと基板間には接着剤(図示しない)を載置しICチップのバンプと基板電極間を接着剤を介して接触接続する。接着剤には、絶縁樹脂層に導電粒子を分散・含有して異方導電特性を有するとともに前記ICチップのバンプと前記基板の電極との接触接続を保持する異方性導電フィルム(ソニーケミカル株式会社製FP13414S)、および圧力を加える事で前記ICチップのバンプと前記基板の電極との接触接続を開始するとともに、熱で硬化収縮する事で前記ICチップのバンプと前記基板の電極との接触接続を保持する絶縁性ペースト(新日鐡化学株式会社製NEX−151)の両方で検討し、何れの接着剤に置いても接続特性と絶縁特性及び反りである事を確認した。
1 基板
11 シリコン基板
2 ICチップ
21 入力電極
22 出力電極
3 接着剤(異方性導電フィルム、異方性導電ペースト、絶縁性フィルム、絶縁性ペースト)
4 フィルム
41 樹脂フィルム
5 ツール
6 インク供給口
7 インク流路
8 電気熱変換素子
9 インク吐出口
11 シリコン基板
2 ICチップ
21 入力電極
22 出力電極
3 接着剤(異方性導電フィルム、異方性導電ペースト、絶縁性フィルム、絶縁性ペースト)
4 フィルム
41 樹脂フィルム
5 ツール
6 インク供給口
7 インク流路
8 電気熱変換素子
9 インク吐出口
Claims (7)
- 基板とICチップとを接着剤を介して接続するICチップの接続方法において、ICチップの裏面を厚さ30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルムを介して、加圧加熱することを特徴とするICチップの接続方法。
- 基板とICチップとを接着剤を介して接続されたICチップの接続構造体において、ICチップの裏面には厚さ30ミクロン以下でヤング率1×1010Pa以上のフィルムが前記接着剤でフィルムの4辺または一部が接着されたことを特徴とするICチップの接続構造体。
- 前記ICチップは厚さが200ミクロン以下であることを特徴とする特許請求項1のICチップの接続方法および特許請求項2のICチップの接続構造体。
- 前記フィルムはSUS、軟鋼、真鍮等の金属箔であることを特徴とする特許請求項1のICチップの接続方法および特許請求項2のICチップの接続構造体。
- SUS、軟鋼、真鍮等の金属箔の前記フィルムを前記ICチップを加圧加熱した後、または加圧加熱する前にピッチ送りして前記接着剤の硬化体による影響を排除したことを特徴とする特許請求項1のICチップの接続方法。
- 前記接着剤は絶縁樹脂層に導電粒子を分散・含有して異方導電特性を有し、前記ICチップの電極バンプと前記基板の電極との接触接続と前記ICチップと前記基板とを接着して電気的接続を保持する異方性導電フィルム又は異方性導電ペースト又は前記ICチップの電極バンプと前記基板の電極との直接接触接続と前記ICチップと前記基板とを接着して電気的接続を保持する絶縁樹脂フィルム又は絶縁樹脂ペーストである事を特徴とする特許請求項1のICチップの接続方法および特許請求項2のICチップの接続構造体。
- 前記基板が、インク供給口を形成するとともに該基板上にインク流路及び該インク流路の一部に設けられた電気熱変換素子と該インク流路の壁となる吐出口形成部材と該吐出口形成部材にインク吐出口が形成されて、インク内の気泡の成長方向とインクの吐出方向とが同じになるタイプのインクジェット記録ヘッドであることを特徴とする特許請求項1のICチップの接続方法および特許請求項2のICチップの接続構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005043927A JP2006229124A (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | Icチップの接続方法および接続構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005043927A JP2006229124A (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | Icチップの接続方法および接続構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006229124A true JP2006229124A (ja) | 2006-08-31 |
Family
ID=36990186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005043927A Withdrawn JP2006229124A (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | Icチップの接続方法および接続構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006229124A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009111326A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-05-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路部材の実装方法 |
JP2012023024A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-02-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路接続用接着フィルム、これを用いた回路接続構造体及び回路部材の接続方法 |
JP2012216616A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 半導体接合装置 |
WO2013133015A1 (ja) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | 東レ株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置 |
CN112789149A (zh) * | 2018-10-04 | 2021-05-11 | 日东电工株式会社 | 耐热脱模片和热压接方法 |
-
2005
- 2005-02-21 JP JP2005043927A patent/JP2006229124A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009111326A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-05-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路部材の実装方法 |
JP2012023024A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-02-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路接続用接着フィルム、これを用いた回路接続構造体及び回路部材の接続方法 |
JP2012216616A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 半導体接合装置 |
WO2013133015A1 (ja) * | 2012-03-07 | 2013-09-12 | 東レ株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置 |
CN104145328A (zh) * | 2012-03-07 | 2014-11-12 | 东丽株式会社 | 半导体装置的制造方法及半导体装置的制造装置 |
CN112789149A (zh) * | 2018-10-04 | 2021-05-11 | 日东电工株式会社 | 耐热脱模片和热压接方法 |
EP3862160A4 (en) * | 2018-10-04 | 2022-08-10 | Nitto Denko Corporation | REMOVABLE HEAT-RESISTANT PROTECTION SHEET AND THERMO-COMPRESSION BONDING PROCESS |
CN112789149B (zh) * | 2018-10-04 | 2023-06-06 | 日东电工株式会社 | 耐热脱模片和热压接方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5147677B2 (ja) | 樹脂封止パッケージの製造方法 | |
JP2006012992A (ja) | 回路基板の電極接続構造 | |
JP2006229124A (ja) | Icチップの接続方法および接続構造 | |
JP6579780B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよび支持部材 | |
JP4476669B2 (ja) | サーマルヘッド及びその製造方法 | |
JP2009226868A (ja) | サーマルプリントヘッド | |
JP3823567B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法及びプリンタ装置 | |
JP4398766B2 (ja) | サーマルヘッド及びその製造方法 | |
JP6362406B2 (ja) | 記録ヘッド | |
JP2003305842A (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及び、その製造方法 | |
JP3915287B2 (ja) | 静電アクチュエータの製造方法 | |
JP5456113B2 (ja) | 樹脂封止パッケージ | |
JP6222985B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、並びに、素子基板および液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP3999222B2 (ja) | フリップチップ実装方法およびフリップチップ実装構造 | |
JP4767518B2 (ja) | 実装方法 | |
JP2008235656A (ja) | 回路基板の実装体 | |
JP2010141158A (ja) | 電子装置 | |
JP2006229126A (ja) | Icチップの接続装置 | |
JP2016078289A (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2009184164A (ja) | サーマルプリントヘッド | |
JP5183217B2 (ja) | サーマルプリントヘッド | |
US20230109029A1 (en) | Liquid ejection head and manufacturing method for liquid ejection head | |
JPH08267764A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP2022026345A5 (ja) | ||
JP4646948B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080513 |