JP2012216616A - 半導体接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】50μm以下の厚さのシリコンチップ上のコンタクトと、基板上の複数のコンタクトのはんだバンプ接続において、厚さが75μm〜125μmのPGS(Pyrolytic Graphite Sheet)を接着したツールヘッドを使用して、加熱溶融と、空気の強制対流に基づいた徐熱によって、電気的機械的接合を形成する。
【選択図】図3
Description
− シリコン、内部配線としてのワイヤリング、パッシベーション等、内部を構成している複数の材料の異なる熱膨張係数(CTE)の差異に起因して、温度変化に伴う熱応力が生じて、曲げや歪みが生じ易い。
Graphite Sheet)を使用する。
compound)の状態の形成を促進させてしまうため、注意する必要がある。また、徐熱にも余計なエネルギーを費やすことになる。
air)の吹き付けで行われる。風量的には外部吹きつけの寄与が大きく、主としてシリコンチップ周囲からの強制対流による徐熱になる。
material)が用意される。この材料から成る層は、ボンダのツールヘッドに固定されて、シリコンチップに直接的に接触させながらも、繰返して使用されることが望ましいので、弾性のある耐熱接着剤(elastic adhesive)の層として固定されたりする。
1.熱伝導率: 170〜180W/m・k
2.曲げ強度: 400MPa
3.硬さ: HV1000、HRA89
4.熱膨張係数: 5.0×10-6(マイナス6乗)/℃(シリコン:4.2×10-6/℃)
Panasonic社製 “PGS”グラファイトシート Type: EYGM
品番: EYGM131810SS
タイプ: シリコン積層品 片面タイプ
厚さ: 0.10±0.05mm
密度: 1 g/cm3(立方センチメートル)
熱伝導率: 面方向 600〜800W/(m・K)
引っ張り強度: 19.6MPa
線膨張率: 面方向 9.3× 10-7(マイナス7乗) 1/K
線膨張率: 厚さ方向 3.2× 10-5(マイナス5乗) 1/K
耐熱性: 400℃
Claims (8)
- 50μm以下の厚さであるシリコンチップ上にある複数のコンタクトと、基板上にある複数のコンタクトとの間において、シリコンチップまたは基板の何れの複数のコンタクト上にセットされた100箇所以上の複数のはんだバンプの加熱による溶融と、主としてシリコンチップを取り囲んでいる部分からの空気の強制対流に基づいた徐熱によって、それら溶融されたはんだバンプを固体化させることとによって、シリコンチップと基板との間に100箇所以上の電気的機械的接合を形成するボンディングを実行する、ツールヘッドであって、
シリコンチップに直接的に接触させて使用され、その厚さが75μm〜125μmの範囲である、PGS(Pyrolytic Graphite Sheet)を有する、
ツールヘッド。 - PGSの厚さが100μmである、請求項1に記載のツールヘッド。
- ツールヘッドとPGSとの間に、耐熱接着層として、厚さが100μmのシリコン層を有する、請求項2に記載のツールヘッド。
- 接合する対象となるシリコンチップの厚さが、30μm〜50μmの範囲である、請求項1に記載のツールヘッド。
- 接合する対象となる複数のはんだバンプが、1mm2(1平方ミリメートル)あたり625個以上、2次元な平面にわたって配列されている、請求項1に記載のツールヘッド。
- 請求項1〜5の何れかに記載のツールヘッドと、
ボンディングすべき対象物をセットして支えておくステージ(stage)とを有しており、
ステージにセットされた対象物に対して、ツールヘッドが相対的に熱と圧力とを加え、
主としてシリコンチップを取り囲んでいる部分からの空気の強制対流に基づいた徐熱を行う、
ボンディングツール(ボンダ)。 - 請求項6に記載のボンディングツール(ボンダ)によるボンディングによって電気的機械的接合が形成された、シリコンチップおよび基板。
- 請求項6に記載のボンディングツール(ボンダ)によってボンディングされた後に、シリコンチップと基板との間の電気的接続の状態をテストする方法であって、
予め配線パターンを設定するステップと、
予め設定しておいた配線パターンにおいて導通があるかどうかをテストするステップとを有する、
方法。
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Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
US10199350B2 (en) * | 2012-05-25 | 2019-02-05 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Apparatus for heating a substrate during die bonding |
US10199351B2 (en) * | 2015-12-30 | 2019-02-05 | Skyworks Solutions, Inc. | Method and device for improved die bonding |
CN112992865B (zh) * | 2021-02-26 | 2023-07-11 | 珠海天成先进半导体科技有限公司 | 一种晶圆级键合工艺监控结构、方法及制备方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03211849A (ja) * | 1990-01-17 | 1991-09-17 | Fuji Electric Co Ltd | フリップチップ用実装装置 |
JPH06268018A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | バンプ付電子部品の実装方法 |
JP2000011129A (ja) * | 1998-06-24 | 2000-01-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Icカードおよびその製造方法 |
JP2001237259A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Fujitsu Ltd | ハンダ合金、回路基板、半導体装置及びその製造方法 |
JP2006229124A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Canon Inc | Icチップの接続方法および接続構造 |
JP2006229125A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Canon Inc | Icチップの接続装置 |
JP2006229126A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Canon Inc | Icチップの接続装置 |
JP2008235840A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法、半導体製造装置および半導体モジュール |
JP2011044530A (ja) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Panasonic Corp | はんだ接合方法およびはんだ接合装置 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3430837A (en) * | 1967-07-27 | 1969-03-04 | Ronald L Hein | Anti-stick automatic welding tip |
US3698646A (en) * | 1971-01-08 | 1972-10-17 | Pfizer | Composite carbon insert for gas shielded welding torch nozzle |
US3697721A (en) * | 1971-01-08 | 1972-10-10 | Air Prod & Chem | Pyrolytic graphite nozzles and guide tubes for welding torches |
US4140265A (en) * | 1975-06-26 | 1979-02-20 | Kollmorgen Technologies Corporation | Method and apparatus for positioning the end of a conductive filament at a predetermined and repeatable geometric location for coupling to a predetermined terminal area of an element |
US4424930A (en) * | 1981-06-29 | 1984-01-10 | Cooper Industries, Inc. | Carbon-based soldering and de-soldering tip and method of manufacturing same |
US4560101A (en) * | 1983-06-16 | 1985-12-24 | Cooper Industries, Inc. | Self-locking, removeable tapered tips for soldering and de-soldering tools |
