JP2016033112A5 - 多結晶シリコン反応炉 - Google Patents

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本発明は、シーメンス法によって多結晶シリコンを製造する際に用いられる多結晶シリコン反応炉に関する。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたもので、シリコン芯棒を保持する電極の表面に析出した多結晶シリコンが、ロッドの自重を支えるとともに、シリコン芯棒から剥がれ落ちることを防止することができる多結晶シリコン反応炉を提供することを目的とする。
前記課題を解決するため、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の多結晶シリコン反応炉は、炉内に設けたシリコン芯棒を通電加熱し、炉内に供給した原料ガスを反応させて、前記シリコン芯棒表面に多結晶シリコンを生成させる多結晶シリコン反応炉であって、炉の底板部に、該底板部に対して電気絶縁状態に設けた電極ホルダと、該電極ホルダに下端部が着脱可能に連結され、前記シリコン芯棒を上方に向けて保持する芯棒保持電極とを備え、前記芯棒保持電極の外周側面の全域に炉内雰囲気に露呈する凹凸部が設けられている。
本発明に係る多結晶シリコン反応炉を用いて多結晶シリコンを製造する場合、前記芯棒保持電極の前記凹凸部にも多結晶シリコンが付着するように、前記シリコン芯棒に多結晶シリコンを析出させる。
本発明に係る多結晶シリコン反応炉によれば、多結晶シリコン反応炉に設置された電極の芯棒保持電極の外周側面全域に凹凸部を設けることによって、芯棒保持電極に析出する多結晶シリコンが、芯棒保持電極から剥がれ落ちることを防止することができる。

Claims (1)

  1. 炉内に設けたシリコン芯棒を通電加熱し、炉内に供給した原料ガスを反応させて、前記シリコン芯棒表面に多結晶シリコンを生成させる多結晶シリコン反応炉であって、炉の底板部に、該底板部に対して電気絶縁状態に設けた電極ホルダと、該電極ホルダに下端部が着脱可能に連結され、前記シリコン芯棒を上方に向けて保持する芯棒保持電極とを備え、前記芯棒保持電極の外周側面の全域に炉内雰囲気に露呈する凹凸部が設けられていることを特徴とする多結晶シリコン反応炉。
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