DE3722730A1 (de) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Productech Gmbh | Geheizter stempel |
US4876221A (en) * | 1988-05-03 | 1989-10-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Bonding method |
DE3824865A1 (de) * | 1988-07-21 | 1990-01-25 | Productech Gmbh | Herstellen von loetflaechen |
EP0435423B1 (en) * | 1989-12-20 | 1995-03-29 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | A bonding tool |
US5074456A (en) * | 1990-09-18 | 1991-12-24 | Lam Research Corporation | Composite electrode for plasma processes |
US5370299A (en) * | 1992-04-23 | 1994-12-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Bonding tool having diamond head and method of manufacturing the same |
US5428882A (en) * | 1993-04-05 | 1995-07-04 | The Regents Of The University Of California | Process for the fabrication of aluminum metallized pyrolytic graphite sputtering targets |
US5511799A (en) * | 1993-06-07 | 1996-04-30 | Applied Materials, Inc. | Sealing device useful in semiconductor processing apparatus for bridging materials having a thermal expansion differential |
GB2287897B (en) * | 1994-03-31 | 1996-10-09 | Sumitomo Electric Industries | A high strength bonding tool and a process for the production of the same |
JP3295529B2 (ja) * | 1994-05-06 | 2002-06-24 | 松下電器産業株式会社 | Ic部品実装方法及び装置 |
US6449836B1 (en) * | 1999-07-30 | 2002-09-17 | Denso Corporation | Method for interconnecting printed circuit boards and interconnection structure |
US6527162B2 (en) * | 2000-08-04 | 2003-03-04 | Denso Corporation | Connecting method and connecting structure of printed circuit boards |
US6495397B2 (en) * | 2001-03-28 | 2002-12-17 | Intel Corporation | Fluxless flip chip interconnection |
US6550665B1 (en) * | 2001-06-06 | 2003-04-22 | Indigo Systems Corporation | Method for electrically interconnecting large contact arrays using eutectic alloy bumping |
US6935549B2 (en) * | 2003-05-23 | 2005-08-30 | Medtronic, Inc. | Brazing fixtures and methods for fabricating brazing fixtures used for making feed-through assemblies |
US7147735B2 (en) * | 2004-07-22 | 2006-12-12 | Intel Corporation | Vibratable die attachment tool |
JP4910378B2 (ja) * | 2005-03-01 | 2012-04-04 | 株式会社デンソー | X線検査装置及びx線検査方法 |
WO2007050689A1 (en) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Nd Industries, Inc. | Protective coating and coated welding tip and nozzle assembly |
US20090165302A1 (en) * | 2007-12-31 | 2009-07-02 | Slaton David S | Method of forming a heatsink |
US7898807B2 (en) * | 2009-03-09 | 2011-03-01 | General Electric Company | Methods for making millichannel substrate, and cooling device and apparatus using the substrate |
WO2011094204A2 (en) * | 2010-01-26 | 2011-08-04 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Methods of fabricating large-area, semiconducting nanoperforated graphene materials |
JP5787558B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2015-09-30 | イビデン株式会社 | セラミックス基材支持具及びセラミックス部材の製造方法 |
US20120280430A1 (en) * | 2011-05-05 | 2012-11-08 | Applied Nanostructured Solutions, Llc | Composite tooling containing carbon nanotubes and production of parts therefrom |
-
2011
- 2011-03-31 JP JP2011079874A patent/JP5704994B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-03-19 US US13/423,552 patent/US20120248598A1/en not_active Abandoned
- 2012-07-30 US US13/561,460 patent/US20120312863A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03211849A (ja) * | 1990-01-17 | 1991-09-17 | Fuji Electric Co Ltd | フリップチップ用実装装置 |
JPH06268018A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | バンプ付電子部品の実装方法 |
JP2000011129A (ja) * | 1998-06-24 | 2000-01-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Icカードおよびその製造方法 |
JP2001237259A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Fujitsu Ltd | ハンダ合金、回路基板、半導体装置及びその製造方法 |
JP2006229124A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Canon Inc | Icチップの接続方法および接続構造 |
JP2006229125A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Canon Inc | Icチップの接続装置 |
JP2006229126A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Canon Inc | Icチップの接続装置 |
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